JP5891592B2 - 印刷装置 - Google Patents
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Description
この種の印刷装置においては、基板は収納容器に複数枚収納され、そこから1枚ずつガイドレールと呼ばれる、例えば2本の平行なレール上に移載され、順次後段の装置に送られるが、基板の品種が変更された場合、基板の幅も変更されるとレールの間隔も変更する必要がある。
基板の幅に応じてレール間隔を調整しても、不測の事態が生じた場合、レール間隔が所定値に調整されない可能性がある。
この場合、レールに向けて搬送された基板がレールと衝突したり、レールの間から落下して破損する虞がある。
本発明の印刷装置は、間隔をあけて配置され、基材を支持するレール部と、間隔をあけて配置された前記レール部の一方を基準として、前記レール部の他方の位置を調整する調整部と、前記レール部に支持された前記基材を搬送する搬送部と、前記搬送部に設けられ前記レール部の他方に対して、前記基材の幅に応じた前記レール部の他方と対向する所定位置に相対移動し、前記レール部の他方の有無を検知する検知装置と、前記検知装置による前記レール部の他方の有無の検知を、前記レール部の他方と対向する所定位置まで移動させる経路途中も含めて連続的に実施させ、前記レール部の他方の位置ずれ方向と、前記レール部の他方が前記所定位置よりも前記相対移動方向後方側に位置決めされているときの前記レール部の他方の前記所定位置に対する位置ずれ量を検知するとともに、前記所定位置における前記レール部の他方の有無を検知する制御部と、を備えることを特徴とする。
前記レール部が複数設けられ、
前記検知装置は、前記複数のレール部のそれぞれに対して相対移動可能であり前記複数のレール部のそれぞれの位置を個別に検知して、前記複数のレール部の間隔を検知する構成を好適に採用できる。
本発明の印刷装置は、間隔をあけて配置され、基材を支持するレール部と、前記レール部の間隔を調整する調整部と、前記レール部に支持された前記基材を搬送する搬送部と、前記搬送部に設けられ、前記レール部の間隔を検出する検知装置と、を備えることを特徴とするものである。
これにより、本発明では、所定位置にレール部が無いときには、不測の事態が生じてレール部が基材を所定状態で支持できないことを検出でき、所定位置にレール部が有るときには、レール部が基材を所定状態で支持可能であることを検出できる。
これにより、本発明では、検知装置により所定位置におけるレール部の他方のみの有無を検出することにより、レール部が基材を所定状態で支持可能または支持不能かを検出することが可能になり、検出に要する時間を短縮化できる。
これにより、本発明では、設定された基材の幅と、検出されたレール部の間隔とが対応しておらず、基材の搬送に支障を来すことが想定できる場合にエラー情報を発生させることで、基板搬送にエラーが生じることを防止できる。
これにより、本発明では、設定された基材の幅と、検出されたレール部の間隔とが対応していない場合には、基材の幅に応じて調整部による調整量を補正することにより、レール部の間隔を基材の幅に対応させることができ、円滑な基材搬送を図ることができる。
これにより、本発明では、基材の破損等を生じさせることなく、半導体装置の属性情報等を示す印刷パターンを所定の印刷品質及び低コストで成膜・印刷することができる。
なお、本明細書における、相対移動方向や直交する方向については、製造・組立による誤差等によってずれる範囲も含むものである。
なお、以下の実施の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせている。
まず、印刷装置を用いて描画(印刷)する対象の一例である半導体基板について説明する。
図1(a)は半導体基板を示す模式平面図である。図1(a)に示すように、基材としての半導体基板1は基板2を備えている。基板2は耐熱性があり半導体装置3を実装可能であれば良く、基板2にはガラスエポキシ基板、紙フェノール基板、紙エポキシ基板等を用いることができる。
図1(b)は印刷装置を示す模式平面図である。
図1(b)に示すように、印刷装置7は主に供給部8、前処理部9、塗布部(印刷部)10、冷却部11、収納部12、搬送部13、後処理部14及び制御部CONT(図8参照)の各種印刷に関連する処理を行う複数の処理装置から構成されている。なお、供給部8、収納部12が並ぶ方向、及び前処理部9、冷却部11、後処理部14が並ぶ方向をX方向とする。X方向と直交する方向をY方向とし、Y方向には塗布部10、冷却部11、搬送部13が並んで配置されている。そして、鉛直方向をZ方向とする。
(供給部)
図2(a)は供給部を示す模式正面図であり、図2(b)及び図2(c)は供給部を示す模式側面図である。図2(a)及び図2(b)に示すように、供給部8は基台15を備えている。基台15の内部には昇降装置16が設置されている。昇降装置16はZ方向に動作する直動機構を備えている。この直動機構はボールネジと回転モーターとの組合せや油圧シリンダーとオイルポンプの組合せ等の機構を用いることができる。本実施形態では、例えば、ボールネジとステップモーターとによる機構を採用している。基台15の上側には昇降板17が昇降装置16と接続して設置されている。そして、昇降板17は昇降装置16により所定の移動量だけ昇降可能になっている。
このようにして供給部8は順次半導体基板1を収納容器18からレール8b上に移動する。収納容器18内の半導体基板1を総て中継台23上に移動した後、操作者は空になった収納容器18と半導体基板1が収納されている収納容器18とを置き換える。これにより、供給部8に半導体基板1を供給することができる。
図3(b)に示されるように、中継場所8aには、ベース部140が設置されており、ベース部140上にはそれぞれがX方向に延在するレール支持部141a、レール部142aと、レール支持部141b、レール部142bとがY方向に間隔をあけて設けられている。
−Y側に位置するレール支持部141bは、下端部をベース部140にY方向に移動自在に支持されており、上端部にはレール部142bが支持されている。レール部142bは、半導体基板1を下方から支持する支持壁143bと、半導体基板1の端縁を−Y側から保持する保持壁144bとを有する断面視L字状に形成されている。
前処理部9は、中継場所9a、9bに搬送された半導体基板1に対して、処理場所9dにおいて前処理を行う。前処理としては、加熱した状態で、例えば、低圧水銀ランプ、水素バーナー、エキシマレーザー、プラズマ放電部、コロナ放電部等による活性光線の照射を例示できる。水銀ランプを用いる場合、半導体基板1に紫外線を照射することにより、半導体基板1の表面の撥液性を改質することができる。水素バーナーを用いる場合、半導体基板1の酸化した表面を一部還元することで表面を粗面化することができ、エキシマレーザーを用いる場合、半導体基板1の表面を一部溶融固化することで粗面化することができ、プラズマ放電或いはコロナ放電を用いる場合、半導体基板1の表面を機械的に削ることで粗面化することができる。本実施形態では、例えば、水銀ランプを採用している。
前処理が終了した後、前処理部9は半導体基板1を中継場所9cに移動する。続いて、搬送部13が中継場所9cから半導体基板1を除材する。
冷却部11は、各処理場所11a、11bにそれぞれ設けられ、上面が半導体装置1の吸着保持面とされたヒートシンク等の冷却板110a、110bを有している。
処理場所11a、11b(冷却板110a、110b)は、把持部13aの動作範囲内に位置しており、処理場所11a、11bにおいて冷却板110a、110bは露出する。従って、搬送部13は容易に半導体基板1を冷却板110a、110bに載置することができる。半導体基板1に冷却処理が行われた後、半導体基板1は、処理場所11aに位置する冷却板110a上または処理場所11bに位置する冷却板110a上にて待機する。従って、搬送部13の把持部13aは容易に半導体基板1を把持して移動させることができる。
次に、半導体基板1に液滴を吐出してマークを形成する塗布部10について図4乃び図5に従って説明する。液滴を吐出する装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小な液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
図6(a)は収納部を示す模式正面図であり、図6(b)及び図6(c)は収納部を示す模式側面図である。図6(a)及び図6(b)に示すように、収納部12は基台74を備えている。基台74の内部には昇降装置75が設置されている。昇降装置75は供給部8に設置された昇降装置16と同様の装置を用いることができる。基台74の上側には昇降板76が昇降装置75と接続して設置されている。そして、昇降板76は昇降装置75により昇降させられる。昇降板76の上には直方体状の収納容器18が設置され、収納容器18の中には半導体基板1が収納されている。収納容器18は供給部8に設置された収納容器18と同じ容器が用いられている。
次に、半導体基板1を搬送する搬送部13について図1、図7及び図9に従って説明する。
搬送部13は、装置内の天部に設けられた支持体83を備えており、支持体83の内部にはモーター、角度検出器、減速機等から構成される回転機構が設置されている。そして、モーターの出力軸は減速機と接続され、減速機の出力軸は支持体83の下側に配置された第1腕部84と接続されている。また、モーターの出力軸と連結して角度検出器が設置され、角度検出器がモーターの出力軸の回転角度を検出する。これにより、回転機構は第1腕部84の回転角度を検出して、所望の角度まで回転させることができる。
なお、把持部13aは、腕部13bに対してθZ方向(Z軸回りの回転方向)に回転移動可能に設けられ、XY平面における位置が変動するため、以下の説明では便宜上、XY平面と平行な一方向をx方向、XY平面と平行でx方向と直交する方向をy方向として説明する(Z方向は共通)。
図8に示すように、上述した供給部8、前処理部9、塗布部10、後処理部14、収納部12の動作は制御部CONTにより統括的に制御される。また、制御部CONTには、品種毎の半導体基板1の大きさ、当該大きさに応じたレール部142a、142bの位置情報等を格納(記憶)するデータ格納部(記憶部)130と、上記印刷に関する各種処理でエラー情報を検知した際に警報を発する警報装置(エラー情報発生部)131とが接続されている。
次に上述した印刷装置7を用いた印刷方法について図10にて説明する。図10は、印刷方法を示すためのフローチャートである。
図10のフローチャートに示されるように、印刷方法は、半導体基板1を収納容器18から搬入する搬入工程S1、搬入された半導体基板1の表面に対して前処理を施す前処理工程S2、前処理工程S2で温度上昇した半導体基板1を冷却する冷却工程S3、冷却された半導体基板1に対して各種マークを描画印刷する印刷工程S4、各種マークが印刷された半導体基板1に対して後処理を施す後処理工程S5、後処理が施された半導体基板1を収納容器18に収納する収納工程S6を主体に構成される。
レール部は、2本に限られず、3本以上であってもよい。この場合、いずれか一本を基準にして、他の少なくとも1本を移動させ間隔を調整してもよい。
また、光源も同様に、可視光等の活性光を射出する種々の活性光光源を用いること、つまり活性光線照射部を用いることができる。
Claims (4)
- 間隔をあけて配置され、基材を支持するレール部と、
間隔をあけて配置された前記レール部の一方を基準として、前記レール部の他方の位置を調整する調整部と、
前記レール部に支持された前記基材を搬送する搬送部と、
前記搬送部に設けられ前記レール部の他方に対して、前記基材の幅に応じた前記レール部の他方と対向する所定位置に相対移動し、前記レール部の他方の有無を検知する検知装置と、
前記検知装置による前記レール部の他方の有無の検知を、前記レール部の他方と対向する所定位置まで移動させる経路途中も含めて連続的に実施させ、前記レール部の他方の位置ずれ方向と、前記レール部の他方が前記所定位置よりも前記相対移動方向後方側に位置決めされているときの前記レール部の他方の前記所定位置に対する位置ずれ量を検知するとともに、前記所定位置における前記レール部の他方の有無を検知する制御部と、
を備えることを特徴とする印刷装置。 - 請求項1記載の印刷装置において、
設定された前記基材の幅と、前記検知装置の検知結果とを照合した結果に応じて、エラー情報を発生するエラー情報発生部を備えることを特徴とする印刷装置。 - 請求項1または2に記載の印刷装置において、
設定された前記基材の幅と、前記検知装置の検知結果とを照合した結果に応じて、前記調整部による調整量を制御する制御部を備えることを特徴とする印刷装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の印刷装置において、
前記基材の表面に設けられた半導体装置に液滴を吐出して印刷処理を行う吐出装置を備えることを特徴とする印刷装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011056779A JP5891592B2 (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | 印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011056779A JP5891592B2 (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | 印刷装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012195365A JP2012195365A (ja) | 2012-10-11 |
JP5891592B2 true JP5891592B2 (ja) | 2016-03-23 |
Family
ID=47087012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011056779A Expired - Fee Related JP5891592B2 (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | 印刷装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5891592B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017069237A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 千住金属工業株式会社 | はんだ付けシステム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2895958B2 (ja) * | 1990-11-29 | 1999-05-31 | 三洋電機株式会社 | スクリーン印刷機 |
JPH11274335A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-08 | Seiko Epson Corp | 電子部品へのマーキング方法およびマーキング装置 |
JP4119568B2 (ja) * | 1999-05-17 | 2008-07-16 | Juki株式会社 | パターン印刷機 |
JP2003080687A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | K-Tech Devices Corp | 電子部品の製造法及び電子部品の製造装置 |
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2011
- 2011-03-15 JP JP2011056779A patent/JP5891592B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012195365A (ja) | 2012-10-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141104 |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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