JP5875033B2 - 中空型回転導入機 - Google Patents
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Description
上記の従来技術による中空型回転導入機の面振れによる回転軸振れは、角度に換算すると±0.025°程度となる。中空型回転導入機に、長さ1000mmのプローブを取り付けた場合、この軸振れによりプローブの先端位置は±0.4mm程度揺らぐ。このように、従来技術による中空型回転導入機の面振れは、プローブの精密な位置制御を妨げる要素となっている。
初めに、外部軸受押用フランジ15を用いて軸受13の外輪をハウジング10に固定する(A)。この際に、軸受13の外輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。次に、中空の回転フランジ12を、内部軸受押用フランジ14を用いて軸受13に回転可能なように固定する(B)。この際に、軸受13の内輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。その後、ハウジング10を、真空シール材16が組込まれた取付フランジ11に固定する(C)。最後に、回転ギア18を回転フランジ12に取り付け(D)、駆動ギア19を取付フランジ11に取り付ける。
初めに、内部軸受押用フランジ24を用いて軸受23の内輪をハウジング20に固定する(E)。この際に、軸受23の内輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。次に、真空シール材26が組み込まれた取付フランジ21を、外部軸受押用フランジ25を用いて軸受23に固定する(F)。この際に、軸受23の外輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。その後、中空の回転フランジ22をハウジング20に固定する(G)。最後に、回転ギア28を回転フランジ22に取り付け(H)、駆動ギア29を取付フランジ21に取り付ける。
初めに、内部軸受押用フランジ34を用いて軸受33の内輪を内部ハウジング30bに固定する(I)。この際に、軸受33の内輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。次に、外部軸受押用フランジ35を用いて軸受33の外輪を外部ハウジング30aに固定する(J)。この際に、軸受33の外輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。次に、内部ハウジング30bを、中空の回転フランジ32に固定する(K)。その後、外部ハウジング30aを、真空シール材36が組込まれた取付フランジ31に固定する(L)。最後に、回転ギア38を回転フランジ32に取り付け(M)、駆動ギア39を取付フランジ31に取り付ける。
2、12、22、32、42、52、62、82、112、122 回転フランジ
3、13、23、33、43、53、63、83、100 軸受
4、14、24、34、44、54、64、84 内部軸受押用フランジ
5、15、25、35、45、55、65、85 外部軸受押用フランジ
6、16、26、36、46、56、66、86、116、126 真空シール材
7、17、27、37、47、57 排気用ポート
8、18、28、38、48、58、68、88、118、128 回転ギア
9、19、29、39、49、59、69、89、119、129 駆動ギア
10、20、30、40、50、60、80 ハウジング
30a 外部ハウジング
30b 内部ハウジング
70、90、130 角度位置決め用エンコーダーリング
71、91、131 角度読取装置
101 内輪
102 外輪
103 転動体
L1 取付フランジと回転フランジの取付面間の距離
Φd 軸受の内径
ΦD 軸受の外径
B1 軸受の幅
B2 軸受のはめあい加工部の幅
Claims (7)
- 軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、並びに、前記取付フランジに固定されるハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、
前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記回転フランジ、および、前記ハウジング部材によってハウジングし、前記軸受の固定および取付調整を可能としたことを特徴とする中空型回転導入機。 - 軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、並びに、前記回転フランジに固定されるハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、
前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記取付フランジ、および、前記ハウジング部材によってハウジングし、前記軸受の固定および取付調整を可能としたことを特徴とする中空型回転導入機。 - 軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、前記回転フランジに固定される第1のハウジング部材、並びに前記取付フランジに固定される第2のハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、
前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記第1のハウジング部材、および、前記第2のハウジング部材によってハウジングし、前記軸受の固定および取付調整を可能としたことを特徴とする中空型回転導入機。 - 前記軸受は、複数の組合せ軸受であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の中空型回転導入機。
- 取付用穴加工が施された軸受、中空の回転フランジ、および真空シール材が組み込まれた取付フランジを備えた中空型回転導入機であって、
前記軸受の外輪には、回転軸方向で前記取付フランジに対向する面にはめあい加工が施され、前記軸受のはめあい加工部分と前記取付フランジのはめあい加工部分との前記回転軸方向からの取付を可能にし、
前記軸受を、前記回転フランジおよび前記取付フランジに直接取付けたことを特徴とする中空型回転導入機。 - 前記中空型回転導入機の回転部に角度位置決め用エンコーダーリングを組み込み、前記取付フランジに角度読取装置を取り付けたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の中空型回転導入機。
- 前記真空シール材が、耐摩耗性、低摩擦性および非粘着性を有するフッ素ゴムOリングであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の中空型回転導入機。
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