JP5874490B2 - 圧電振動片および当該圧電振動片を用いた圧電振動デバイス - Google Patents
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Description
以上のことより、圧電振動片とバンプの確実な接合を行うことができる。
以上が完成品における水晶振動子の構成部材についての概要である。次に水晶振動片と容器との接合について説明する。
2 水晶振動片
3 容器
4 導電性バンプ
5 搭載電極
24、27 接続電極
6、6’、10、13、16、71 凹部
30 容器開口部
60、11、14、17、72 凹部開口端
61、12、15、18、73 凹部内底面
62 凹部開口部側面
63、65、67、69、74 段部
64、66、68、70 段部側面
Claims (3)
- 圧電振動デバイスを構成する容器に導電性のバンプを介して接合される圧電振動片であって、
前記圧電振動片は、一対の励振電極を表裏主面に有し、当該励振電極から圧電振動片の一端側に導出される接続電極を備え、
前記接続電極が形成される圧電振動片の一主面には、前記バンプと対応した断面視多段状かつ平面視形状が略同心円状の凹部が形成され、当該凹部は前記一主面から圧電振動片の厚さ方向に段階的に開口寸法が減少し、
前記凹部内に金属膜からなる前記接続電極が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 前記凹部の開口部の寸法が、前記バンプの最大径よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片。
- 前記容器は導電性のバンプが配される搭載電極を備え、請求項1乃至2のいずれか一つに記載の圧電振動片の前記接続電極が、前記バンプを介して前記搭載電極と導電接合され、前記容器に蓋が接合されることにより前記圧電振動片が気密に封止された圧電振動デバイス。
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