JP5862991B2 - Ｍｅｍｓおよびフレックス回路を取り付ける機械的パッケージ技術 - Google Patents

Description

本発明は、一般に、燃焼プロセス技術に関し、より詳細には、内燃機関（ＩＣＥ）内の圧力値を正確に測定することに関する。

［関連出願の相互参照］
本願は、発明の名称を“ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ ＰＡＣＫＡＧＩＮＧ ＴＥＣＨＮＩＱＵＥ ＯＦ ＡＴＴＡＣＨＩＮＧ ＭＥＭＳ ＡＮＤ ＦＬＥＸ ＣＩＲＣＵＩＴ”とする２０１１年１１月２３日に出願された米国仮特許出願第６１／５６３，４５５号、並びに、発明の名称を“ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ ＰＡＣＫＡＧＩＮＧ ＴＥＣＨＮＩＱＵＥ ＯＦ ＡＴＴＡＣＨＩＮＧ ＭＥＭＳ ＡＮＤ ＦＬＥＸ ＣＩＲＣＵＩＴ”とする２０１１年１２月１９日に出願された米国仮特許出願第６１／５７７，５８３号の利益を主張する。それら出願内容のすべては、引用により全体として本明細書に援用されるものである。

内燃プロセスからの排出制御の要求の増加が、予混合圧縮着火（ＨＣＣＩ）のような新規の燃焼最適化法の開発につながっている。しかしながら、能動的燃焼プロセスの性能試験中に様々な構成要素から情報およびデータ特性を得ることは困難を伴う。一般に、ＩＣＥ設備および燃焼プロセスを含むような動作環境は、高温、高圧を伴い、しばしば腐食性の作動流体および燃料を伴う。それでも、燃焼プロセスに関する情報は、燃焼室で生じる圧力のような、プロセス中に生じる様々な性能特性から判定することができる。

保護的に利用される場合に高速（高速応答）圧力センサの使用により、燃焼プロセスのほぼリアルタイムの最適化を達成できることが良く知られている。しかしながら、多くの場合、それらの技術は、実験室のような閉鎖環境あるいは制御環境で使用される一方で、現実の商用アプリケーションは、多くの場合、実験技術がロード使用試験において不十分であることを示している。さらに、それら実験技術は、高価で壊れ易い機器を用いることがあり、そのような機器は、ＩＣＥのロード試験および通常の動作中に生じる環境のその他の不都合について経済的に最適化することができない。さらに、そのようなタイプのデバイスは、しばしば、殆どの現実のアプリケーションのニーズと対比的な計装態様により、実験環境に非常に適したものとなっている。

また、その他のセンサ提供は、それよりも壊れ難いものであるかもしれないが、現場較正を必要とすることがあるため、正確に実行することができず、そのことが、自動車およびその他の産業を含む上述した環境において実行するうえで明確な障害となっている。さらに、現在の技術で使用されている検出要素は、例えば、圧電素子に基づく圧力センサを提供する。それらの検出要素は、（当該要素を保護する様々な処置の後ならば）燃焼圧力の厳しさに耐えることができるかもしれないが、組立および作動に費用がかかり、また入手が難しい場合がある。

また、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ベースのセンサデバイスは、ＩＣＥのような環境において制御目標を達成するうえで有効であることも広く認められている。しかしながら、同様に、そのような環境においてＭＥＭＳデバイスを使用することは、一つには、極端な動作環境によって困難に曝される。より具体的には、一般的なＭＥＭＳベースの燃焼検出のアプリケーションにおける大きな課題は、センサ接続部を信号搬送導体に電気的に接続して、極端な環境での使用中に動作システムの一体性を保つ必要があることである。

このため、望まれるのは、センサにより、内燃プロセスに関連付けて、信頼性が高く正確なモニタ圧力を与えるコスト効率的な解決策であって、前記センサとして、ほぼリアルタイムの圧力変化に応答し、設置面積が小さく可動式の設置が可能であり、内燃機関の動作環境に非常に適しており、商業的使用に経済的に有利であるセンサを用いる解決策である。

本明細書で使用するデバイス、装置、システム等の用語は、本発明において、包含的で、置き換え可能で、かつ／または互いにおよびその他の同様の構成および機器と同義的なものであるが、機能的に各々が固有の特性、機能および／または動作を有し、それが個々の性能および／または展開に特有のものであってもよいことが認識されるであろう。

本発明は、それらニーズを満たし、現在の技術に応えて、特に、現在利用可能な技術によって完全に解決されていない従来の課題およびニーズに応えて、発展させたものである。

本発明の一実施形態は、センサアセンブリを提供するもので、このセンサアセンブリは、動作中に圧力を生成可能な内燃デバイスと接続されるように適応的に構成された硬性のセンサ本体であって、先端部を含み、電気機械燃焼デバイスに適応的に接続するようにさらに構成された本体と、前記先端部の遠位の開口部に対する予め設定された位置で構成される圧力検出デバイスと、前記圧力検出デバイスと電気的に接続され、圧力特性情報を有する電気信号を、当該アセンブリと接続された情報受信デバイスに送信することができるフレキシブルケーブル接続部とを備え、前記フレキシブルケーブル接続部が、電気通信用の電気通信基板と、前記情報受信デバイスと電気的に接続するためのフレキシブル通信ケーブルと、前記センサ本体内に配置されて前記圧力検出デバイスと電気的に接続される内部通信ケーブルとをさらに備え、前記電気通信ケーブルが、前記フレキシブル通信ケーブルおよび前記内部通信ケーブルと電気的に接続されていることを特徴とするものである。

本発明の別の実施形態は、内燃機関内の圧力値を検出する機械的パッケージアセンブリを提供するもので、この機械的パッケージアセンブリは、接続可能な接続部を介して電気的に接続することができ、内燃機関に留め具を介して機械的に係合接続されるステンレス鋼製のアセンブリ本体と、前記内燃機関内の圧力を検出する微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）圧力センサとを備え、前記ＭＥＭＳ圧力センサが、遠位端に配置された前記本体の先端部に結合されるとともに、フレキシブル回路接続部に電気的に接続され、前記ＭＥＭＳ圧力センサが、前記先端部の開口部から予め設定された距離に配置され、前記フレキシブル回路接続部が、前記ＭＥＭＳ圧力センサからの圧力特性情報を有する電気信号を、当該アセンブリに接続された情報受信デバイスに送信することができ、前記フレキシブル回路接続部が、電気通信用の電気通信基板と、前記情報受信デバイスと電気的に接続するためのフレキシブル通信ケーブルと、前記アセンブリ本体内に配置されて前記ＭＥＭＳセンサと電気的に接続される内部通信ケーブルとをさらに備え、前記電気通信ケーブルが、前記フレキシブル通信ケーブルおよび前記内部通信ケーブルと電気的に接続されていることを特徴とするものである。

本発明の更なる実施形態は、圧力監視アセンブリを含む内燃機関を提供するもので、前記圧力監視アセンブリは、電気的な信号通信が可能であり、前記内燃機関に機械的に取り付けられたステンレス鋼性の本体と、前記本体の先端部に固定されるととも、フレキシブル回路接続部とワイヤボンディングを介して電気的な信号通信が可能な微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）圧力センサとを備え、前記圧力センサが前記先端部から１０ｍｍ未満のところに配置され、前記フレキシブル回路接続部が、判定された圧力特性情報を有する電気信号を、前記ＭＥＭＳ圧力センサから、前記アセンブリに接続された制御装置に送信することができ、前記フレキシブル回路接続部が、前記ＭＥＭＳ圧力センサからの圧力特性情報を有する電気信号を、前記アセンブリに接続された制御装置に送信することができ、前記フレキシブル回路接続部が、電気通信用の電気通信基板と、前記制御装置と電気的に接続するためのフレキシブル通信ケーブルと、前記アセンブリ本体内に配置されて前記ＭＥＭＳセンサと電気的に接続される内部通信ケーブルとをさらに備え、前記電気通信ケーブルが、前記フレキシブル通信ケーブルおよび前記内部通信ケーブルと電気的に接続され、前記本体が、前記アセンブリを固定的に取り付ける係合手段をさらに備え、前記先端部が前記本体と同心円状に整列され、前記先端部が、前記ＭＥＭＳ圧力センサと同様の熱膨張係数を有する材料から形成されることを特徴とするものである。

１またはそれ以上の好ましい実施形態において、本体の先端部から圧力センサまでの距離は１２ｍｍ未満であり、信号伝送の瞬時性を改善する。同様に、本発明の各態様において、本発明に利用可能な構成および適用的な構成は、熱膨張係数の不一致による過剰な機械的応力からＭＥＭＳセンサを保護するとともに、例えば、内燃機関の動作環境内でアセンブリが動作することを可能にする動作特性を与えながらも、ＭＥＭＳ圧力センサを電源および検出機器に電気的に接続するための構成要素の構成された配置を提供する。本発明は、様々な態様において、ＭＥＭＳベースの燃焼センサを使用して、内燃機関に更なる較正システムを必要とすることなく、直接的な圧力測定動作を与えることを含む。

本出願の更なる実施形態、形式、目的、特徴、利点、態様および利点は、詳細な説明と図面から明らかになるであろう。

図１は、本発明の一態様に係る燃焼センサの配置構成を示している。 図２は、本発明の一態様に係る燃焼センサアセンブリの概略図を描画している。 図３は、本発明の一態様に係る部分的に分解された燃焼センサを示している。 図４は、本発明の一態様に係るＭＥＭＳ圧力センサを示している。 図５は、出力および制御電子機器に対するＭＥＭＳセンサの電気的接続として、本発明の好ましい実施形態を示している。 図６は、フレックス回路へのＭＥＭＳセンサの直接取付を組み込んだＭＥＭＳ圧力センサの電気的接続として、本発明の好ましい実施形態を提示している。 図７は、フレックス回路へのＭＥＭＳセンサの取付として、本発明の方法の図的概要を提示している。 図８は、ＭＥＭＳセンサとフレックスケーブルの間にセラミックプリント基板を組み込んだＭＥＭＳ圧力センサの電気的接続として、本発明の好ましい実施形態を示している。

以下の説明は、当業者が本発明を実行および使用することを可能にするために提示されるとともに、特許出願およびその要件との関連で提示されている。本明細書に記載の好ましい実施形態に対する様々な変更および一般的原理および特徴は、当業者にすぐに明らかになるであろう。すなわち、本発明は、開示の実施形態に限定されることを意図するものではなく、本明細書に記載の原理および特徴に一致する最も広い範囲が認められることを意図するものである。

開示の本発明は、内燃機関プロセス中に低コストで正確な圧力検出を必要とする自動車、船舶およびその他の燃焼技術を含む様々な実施のための丈夫でコンパクトな検出デバイスを与える。本発明の１またはそれ以上の態様において、フレキシブル回路とのＭＥＭＳセンサ接続が提供され、その通信が、好ましくはワイヤボンディング技術を使用することにより達成される。

本発明は、リアルタイムの圧力検出を可能にする圧力ポートに非常に接近するようにＭＥＭＳ圧力センサを適応的に構成することを提供する。

図１は、本発明の一態様に係る燃焼センサの配置構成を示している。図１から、センサ本体１０１は、内燃機関（図示省略）のヘッドの係合ネジ山と係合するネジ１０２を利用する機械的留め具とともに、センサアセンブリ１００に構造的剛性を与えるような形状および構成とされている。好ましい実施形態において、センサ本体アセンブリ１０１は、ステンレス鋼から製造されている。ネジ１０２よりも遠位の適当に先細とされた先端部１０３は、ＩＣＥのヘッドの圧力ポートとの圧密シールを形成する。また、先端部１０３は、好ましい実施形態において、ＭＥＭＳアセンブリと同様の熱膨張係数を有する材料から製造されることが好ましいため、その構成および組成により圧力検出ＭＥＭＳアセンブリに作用する温度誘発応力を低減するように構成されている。本発明の好ましい更なる実施形態において、先端部１０３は、Ｋｏｖａｒ（登録商標）から製造され、好ましくはレーザ溶接によりセンサ本体１０１に取り付けられる（Ｋｏｖａｒは、Ｃａｒｐｅｎｔｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社の登録商標である）。ケーブル１０４は、例えば、制御電子機器のようなアセンブリに接続されるその他の電子機器と通信するために必要な電気的接続を提供する。

図２は、本発明の一態様に係る燃焼センサアセンブリ２００の概略図を描画している。図２に示すように、完成したアセンブリを構成する構成要素の様々な位置および保持機能が示されている。先端部２０３は、圧力検出要素２０５を配置および保持するために近位配置および接合面を提供する。好ましい実施形態において、先端部２０３は、センサ本体２０１と同心円状に整列されており、圧力センサ２０５は、ＭＥＭＳ圧力センサである。当業者であれば、圧力ポート近傍のＭＥＭＳセンサが、先端部２０３内の空気経路の長さが最小となるため、ＭＥＭＳセンサからほぼ即座の信号と、高共振周波数応答を与えることが十分に理解されるであろう。

本発明の好ましい実施形態において、ＭＥＭＳセンサ２０５から先端部２０３の最も遠いところにある開口部までの距離は、１５ｍｍ未満の予め設定された距離である。本発明の更に好ましい実施形態において、ＭＥＭＳセンサ２０５から先端部２０３の最も遠いところにある開口部までの距離は、１０ｍｍ未満の予め設定された距離である。本発明のより好ましい実施形態において、ＭＥＭＳセンサ２０５から先端部２０３の最も遠いところにある開口部までの距離は、おおよそ８ｍｍ未満の予め設定された距離であって、７．７２ｍｍである。さらに、センサアセンブリは、内部フレックスケーブル２０６を含み、このケーブルは、図３に示すように、ＭＥＭＳセンサへの電気的接続を完成するための重要な特徴に加えて、回路接続用の必要な電気配線を与えるように予め設定された形状を有する。

図３は、本発明の一態様に係る部分的に分解された燃焼センサ３００を示している。図３に示すように、プリント基板３０７は、フレックスケーブル３０６とケーブル３０４間の相互接続を形成する。好ましい実施形態において、基板３０７とケーブル３０４は、ワイヤキャップ３０８によりセンサ本体３０１内に配置および保持されるとともに、好ましくはステンレス鋼から製造される。保持リング１０９も、好ましくは利用される。本発明の様々な実施形態において、プリント基板３０７は、ケーブル接続をさらに容易にすべく構造的に機能することもでき、あるいは代替的には、センサアセンブリを動作させるために必要な１またはそれ以上の電子機器を含むことができる。

ＭＥＭＳセンサアセンブリと導体との間の電気的接続（電気信号通信）に関する更に好ましい実施形態が、図４および５に示されている。

図４は、本発明の一態様に係るＭＥＭＳ圧力センサの好ましい実施形態４００を示している。図５は、出力および制御電子機器に対するＭＥＭＳセンサの電気的接続として、本発明の好ましい実施形態５００を示している。

図４および５に示すように、ＭＥＭＳセンサ４０５，５０５は、共晶接合により、先端部４０３，５０３に永久に固定（取付）およびシールされている。好ましい実施形態において、シールは気密であり、フレックス回路４０６，５０６は、高温エポキシ樹脂を使用して先端部４０３，５０３の内面に結合される。ＭＥＭＳセンサからフレックス回路への配線接続もまた、ワイヤボンディング４１０，５１０を使用して完成される。当業者に理解されるように、ボンディングワイヤは、ワイヤボンディングに適した円または矩形状の金、アルミニウムまたは任意の金属とすることができる。

本発明の更なる代替的な実施形態が図６および７に示されている。図６は、フレックス回路へのＭＥＭＳセンサ直接取付を組み込んだＭＥＭＳ圧力センサの電気的接続として、本発明の好ましい実施形態６００を提示している。図７は、フレックス回路へのＭＥＭＳセンサの取付として、本発明の方法の図的概要７００を提示している。

図６および７に示すように、ＭＥＭＳ６０２，７０２は、フレックス回路６０１，７０１に直接取り付けられている。この実施形態において、ＭＥＭＳセンサアセンブリは、フレックス回路への電気的接続を形成することとなるアルミニウム接着パッドまたは金バンプを有する。ダイパッドが６０３，７０３で示されている。

図８は、ＭＥＭＳセンサとフレックスケーブルの間にセラミックプリント基板を組み込んだＭＥＭＳ圧力センサの電気的接続として、本発明の好ましい実施形態８００を示している。図８に示すように、ＭＥＭＳセンサアセンブリ８００が共晶接合により先端部８０５に取り付けられている。ワイヤボンディングパッドを含むセラミックスペーサ８０２が、ＭＥＭＳ８０３の上面に取り付けられている。フレックス回路８０１は、セラミックスペーサ８０２に取り付けられている。ダイパッドが８０４で示されている。

本発明は、自動車、船舶、航空機およびＲＶ車、並びに発電機および移動発電装置のような内燃機関を組み込んだ任意の可動または固定アセンブリにおいて使用されるような、内燃機関の燃焼圧力を監視するものを含む様々な応用および実施において使用することができる。それは、ディーゼル機関またはディーゼル機関アプリケーションにも組み込むことができる。

本発明は、開示の実施形態に従って説明してきたが、当業者は、それら実施形態に変形例が存在し得るものであってその変形例も本発明の主旨および範囲内にあることをすぐに認識するであろう。本明細書中に開示の本発明は、それに限定されるわけではないが、厳しい動作環境においても低コストで正確な圧力検出が必要とされる自動車、船舶およびその他の産業の特定のニーズおよび／または適合性を満足するように設計された丈夫でコンパクトな検出デバイスを含む様々な方法で構成することができる。したがって、本発明の主旨および範囲から逸脱することなく、当業者は多くの変更を加えることができる。

好ましい実施形態により本発明を説明したが、これは本発明を限定することを意図したものではない。実際に、本発明の実施形態は、その他の温度、流体レベリング、フィルタリングおよび同様のセンサなどのその他のセンサおよびシステムと組み合わせることも可能である。上述した説明から分かるように、本発明の実施形態は、センサアセンブリとして使用されること、あるいはその他の種類のセンサと組み合わせて使用されることが意図されている。これに関して、上述した説明は、添付の特許請求の範囲に示される本発明の主旨および範囲内に含まれるすべての変形および代替的な構成に及ぶことを意図したものであり、開示において、明示または黙示を問わず、特許請求の範囲に示されない場合に公有財産に捧げられることを意図した部分は存在しない。

Claims (18)

1. センサアセンブリであって、
   動作中に圧力を生成可能な内燃デバイスと接続された硬性のセンサ本体であって、先端部を含み、電気機械燃焼デバイスに接続された硬性のセンサ本体と、
   前記先端部に永久に固定されシールされ、前記先端部の遠位の開口部に対する予め設定された位置で構成された微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）センサと、
   前記ＭＥＭＳセンサと電気的に接続され、圧力特性情報を有する電気信号を、当該アセンブリと接続された情報受信デバイスに送信することができるフレキシブルケーブル接続部とを備え、
   前記フレキシブルケーブル接続部が、電気通信用の電気通信基板と、前記情報受信デバイスと電気的に接続するためのフレキシブル通信ケーブルと、前記センサ本体内に配置されて前記ＭＥＭＳセンサと電気的に接続される内部通信ケーブルとをさらに備え、前記電気通信基板が、前記フレキシブル通信ケーブルおよび前記内部通信ケーブルと電気的に接続されており、
   前記予め設定された位置が１５ｍｍ未満の値の位置であることを特徴とするアセンブリ。
2. 請求項１に記載のアセンブリにおいて、
   前記内燃デバイスが内燃機関（ＩＣＥ）であることを特徴とするアセンブリ。
3. 請求項１に記載のアセンブリにおいて、
   前記ＭＥＭＳセンサが、ＭＥＭＳ圧力センサであることを特徴とするアセンブリ。
4. 請求項１に記載のアセンブリにおいて、
   前記情報受信デバイスが、前記内部通信ケーブルと信号通信する電子制御装置であることを特徴とするアセンブリ。
5. 請求項１に記載のアセンブリにおいて、
   前記センサ本体がステンレス鋼であり、前記内部通信ケーブルが、ワイヤキャップを使用して前記センサ本体内に配置されていることを特徴とするアセンブリ。
6. 請求項５に記載のアセンブリにおいて、
   前記センサ本体が、当該アセンブリを前記内燃デバイスに固定的に取り付けるための係合手段をさらに備えることを特徴とするアセンブリ。
7. 請求項６に記載のアセンブリにおいて、
   前記係合手段がネジ留め具であることを特徴とするアセンブリ。
8. 請求項７に記載のアセンブリにおいて、
   前記先端部が、前記センサ本体と同心円状に整列されるとともに、前記先端部が、前記ＭＥＭＳセンサと同様の熱膨張係数を有する材料からなることを特徴とするアセンブリ。
9. 請求項８に記載のアセンブリにおいて、
   前記先端部が、Ｋｏｖａｒ（登録商標）組成物であることを特徴とするアセンブリ。
10. 請求項８に記載のアセンブリにおいて、
    前記センサ本体は、前記先端部に溶接されていることを特徴とするアセンブリ。
11. 請求項８に記載のアセンブリにおいて、
    前記予め設定された位置が、８ｍｍ未満の値の位置であることを特徴とするアセンブリ。
12. 請求項８に記載のアセンブリにおいて、
    前記電気通信基板が、電子回路を有する基板であることを特徴とするアセンブリ。
13. 請求項１２に記載のアセンブリにおいて、
    前記ＭＥＭＳセンサが、共晶接合により前記先端部にシールされることを特徴とするアセンブリ。
14. 請求項８に記載のアセンブリにおいて、
    前記内燃デバイスが内燃機関（ＩＣＥ）であり、前記情報受信デバイスが、前記内部通信ケーブルと信号通信する電子制御装置であり、前記予め設定された位置が、８ｍｍ未満の値の位置であることを特徴とするアセンブリ。
15. 内燃機関内の圧力値を検出する機械的パッケージアセンブリであって、
    接続可能な接続部を介して電気的な接続を有する、内燃機関に留め具を介して機械的に係合接続されるステンレス鋼製のアセンブリ本体と、
    前記内燃機関の燃焼プロセスと接触していることによって前記内燃機関内の圧力を直接的に検出する微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）圧力センサとを備え、前記ＭＥＭＳ圧力センサが、遠位端に配置された前記本体の先端部に固定されシールされるとともに、フレキシブル回路接続部に電気的に接続され、前記ＭＥＭＳ圧力センサが、前記先端部の開口部から予め設定された距離に配置され、
    前記フレキシブル回路接続部が、前記ＭＥＭＳ圧力センサからの圧力特性情報を有する電気信号を、当該アセンブリに接続された情報受信デバイスに送信することができ、前記フレキシブル回路接続部が、電気通信用の電気通信基板と、前記情報受信デバイスと電気的に接続するためのフレキシブル通信ケーブルと、前記アセンブリ本体内に配置されて前記ＭＥＭＳセンサと電気的に接続される内部通信ケーブルとをさらに備え、前記電気通信基板が、前記フレキシブル通信ケーブルおよび前記内部通信ケーブルと電気的に接続されており、
    前記予め設定された位置が１５ｍｍ未満の値の位置であることを特徴とするアセンブリ。
16. 請求項１５に記載のアセンブリにおいて、
    前記予め設定された距離が、５ｍｍよりも大きく１２ｍｍよりも小さいことを特徴とするアセンブリ。
17. 請求項１６に記載のアセンブリにおいて、
    前記内燃機関が、自動車エンジン、発電機、海洋発電システムおよび移動式燃焼デバイスのうちの一つであり、前記接続可能な接続部が、電気信号を電子制御装置に伝えるように構成されていることを特徴とするアセンブリ。
18. 圧力監視アセンブリを含む内燃機関において、
    前記圧力監視アセンブリが、
    電気的な信号通信が可能であり、前記内燃機関に機械的に取り付けられたステンレス鋼性の本体と、
    前記本体の先端部に永久的に固定されシールされるととも、フレキシブル回路接続部とワイヤボンディングを介して電気的な信号通信が可能な微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）圧力センサとを備え、
    前記ＭＥＭＳ圧力センサが前記内燃機関の燃焼プロセスと接触していることによって前記内燃機関内の圧力を直接的に検出し、前記圧力センサが前記先端部から１５ｍｍ未満のところに永久的に固定されシールされ、前記フレキシブル回路接続部が、判定された圧力特性情報を有する電気信号を、前記ＭＥＭＳ圧力センサから、前記アセンブリに接続された制御装置に送信することができ、
    前記フレキシブル回路接続部が、前記ＭＥＭＳ圧力センサからの圧力特性情報を有する電気信号を、前記アセンブリに接続された制御装置に送信し、前記フレキシブル回路接続部が、電気通信用の電気通信基板と、前記制御装置と電気的に接続するためのフレキシブル通信ケーブルと、前記アセンブリ本体内に配置されて前記ＭＥＭＳセンサと電気的に接続される内部通信ケーブルとをさらに備え、前記電気通信基板が、前記フレキシブル通信ケーブルおよび前記内部通信ケーブルと電気的に接続され、
    前記本体が、前記アセンブリを固定的に取り付ける係合手段をさらに備え、前記先端部が前記本体と同心円状に整列され、前記先端部が、前記ＭＥＭＳ圧力センサと同様の熱膨張係数を有する材料から形成されることを特徴とする内燃機関。

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