JP5856359B2 - バルブシートの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、内燃機関に用いるバルブシートの製造方法に関する。
バルブシートは、吸気弁、排気弁の弁座になる部品であって、弁(バルブ)と接触し、燃焼室の気密を保たせるために必要な部品である。
バルブシートは、(1)圧縮気体、燃焼ガスがマニホールドへ洩れるのを防ぐための気密保持機能、(2)バルブの熱をシリンダヘッド側へ逃がすための熱伝導機能、(3)バルブの着座時にバルブの衝突に耐えうる強度、(4)高熱且つ高負荷の環境においても摩耗しにくい耐摩耗機能等の機能が求められている。
また、バルブシートの要求特性として、(5)相手バルブへの攻撃性が少ないこと、(6)リーズナブルな価格であること、(7)加工の際、削りやすいことが挙げられる。
そのため、上述した機能、特性を満たすべく、バルブシートには鉄基焼結合金が用いられている。
例えば、特許文献1には、酸化処理により、鉄基焼結合金の表面及び内部に四三酸化鉄を主体とする酸化物が形成されており、シリンダヘッドに装着される前の状態で、鉄基焼結合金の断面における四三酸化鉄を主体とする酸化物の面積率が5〜20%であるバルブシートが開示されている。
特開2013−113220号公報
近年、内燃機関の運転条件が厳しくなり、内燃機関のシリンダヘッドに装着されるバルブシートにおいては、より高い耐摩耗性や圧環強度が求められている。
よって、本発明の目的は、耐摩耗性及び圧環強度に優れたバルブシートの製造方法を提供することにある。
本発明者らは、種々の検討の結果、Co粒子を含有する鉄基焼結合金を酸化処理することにより、耐摩耗性及び圧環強度に優れたバルブシートが得られることを見出し、上記目的を達成するに至った。
すなわち、本発明のバルブシートの製造方法は、内燃機関のシリンダヘッドに装着されるバルブシートの製造方法であって、Co成分の純度が99質量%以上であるCo粒子を4〜15質量%と、硬度が600〜1600HVであり、Co基合金粒子からなる硬質粒子を5〜45質量%とを含有する鉄基焼結合金、酸化処理することで、前記鉄基焼結合金の表面及び内部に、四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を主体とする酸化物が形成されると共に、シリンダヘッドに装着される前の状態で、断面における前記酸化物の面積率が5〜25%である酸化処理鉄基焼結合金を有するバルブシートを製造することを特徴とする。
本発明のバルブシートの製造方法によれば、製造されたバルブシートは、上記Co粒子を4〜15質量%と、上記硬質粒子とを含有する鉄基焼結合金を酸化処理した酸化処理鉄基焼結合金で構成されているので、酸化処理によって、Co粒子が酸化コバルト(CoO)を生成し、圧環強度が向上すると共に、酸化コバルト(CoO)により自己潤滑剤の作用(バルブシートまたは相手材のバルブの摩耗が抑制される作用)が得られ、耐摩耗性が向上する。また、硬質粒子の添加効果により圧環強度が向上する。また、表面及び内部に、四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を主体とする酸化物が形成されているので、運転時において、バルブシートの表面に予め形成されている酸化物を起点として、バルブとの当たり面に酸化物が形成され易い。バルブとの当たり面に酸化物が形成されることで、バルブとバルブシートとの金属接触が抑制されて、バルブシートの耐摩耗性が向上する。そして、酸化処理鉄基焼結合金の断面における上記酸化物の面積率を5〜25%としたことにより、圧環強度を保ちつつ、耐摩耗性を向上できる。
本発明のバルブシートの製造方法において、前記Co粒子は、平均粒径が10〜40μmであることが好ましい。この態様によれば、鉄基焼結合金中におけるCo粒子の分散性が良好であり、耐摩耗性や圧環強度のバラつきを抑制できる。
本発明のバルブシートの製造方法において、前記Co基合金粒子は、Coを28〜38質量%含有し、炭化物を含むことが好ましい。この態様によれば、鉄基焼結合金の酸化処理時において、Co基合金粒子からなる硬質粒子から拡散したCo成分からCo酸化物が生成されるので、バルブシートの耐摩耗性や圧環強度をより高めることができる。
本発明のバルブシートの製造方法において、前記鉄基焼結合金は、前記鉄基焼結合金の断面における前記硬質粒子の面積率が5〜45%であることが好ましい。この態様によれば、鉄基焼結合金の塑性流動が抑制され、バルブシートの耐摩耗性をより向上できる。
本発明のバルブシートの製造方法において、前記鉄基焼結合金は、更に固体潤滑剤を含有することが好ましい。また、固体潤滑剤は、平均粒径が1〜10μmであることが好ましい。この態様によれば、バルブシートの耐摩耗性をより向上できる。
本発明によれば、圧環強度及び耐摩耗性に優れたバルブシートの製造方法を提供することができる。
組成1−1〜1−4の鉄基焼結合金を酸化処理したバルブシートの耐摩耗試験の結果である。 組成2−1〜2−4の鉄基焼結合金を酸化処理したバルブシートの耐摩耗試験の結果である。 組成1−1〜1−4の鉄基焼結合金を酸化処理したバルブシートの圧環強度試験の結果である。 組成2−1〜2−4の鉄基焼結合金を酸化処理したバルブシートの圧環強度試験の結果である。 試験例2のバルブシートの酸素マップである。 組成3−3のバルブシートの金属顕微鏡による組織写真(500倍)である。 同バルブシートの走査型電子顕微鏡による組織写真(500倍)である。 図7の組織写真に対応する、同バルブシートのエネルギー分散型X線分析装置(EDX)によるCoマップである。 図7の組織写真に対応する、同バルブシートのエネルギー分散型X線分析装置(EDX)によるOマップである。 図7の組織写真に対応する、同バルブシートのエネルギー分散型X線分析装置(EDX)によるFeマップである。 試験例2のバルブシートの耐摩耗試験及び圧環強度試験の結果である。 バルブシート摩耗試験機の概略図である。
本発明のバルブシートの製造方法は、Co成分の純度が99質量%以上であるCo粒子を4〜15質量%と、硬度が600〜1600HVであり、Co基合金粒子からなる硬質粒子を5〜45質量%とを含有する鉄基焼結合金、酸化処理することで、鉄基焼結合金の表面及び内部に、四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を主体とする酸化物が形成された酸化処理鉄基焼結合金を有するバルブシートを得る
本発明において、バルブシートは、シリンダヘッドに装着される前の状態で、酸化処理鉄基焼結合金の断面における前記酸化物の面積率が5〜25%であることが必要であり、5〜20%がより好ましい。前記酸化物の面積率が上記範囲であれば、圧環強度及び耐摩耗性に優れたバルブシートとすることができる。前記酸化物の面積率が25%を超えると圧環強度が低下して、バルブシートにバルブが着座する際の衝撃により破損し易くなる。前記酸化物の面積率が5%未満であると耐摩耗性が劣る。前記酸化物の面積率を5〜25%に調整するには、酸化処理時における酸化処理時間を調整する方法が挙げられる。
なお、本発明では、後述する実施例に示すように、バルブシート(酸化処理鉄基焼結合金)の任意断面を走査型電子顕微鏡で観察し、該観察画像をエネルギー分散型X線分析装置(EDX)の酸素マップを用いて酸素マップを求め、得られた酸素マップデータの輝度を二値化して輝度5以上の面積比を求め、N=3ヶ所/個×10点の平均値を、四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を主体とする酸化物の面積率とした。
本発明において、酸化処理前の鉄基焼結合金中のCo粒子の含有量は、4〜15質量%であり、6〜13質量%が好ましい。Co粒子を含有する鉄基焼結合金を酸化処理することにより、酸化コバルト(CoO)が生成する。生成した酸化コバルト(CoO)は、自己潤滑材として作用し、バルブシート及び相手材のバルブの摩耗を抑制できる。このため、バルブシートの耐摩耗性が向上する。また、バルブシートの圧環強度も向上する。Co粒子の含有量が4質量%未満であると、バルブシートの圧環強度や耐摩耗性が不足する傾向にある。Co粒子の含有量を増やすことで、圧環強度や耐摩耗性が向上するものの、15質量%を超えると、硬くなりすぎて、相手材であるバルブの摩耗が増加する傾向にある。また、コスト高を誘因することになる。
Co粒子の純度(Co含有量)は、99質量%以上である
本発明において、酸化処理前の鉄基焼結合金の、断面における硬質粒子の面積率は5〜45%であることが好ましく、15〜40%がより好ましい。鉄基焼結合金に硬質粒子を含有させることで、バルブシートの塑性流動を抑制でき、耐摩耗性をより向上できる。硬質粒子の面積率が45%を超えると、製造性が劣る。更には、鉄基焼結合金の密度が低下して、圧環強度が低下する傾向にある。硬質粒子の面積率が5%未満であると、硬質粒子の添加効果が十分に得られないことがある。
なお、本発明では、後述する実施例に示すように、酸化処理前の鉄基焼結合金の任意断面を、光学顕微鏡又は電子顕微鏡を用いて200倍で観察し、1mm×1mm範囲の断面組織写真の硬質粒子部を方眼紙にトレースして面積を求め、4箇所の測定値の平均値を、硬質粒子の面積率とした。
本発明において、酸化処理前の鉄基焼結合金中の硬質粒子の含有量は、5〜45質量%であり、15〜40質量%が好ましい。硬質粒子の含有量を増加させることで、鉄基焼結合金の断面における硬質粒子の面積率を大きくすることができる。そして、硬質粒子の含有量を5〜45質量%とすることで、鉄基焼結合金の断面における硬質粒子の面積率を5〜45%にすることができる。
本発明において、硬質粒子の硬度は、600〜1600HVであり、650〜1400HVが好ましい。硬質粒子の硬度が600HV未満であるとバルブシートの耐摩耗性が不足する傾向にある。硬質粒子の硬度が1600HVを超えると相手材であるバルブの摩耗が増加する傾向にある。なお、本発明において、硬質粒子の硬度は、JIS Z2244「ビッカース硬さ試験−試験方法」に準じて測定した値を意味する。
硬質粒子の具体例としては、Cr、Mo等の炭化物、珪化物、窒化物及び硼化物から選ばれる1種以上が分散したCo基合金粒子が挙げられる。なかでも、Coを28〜38質量%含有し、炭化物を含むCo基合金粒子が好ましく用いられる。硬質粒子としてCo基合金粒子を用いることで、鉄基焼結合金の酸化処理時において、硬質粒子から拡散したCo成分からCo酸化物が生成されるので、自己潤滑剤の効果が得られ易くなり、耐摩耗性が向上する。更には、圧環強度をより高めることができる。硬質粒子としてCo基合金粒子を用いた場合における、バルブシート中のCo含有量(Co粒子と、硬質粒子中のCoとの合計)は、5〜32質量%が好ましく、10〜28質量%がより好ましい。
本発明のバルブシートの製造方法により製造されたバルブシートには、更に、固体潤滑剤を含有してもよい。固体潤滑剤を含有することで、バルブシートの耐摩耗性が向上する。固体潤滑剤としては、特に限定は無い。例えば、フッ化カルシウム、硫化マンガン、硫化モリブデン、硫化タングステン、硫化クロム、エンスタタイト、タルク、窒化硼素等が挙げられる。
バルブシート中における固体潤滑剤の含有量は、0〜5質量%が好ましく、0〜3質量%がより好ましい。固体潤滑剤の含有量が多くなると、圧環強度が低下する傾向にあるので、上限は5質量%が好ましい。
本発明において、バルブシートは、更に、Co、硬質粒子及び固体潤滑剤以外のその他の添加元素を含有していてもよい。その他の添加元素としては、C、Cu、Ni、Cr、Mo、P、Mn等がある。
本発明のバルブシートの製造方法により製造されたバルブシートは、圧環強度及び耐摩耗性に優れており、ガスエンジン、アルコールエンジン等の内燃機関のシリンダヘッドのバルブとの当接面に装着されるバルブシートとして好ましく用いることができる。
本発明のバルブシートの製造方法により製造されたバルブシートは、上記酸化処理鉄基焼結合金のみで構成されていてもよい。また、バルブとの当接面に相当する部分が上記酸化処理鉄基焼結合金で構成され、シリンダヘッド側座面に相当する部分が従来から用いられている安価な鉄基焼結合金で構成された、他の材料との積層体であってもよい。積層体とすることで、材料コストの低減を図ることができる。
本発明のバルブシートの製造方法は、例えば次のような方法によって実施することができる。
まず、鉄基焼結合金の原料として、純鉄粉、Cr鋼粉、Mn鋼粉、MnCr鋼、CrMo鋼粉、NiCr鋼粉、NiCrMo鋼粉、工具鋼粉、高速度鋼粉、Co合金鋼粉、Ni鋼粉等の原料鉄粉に、Co粒子と、硬質粒子と、任意成分として、その他の添加元素、固体潤滑剤等を添加し、混合する。
各原料の混合割合は、特に限定はない。例えば、原料鉄粉35〜91質量%、硬質粒子5〜45質量%、Co粒子4〜15質量%、固体潤滑剤0〜5質量%、が挙げられる。硬質粒子の混合割合を増加させることで、鉄基焼結合金の断面における硬質粒子の面積率を大きくすることができる。例えば、硬質粒子の混合割合を5〜45質量%とすることで、鉄基焼結合金の断面における硬質粒子の面積率を、5〜45%にすることができる。
原料鉄粉の平均粒径は、40〜150μmが好ましい。原料鉄粉の平均粒径が40μm未満であると、流動性低下により圧粉体の密度にばらつきが生じ、バルブシートの圧環強度にばらつきが生じ易い。原料鉄粉の平均粒径が150μmを超えると粉末同士の空隙が大きくなって圧粉体の密度が低下し、バルブシートの圧環強度が低下し易い。なお、本発明において、平均粒径の値は、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置で測定した値を意味する。
硬質粒子の平均粒径は、20〜70μmが好ましい。硬質粒子の平均粒径が20μm未満であると、バルブシートの耐摩耗性が低下し易い。硬質粒子の平均粒径が70μmを超えると鉄基焼結合金中の硬質粒子がまばらになり易く、均一に分散し難くなり、バルブシートの耐摩耗性にばらつきが生じ易い。
Co粒子の平均粒径は、10〜40μmが好ましい。Co粒子の平均粒径が10μm未満であると、Coが凝集して鉄基焼結合金中に均一に分散し難くなり、バルブシートの耐摩耗性にばらつきが生じ易い。Co粒子の平均粒径が40μmを超えると鉄基焼結合金中のCoがまばらになり易く、均一に分散し難くなり、バルブシートの耐摩耗性にばらつきが生じ易い。
固体潤滑剤の平均粒径は1〜10μmが好ましい。固体潤滑剤の平均粒径が1μm未満であると、固体潤滑剤が凝集して鉄基焼結合金中に均一に分散し難くなり、バルブシートの耐摩耗性にばらつきが生じ易い。固体潤滑剤の平均粒径が10μmを超えると成形時に圧縮性を阻害して圧粉体の密度が低下し易くなり、バルブシートの圧環強度が低下し易い。
その他の添加元素は、酸化物、炭酸塩、元素単体、合金等の形態で添加してもよい。
次に、原料粉末の混合物を、金型に充填し、成形プレスにより圧縮成形して圧粉体を製造する。
次に、圧粉体を焼成し、焼結体(鉄基焼結合金)を製造する。焼成条件は、1050〜1200℃で、0.2〜1.5時間が好ましい。
次に、鉄基焼結合金を酸化処理する。酸化処理は、酸化雰囲気の安定性の面から、水蒸気処理が好ましいが、加熱炉において、酸化雰囲気中で酸化させる方法など、鉄基焼結合金の表面及び内部に、四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を生成できる方法であれば特に限定は無い。
本発明では、鉄基焼結合金の断面における、四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を含む酸化物の面積率が5〜25%となるように、酸化処理を行う。酸化処理時間を長く設定すると、酸化物の面積率が大きくなり、短く設定すると、酸化物の面積率が小さくなる。酸化物の面積率が5〜25%となるように、酸化処理時間を適宜調整すれば良い。具体的な一例を挙げて説明すると、500〜600℃で、0.2〜5時間水蒸気処理することで、酸化物の面積率を5〜25%にすることができる。
次に、酸化処理を行った鉄基焼結合金を、研磨、切削することでバルブシートが得られる。
<測定方法>
・酸化物の面積率の測定
バルブシートの断面の一部を走査型電子顕微鏡で抽出し、エネルギー分散型X線分析装置(EDX)の酸素マップを用いて以下の手順で求めた。
(1)切断したバルブシートを樹脂に埋め込み、ダイヤモンド砥粒を使用して試料研磨した。
(2)走査型電子顕微鏡は、「VE8800」(商品名、キーエンス製)を使用し、加速電圧15kV、倍率500倍で観察した。
(3)EDXは、「INCA 250 XTK」(商品名、オックスフォード・インストゥルメンツ社製)を用い、EDXソフトは「The Microanalysis Suite−Issue 18d バージョン4.15」(オックスフォード・インストゥルメンツ社製)を使用した。
(4)EDXソフトに、画像解像度512×384ピクセルで電子顕微鏡像を取り込んだ。
(5)X線収集は、プロセスタイム目盛セット6、スペクトルレンジ0〜20keV、チャンネル数2kとし、収集計数率をデッドタイム30%に調整して、デュエルタイム100μs/ピクセルで10回積算させた。
(6)得られた酸素マップのコントラストを強調するため、2×2ピクセルを1ピクセルに結合する処理を行い、X線強度を4倍にした。
(7)(6)の処理後、EDXソフトの面積計算機能を用い、酸素マップデータの輝度を二値化して輝度5以上の面積比を求め、N=3ヶ所/個×10点の平均値を酸化物の面積率とした。
・硬質粒子の面積率の測定
鉄基焼結合金の断面を、光学顕微鏡又は電子顕微鏡を用いて200倍で観察し、1mm×1mm範囲の断面組織写真の硬質粒子部を方眼紙にトレースして面積を求め、4箇所の測定値の平均値を、硬質粒子の面積率とした。
・耐摩耗試験
図12に示すバルブシート摩耗試験機にバルブシート3を取り付けた。すなわち、このバルブシート摩耗試験機は、枠体1の上端部のシートホルダ2に嵌め込まれたバルブシート3に対して、バルブ4のフェース面がスプリング5によって当接するように構成されている。バルブ4は、電動機6で回転するカムシャフト7によってロッド8を介して上方へ持ち上げられ、次にスプリング5によって戻されることにより、バルブシート3に当たる。そして、バルブ4をガスバーナ9で加熱し、バルブシート3の温度を熱電対10で測定し、温度管理している。また、バルブ4の加熱の際には、表面に酸化膜が生じないようにガスバーナの燃焼状態を完全燃焼とする。なお、バルブ4、スプリング5、カムシャフト7などはエンジン実機部品を用いている。そして、表1に示す条件にて耐摩耗試験を行った。
・圧環強度試験
JIS Z2507「焼結含油軸受の圧環強さ試験方法」に準じて測定を行った。
・硬度測定
JIS Z2245「ロックウェル硬さ試験−試験方法」に準じて測定した。
・密度測定
JIS Z2501「焼結金属材料−密度、含油率及び開放気孔率試験方法」に準じて測定した。
(試験例1)
Fe粉末、硬質粒子(Co基合金粒子)、Co粒子、固体潤滑剤(硫化マンガン)を、表2、3に示す割合で混合して金型に充填した後、成形プレスにより圧縮成形した。得られた圧粉体を1120℃で0.5時間焼成し、鉄基焼結合金を得た。
次に、この鉄基焼結合金を、500〜600℃の温度範囲で、かつ、処理時間0.2〜5時間の範囲で条件を変えて水蒸気処理を行って酸化処理し、鉄基焼結合金の表面及び内部に四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を主体とする酸化物を、その面積率を変えて生成させた。こうして、酸化物の面積率が、0%、3%、5%、10%、15%、20%、25%のバルブシート(酸化処理鉄基焼結合金)を得た。
各バルブシートについて、耐摩耗試験及び圧環強度試験を行った。結果を図1〜4に示す。図1は、組成1−1〜1−4の鉄基焼結合金を酸化処理したバルブシートの耐摩耗試験の結果である。図2は、組成2−1〜2−4の鉄基焼結合金を酸化処理したバルブシートの耐摩耗試験の結果である。図3は、組成1−1〜1−4の鉄基焼結合金を酸化処理したバルブシートの圧環強度試験の結果である。図4は、組成2−1〜2−4の鉄基焼結合金を酸化処理したバルブシートの圧環強度試験の結果である。なお、摩耗量比は、Co粒子の添加量が0質量%で、酸化処理を行っていないバルブシートの摩耗量を100とした時の相対値で示した。また、圧環強度比は、Co粒子の添加量が0質量%で、酸化処理を行っていない鉄基焼結合金の圧環強度を100とした時の相対値で示した。
図1〜4に示されるように、酸化物面積が増大するに従って、耐摩耗性及び圧環強度が向上した。その効果は、酸化物面積5%以上で顕著に増大するが、20%を超えると効果の増大量は少なくなることが分かる。また、鉄基焼結合金にCo粒子を添加することで、耐摩耗性及び圧環強度が向上した。
(試験例2)
Fe粉末、硬質粒子(Co基合金粒子)、Co粒子、固体潤滑剤(硫化マンガン)を、表4に示す割合で混合して金型に充填した後、成形プレスにより圧縮成形した。得られた圧粉体を1120℃で0.5時間焼成し、鉄基焼結合金を得た。
次に、この鉄基焼結合金を、550℃、処理時間1時間で水蒸気処理を行って酸化処理し、鉄基焼結合金の表面及び内部に四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を主体とする酸化物を、面積率が約10%となるように生成させてバルブシート(酸化処理鉄基焼結合金)を得た。
図5に、バルブシートの酸素マップを示す。図6に、組成3−3(Co粒子の添加量が8質量%)のバルブシートの金属顕微鏡による組織写真(500倍)を示す。図7に、同バルブシートの走査型電子顕微鏡による組織写真(500倍)を示す。図8〜10に、図7の組織写真に対応する、同バルブシートのエネルギー分散型X線分析装置(EDX)によるCoマップ、Oマップ、Feマップを示す。図6〜10において、Co酸化物およびFe系酸化物が存在する領域を実線で囲い、硬質粒子が存在する領域を破線で囲った。
図6〜10に示されるように、酸化処理により、鉄基焼結合金に添加したCo粒子から酸化物(CoO)が生成されていることが分かる。また、硬質粒子(Co−Mo−Cr)から拡散したCo成分からも酸化物(CoO)が生成されていることが分かる。
また、得られたバルブシートについて、耐摩耗試験及び圧環強度試験を行った。結果を図11に示す。なお、摩耗量比は、組成3−1(Co粒子の添加が0質量%)の摩耗量を100とした時の相対値で示した。また、圧環強度比は、組成3−1(Co粒子の添加が0質量%)の圧環強度を100とした時の相対値で示した。
図11に示すように、Co粒子の添加量を増やすことで、耐摩耗性及び圧環強度が向上した。

Claims (6)

  1. 内燃機関のシリンダヘッドに装着されるバルブシートの製造方法であって、
    o成分の純度が99質量%以上であるCo粒子を4〜15質量%と、硬度が600〜1600HVであり、Co基合金粒子からなる硬質粒子を5〜45質量%とを含有する鉄基焼結合金、酸化処理することで
    前記鉄基焼結合金の表面及び内部に、四三酸化鉄(Fe)及び酸化コバルト(CoO)を主体とする酸化物が形成されると共に、シリンダヘッドに装着される前の状態で、断面における前記酸化物の面積率が5〜25%である酸化処理鉄基焼結合金を有するバルブシートを製造することを特徴とするバルブシートの製造方法
  2. 前記Co粒子は、平均粒径が10〜40μmである請求項1に記載のバルブシートの製造方法
  3. 前記Co基合金粒子は、Coを28〜38質量%含有し、炭化物を含むものである請求項1又は2に記載のバルブシートの製造方法
  4. 前記鉄基焼結合金は、前記鉄基焼結合金の断面における前記硬質粒子の面積率が5〜45%である請求項1〜3のいずれか1項に記載のバルブシートの製造方法
  5. 前記鉄基焼結合金は、更に固体潤滑剤を含有する請求項1〜4のいずれか1項に記載のバルブシートの製造方法
  6. 前記固体潤滑剤は、平均粒径が1〜10μmである請求項5に記載のバルブシートの製造方法
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