JP5854032B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
10 ガラス板(板部材) 15 キャリア
30 研磨ヘッド機構
31 上皿(研磨部材) 32 上皿保持部(保持機構)
36 下皿(研磨部材) 37 下皿保持部(保持機構)
40 上皿研削ユニット
50 下皿研削ユニット 55 制御装置(制御部)
60 水平移動機構(移動機構) 70 ドレス昇降機構
90 測定部 91 接触式変位センサ
100 ドレス回転機構 110 ドレスヘッド部
111 ヘッドハウジング 118 ガイドピン(調整機構)
121 研削工具 124 ガイド溝
Claims (3)
- 板部材の表面を研磨可能な研磨部材と、前記研磨部材を保持する保持機構とを備え、前記保持機構に保持された前記研磨部材を前記板部材の表面に当接させて相対移動させることにより、前記板部材の表面を研磨するように構成された研磨装置において、
前記保持機構に保持された前記研磨部材の表面を研削して前記表面の平面度を修正する研削ユニットを備え、
前記研削ユニットは、
前記研磨部材の表面と略平行な所定方向に延びる走行軸と、
前記走行軸に設けられ、前記研磨部材の表面を研削可能なドレスヘッド部と、
前記走行軸の前記所定方向に沿って前記ドレスヘッド部とは離れた位置に設けられ、前記研磨部材の表面形状を測定する測定部と、
前記ドレスヘッド部および前記測定部を前記走行軸に沿って前記所定方向に移動させる移動機構と、
前記測定部を前記走行軸に沿って移動させて前記研磨部材の表面形状を測定し、その測定結果に基づいて、前記ドレスヘッド部を前記走行軸に沿って移動させて前記研磨部材の修正研削を制御する制御部と、
前記研削ユニットの傾きを調整する第1調整機構とを有して構成され、
前記ドレスヘッド部は、前記研磨部材の表面形状に応じて、前記研磨部材の表面を研削する研削面の傾きを調整する第2調整機構を有して構成されることを特徴とする研磨装置。 - 前記ドレスヘッド部は、前記研磨部材の表面を研削する研削工具を有し、
前記研削工具を前記研磨部材の表面に当接させて回転させることにより、前記研磨部材の表面を部分的に研削可能に構成されており、
前記移動機構は、前記研削工具を保持する前記ドレスヘッド部を前記走行軸に沿って移動させることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨部材は、前記板部材の両面をそれぞれ研磨可能な一対の研磨部材であり、前記保持機構は、前記一対の研磨部材を互いに対向するように保持し、前記保持機構に保持された前記一対の研磨部材をそれぞれ前記板部材の両面に当接させて相対移動させることにより、前記板部材の両面を研磨するように構成されており、
前記研削ユニットは、前記保持機構に保持された前記一対の研磨部材のうち少なくともいずれかの研磨部材の表面を研削して前記表面の平面度を修正することを特徴とする請求項1または2に記載の研磨装置。
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