JP2006272498A - 両面研磨用研磨布のドレッサー装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェーハを平坦に研磨できるような形成に両面研磨用研磨布の形状を修正することができる両面研磨用研磨布のドレッサー装置を提供する。
【解決手段】本両面研磨用研磨布のドレッシング装置は1、一対のドレッサー2と、このドレッサーを進退させるエアシリンダ3aと、両ドレッサー間の間隔を検出する間隔検知手段4aと、ドレッサー2を研磨布の半径方向に移動させるドレッサー移動機構5を備え、間隔検知手段4aにより検知されたドレッシング後の両ドレッサー間の距離情報信号に基づき、エアシリンダ3aを制御して、ドレッサー2を進退移動させ、両ドレッサー間の距離を制御する。
【選択図】 図2
【解決手段】本両面研磨用研磨布のドレッシング装置は1、一対のドレッサー2と、このドレッサーを進退させるエアシリンダ3aと、両ドレッサー間の間隔を検出する間隔検知手段4aと、ドレッサー2を研磨布の半径方向に移動させるドレッサー移動機構5を備え、間隔検知手段4aにより検知されたドレッシング後の両ドレッサー間の距離情報信号に基づき、エアシリンダ3aを制御して、ドレッサー2を進退移動させ、両ドレッサー間の距離を制御する。
【選択図】 図2
Description
本発明は両面研磨用研磨布のドレッサー装置に係り、特に一対のドレッサー間の間隔を検出しながらドレッシングを行うことができる両面研磨用研磨布のドレッサー装置に関する。
一般にシリコンウェーハの両面研磨は、加工キャリアにウェーハを数枚セットし、研磨布が貼り付けられた上下定盤、サンギアーおよびインターナルギアーを回転させて、加工キャリアに自転と公転を与え研磨布によりウェーハを研磨することにより行われている。
このような両面研磨は、研磨布が連続的に使用されると、研磨時に発生するシリコン層や研磨剤が研磨布表面の空孔に浸入し、蓄積されることで研磨布の目詰まりが発生し、また磨耗により研磨作用面が失われ、結果として平坦度、取り代量が低下する。
一方、定盤上に貼り付けられた研磨布の形状が、研磨後のシリコンウェーハの平坦度の良し悪しに大きく影響する。
従って、研磨後のシリコンウェーハの高平坦度を達成するためには、研磨布の形状を一定に保つことが必要であり、ダイヤモンド砥粒を電着したドレッサーを定盤へ搬送し自転と公転をさせ、上下定盤から荷重を負荷させながら研磨布を研削する等の方法により、その研磨布の形状を定期的に修正することが必要である。
しかしながら、従来の方法では、ドレッサー自身が自転及び公転するために研磨布との接触距離分布が均一にならず、さらに定盤からの圧力により研磨布が定盤に倣ってしまい研磨布形状を常に一定に制御することが非常に難しい。
研磨布の表面形状を修正する技術として、特許文献1に記載のドレッシング方法がある。これはドレッシング前に研磨後のウェーハ形状を測定することにより、ウェーハの形状変化に対応した研磨布の表面形状の変化を推定し、この結果に基づいて研磨布の各位置の修正量を決定する方法である。また、特許文献2に記載のドレッシング方法は、ダイヤモンド砥石を電着したドレッシングパッドを研磨布面に圧接し、研磨布面を回転させることにより、研磨布全体を研削するものである。
特許文献1、2に記載のドレッシング方法では、研磨布表面の目詰まりを除去することは可能であるが、研磨布形状を研磨後のウェーハから予測してドレッシングを行うために、常に同一の形状を維持することができない。また、研磨に伴う研磨布の品質バラツキが大きくなり、経時的な安定性を維持することができない。
特開2002−187059号公報
特開平7−299731号公報
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、ウェーハを平坦に研磨できるように両面研磨用研磨布の形状を修正することができる両面研磨用研磨布のドレッサー装置を提供することを目的とする。
上述した目的を達成するため、本発明に係る両面研磨用研磨布のドレッサー装置は、表面に砥粒層が形成され対向して設けられた一対のドレッサーと、このドレッサーを進退させるエアシリンダと、前記両ドレッサー間の間隔を検出する間隔検知手段と、前記ドレッサーを研磨布の半径方向に移動させるドレッサー移動機構を備え、前記間隔検知手段により検知されたドレッシング後の前記両ドレッサー間の距離情報信号に基づき、前記エアシリンダを制御して、前記ドレッサーを進退移動させ、前記両ドレッサー間の距離を制御することを特徴とする。
好適には、前記間隔検知手段は、両ドレッサー間に配置され、検出子を備えた距離検出計である。
また、好適には、前記間隔検知手段は、少なくとも一方側のドレッサーの砥粒層と同一面になるように前記ドレッサーに設けられ、当接する研磨布との摩擦力を検出する摩擦検出センサーである。
本発明に係る両面研磨用研磨布のドレッシング装置によれば、ウェーハを平坦に研磨できるような形成に両面研磨用研磨布の形状を修正することができる両面研磨用研磨布のドレッサー装置を提供することができる。
以下、本発明に係る両面研磨用研磨布のドレッシング装置の一実施形態について添付図面を参照して説明する。
図1は本発明に係る両面研磨用研磨布のドレッシング装置の概念図、図2はその使用状態を示す概念図である。
図1及び図2に示すように、本発明に係る両面研磨用研磨布のドレッシング装置1は、研磨布Pをドレッシングする上下一対のドレッサー2と、このドレッサー2を昇降させる一対のエアシリンダ3と、両ドレッサー2間の間隔を検出する距離検出手段としての距離検出計4と、ドレッサー2を支持し研磨布Pの半径方向に移動させるための移動部材5aを有するドレッサー移動機構5を備えている。
また、エアシリンダ3と距離検出計4は、取付部材(図示せず)を介して平行して配置された矩形平板状の2枚の装置基材6に取り付けられ、ドレッサー2はエアシリンダ3を介して装置基材6に取り付けられ、さらに、装置基材6には、この2枚の装置基材6間に橋設された取付板6aを介して、ドレッサー2を支持し研磨布Pの半径方向に移動させる棒状の移動部材5aが取り付けられ、ドレッサー移動機構5により移動部材5aを進退させてドレッサー2を移動させることができるようになっている。
ドレッサー2は正方形平板状のドレッサー基材2aの表面に好ましくは♯80〜♯120のダイヤモンド砥粒が電着されて形成されたダイヤモンド砥粒層2bからなっている。また、各々のドレッサー2にはそれぞれエアシリンダ3のアクチュエータ3aが取り付けられ、エアシリンダ3に外部からエアーパイプ3bを介して送られる高圧エアを適宜制御することにより、ドレッサー2を昇降させることができるようになっている。
さらに、各々のドレッサー基材2aには、それぞれ距離検出計4の検出子4aが取り付けられ、両ドレッサー2間の間隔距離を検出できるようになっている。距離検出計4は検出子4aに連設された変位センサーからなり、検出子4aの上下方向の変位を測定することにより、両ドレッサー2間の間隔を検出できるようになっている。
ドレッサー移動機構5は、移動部材5aと、この移動部材5aのネジ部5bに螺合するボールネジ5cと、このボールネジ5cを回転させるモータ5dからなっている。
また、ドレッシング装置1には制御装置7が設けられ、この制御装置7にはエアシリンダ3に送られる高圧エアを制御するエアシリンダ制御器3c、距離検出計4及びモータ5dを制御するモータ制御器5d1が接続され、距離検出計4により検知されたドレッシング後の両ドレッサー2間の距離情報信号に基づき、エアシリンダ制御器3cを介してエアシリンダ3を制御して、ドレッサー2を昇降させることができ、また、一定距離を保ちながらエアシリンダ3の荷重を変化させることもできる。また、モータ制御器5d1を介してドレッサー移動機構5を制御し、ドレッサー2を所定の速度で移動させるようになっている。
さらに、事前に設定した好ましい両ドレッサー2間の間隔、すなわち図3に示すように、エアシリンダ3のアクチュエータ3aが下死点のときその間隔が最小間隔L2になり、常に上死点に向かい両ドレッサー2間の間隔L1に復帰するようになるように制御装置7の記憶手段に記憶されている。
次に本発明に係る両面研磨用研磨布のドレッサー装置を用いたドレッシング方法について説明する。
図1及び図2に示すように、半導体ウェーハの両面研磨を行い、ドレッシングが必要になった上下一対の研磨布Pの間に、ドレッサー2を挿入し、研磨布Pの中心近傍にセットする。このとき、上下研磨布は決められた間隔を保ち、両ドレッサー2はエアシリンダ3のアクチュエータ3aが下死点に位置し、その間隔が図3(a)に示すように、研磨布P1に膨出部P1aが生じたため最小間隔L2になっている。
しかる後、上下の研磨布Pを回転させてドレッシングを開始する。
制御装置7からの指令によりモータ制御器5d1を介してドレッサー移動機構5のモータ5dを作動させ、移動部材5aを研磨布Pの半径外側方向に移動させて、ドレッサー2を研磨布Pの内側から外側へドレッサー2を間歇的に移動させ、順次渦巻き状にドレッシングを行う。
このようなドレッシング過程において、ドレッシングを必要とする上研磨布P1と下研磨布P2を半径方向から見た場合、研磨回数に伴い発生する研磨布P1、P2には凹凸が発生しており、半径方向で研磨布P1、P2間に間隔差が生じている。
例えば、図3(a)の位置では研磨布P1、P2間の間隔は小さく、アクチュエータ3aが下死点にあり、ドレッサー2の間隔が図3(a)に示すようにL2になっており、ドレッサー2は常にその間隔L1に復帰するように設定されているので、アクチュエータ3aが上死点に向けて前進するため、ドレッサー2は研磨布P1を押圧し、ダイヤモンド砥粒層2bで研磨布P1をドレッシングする。
ドレッシングが継続され、ダイヤモンド砥粒層2b間の間隔すなわち研磨布P間の間隔がL1になると、これが距離検出計4により検出され、ドレッサー2が内側から外側へ移動される。
図3(b)に示すように、この移動されたドレッシング位置における研磨布Pの間隔がL1あるいはL1より大きい場合は、ドレッサー2にほとんど圧力が負荷されず、ドレッシングはほとんど行われず、距離検出計4は間隔L1を検出し、ドレッサー2は直ちに次のドレッシング位置ヘ移動される。このドレッサー2の移動過程において、アクチュエータ3aは下死点に向かいドレッサー2間隔はL1になり、次のドレッシングに備える。このようなドレッシングサイクルを繰り返し、ドレッシングは完了する。
上記実施形態のドレッシング装置によれば、ドレッサー自身は回転せずに研磨布が取り付けられた定盤を回転させ、ウェーハを平坦に研磨できるような形成に両面研磨用研磨布の形状を修正することができる。
なお、上記実施形態において、間隔検知手段として検出子を備えた距離検出計を用いる例で説明したが、図4に示すように、間隔検知手段は、少なくとも一方側のドレッサーのダイヤモンド砥粒層2bと同一面になるように前記ドレッサーに設けられ、当接する研磨布Pとの摩擦力を検出する摩擦検出センサー41を用いてもよい。これにより、研磨布間隔L1になるまでドレッシングを行い、ドレッサー2を移動させ、次のドレッシング位置において間隔がL1あるいはL1より大きい場合は、摩擦検出センサー41は摩擦なしを検出し、さらに、次のドレッシング位置に移動させることで、研磨布全体のドレッシングが可能となる。
1 両面研磨用研磨布のドレッシング装置
2 ドレッサー
2a ドレッサー基材
2b ダイヤモンド砥粒層
3 エアシリンダ
3a アクチュエータ
4 距離検出計
5 ドレッサー移動機構
6 装置基材
7 制御装置
2 ドレッサー
2a ドレッサー基材
2b ダイヤモンド砥粒層
3 エアシリンダ
3a アクチュエータ
4 距離検出計
5 ドレッサー移動機構
6 装置基材
7 制御装置
Claims (3)
- 表面に砥粒層が形成され対向して設けられた一対のドレッサーと、このドレッサーを進退させるエアシリンダと、前記両ドレッサー間の間隔を検出する間隔検知手段と、前記ドレッサーを研磨布の半径方向に移動させるドレッサー移動機構を備え、前記間隔検知手段により検知されたドレッシング後の前記両ドレッサー間の距離情報信号に基づき、前記エアシリンダを制御して、前記ドレッサーを進退移動させ、前記両ドレッサー間の距離を制御することを特徴とする両面研磨用研磨布のドレッシング装置。
- 前記間隔検知手段は、両ドレッサー間に配置され、検出子を備えた距離検出計であることを特徴とする請求項1に記載の両面研磨用研磨布のドレッシング装置。
- 前記間隔検知手段は、少なくとも一方側のドレッサーの砥粒層と同一面になるように前記ドレッサーに設けられ、当接する研磨布との摩擦力を検出する摩擦検出センサーであることを特徴とする請求項1に記載の両面研磨用研磨布のドレッシング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005093935A JP2006272498A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | 両面研磨用研磨布のドレッサー装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005093935A JP2006272498A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | 両面研磨用研磨布のドレッサー装置 |
Publications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2005
- 2005-03-29 JP JP2005093935A patent/JP2006272498A/ja active Pending
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