TWI833872B - 用於雙面研磨機的修整裝置 - Google Patents
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Abstract
提供一種用於雙面研磨機的修整裝置，能夠降低用於推壓修整部件的活塞桿上的橫向荷重的作用。修整裝置1藉由安裝於下定盤11的研磨墊11a以及安裝於上定盤12的研磨墊12a與修整部件33的相對運動，來修整研磨墊11a、12a，其中修整裝置1包括：臂部件2，可進退地進入下定盤11和上定盤12之間；支撐部件31，設置於臂部件2的前端2b；動力缸32，設置於支撐部件31，並藉由活塞桿32a將修整部件33壓向研磨墊11a、12a；以及荷重降低單元34，夾設於修整部件33與動力缸32之間，用以降低活塞桿32a上的橫向荷重的作用。
Description
本發明是有關一種用於雙面研磨機的修整裝置，修整裝置對安裝在用於研磨工件的兩面的雙面研磨機的定盤上的研磨墊進行修整。
以往以來，已知一種用於雙面研磨機的修整裝置(在下文中稱為「修整裝置」)，該修整裝置對分別安裝在用於研磨諸如矽晶圓的工件的兩面的下定盤和上定盤上的研磨墊進行修整。此習知的修整裝置中，在下定盤和上定盤之間置入設置於臂部件前端的修整頭，藉由動力缸推壓設置於修整頭的修整部件而將修整部件抵壓在研磨墊上。然後，使下定盤和上定盤彼此於相反的方向旋轉。藉此，使研磨墊與修整部件相對運動，以修整研磨墊(例如，參考專利文獻1)。
先前技術文獻
專利文獻
專利文獻1：日本特開2006-272498號公報
可是，習知的修整裝置中，是在推壓修整部件的動力缸的活塞桿上固定修整部件。因此，當研磨墊和修整部件相對運動而在水平方向上作
用的橫向荷重作用於修整部件時，該橫向荷重也作用在活塞桿上。因此，產生了動力缸的耐久性降低的問題。
本發明鑒於上述問題而完成，並且本發明的目的是提供一種用於雙面研磨機的修整裝置，其能夠降低推壓修整部件的活塞桿上的橫向荷重的作用。
為了達到上述目的，本發明所提供的用於雙面研磨機的修整裝置，在可以以旋轉軸為中心旋轉的下定盤和可以以旋轉軸為中心旋轉的上定盤之間置入修整部件；抵壓修整部件於安裝在下定盤的研磨墊或安裝在上定盤的研磨墊的至少一個上；以及藉由研磨墊與修整部件的相對運動來修整研磨墊。
修整裝置包括：臂部件，可進退地進入下定盤和上定盤之間；支撐部件，設置於臂部件的前端；動力缸，設置於支撐部件，動力缸藉由活塞桿將修整部件壓向研磨墊；以及荷重降低單元，夾設於修整部件與動力缸之間，荷重降低單元用以降低動力缸的朝向活塞桿的橫向荷重的作用。
本發明的用於雙面研磨機的修整裝置，由於在修整部件與動力缸之間具備荷重降低單元，而能夠降低對於推壓修整部件的活塞桿的橫向荷重的作用。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
1、1A、1B、1C:修整裝置
2:臂部件
2a:基部
2b:前端
2c:軌道
3、3A、3B、3C:修整頭
4:驅動機構
10:雙面研磨機
11:下定盤
11a:研磨墊
12:上定盤
12a:研磨墊
13:旋轉軸
31:支撐部件
31a:中央立起部
31b:第一水平部
31c:第二水平部
31e:流出口
31f:高壓噴嘴(噴射噴嘴)
311a、311b、311c:上表面
312a、312b、312c:下表面
313a:第一側面
314a:第二側面
316b、316c:導引孔
318b:安裝部
32:動力缸
32a:活塞桿
32b:空氣管
33:修整部件
34:荷重降低單元
34a:缸板
34b:導引軸
341a:表面
341b:第一端部
342a、342b:第二端部
35:荷重降低單元
35a:薄板部件
35b:薄板部件
351a、351b:表面
352a、352b:安裝區域
353a、353b:固定區域
36:荷重降低單元
36a:缸板
36c:支撐彈簧體(彈性部件)
36d:導引銷
361a:表面
362a:後表面
37:荷重降低單元
37a:支撐軸
37b:滑動部件
37c:施力部件
37d:連接板
圖1為示意地顯示實施例1的修整裝置以及雙面研磨機的整體結構的說明圖。
圖2為示意地顯示實施例1的修整裝置以及其動作的平面圖。
圖3為顯示實施例1的修整裝置的修整頭的斜視圖。
圖4為顯示實施例1的修整裝置的修整頭的側視圖。
圖5為顯示實施例2的修整裝置的修整頭的斜視圖。
圖6為顯示實施例2的修整裝置的修整頭的側視圖。
圖7為顯示實施例3的修整裝置的修整頭的斜視圖。
圖8為顯示實施例4的修整裝置的修整頭的斜視圖。
以下，基於圖式所示的實施例1~實施例4，對本發明的用於雙面研磨機的修整裝置(以下稱為「修整裝置」)的實施方式進行說明。
(實施例1)
以下，對實施例1的修整裝置的結構進行說明。
如圖1所示，修整裝置1在可以以旋轉軸13為中心旋轉的下定盤11和可以以旋轉軸13為中心旋轉的上定盤12之間置入具有後述修整部件33的修整頭3。然後，使修整頭3夾在下定盤11和上定盤12之間，藉由動力缸32將修整部件33抵壓在研磨墊11a、12a上。之後，使下定盤11於第一方向(例如，順時針方向)旋轉，並且使上定盤12於與第一方向相反的第二方向(例如，逆時針方向)旋轉。藉此，使研磨墊11a、12a與該修整部件33進行相對運動來修整研磨墊11a、12a。
修整裝置1包括臂部件2、設置在臂部件2的前端2b處的修整頭3、以及控制部(未圖示)，控制部是用於控制使臂部件2轉動的驅動機構4及對修整部件33施壓的動力缸32的驅動。
臂部件2是從配置在雙面研磨機10附近的驅動機構4沿水平方向延伸的管部件，藉由驅動機構4以基部2a為中心轉動，可進退地進入下定盤11和上定盤12之間。即，如圖2所示，臂部件2的前端2b沿著以基部2a為中心的圓弧狀的軌道2c移動。在修整時，轉動臂部件2，使得修整頭3在下定盤11和上定盤12之間沿著軌道2c移動，在不修整時，轉動臂部件2到退離下定盤11和上定盤12之間的位置。而且，在修整時，洗淨水在臂部件2內部流動。
如圖3以及圖4所示，修整頭3具有支撐部件31、一對動力缸32和32、一對修整部件33和33、一對荷重降低單元34和34。
支撐部件31是固定在臂部件2的前端2b的金屬製剛體，且具有中央立起部31a、第一水平部31b、第二水平部31c。
在中央立起部31a處形成有在修整時可以排出在支撐部件31內部流動的洗淨水的多個流出口31e。於各個流出口處31e安裝有高壓噴嘴31f(噴射噴嘴)。再者，上表面311a是當將修整頭3置入下定盤11與上定盤12之間時與上定盤12相對的表面，下表面312a是當將修整頭3置入下定盤11與上定盤12之間時與下定盤11相對的表面。
第一水平部31b設置在中央立起部31a的與臂部件2相對的第一側面313a上，呈在水平方向上延伸的板狀。而且，在第一水平部31b的側部形成有安裝部318b。支撐部件31藉由安裝部318b固定在臂部件2的前端2b。並且，在第一水平部31b的上表面311b上固定有一個動力缸32。並且，第一水平部31b被一對導引孔316b、316b所貫通，此對導引孔316b、316b被後述的
導引軸34b可隱現地穿插。並且，第一水平部31b的上表面311b是當將修整頭3置入下定盤11和上定盤12之間時面對上定盤12的表面。
第二水平部31c設置在中央立起部31a的第二側面314a上，呈在水平方向上延伸的板狀。中央立起部31a的第二側面314a是相對於第一側面313a的相反側的表面。於此，第二水平部31c和第一水平部31b在高度方向上偏移，並且第一水平部31b設置在靠近中央立起部31a的下表面312a的位置。第二水平部31c設置在靠近中央立起部31a的上表面311a的位置。
而且，在第二水平部31c的下表面312c固定有另一個動力缸32。此外，第二水平部31c被一對導引孔316c、316c所貫通，此對導引孔316c、316c被後述的導引軸34b可隱現地穿插。並且，第二水平部31c的下表面312c是當將修整頭3置入下定盤11和上定盤12之間時面對下定盤11的表面。
於此，一對動力缸32、32是藉由供給和排出空氣而使活塞桿32a伸縮的氣壓缸。一個動力缸32固定在支撐部件31的第一水平部31b，並且使活塞桿32a朝向修整頭3的上方伸長。又，另一個動力缸32固定在支撐部件31的第二水平部31c，並且使活塞桿32a朝向修整頭3的下方伸長。而且，空氣透過空氣管32b供應到各個動力缸32。
一對修整部件33、33是在修整時分別接觸研磨墊11a、12a並進行研磨的砥石。於此，各修整部件33是透過在由鐵、碳鋼等製成的台金的表面上形成鍍層，並將金剛石磨粒或CBN(立方氮化硼)磨粒固定在所形成的鍍層上而形成。此外，還可以使用諸如金屬製線材或陶瓷等的功能性表面材料作為修整部件33。再者，修整部件33呈大致沿著臂部件2的前端2b的移動的軌道2c的長尺形狀。各修整部件33安裝在後述的缸板34a的表面341a。
進一步而言，例如圖2所示，調整下定盤11和上定盤12的旋轉方向以及修整頭3的置入方向，將安裝有高壓噴嘴31f的流出口31e相較於修整部件33，配置於研磨墊11a、12a的移動方向(以下稱為「墊移動方向」)的上游側。意即，流出口31e(高壓噴嘴31f)與修整部件33之間的位置關係，是當研磨墊11a、12a與修整部件33相對運動時，對於研磨墊11a、12a尚未修整的區域，先與流出口31e(高壓噴嘴31f)相對後，再與修整部件33相對的位置關係。
一對荷重降低單元34、34是夾設在各個動力缸32與修整部件33之間，降低橫向荷重的作用的結構，橫向荷重是對活塞桿32a於水平方向上作用的荷重。在實施例1的一對荷重降低單元34、34中，作用在活塞桿32a上的橫向荷重藉由支撐部件31來支撐，以降低對於活塞桿32a的橫向荷重的作用。實施例1的一對荷重降低單元34、34分別具有缸板34a和一對導引軸34b、34b。
缸板34a是固定在活塞桿32a的前端的板狀部件。在缸板34a的表面341a上安裝有修整部件33。而且，表面341a是當將修整頭3置入下定盤11和上定盤12之間時相對研磨墊11a、12a的表面。
然後，藉由在缸板34a上安裝修整部件33，當活塞桿32a伸長時，修整部件33與缸板34a成一體而靠近研磨墊11a、12a。再者，當活塞桿32a收縮時，修整部件33與缸板34a成一體而遠離研磨墊11a、12a。
再者，在此缸板34a的背面342a上固定有導引軸34b的第一端部341b。於此，兩根導引軸34b、34b固定在以活塞桿32a的軸方向為中心的點對稱位置。
導引軸34b是金屬製的棒狀部件，其一端的第一端部341b固定在缸板34a上，另一端的第二端部342b可隱現地穿插在第一水平部31b或第二水
平部31c上形成的導引孔316b、316c。再者，導引軸34b向導引孔316b、316c的穿插長度比活塞桿32a的伸縮行程長。因此，即使當活塞桿32a完全伸長時，導引軸34b的第二端部342b也不會從導引孔316b、316c中脫落。
接著，對實施例1的修整裝置1的作用進行說明。
根據實施例1的修整裝置1，藉由圖未示的控制部控制每個部件來修整雙面研磨機10的研磨墊11a、12a，首先，藉由驅動機構4來轉動臂部件2。然後，將設置在臂部件2的前端2b處的修整頭3置入在下定盤11和上定盤12之間。此時，活塞桿32a處於最收回的最收縮狀態，修整部件33與研磨墊11a、12a之間存在間隙，或者在沒有垂直方向的荷重作用的狀態下修整部件33與研磨墊11a、12a接觸。
接下來，將下定盤11和上定盤12之間的間隙高度設定為預先設定的規定高度。然後，伸長動力缸32的活塞桿32a，使修整部件33連缸板34a整體一起靠近研磨墊11a、12a。藉此，修整部件33被壓向研磨墊11a、12a，而修整部件33被抵壓在研磨墊11a、12a上。
然後，在將修整部件33抵壓在研磨墊11a、12a的狀態下，使下定盤11和上定盤12以旋轉軸13為中心沿彼此相反方向旋轉。此時，驅動驅動機構4以使臂部件2轉動。結果，隨著修整頭3沿著軌道2c移動，研磨墊11a、12a與修整部件33相對運動以修整研磨墊11a、12a。而且，「相對運動」是指研磨墊11a、12a和修整部件33向彼此的相反方向相對地移動。
於此，在修整時，由於修整部件33抵壓在研磨墊11a、12a上，因為研磨墊11a、12a和修整部件33的相對運動，橫向荷重(在水平方向上作用的荷重)作用在修整部件33上。同時，修整部件33安裝在固定於活塞桿32a的缸板34a上。因此，作用在修整部件33上的橫向荷重也會作用在活塞桿32a上。
對此，在實施例1的修整裝置1中，在修整部件33與活塞桿32a之間夾設有荷重降低單元34。即，在修整部件33和活塞桿32a都固定在其上的缸板34a上，固定有導引軸34b的第一端部341b。然後，將此導引軸34b的第二端部342b，穿插在貫通第一水平部31b的導引孔316b或穿插在貫通第二水平部31c的導引孔316c。
藉此，當作用在修整部件33上的橫向荷重作用在缸板34a上時，導引軸34b對導引孔316b、316c的內周表面進行干涉，使導引軸34b藉由支撐部件31來支撐。因此，透過導引軸34b，缸板34a可以藉由支撐部件31來支撐，並且固定在缸板34a的活塞桿32a也可以藉由支撐部件31來支撐。
結果而言，可以降低在活塞桿32a上的橫向荷重的作用。並且，能夠控制作用在活塞桿32a的橫向荷重，能夠防止動力缸32的耐久性下降。
再者，在實施例1的修整裝置1中，荷重降低單元34具有缸板34a和導引軸34b。因此，從修整部件33向活塞桿32a傳遞的橫向荷重可以藉由支撐部件31適當地支撐，並且可以有效地降低橫向荷重對活塞桿32a的作用。
進一步而言，在實施例1的修整裝置1中，在修整時，洗淨水透過臂部件2向支撐部件31供應。向支撐部件31供應的洗淨水從支撐部件31上形成的多個流出口31e排出。於此，流出口31e形成在，支撐部件31中的，與上定盤12相對的中央立起部31a的上表面311a、以及與下定盤11相對的中央立起部31a的下表面312a上。再者，各個流出口31e安裝有高壓噴嘴31f。因此，洗淨水自流出口31e透過高壓噴嘴31f以高壓噴射，並噴到研磨墊11a、12a上。
同時，一對修整部件33、33分別透過缸板34a，安裝在固定於支撐部件31的第一水平部31b的一個動力缸32，以及固定於支撐部件31的第二水
平部31c的另一個動力缸32。再者，安裝有高壓噴嘴31f的流出口31e相較於修整部件33，是配置在墊移動方向的上游側。
藉此，可以在高壓噴嘴31f噴射高壓洗淨水來洗淨研磨墊11a、12a之後，透過修整部件33來修整研磨墊11a、12a。
意即，對藉由伴隨著荷重的研磨而成壓縮狀態的研磨墊11a、12a，或是在濕潤程度不充分的狀態下的研磨墊11a、12a來進行修整的話，在修整時可能使對應研磨墊11a、12a的修整部件33的接觸狀態或研磨狀態容易變得不均勻，難以穩定地進行修整。
對此，在修整之前透過向研磨墊11a、12a高壓噴射洗淨水，可以使呈壓縮狀態的研磨墊11a、12a的表面層露出之後再進行修整。進一步而言，可以確實地使研磨墊11a、12a成濕潤狀態之後再進行修整。因此，與在研磨墊11a、12a被壓縮的狀態下或濕潤程度不充分的狀態下修整研磨墊11a、12a的情況相比之下，修整時修整部件33相對於研磨墊11a、12a的接觸狀態或研磨狀態變得均勻，從而可以實現修整後的墊表面品質的穩定化以及均勻化。
進一步而言，在修整部件33相對於研磨墊11a、12a的接觸表面上，可以藉由洗淨水去除會成為物理性妨礙的不必要的殘留研磨粒等之後再進行修整。
(實施例2)
實施例2的修整裝置1A是藉由支撐修整部件的薄板部件所構成的荷重降低單元的示例。以下，基於圖5和圖6對實施例2的修整裝置1A的結構進行說明。而且，對於與實施例1相同的結構，使用與實施例1相同的符號，並省略詳細說明。
如圖5和圖6所示，實施例2的修整裝置1A包括臂部件2、設置在臂部件2的前端2b處的修整頭3A、以及控制部(未圖示)，控制部是用於控制使臂部件2轉動的驅動機構(於此未圖示)以及對修整部件33施壓的動力缸32的驅動。
如圖5以及圖6所示，修整頭3A具有支撐部件31、一對動力缸32和32、一對修整部件33和33、一對荷重降低單元35和35。
實施例2的一對荷重降低單元35、35，是藉由在與活塞桿32a相對的位置處將修整部件33相對於活塞桿32a以非固定狀態保持住，以降低活塞桿32a上的橫向荷重的作用的結構。實施例2的一對荷重降低單元35、35，分別是藉由薄金屬製的板部件所構成。以下，將一對荷重降低單元35、35分別稱為薄板部件35a、35b。
薄板部件35a、35b是能夠於厚度方向上彈性變形的金屬板，並且以懸臂狀態固定在支撐部件31。於此，一個薄板部件35a固定在支撐部件31的第二水平部31c的上表面311c，另一個薄板部件35b固定在支撐部件31的第一水平部31b的下表面312b。而且，第二水平部31c的上表面311c是當將修整頭3A置入下定盤11與上定盤12之間時與上定盤12相對的表面。再者，第一水平部31b的下表面312b是當將修整頭3A置入下定盤11與上定盤12之間時與下定盤11相對的表面。
然後，在固定於第二水平部31c的一個薄板部件35a的表面351a處安裝有修整部件33。進一步而言，此一個薄板部件35a從其固定到第二水平部31c的位置超過中央立起部31a而延伸到相對第一水平部31b的位置。然後，在一個薄板部件35a中，作為修整部件33所安裝的區域的安裝區域352a，與固定在第一水平部31b的一個動力缸32的活塞桿32a相對。而且，表面351a是當修整頭3A置入下定盤11與上定盤12之間時與安裝在上定盤12
的研磨墊12a相對的表面。再者，薄板部件35a上適當地形成有避免干涉高壓噴嘴31f的開口。
再者，固定於第一水平部31b的另一個薄板部件35b的表面351b處安裝有修整部件33。進一步而言，此另一個薄板部件35b從其固定到第一水平部31b的位置超過中央立起部31a而延伸到相對第二水平部31c的位置。然後，在另一個薄板部件35b中，作為修整部件33所安裝的區域的安裝區域352b，與固定在第二水平部31c的一個動力缸32的活塞桿32a相對。而且，表面351b是當修整頭3A置入下定盤11與上定盤12之間時與安裝在下定盤11的研磨墊11a相對的表面。再者，薄板部件35b上適當地形成有避免干涉高壓噴嘴31f的開口。
然後，在實施例2的修整裝置1A中，調整下定盤11和上定盤12的旋轉方向以及修整頭3A的置入方向，將各薄板部件35a、35b配置為沿著研磨墊11a、12a的移動方向延伸。進一步而言，薄板部件35a、35b中，固定在支撐部件31的固定區域353a、353b是配置在研磨墊11a、12a的移動方向的上游側，而安裝有修整部件33的安裝區域352a、352b是配置在研磨墊11a、12a的移動方向的下游側。
再者，在實施例2的修整裝置1A中，也對下定盤11和上定盤12的旋轉方向以及修整頭3A的置入方向進行調整，使設置於支撐部件31的中央立起部31a且安裝有高壓噴嘴31f的流出口31e相較於修整部件33，是配置於研磨墊11a、12a的移動方向的上游側。
接著，對實施例2的修整裝置1A的作用進行說明。
藉由實施例2的修整裝置1A對雙面研磨機10的研磨墊11a、12a進行修整時，與實施例1同樣地，以修整部件33抵壓在研磨墊11a、12a上的狀態下，來對研磨墊11a、12a與修整部件33進行相對運動。
於此，在實施例2的修整裝置1A中，修整部件33安裝於以懸臂狀態固定在支撐部件31的薄板部件35a、35b上。然後，在薄板部件35a、35b中，安裝修整部件33的安裝區域352a、352b與活塞桿32a相對。
因此，當活塞桿32a伸長時，活塞桿32a接觸薄板部件35a、35b的安裝區域352a、352b，並透過薄板部件35a、35b推壓修整部件33。同時，於薄板部件35a、35b的表面351a、351b處安裝有修整部件33。但是，薄板部件35a、35b和活塞桿32a之間是沒有被固定的。藉此，作用在修整部件33上的橫向荷重不會全部傳遞到活塞桿32a上。
結果，可以降低對於活塞桿32a的橫向荷重的作用。然後，抑制作用在活塞桿32a上的橫向荷重，可以防止動力缸32的耐久性降低。
再者，在實施例2的修整裝置1A中，薄板部件35a、35b配置為沿著研磨墊11a、12a的移動方向延伸。進一步而言，薄板部件35a、35b的固定區域353a、353b配置在研磨墊11a、12a的移動方向的上游側，安裝區域352a、352b配置在研磨墊11a、12a的移動方向的下游側。因此，當研磨墊11a、12a和修整部件33相對運動時，橫向荷重以自固定區域353a、353b朝向安裝區域352a、352b的方向作用在修整部件33上。藉此，可以防止自由端的安裝區域352a、352b懸浮，造成修整部件33卡到研磨墊11a、12a上。
進一步而言，在實施例2的修整裝置1A中，安裝有高壓噴嘴31f的流出口31e相較於修整部件33，是設置在研磨墊11a、12a的移動方向的上游側。因此，可以將對上定盤12的研磨墊12a噴射洗淨水的高壓噴嘴31f、以及對下定盤11的研磨墊11a噴射洗淨水的高壓噴嘴31f，兩者都設置在中央立起部31a上。再者，可以將薄板部件35a、35b的固定區域353a、353b配置在研磨墊11a、12a的移動方向的上游側，將安裝區域352a、352b配置在研磨墊11a、12a的移動方向的下游側。
(實施例3)
實施例3的修整裝置1B是透過彈性部件在固定於活塞桿的缸板上安裝修整部件的例子。以下，基於圖7，對實施例3的修整裝置1B的結構進行說明。而且，對於與實施例1相同的結構，使用與實施例1相同的符號，並省略詳細說明。
如圖7所示，實施例3的修整裝置1B包括臂部件2、設置在臂部件2的前端2b處的修整頭3B、以及控制部(未圖示)，控制部是用於控制使臂部件2轉動的驅動機構(於此未圖示)以及對修整部件33施壓的動力缸32的驅動。
如圖7所示，修整頭3B具有支撐部件31、一對動力缸32和32、一對修整部件33和33、一對荷重降低單元36和36。
實施例3的一對荷重降低單元36、36，是藉由支撐部件31來支撐作用在活塞桿(於此未圖示)上的橫向荷重，以降低對於活塞桿上的橫向荷重的作用的結構。實施例3的一對荷重降低單元36、36，分別具有缸板36a、一對導引軸34b和34b、多個(於此為四個)支撐彈簧體36c以及多個(於此為四根)導引銷36d。
缸板36a是固定在活塞桿上的板狀部件。在此缸板36a的表面361a安裝有多個支撐彈簧體36c和多個導引銷36d。而且，表面361a是當將修整頭3B置入下定盤11和上定盤12之間時相對研磨墊11a、12a的表面。在缸板36a的後表面362a固定有導引軸34b的第一端部(於此未圖示)。
多個支撐彈簧體36c是能夠在活塞桿的伸縮方向上彈性變形的金屬製彈性部件。而且，於此，支撐彈簧體36c是由將金屬片彎曲而得到的板簧所構成，但不限於此，支撐彈簧體36c例如也可以是由螺旋彈簧等其他的彈性部件構成。
支撐彈簧體36c夾設於缸板36a與修整部件33之間，並且修整部件33透過支撐彈簧體36c安裝在缸板36a上。
多個導引銷36d是從缸板36a的表面361a上立起的，用於限制修整部件33的支撐姿勢的棒狀部件。在實施例3中，由一對導引銷36d夾持修整部件33的長度方向的端部。
接著，對實施例3的修整裝置1B的作用進行說明。
藉由實施例3的修整裝置1B對雙面研磨機10的研磨墊11a、12a進行修整時，與實施例1以及實施例2同樣地，以修整部件33抵壓在研磨墊11a、12a上的狀態，來對研磨墊11a、12a與修整部件33進行相對運動。
於此，在實施例3的修整裝置1B中，在修整部件33與固定在活塞桿上的缸板36a之間夾設支撐彈簧體36c，修整部件33透過支撐彈簧體36c安裝在缸板36a上。
因此，在修整期間，由於研磨墊11a，12a的不平坦使下定盤11和上定盤12之間的間隙高度變動時，支撐彈簧體36c變形，可以吸收間隙高度的變動。藉此，在不控制活塞桿的伸縮的情況下，也可以使修整部件33的整個長度均勻地與研磨墊11a、12a接觸。
進一步而言，在此實施例3的修整裝置1B中，從缸板36a立起多個導引銷36d。然後，由一對導引銷36d夾持修整部件33的長度方向的端部。
因此，在修整期間，當橫向荷重作用在修整部件33上並且支撐彈簧體36c傾斜時，修整部件33干涉導引銷36d。藉此，透過導引銷36d來限制由支撐彈簧體36c引起的修整部件33的支撐姿勢的變化。所以，能抑制作用在支撐彈簧體36c上的橫向荷重，並且能防止支撐彈簧體36c的水平方向的變形。
(實施例4)
實施例4的修整裝置1C是透過自支撐部件立起的支撐軸貫通的滑動部件來支撐修整部件的例子。以下，基於圖8，對實施例4的修整裝置1C的結構進行說明。而且，對於與實施例1相同的結構，使用與實施例1相同的符號，並省略詳細說明。
如圖8所示，實施例4的修整裝置1C包括臂部件2、設置在臂部件2的前端2b處的修整頭3C、以及控制部(未圖示)，控制部是用於控制使臂部件2轉動的驅動機構(於此未圖示)以及對修整部件33施壓的動力缸32的驅動。
如圖8所示，修整頭3C具有支撐部件31、一對動力缸32和32、一對修整部件33和33、一對荷重降低單元37和37。
實施例4的一對荷重降低單元37、37，是透過在相對活塞桿(於此未圖示)的位置將修整部件33相對於活塞桿以非固定狀態保持住，以降低活塞桿上的橫向荷重的作用的結構。實施例4的一對荷重降低單元37、37分別具有四根支撐軸37a、一對滑動部件37b以及四個施力部件37c。
四根支撐軸37a是從支撐部件31的第一水平部31b的上表面311b或第二水平部31c的下表面312c立起。這些支撐軸37a配置於固定在第一水平部31b的上表面311b上的一個動力缸32的周圍，或是配置於固定在第二水平部31c的下表面312c上的另一個動力缸32的周圍。而且，四根支撐軸37a藉由沿著修整部件33的長度方向延伸的連接板37d被兩兩連接。
一對滑動部件37b分別被支撐軸37a兩兩可滑動地貫通，並且安裝有修整部件33在長度方向上的端部。於此，貫通同一滑動部件37b的兩個支撐軸37a沒有透過連接板37d彼此連接。然後，一對滑動部件37b夾著動力缸32而相對，修整部件33與活塞桿相對。藉此，修整部件33接觸活塞桿。
四個施力部件37c各個都是螺旋彈簧，支撐軸37a插入其中的同時，配置在滑動部件37b與連接板37d之間。各個施力部件37c藉由連接板37d來防止脫落，並且朝向支撐部件31對滑動部件37b施力。
接著，對實施例4的修整裝置1C的作用進行說明。
藉由實施例4的修整裝置1C對雙面研磨機10的研磨墊11a、12a進行修整時，與實施例1~3同樣地，以修整部件33抵壓在研磨墊11a、12a上的狀態，來對研磨墊11a、12a與修整部件33進行相對運動。
於此，在實施例4的修整裝置1C中，被支撐軸37a貫通的滑動部件37b上安裝有修整部件33。此修整部件33與活塞桿相對。
因此，當活塞桿伸長時，活塞桿接觸並推壓修整部件33。同時，即使修整部件33推壓活塞桿，但是修整部件33僅接觸活塞桿而不固定。藉此，作用在修整部件33上的橫向荷重不會全部傳遞到活塞桿上。
結果，可以降低橫向荷重對活塞桿的作用。並且，可以抑制與活塞桿有關的橫向荷重，並且可以防止動力缸32的耐久性下降。
再者，支撐軸37a貫通安裝有修整部件33的滑動部件37b。因此，滑動部件37b可由支撐軸37a來進行定位，並且修整部件33可藉由活塞桿適當地推壓。而且，滑動部件37b藉由施力部件37c推向支撐部件31。因此，當修整部件33被朝向活塞桿施力時，即使橫向荷重作用在修整部件33上，也難以產生相對於活塞桿的位置偏移，可以藉由活塞桿更適當地推壓修整部件33。
如上所述，基於實施例1~實施例4對本發明的用於雙面研磨機的修整裝置進行了說明，然而，具體的結構不限於這些實施例，並且在不脫離申請專利範圍的各請求項的本發明的精神的情況下，允許對設計進行修改或增加。
儘管所示的實施例1~實施例4的修整裝置1~1C各自包括一對修整部件33、33，並且研磨墊11a、12a可以被同時修整，但是不限於此。例如，也可以是僅設置一個修整部件33交替地修整研磨墊11a、12a。再者，也可以是僅修整研磨墊11a、12a的任意一個。
而且，對於各研磨墊11a、12a也可以設置多個修整部件33。進一步而言，在實施例1~實施例4中，修整部件33呈長尺形狀作為示例，但是不限於此。例如，可以使用圓盤形或矩形板形等的任意形狀。
實施例1~實施例4的修整裝置1~1C中，儘管動力缸32是使用氣缸作為示例，但是不限於此。動力缸32可以任意選擇，只要能夠藉由氣壓、油壓、水壓、電力等驅動活塞桿32a伸縮即可。
實施例1~實施例4的修整裝置1~1C中，雖然示例了能夠藉由高壓噴嘴31f將洗淨水向研磨墊11a、12a噴射，但是能夠噴射洗淨水並非必要。
進一步而言，實施例1~實施例4的修整裝置1~1C中，雖然是以一個修整部件33被一個動力缸32推壓作為示例，但是不限於此。一個修整部件也可以被多個動力缸32推壓。
再者，實施例1以及實施例3的修整裝置1、1B中，作為示例，導引軸34b的第一端部341b是固定在缸板34a上，第二端部342b是穿插形成在支撐部件31上的導引孔316b、316c。但是不限於此。也可以是在缸板34a上形成有可穿插導引軸34b的導引孔，導引軸34b的第二端部342b固定在支撐部件31上，導引軸34b的第一端部341b穿插形成在缸板34a上的導引孔。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1:修整裝置
2:臂部件
2b:前端
3:修整頭
31:支撐部件
31a:中央立起部
31b:第一水平部
31c:第二水平部
31e:流出口
31f:高壓噴嘴(噴射噴嘴)
311a、311b:上表面
312a、312c:下表面
313a:第一側面
314a:第二側面
316b、316c:導引孔
318b:安裝部
32:動力缸
32a:活塞桿
33:修整部件
34:荷重降低單元
34a:缸板
34b:導引軸
341a:表面
341b:第一端部
342a、342b:第二端部
Claims (7)
- 一種用於雙面研磨機的修整裝置，在可以以旋轉軸為中心旋轉的下定盤和可以以該旋轉軸為中心旋轉的上定盤之間置入修整部件；該修整裝置抵壓該修整部件於貼附在該下定盤的研磨墊或貼附在該上定盤的研磨墊的至少一個上；以及藉由該研磨墊與該修整部件的相對運動來修整該研磨墊，其中，該修整裝置包括：臂部件，可進退地進入該下定盤和該上定盤之間；支撐部件，固定於該臂部件的前端；動力缸，設置於該支撐部件，該動力缸藉由活塞桿將該修整部件壓向該研磨墊；以及荷重降低單元，夾設於該修整部件與該動力缸之間，該荷重降低單元用以降低該活塞桿上的橫向荷重的作用。
- 如請求項1所述的用於雙面研磨機的修整裝置，其中，該荷重降低單元具有：缸板，該缸板相對於該研磨墊的表面安裝該修整部件，且該缸板固定於該活塞桿；以及導引軸，該導引軸包括第一端部及第二端部，其中：該第一端部固定於該缸板，該第二端部穿插形成於該支撐部件的導引孔；或者該第一端部穿插形成於該缸板的導引孔，該第二端部固定於該支撐部件。
- 如請求項2所述的用於雙面研磨機的修整裝置，其中，該修整部件透過彈性部件安裝於該缸板。
- 如請求項1所述的用於雙面研磨機的修整裝置，其中，該荷重降低單元具有薄板部件以懸臂狀態固定於該支撐部件，並且該薄板部件能沿厚度方向彈性變形，該薄板部件在相對於該研磨墊的表面安裝有該修整部件，且該修整部件安裝於該薄板部件的區域是配置於相對於該活塞桿的位置。
- 如請求項4所述的用於雙面研磨機的修整裝置，其中，該薄板部件沿該研磨墊的移動方向延伸，該薄板部件於該移動方向的上游側固定於該支撐部件，該修整部件安裝於該薄板部件於該移動方向的下游側。
- 如請求項1所述的用於雙面研磨機的修整裝置，其中，該荷重降低單元具有：支撐軸，自該支撐部件立起；滑動部件，該修整部件安裝於該滑動部件相對於該研磨墊的表面，且該支撐軸貫通該滑動部件；以及施力部件，朝向該支撐部件對該滑動部件施力，其中該修整部件配置於相對於該活塞桿的位置。
- 如請求項1至6中任一項所述的用於雙面研磨機的修整裝置，其中，於該支撐部件設置有朝向該研磨墊噴射洗淨水的噴射噴嘴，該噴射噴嘴相較於該修整部件，是配置於該研磨墊的移動方向的上游側。
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