JP5853333B2 - レーザードーピング方法及びレーザードーピング装置 - Google Patents
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先ず、ステップS1においては、可視光に対して透明なステージ1上に不純物6を介在させた状態でシリコン基板7を位置決めして保持する。
先ず、ステップS11においては、可視光に対して透明なステージ1上に不純物6を介在させた状態でシリコン基板7を位置決めして載置する。
2…レーザ光学系
3…集光手段
4…撮像手段
5…アライメント機構
6…不純物
7…シリコン基板
8,8a,8b…基準マーク
12…マイクロレンズアレイ(集光手段)
L…赤外レーザ光
Claims (7)
- シリコン基板の一面に不純物を接触させた状態で、前記シリコン基板の他面側からシリコン基板を透過する赤外レーザ光を照射する第1段階と、
前記赤外レーザ光を前記シリコン基板と前記不純物との界面領域に集光させて前記シリコン基板を加熱する第2段階と、
前記不純物を前記シリコン基板内にドーピングする第3段階と、
を行なうことを特徴とするレーザードーピング方法。 - 前記不純物を挟んで前記シリコン基板とは反対側に可視光を透過する透明基板を設けたことを特徴とする請求項1記載のレーザードーピング方法。
- 前記1段階は、シリコン基板に対する吸収率が最も高い波長帯の赤外レーザ光を照射した後、シリコン基板に対する透過率の最も高い波長帯の赤外レーザ光を照射することを特徴とする請求項1又は2記載のレーザードーピング方法。
- 前記3段階は、前記透明基板側から該透明基板を透過して前記不純物に可視光波長帯のレーザ光を照射することを特徴とする請求項2記載のレーザードーピング方法。
- 前記透明基板には、前記赤外レーザ光の照射目標位置となる基準マークが形成されており、
前記基準マークを前記透明基板側から検出し、その位置情報に基づいて前記シリコン基板に対する前記赤外レーザ光の照射位置を調整する、
ことを特徴とする請求項2記載のレーザードーピング方法。 - シリコン基板の一面に不純物を接触させた状態で、前記シリコン基板の他面側からシリコン基板を透過する赤外レーザ光を照射して、前記不純物を前記シリコン基板内にドーピングするレーザードーピング装置であって、
可視光を透過する透明基板からなり、上面に前記不純物を介在させた状態で前記シリコン基板を保持するステージと、
前記ステージに対向して設けられ、前記赤外レーザ光を前記シリコン基板と前記不純物との界面領域に集光させる集光手段と、
前記赤外レーザ光を前記集光手段に照射するレーザ光学系と、
を備えたことを特徴とするレーザードーピング装置。 - 前記ステージには、前記シリコン基板に予め設定されたドーピング位置に対応して前記赤外レーザ光の照射目標位置となる基準マークが形成されており、
さらに、
前記ステージの下方に設けられ、前記ステージを透過して前記基準マークを撮影する撮像手段と、
前記撮像手段により撮影して検出された前記基準マークの位置情報に基づいて前記集光手段と前記ステージとを相対的に平行移動し、前記集光手段と前記シリコン基板との位置合わせをするアライメント機構と、
を備えたことを特徴とする請求項6記載のレーザードーピング装置。
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JP2011177100A JP5853333B2 (ja) | 2011-08-12 | 2011-08-12 | レーザードーピング方法及びレーザードーピング装置 |
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