JP5851145B2 - サファイア単結晶インゴットのコアリング装置 - Google Patents
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Description
一方CZ法で成長させたサファイア単結晶インゴットは、図2に示すように結晶成長方向が一点鎖線で示すc軸となり、該c軸と直交する断面は略六角形をなしている。
図4は、コアリング装置全体の模式図を示すものであり、図5はコアリング装置のコアドリルユニットを示すもので、該コアドリルユニットは、先端にダイヤモンド砥粒のチップよりなる刃先部11を備えたコアビット12を有し、該コアビット12は駆動モータ13より歯車伝導装置14を介して回転駆動される中空状の主軸15の下端に取外し可能に取付けられ、垂直軸線の回りを回転駆動されるようになっている。
始めに先ず、インゴット35を結晶成長方向aと平行な基準面と、該基準面と平行な加工面を機械切削加工により形成し(図6)、基準面を下向きにしてテーブル35上にプレート47、例えばカーボンプレートを介して設置する(図7)プレート47を置く代わりに図8に示すようにテーブル35に刃先部11がオーバーカットする逃げのための環状溝46を形成しておいてもよい。
前記感知シート51からの出力によって制御装置44はまた、送りモータ16を一旦一定量逆回転させ、コアビット刃先部11を設定時間の間、若干持ち上げる。
12・・コアビット
13・・駆動モータ
15・・主軸
16・・送りモータ
21・・押え棒
22・・油圧シリンダー
24・・押え具
25・・開口
34・・レーザマーカ
35・・インゴット
38・・テーブル
44・・制御装置
47・・カーボンプレート
51・・感圧シート
53・・固定具
Claims (2)
- 先端にダイヤモンド砥粒のチップよりなる刃先部を備えた円筒状のコアビットと、該コアビットを回転駆動する回転駆動装置と、送りモータを備え、前記コアビットを上下方向に送る送り装置とを有するコアドリルと、平坦な基準面をテーブル上に載置したサファイア単結晶インゴットの前記基準面と平行をなす平坦な加工面をコアビットによるコアリング作業の邪魔にならない箇所で押えて固定する押え装置と、コアビット刃先部がインゴットへの切込み開始基準位置に達したか否かを検知する検知手段と、切込み時における前記刃先部の送り量を計測する計測手段と、前記検知手段による切込み開始基準位置の検知後、前記計測手段によって計測された送り量より前記刃先部の上下位置を求め、求めた刃先部の上下位置が前記加工面近くに設定された上位位置に達するまで、前記送りモータの回転数を低速に制御し、前記上位位置に達すると、前記送りモータの回転数を高速の設定数に増加させて該設定数に維持し、送り量より求めた前記刃先部の上下位置がテーブル近くに設定した下位位置に達すると、低速送りとなるように前記送りモータの回転数を制御する制御装置とを有するコアリング装置において、前記押え装置は、コアビットの軸心に通され、下端に押え具を備えた中空な押え棒と、該押え棒を押下げる押下げ装置を有し、前記押え棒はコアビット内に開口を備え、外部より押え棒内に供給されたドレッシングパウダーが前記開口を通してコアビット内に放出されることを特徴とするコアリング装置。
- インゴットが載置されるテーブルをxy制御し、インゴットにマーク付けされたマークをコアビットの軸心に一致させる位置決め手段を設けたことを特徴とする請求項1記載のコアリング装置。
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