JP5848941B2 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明はＸ線検査装置に関する。

従来、Ｘ線検査装置において、特許文献１（特開２００４−３３３２６６号公報）のようにＸ線源の配置される電装室内にスリットを配置し、Ｘ線の照射範囲を調整する構成が知られている。

しかしながら、この場合には、検査室内でのＸ線の散乱を抑制するため、散乱規制部材を検査空間内に別途配置する必要がある。つまり、Ｘ線の照射範囲を調整する目的で、類似の機能を有するスリットと散乱規制部材とを両方とも配置する必要がある。

本願発明の課題は、簡素化された構成によりＸ線の照射範囲の調整を可能とし、部品点数や組立工数を減らすことで安価なＸ線検査装置を提供することにある。

本発明に係るＸ線検査装置は、物品を搬送させながらＸ線を用いて物品の検査を行うＸ線検査装置であって、筐体と、Ｘ線源と、搬送部と、スリット形成部材と、Ｘ線ラインセンサと、を備える。筐体には、Ｘ線により物品の検査が行われる検査空間の上に配される第１空間および検査空間の下方に配される第２空間が内部に形成される。筐体は、開口部を有し第１空間と検査空間とを仕切る仕切り板部材、を有する。Ｘ線源は、第１空間に配置され、物品にＸ線を照射する。搬送部は、検査空間に配置され、物品を所定の方向へ搬送する。スリット形成部材は、仕切り板部材の開口部の検査空間側に配置され、物品の搬送方向に交差する方向に延びるスリットを形成する。Ｘ線ラインセンサは、第２空間に配置され、スリットを通って物品を透過したＸ線を検出する。

これにより、スリット形成部材だけで、Ｘ線の照射範囲の調整と、検査空間外へのＸ線の散乱の防止とを実現できる。別途Ｘ線の散乱規制部材を設ける必要がなくなり、Ｘ線検査装置を構成する部品点数が削減される。さらに、Ｘ線検査装置の組立工数も削減される。

また、本発明に係るＸ線検査装置では、スリット形成部材は、それぞれ切り欠きが形成されている第１スリット形成部材と第２スリット形成部材とを有することが望ましい。スリットは、第１スリット形成部材の切り欠きと、第２スリット形成部材の切り欠きとを、対向するように配置して形成されることが望ましい。

これにより、厚みのあるスリット形成部材が用いられる場合や、幅の狭いスリットを形成する必要がある場合にも、スリット形成が容易に行われる。この結果、容易に検査空間内にスリットを配することが可能となる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線源から照射されるＸ線の通過経路となる管部と、仕切り板の開口部を閉塞する、Ｘ線が透過可能なカバー部材と、をさらに備えることが望ましい。管部と、カバー部材と、仕切り板と、スリット形成部材とが、この順番で上方から下方に互いに隣接して配置されることが望ましい。

これにより、Ｘ線検査装置の構成部材が削減される。その結果、簡易な構成で、Ｘ線の照射範囲を調整することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線源と仕切り板部材との距離が２００ｍｍ以下であることが望ましい。

これにより、Ｘ線の照射範囲の調整のために、スリットの位置調節を行うことが不要となる。そのため、定位置にスリット形成部材を配置することが可能となる。よって第１空間内にスリットを配し、組立時にその位置を調整する必要がなくなる。その結果、Ｘ線検査装置の構成が簡易化され、組立工数も削減される。

本発明に係るＸ線検査装置では、Ｘ線の照射範囲を調整するスリットを形成するスリット形成部材が、物品の検査が行われる検査空間内に配置される。その結果、スリット形成部材だけで、Ｘ線の照射範囲の調整と、検査空間外へのＸ線の散乱の防止とを実現できる。別途Ｘ線の散乱規制部材を設ける必要がなくなり、Ｘ線検査装置を構成する部品点数が削減される。さらに、Ｘ線検査装置の組立工数も削減される。

Ｘ線検査装置周辺の平面図。 本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の外観の斜視図。 本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置内の機器の配置を表す右側面図。筐体の右側面部材は省略して図示されている。 本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置内の配置を表す正面図。検査空間およびメンテナンス用空間の前方に配置される、前面部材の扉部は省略して図示されている。 Ｘ線源ユニットの背面に隣接配置される基板部材フレームの回動状態を表す図。筐体の右側面部材および後面部材は省略して図示されている。 図４のVI内のＸ線源およびスリット周辺の拡大図。 図６のVII−VII断面におけるスリット形成部材の断面視。 商品のＸ線による検査状態を表した模式図。 制御コンピュータのブロック構成図。 冷却ユニット内および筐体内の空気の流れ。筐体の右側面部材は省略して図示されている。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１０について説明する。

（１）Ｘ線検査装置の概略説明
Ｘ線検査装置１０は、食品等の商品Ｇの生産ラインに組み込まれ、商品ＧにＸ線を照射し、商品Ｇを透過したＸ線の透過量を計測し、その計測結果を解析することで、商品Ｇの異物検査を行う装置である。

Ｘ線検査装置１０の検査対象となる商品Ｇは、図１に示すように、前段コンベア８０によってＸ線検査装置１０まで運ばれる。Ｘ線検査装置１０における商品Ｇの検査結果は、後述する制御コンピュータ５０から、Ｘ線検査装置１０の下流側に配置されている振分機構９０へと送られる。振分機構９０は、Ｘ線検査装置１０において良品と判断された物品を正規のラインコンベア９１へと送り、Ｘ線検査装置１０において不良品と判断された商品Ｇを不良品貯留コンベア９２へと送る。

Ｘ線検査装置１０は、図２から図４に示されるように、主として、筐体１１と、Ｘ線源ユニット２０と、コンベア３０と、Ｘ線ラインセンサ４０と、制御コンピュータ５０と、モニタ６０と、冷却ユニット７０とを有する。

（２）Ｘ線検査装置の詳細説明
（２−１）筐体
筐体１１は、伸縮自在の脚部により支持される略直方体形状のケーシングである。筐体１１のサイズは、後述する前面部材１１ａ側から見た時に、幅４５０ｍｍ、奥行き４５０ｍｍ、高さ１０８０ｍｍ（脚部を含めない）である。

筐体１１は、筐体１１の正面に配される側面部材である前面部材１１ａと、前面部材１１ａに向かって右側および左側に配置される右側面部材１１ｂおよび左側面部材１１ｃと、筐体１１の背面に配される側面部材である後面部材１１ｄと、筐体１１の上方および下方に配される天面部材１１ｅおよび底面部材１１ｆとを有する。

筐体１１の外側には、図２のように、前面部材１１ａに装置の起動用のキーの差し込み口６１と、電源スイッチ６２とが設けられる。また、後面部材１１ｄには、図３のように、筐体内部と筐体外部との間で熱交換をするための冷却ユニット７０が設けられる。さらに、天面部材１１ｅ上には、モニタ６０が設けられる。

筐体１１の内部には、図３および図４のように、Ｘ線源ユニット２０、コンベア３０、Ｘ線ラインセンサ４０、制御コンピュータ５０等の電装品や構成機器が収容される。

なお、筐体１１の内部には、Ｘ線源ユニット２０を含む第１群の電装品が配置される第１空間Ｓ１と、制御コンピュータ５０を含む第２群の電装品が配置される下部空間Ｓｄとが形成される。また、第１空間Ｓ１と下部空間Ｓｄとの間に、物品を搬送させながらＸ線により検査を行う検査空間Ｓｉと、検査空間Ｓｉの下方に位置するメンテナンス空間Ｓｍとが配される。さらに、図４に示されるように、検査空間Ｓｉより下方に位置し、筐体１１の底面部材１１ｆより上方に位置する空間を、まとめて第２空間Ｓ２と定義する。各空間について以下に説明する。

（２−１−１）第１空間
第１空間Ｓ１は、図３および図４のように、筐体１１内上部に形成される空間である。第１空間Ｓ１には、主に、Ｘ線源ユニット２０、基板部材２５などの第１群の電装品が配置される。

第１空間Ｓ１は、主に、天面部材１１ｅ、正面側の側面部材である前面部材１１ａ、右側面部材１１ｂ、左側面部材１１ｃ、背面側の側面部材である後面部材１１ｄ、および筐体１１の有する仕切り板部材である第１仕切り部材１３により囲まれて形成されている。

前面部材１１ａの上端は、冷却ユニット７０の配置される後面部材１１ｄに向かって、約４５度傾いて天面部材１１ｅまで延びる第１傾斜部１１ｇを有する。第１傾斜部１１ｇは、後述するＸ線源ユニット２０が有する排熱ファン２２の直上に、第１傾斜部１１ｇの一部が位置するように配置される。なお、Ｘ線源ユニット２０は天面部材１１ｅおよび第１傾斜部１１ｇの近傍に配置され、排熱ファン２２はＸ線源ユニット２０の上方に配置される。

後面部材１１ｄの上端近傍の、第１空間Ｓ１側には、第１空間Ｓ１内の空気を循環させる第１ファン２６が設けられる。第１ファン２６は、後述する冷却ユニット７０と共に使用され、第１空間Ｓ１を冷却する。第１空間Ｓ１内の空気の流れについては後述する。

なお、後面部材１１ｄは、第１空間Ｓ１から後述する下部空間Ｓｄに渡って延びる部材であり、図３に示すヒンジ部１１ｈを中心として水平方向に回動して開閉可能な扉としての機能を有する。後面部材１１ｄを開くことで、作業者が後面部材１１ｄに隣接して配置される基板部材２５を含む電装品にアクセスしたり、Ｘ線源ユニット２０を筐体１１の内外に搬入出したりすることが可能となる。

なお、基板部材２５は、基板部材２５を保持するフレーム２５ａと、フレーム２５ａを回動する際にフレーム２５ａを支持するヒンジ部２５ｂとを有する。さらにフレーム２５ａは、Ｘ線源ユニット２０の背面と対向して配置される平坦な第１面２５ｃと、第１面２５ｃの裏側に位置し、電装部品の配置される第２面２５ｄとを有する。基板部材２５は、図３のように、後面部材１１ｄに隣接して配置されると共に、Ｘ線源ユニット２０の後面部材１１ｄ側の背面とも隣接する。フレーム２５ａは、装置運転時には立設状態にあるが、メンテナンス時にはヒンジ部２５ｂを中心として、Ｘ線源ユニット２０の背面から遠ざかる方向に、すなわち筐体１１の外側に向けて倒れるように回動する。フレーム２５ａを回動させることで、後面部材１１ｄの方向からＸ線源ユニット２０にアクセス可能となる。

図５を用いてさらに説明すると、フレーム２５ａは、第１面２５ｃが上向きかつ水平な状態になるように、ヒンジ部２５ｂを中心として図中のＲ方向に回動可能である。第１面２５ｃが水平になった状態では、基板部材２５の一部は、筐体１１の外部にはみ出して配置される。第１面２５ｃは平坦な面であり、Ｘ線源ユニット２０の搬入出時には、図５に点線で示すように、Ｘ線源ユニット２０の仮置きに利用される。なお、図５では、開いた状態にある後面部材１１ｄは省略して図示している。

（２−１−２）検査空間
検査空間Ｓｉは、第１空間Ｓ１の下方に配される空間である。検査空間Ｓｉでは、後述するコンベア３０により搬送される商品Ｇに対して、後述するＸ線源ユニット２０内のＸ線源２１から発生するＸ線が照射され、検査が行われる。

検査空間Ｓｉと、第１空間Ｓ１とは、仕切り板部材である第１仕切り部材１３により仕切られている。第１仕切り部材１３は、図６のように、開口部１３ａを有し、開口部１３ａの上方はＸ線が透過可能なカーボンプレート２３により閉塞されている。開口部１３ａの検査空間Ｓｉ側には、スリット形成部材２４が設けられ、Ｘ線通過スリットＡが形成されている。スリット形成部材２４周りの構成については、Ｘ線源ユニット２０の説明と併せて後述する。

また、検査空間Ｓｉは、図４のように、検査空間Ｓｉの下方に位置する後述するメンテナンス空間Ｓｍと、第２仕切り部材１４によって仕切られている。第２仕切り部材１４は、後述するコンベア３０およびＸ線ラインセンサ４０を支持するフレームとしての機能を兼ね備える。なお、第２仕切り部材１４はＸ線の遮蔽能を有し、装置運転中であっても後述するメンテナンス空間ＳｍにはＸ線は漏洩しない。

検査空間Ｓｉ部分の右側面部材１１ｂおよび左側面部材１１ｃには、図２から図４に示すように、検査対象である商品Ｇを、検査空間Ｓｉの内外に搬入出するための検査空間開口１５が形成されている。検査空間開口１５は、筐体１１外部へのＸ線の漏洩を防止するため、複数の切り込みを有する遮蔽ノレン１６により塞がれている。遮蔽ノレン１６は、鉛を含むゴムを用いて成形されており、商品Ｇが検査空間開口１５を通過する際には商品Ｇによって押しのけられる。検査空間Ｓｉの前方は、筐体１１から遠ざかる方向に、すなわち前方に向かって開閉可能な前面部材１１ａの扉部１１ｉにより筐体１１の外部と仕切られている。検査空間Ｓｉの後方は、筐体１１の内部を仕切る内壁１７により仕切られている。

（２−１−３）メンテナンス空間
メンテナンス空間Ｓｍは、検査空間Ｓｉの下方に位置する空間である。メンテナンス空間Ｓｍは、商品Ｇに由来してコンベア３０に付着した汚れやごみ等が床面に落ちるのを防止する。また、図示しない外付けコンベアの設置等にも利用される。

メンテナンス空間Ｓｍは、図４のように、検査空間Ｓｉと、第２仕切り部材１４によって仕切られている。また、メンテナンス空間Ｓｍは、メンテナンス空間Ｓｍの下方に位置する後述する下部空間Ｓｄと、第３仕切り部材１８によって仕切られている。メンテナンス空間Ｓｍに面する、第３仕切り部材１８の上面は、平坦かつ水平である。

メンテナンス空間Ｓｍ部分の右側面部材１１ｂおよび左側面部材１１ｃには、メンテナンス空間開口１９が形成されており、筐体１１の外部と連通している。検査空間Ｓｉの前方は、筐体１１から遠ざかる方向に、すなわち前方に向かって開閉可能な前面部材１１ａの扉部１１ｉにより筐体１１の外部と仕切られている。検査空間Ｓｉの後方は、筐体１１の内部を仕切る内壁１７により仕切られている。

（２−１−４）下部空間
下部空間Ｓｄは、筐体１１内の下方に形成される空間である。下部空間Ｓｄには、主に、ＣＰＵ５１を含む制御コンピュータ５０などの第２群の電装品が配置される。制御コンピュータ５０の上側には、上方に向けて排気するコンピュータ排熱ファン５７が配置されている。

下部空間Ｓｄは、主に、第３仕切り部材１８、前面部材１１ａ、右側面部材１１ｂ、左側面部材１１ｃ、後面部材１１ｄ、および底面部材１１ｆにより囲まれて形成されている。

前面部材１１ａの下端は、後面部材１１ｄに向かって約４５度傾いて、底面部材１１ｆまで延びる第２傾斜部１１ｊを有する。なお、第２傾斜部１１ｊの傾斜角度は例示であり、これに限定されるものではない。制御コンピュータ５０は、第２傾斜部１１ｊおよび底面部材１１ｆの近傍に配置される。第２傾斜部１１ｊは、第２群の電装品である制御コンピュータ５０の直下に、第２傾斜部１１ｊの一部が位置するように配置される。また、第２傾斜部は、後述する第２ファン５５の吹き出し方向前方に配置される。

制御コンピュータ５０の下方には、後面部材１１ｄ側に、図３のように、第２ファン５５が設けられている。第２ファン５５は、下部空間Ｓｄ内の空気を循環させ、冷却ユニット７０と共に使用されることで、下部空間Ｓｄを冷却する。下部空間Ｓｄの冷却については後述する。

（２−１−５）第２空間
第２空間Ｓ２は、図４に二点破線線で示すように、第２仕切り部材１４の上面と、筐体１１の底面部材１１ｆの上面との間に位置する、筐体１１の全ての内部空間を指す。筐体１１の内部空間には、第２仕切り部材１４の内部に形成される空間を含む。

（２−２）Ｘ線源ユニット
Ｘ線源ユニット２０は、第１空間Ｓ１に配置され、下方に向かってＸ線を照射する。Ｘ線源ユニット２０のサイズは、おおむね幅３１０ｍｍ、奥行き２００ｍｍ、高さ２００ｍｍの略直方体形状である。

Ｘ線源ユニット２０内に設けられたＸ線源２１で発生したＸ線は、図６に示すように、上方から見た時に中空矩形断面を有する管部２７の上下方向に延びる中空部、第１仕切り部材１３の開口部１３ａを塞ぐカバー部材であるＸ線を透過するカーボンプレート２３、第１仕切り部材１３の開口部１３ａ、スリット形成部材２４により形成されるスリットＡをこの順に通過して検査空間Ｓｉ内に照射される。なお、管部２７と、カーボンプレート２３と、仕切り板部材である第１仕切り部材１３と、スリット形成部材２４とは、この順に隣接して配置される。

Ｘ線源２１から、第１仕切り部材１３の第１空間Ｓ１側の上面までの高さＨは、本実施形態では約１００ｍｍである。なお、本実施形態の高さＨは例示であるが、２００ｍｍ以下であることが望ましい。

スリット形成部材２４は、一対の直方体状の部材である、第１スリット形成部材２４ａおよび第２スリット形成部材２４ｂとからなり、図７の断面視のように、断面が略Ｌ字形状になるように部材が切りかかれている。図７のように、第１および第２スリット形成部材２４ａ，２４ｂを互いの切り欠きが対向するように配置することで、スリットＡが形成される。なお、Ｘ線通過スリットＡは、後述するＸ線ラインセンサ４０の直上に、Ｘ線ラインセンサ４０の配置方向と平行に配置される。

なお、Ｘ線源２１で発生したＸ線は、図８の模式図に示されるように、後述するＸ線ラインセンサ４０に向けて、スリットＡの長手方向に扇状に広がりながら、照射空間ＳＳに照射される。扇状の照射空間ＳＳの中心角を二等分する直線は、鉛直方向を向いている。照射空間ＳＳのうち、その範囲の外縁付近では、Ｘ線の照射方向は鉛直方向に対して比較的大きく傾いている。したがって、照射空間ＳＳの外縁付近を通過する商品Ｇに対しては、Ｘ線が鉛直方向に対して斜めに入射する。

（２−３）コンベア
コンベア３０は、商品Ｇを搬送する搬送部であり、図４に示すように、検査空間Ｓｉの右側面部材１１ｂおよび左側面部材１１ｃに形成された検査空間開口１５を貫通するように配置されている。コンベア３０は、コンベアモータ３１によって駆動される駆動ローラによって無端状の搬送ベルト３２を回転させながら、搬送ベルト３２上に載置された商品Ｇを搬送する。コンベア３０による物品の搬送速度は、作業者の設定した速度になるように、制御コンピュータ５０により制御される。具体的には、コンベアモータ３１に設けられたロータリーエンコーダ３１ａにより計測された搬送速度が制御コンピュータ５０に送信され、制御コンピュータ５０の指示により、コンベアモータ３１のインバータ制御によって搬送速度が細かく制御される。なお、商品Ｇの搬送方向は、作業者の指示に基づいた制御コンピュータ５０の制御により、右側面部材１１ｂから左側面部材１１ｃの方向へ、もしくは、その反対方向へ自在に切り替え可能である。

なお、コンベア３０の搬送ベルト３２は、第２仕切り部材１４によって内側から支持されている。搬送ベルト３２は、第２仕切り部材１４に取り外し可能に取り付けられる。

（２−４）Ｘ線ラインセンサ
Ｘ線検出部であるＸ線ラインセンサ４０は、図４に示すように、コンベア３０の搬送ベルト３２の下方にある第２仕切り部材１４内の空間に設けられている。つまり、第２仕切り部材１４は、Ｘ線ラインセンサ４０を支持するラインセンサフレームとして利用されている。

Ｘ線ラインセンサ４０は、主として多数の画素センサ４１から構成されている。これらの画素センサ４１は、コンベア３０の搬送方向に直交する向きに一直線に水平に配置されている。

Ｘ線ラインセンサ４０は、商品Ｇを透過したＸ線量を各画素センサ４１により計測し、計測結果を制御コンピュータ５０に対して送信する。後述のように、制御コンピュータ５０では、上記Ｘ線透過量に基づいて作成されるＸ線画像を用いて、商品Ｇに対する異物混入の有無を判断する。

（２−５）制御コンピュータ
制御コンピュータ５０は、図９に示すように、ＣＰＵ５１とともに、このＣＰＵ５１によって制御される記憶部としてＲＯＭ５２、ＲＡＭ５３、およびメモリカード５４を有している。

ＣＰＵ５１は、ＲＯＭ５２およびメモリカード５４に格納されている各種プログラムを実行する。メモリカード５４には、検査パラメータおよび検査結果が保存蓄積される。検査パラメータは、モニタ６０のタッチパネル機能を使った作業者からの入力によって設定及び変更が可能である。

制御コンピュータ５０は、モニタ６０に対するデータ表示を制御する表示制御回路、モニタ６０のタッチパネルからのキー入力データを取り込むキー入力回路、図示しないプリンタにおけるデータ印字の制御等を行うためのＩ／Ｏポート、およびＵＳＢ等の外部接続端子５６を備えている。

また、制御コンピュータ５０は、コンベアモータ３１、ロータリーエンコーダ３１ａ、Ｘ線源ユニット２０、Ｘ線ラインセンサ４０、光電センサ４２、振分機構９０と接続されている。

ロータリーエンコーダ３１ａは、コンベアモータ３１に装着されており、コンベア３０の搬送速度を測定して制御コンピュータ５０に対して送信する。光電センサ４２は、検査対象である商品ＧがＸ線ラインセンサ４０の位置にくるタイミングを検出するための同期センサであり、コンベア３０を挟んで配置される一対の投光器および受光器から構成されている。Ｘ線源ユニット２０は、制御コンピュータ５０により、Ｘ線照射タイミングやＸ線照射量、Ｘ線照射の禁止等を制御される。振分機構９０へは、Ｘ線検査装置１０における商品Ｇの異物検査の結果が送られる。

以下に、制御コンピュータ５０により実行されるＸ線画像作成と異物検査について説明する。

〔Ｘ線画像作成〕
商品Ｇが、図８のように扇状の照射空間ＳＳを通過する際に、Ｘ線ラインセンサ４０によりＸ線透視像信号が細かい時間間隔で取得され、制御コンピュータ５０に送信される。制御コンピュータ５０のＣＰＵ５１は、それらのＸ線透視像信号を基にして商品Ｇの２次元画像を作成する。なお、商品Ｇが扇状の照射空間ＳＳを通過するタイミングは、光電センサ４２からの信号により判断される。

〔異物混入検査〕
制御コンピュータ５０のＣＰＵ５１は、上記のようにして得られたＸ線画像を画像処理して、複数の判断方式によって商品の良・不良（異物が混入していないかどうか）を判断する。判断方式には、例えば、トレース検出方式、２値化検出方式、マスク２値化検出方式がある。例えば、２値化検出方式では、Ｘ線画像に対して２値化処理を施すことにより実行される。透過するＸ線を大きく減衰させる異物は、Ｘ線画像上に暗く写るため、Ｘ線画像上に予め設定した閾値よりも暗く現れる領域が存在する場合に、異物の混入を検出できる。

使用される複数の判断方式のうち、１つの判断方式でも商品が不良であると判断されれば、その商品Ｇは不良品と判断され、後段の振分機構９０により、不良品として不良品貯留コンベア９２に送られる。

（２−６）モニタ
モニタ６０は、液晶ディスプレイであり、Ｘ線画像等の各種データの表示を行う。また、モニタ６０は、タッチパネル機能を有しており、コンベアの駆動方向の切り替え等の指示や、検査パラメータ等の各種データの入力を受け付ける。

（２−７）冷却ユニット
熱交換部としての冷却ユニット７０は、図３のように、筐体１１の後面部材１１ｄに設けられており、第３ファン７２により給気口７１から筐体１１外部の空気を取り入れ、排気口７３から空気を排出する。冷却ユニット７０の内部には、図１０のように間接冷却式の熱交換器７４が配置されており、外部から筐体１１内に空気を取り入れることなく、筐体１１内部の冷却が行われる。熱交換器７４は、筐体１１の外部の空気が通過する空間と筐体１１の内部の空気が通過する空間とを隔てる隔壁を有し、隔壁の両表面には伝熱面積を増大させるための複数のフィンが設けられている。

より具体的には、図１０のように、給気口７１からＤ１の方向に外気が取り入れられ、取り入れられた空気はＤ２方向に冷却ユニット７０の外気側内部を上昇する。この際に、筐体１１外部側と筐体１１内部側との間で、熱交換器７４を介して熱交換が行われる。筐体１１内部の空気により熱せられた筐体１１外部側の空気は、排気口７３からＤ３の方向に排出される。

（３）筐体内の空気の流れ
以下に、筐体１１内部の空気の流れおよび冷却について図１０を用いて説明する。

第１空間Ｓ１では、主要な熱源であるＸ線源ユニット２０の排熱ファン２２から、上方に熱せられた空気が排出される。排熱ファン２２から排出された空気は、第１傾斜部１１ｇに沿って矢印Ｅ１のように冷却ユニット７０の方向に移動し、第１ファン２６に吸引される。第１ファン２６に吸引された空気は、冷却ユニット７０の筐体１１側内部を矢印Ｅ２方向に移動し、後面部材１１ｄの中央付近に設けられた空気吹出口２６ａから矢印Ｅ３方向に吹き出す。冷却ユニット７０の内部では、熱交換器７４を介して、第１ファン２６に吸引された第１空間Ｓ１内の空気と、第３ファン７２に吸引された外気との間で熱交換が行われる。その結果、空気吹出口２６ａから吹き出す空気は、第１ファン２６に吸引される空気よりも冷却される。空気吹出口２６ａから矢印Ｅ３方向に吹き出した空気の一部は、その後矢印Ｅ４、Ｅ５の経路を通って排熱ファン２２付近まで移動し、第１空間Ｓ１内を循環する。

下部空間Ｓｄでは、空気吹出口２６ａから矢印Ｅ３方向に吹き出された、冷却ユニット７０により冷却された空気の一部が、第２ファン５５により吸引され、矢印Ｅ６、Ｅ７の順に移動する。第２ファン５５から吹き出した空気は、第２ファン５５の吹き出し方向前方に配置された第２傾斜部１１ｊに沿って矢印Ｅ８のように移動し、コンピュータ排熱ファン５７から矢印Ｅ９方向に吹き出す排気と共に、矢印Ｅ１０の方向に移動する。矢印Ｅ１０方向に移動する空気の一部が第１空間Ｓ1の矢印Ｅ４方向の流れに合流し、残りは矢印Ｅ６の方向に移動する。下部空間Ｓｄでは、矢印Ｅ３、Ｅ６、Ｅ７、Ｅ８、Ｅ１０の経路に沿って空気が循環され、制御コンピュータ５０のＣＰＵ５１を含む第２群の電装品の冷却が行われる。

（４）特徴
（４−１）
本実施形態に係るＸ線検査装置１０では、第１仕切り部材１３の開口部１３ａの検査空間Ｓｉ側に、商品Ｇの搬送方向に直交する方向に延びるスリットＡを形成するスリット形成部材２４が配される。これにより、スリット形成部材２４だけで、Ｘ線の照射範囲の調整と、検査空間Ｓｉ外へのＸ線の散乱の防止とが実現される。別途Ｘ線の散乱規制部材を設ける必要がなくなり、Ｘ線検査装置１０を構成する部品点数が削減される。さらに、Ｘ線検査装置１０の組立工数も削減される。

（４−２）
本実施形態に係るＸ線検査装置１０では、切り欠きを有する一対のスリット形成部材２４を、互いの切り欠きが対向するように配置することで、スリットＡが形成される。そのため、Ｘ線の遮蔽能力の観点から厚みのあるスリット形成部材２４が用いられる場合や、幅の狭いスリットＡを形成する必要がある場合にも、容易にスリット形成が可能である。この結果、容易に検査空間Ｓｉ内にスリットＡを配することが可能となる。

（４−３）
本実施形態に係るＸ線検査装置１０では、Ｘ線源２１から照射されるＸ線の通過経路となる管部２７と、第１仕切り部材１３の開口部１３ａを閉塞するＸ線が透過可能なカーボンプレート２３と、第１仕切り部材１３と、スリット形成部材２４とが、この順番で上方から下方に互いに隣接して配置される。このような配置をとることで、構成部材を削減し、簡易な構成によりＸ線の照射範囲の調整が可能となる。

（４−４）
本実施形態に係るＸ線検査装置１０では、Ｘ線源２１と第１仕切り部材１３との距離が２００ｍｍ以下である。Ｘ線源２１と第１仕切り部材１３とを２００ｍｍ以下に近づけて配置することで、Ｘ線の照射範囲の調整のために、スリットＡの位置調節を行うことが不要となる。そのため、定位置にスリット形成部材２４を配置することが可能となる。よって第１空間Ｓ１内にスリットＡを配し、組立時にその位置を調整する必要がなくなる。その結果、Ｘ線検査装置１０の構成が簡易化され、組立工数も削減される。

（５）変形例
（５−１）変形例Ａ
上記実施形態において、スリット形成部材２４は断面視がＬ字状になるように切り欠かれているが、このような形状の切り欠きである必要はない。例えば、断面視がコの字状になるよう切り欠かれていてもよい。

また、スリット形成部材は一対の部材である必要はなく、板状の部材に直接加工を行うことでスリットが形成されてもよい。

（５−２）変形例Ｂ
上記実施形態において、Ｘ線を用いた検査の内容は、異物検査に限られない。例えば、Ｘ線を用いて、商品Ｇの欠品検査や重量検査等の品質検査が行われてもよい。また、一種類の検査ではなく、複数の種類の検査を併せて実行されてもよい。

（５−３）変形例Ｃ
上記実施形態において、商品Ｇは筐体１１内に配されるコンベアモータ３１により駆動されるコンベア３０により搬送されるが、他のコンベアが例えばメンテナンス空間Ｓｍ内に設けられてもよい。

（５−４）変形例Ｄ
上記実施形態において、メンテナンス空間Ｓｍは必ずしも必要ではなく、検査空間Ｓｉの上方および下方に、Ｘ線源の収納される第１空間Ｓ１およびＸ線ラインセンサの収納される第２空間Ｓ２が形成されればよい。ただし、メンテナンス空間Ｓｍを配することで、下部空間Ｓｄの冷却がラインセンサフレームを兼ねる第２仕切り部材１４に制御コンピュータ５０等の排熱が伝わりにくく、Ｘ線ラインセンサ４０に悪影響を与えにくい。

（５−５）変形例Ｅ
上記実施形態において、第１仕切り部材１３の開口部１３ａはカーボンプレート２３
により塞がれる必要はなく、Ｘ線が透過可能なその他の材質の部材により閉塞されていてもよい。

本発明は、簡素化された構成を用いてＸ線の照射範囲を調整し、組立工数や部品点数を減らすことで低価格が実現されたＸ線検査装置として有用である。

１０ Ｘ線検査装置
１１ 筐体
１３ 第１仕切り部材（仕切り板部材）
１３ａ 開口部
２１ Ｘ線源
２３ カーボンプレート（カバー部材）
２４ スリット形成部材
２４ａ 第１スリット形成部材
２４ｂ 第２スリット形成部材
２７ 管部
３０ コンベア（搬送部）
４０ Ｘ線ラインセンサ
Ａ スリット
Ｇ 商品（物品）
Ｓ１ 第１空間
Ｓ２ 第２空間
Ｓｉ 検査空間

特開２００４−３３３２６６号公報

Claims (3)

1. 物品を搬送させながらＸ線を用いて前記物品の検査を行うＸ線検査装置であって、
   前記Ｘ線により前記物品の検査が行われる検査空間の上に配される第１空間および前記検査空間の下方に配される第２空間が内部に形成され、開口部を有し前記第１空間と前記検査空間を仕切る仕切り板部材、を有する筐体と、
   前記第１空間に配置され、前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、
   前記検査空間に配置され、前記物品を所定の方向へ搬送する搬送部と、
   前記仕切り板部材の前記開口部の前記検査空間側に配置され、前記物品の搬送方向に交差する方向に延びるスリットを形成するスリット形成部材と、
   前記第２空間に配置され、前記スリットを通って前記物品を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサと、
   を備え、
   前記スリット形成部材は、矩形状の部材の一方の長辺を切り欠いた第１スリット形成部材と第２スリット形成部材とを有し、Ｘ線の照射範囲を調整可能に構成され、
   前記スリットは、前記第１スリット形成部材の切り欠きと、前記第２スリット形成部材の切り欠きと、を対向するように配置して形成される、
   Ｘ線検査装置。
2. 前記Ｘ線源から照射されるＸ線の通過経路となる管部と、
   前記仕切り板の前記開口部を閉塞する、Ｘ線が透過可能なカバー部材と、
   をさらに備え、
   前記管部と、前記カバー部材と、前記仕切り板部材と、前記スリット形成部材とが、この順番で上方から下方に互いに隣接して配置される、
   請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記Ｘ線源と前記仕切り板部材との距離が２００ｍｍ以下である、
   請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。

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