JP6509536B2

JP6509536B2 - Ｘ線検査装置

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Publication number: JP6509536B2
Application number: JP2014245129A
Authority: JP
Inventors: 壽晃菊池; 直也斎藤; 林　久志; 久志林; 貴志金井
Original assignee: Anritsu Infivis Co Ltd
Current assignee: Anritsu Infivis Co Ltd
Priority date: 2014-12-03
Filing date: 2014-12-03
Publication date: 2019-05-08
Anticipated expiration: 2034-12-03
Also published as: JP2016109488A

Description

本発明は、被検査物にＸ線を照射し、これを透過したＸ線を検出することにより被検査物の検査を行なうＸ線検査装置に係り、特に、筐体内部の熱源を熱交換器によって冷却することができるとともに、筐体の外面の清掃性にも優れたＸ線検査装置に関するものである。

下記特許文献１には、特許出願に係る発明の先行技術として、工業用エアコンを備えたＸ線異物検出装置が背景技術の項に記載されている。同文献の図１４に示すように、このＸ線異物検出装置１００の筐体１０１の背面側の外面には、エアコン１０２が突出して取り付けられている。このエアコン１０２の外形をなすケーシング１０４は、その内部が仕切壁１０３によって仕切られており、一方がＸ線異物検出装置１００の筐体１０１に通じ、他方が外気に通じている。そして、このケーシング１０４内において、仕切壁１０３にラジエター１０５が設けられた構成となっている。そして、このラジエター１０５で内側の熱を外気に交換して伝達・放出することにより、ケーシング１０４内の内側及びこれに連通する筐体１０１内を冷却している。

特許第５３６４３０２号公報

被検査物にＸ線を照射し、これを透過したＸ線を検出することで被検査物の検査を行なう産業用のＸ線検査装置が広く使用されている。このＸ線検査装置においては、本体である筐体の内部に熱源である電源等が収納されており、使用時には相応の発熱を生じるため、筐体内を冷却する目的で、筐体に形成した開口にフィルタを設け、ファン等の送風手段で筐体の内部に外気を取り込む空冷構造を設けたものが知られている。

ところが、このような産業用のＸ線検査装置において、例えば食品等を被検査物とした場合には、装置が設置される検査ラインの環境中には、食品等を発生源とする粉塵や水滴等の水分が多く存在するため、これらを含んだ空気が筐体の開口に設けたフィルタを通過することにより、制御用基板や電源基板などの内部基板が腐食したり、又はショートする場合があり、その結果としてＸ線検査装置の機能に支障が生じることがあった。

このような外気吸入による空冷構造の不具合を解消し、確実な冷却効果を得るため、先に前記特許文献１を参照して説明したように、筐体の外面に工業用エアコンを外付けしたＸ線異物検出装置が使用されることがある。しかし、このようなエアコンは、単なる熱交換器ではなくコンプレッサを備えており、電力で駆動する装置であるため、それ自体の価格が高いためにＸ線異物検出装置全体としての価格も高くなり、またランニングコストも上昇するという問題があった。また、Ｘ線異物検出装置の筐体の外面に外付けする構造であるため、Ｘ線異物検出装置全体としての外形寸法が大きくなってしまい、食品等を被検査物とした場合に頻繁に必要となる清掃においては複雑な外形が清掃の障害となり、サニタリー性に問題が生じる場合も考えられた。

本発明は、以上説明した従来の技術における課題に鑑みてなされたものであり、設備費及びランニングコストが高価なエアコンを用いることなく、高い冷却効果を実現しつつ、しかも十分な清掃性を有する冷却手段を備えたＸ線検査装置を提供することを目的としている。

請求項１に記載されたＸ線検査装置１は、
被検査物に照射して透過したＸ線を検出することにより被検査物の検査を行なうＸ線検査装置１であって、
内部に前記Ｘ線を発生するＸ線源を収容するタンク２ａおよび複数の熱源１７，１８，１９，２０を収納し環境雰囲気に対して閉止された第１筐体３と、
前記第１筐体３に取りつけられ環境雰囲気に対して開放され、前記タンクを冷却するタンク冷却部２ｂが配置された第２筐体４と、
前記第１筐体３内に配置された吸熱部１５ａと前記第２筐体４内に配置された放熱部１５ｂを備え、前記熱源１７，１８，１９，２０を冷却する熱交換器１５と、
を具備し、
前記第１筐体３内には、前記タンク２ｂの周囲に配置された隔壁１６により複数の冷却区画Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が仕切られており、空気を所定の順序で各冷却区画Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に流通させることによって前記熱源１７，１８，１９，２０を冷却するための流路Ｂが構成されていることを特徴としている。

請求項２に記載されたＸ線検査装置１は、請求項１記載のＸ線検査装置１において、
前記第１筐体３の内部に仕切られた前記冷却区画Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、前記熱源１７，１８，１９，２０の使用制限温度に基づき区画されて当該使用制限温度の前記熱源１７，１８，１９，２０が収容されており、前記使用制限温度が低い熱源１９，２０が前記使用制限温度が高い熱源１７，１８の上流に配置されるように前記流路Ｂが前記冷却区画Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４内に設定されていることを特徴としている。

請求項３に記載されたＸ線検査装置１は、請求項１乃至２のいずれか一つに記載のＸ線検査装置１において、
前記第１筐体３内には、その中央部にＸ線発生装置２が配置され、その前面側に前記熱源としてのＬＣＤ２０及び制御部１７が配置され、その側面側に前記熱源としての電源部１８，１９が配置され、その背面側に前記熱交換器１５の前記吸熱部１５ａが配置され、
前記第２筐体４内には、その背面側に前記熱交換器１５の前記放熱部１５ｂが配置され、
前記放熱部１５ｂは、前記第２筐体４の背面側に形成された排気口６に対面していることを特徴としている。

請求項４に記載されたＸ線検査装置１は、請求項３に記載のＸ線検査装置１において、
前記第１筐体３内に、前記制御部１７を冷却した後に前記流路Ｂに沿って前記吸熱部１５ａに導かれた空気が一方の面に衝突するとともに、前記電源部１８を冷却した後に前記流路Ｂに沿って前記吸熱部１５ａに導かれた空気が他方の面に衝突する干渉防止板２２が設けられたことを特徴としている。

請求項１に記載されたＸ線検査装置によれば、筐体内の冷却手段として、エネルギーを必要とするエアコンではなく、構造が簡単な熱交換器を使用している。このため、価格が安く、ランニングコストも低廉である。そして、Ｘ線検査装置の使用時には、第１筐体内の熱源から出た熱は、第１筐体内にある熱交換器の吸熱部に吸収され、第２筐体の内部に設けられた熱交換器の放熱部から放散され、第２筐体内の空気を介して環境雰囲気に排出される。このように、この発明における熱交換器は、熱源を収納する第１筐体の壁体を貫通して設けられており、このため第１筐体の外面から突出した構造となっているが、第１筐体の外面から突出した熱交換器の放熱部は、第１筐体と一体に設けられ、かつ環境雰囲気に開放された第２筐体に収納されているので、第１及び第２筐体の全体としては外形に格別の凹凸が生じることはない。このため、Ｘ線検査装置の筐体は洗浄がし易く、サニタリー性に優れている。さらに、第１筐体内には、空気を所定の順序で流通させる流路が構成されているため、第１筐体内の熱源に確実に冷却用の空気を送ることができる。また、この熱源が複数存在したとしても、流路に沿って流れる空気が各熱源に順に到達し、各熱源を確実に冷却することができる。

請求項２に記載されたＸ線検査装置によれば、第１筐体内にある複数の熱源には、耐熱性能又は使用可能な環境温度の上限を示す指標として、それぞれ固有の使用制限温度が定められている。そして、第１筐体の内部は、使用制限温度が異なる複数の冷却区画に区切られ、各冷却区画には当該冷却区画に対応する使用制限温度の熱源が収納されている。また、空気が使用制限温度の低い熱源を冷却してから使用制限温度の高い熱源に流れてこれを冷却するか、又は使用制限温度の高い熱源を冷却して温度が上昇した空気が使用制限温度の低い熱源を流れることがないように、使用制限温度が低い熱源が使用制限温度が高い熱源の上流に配置されるように空気の流路が設定されている。このため、流路を流れる空気は、冷却区画ごとに所定の使用制限温度を有する熱源を冷却しつつ、使用制限温度が低い熱源から高い熱源に向けて通過流通し、又は使用制限温度が高い熱源よりも先に低い熱源に通過流通するため、各冷却区画において各熱源を確実に冷却することができる。

請求項３に記載されたＸ線検査装置によれば、第１筐体内の各位置に設置した制御部と電源部がそれぞれ発生する熱を、第１筐体内の背面側に設置した熱交換器の吸熱部で吸収し、第２筐体内の背面側に設置した熱交換器の放熱部から放熱し、第２筐体の背面側に設けた排気口から外界に放出することができる。

請求項４に記載されたＸ線検査装置によれば、第１筐体内において、制御部を冷却した空気は、流路に沿って吸熱部に導かれ、干渉防止板の一方の面に衝突して向きを変える。また電源部を冷却した空気は、流路に沿って吸熱部に導かれ、干渉防止板の他方の面に衝突して向きを変える。このように、これら２つの空気の流れは、干渉防止板の表と裏にそれぞれ衝突するため、吸熱部が配置された区画において互いに衝突することがない。このため、これら２つの空気の流れを互いに干渉させずに熱交換器の吸熱部に円滑に導いて効率的な吸熱を行なわせることができる。

本実施形態のＸ線検査装置の第１筐体における横断面図である。本実施形態のＸ線検査装置の第２筐体における横断面図である。本実施形態のＸ線検査装置の縦断面図である。

本発明の第１実施形態を図１〜図３を参照して説明する。
図１〜図３に示す本実施形態のＸ線検査装置１は、搬送手段で搬送される被検査物にＸ線発生装置からＸ線を照射し、被検査物を透過してきたＸ線をセンサで検出することにより、被検査物の検査を行なう装置である。なお、図１及び図２中では、Ｘ線を発生するＸ線発生装置２はタンク２ａ及びタンク冷却部２ｂとして表示したが、被検査物と、被検査物を搬送する搬送手段と、被検査物を透過したＸ線を検出するためのセンサは図示していない。

図１〜図３に示すように、本実施形態のＸ線検査装置１は、装置の本体フレームとして、第１筐体３と、第１筐体３の上に一体に取りつけられた第２筐体４を備えている。第１筐体３は、環境雰囲気（外界）との間で空気が直接に流通することがない程度に、環境雰囲気に対して閉止されているが、図示しない蓋体等を開放することにより、清掃、整備、修理等のために内部の構造に近接することができるようになっている。また、第２筐体４は、第１筐体３と連通しておらず、第１筐体３との間で空気の流通はないが、背面に設けた吸気口５及び排気口６を介して環境雰囲気に対して開放されている。

図１に示すように、第１筐体３内の略中央部には、前述したＸ線発生装置２のタンク２ａが配置されており、図２に示すように、第２筐体４の正面側には、Ｘ線発生装置２のタンク冷却部２ｂが配置されている。すなわち、Ｘ線発生装置２は、第１筐体３の天板又は第２筐体４の底板である両筐体３，４の境界壁７を貫通して両筐体３，４内に配置されている。このＸ線発生装置２のタンク２ａは、冷却用の油が充填された容器内にＸ線源を収容した構成となっている。また、このタンク２ａの上面に設けられたタンク冷却部２ｂは、カバーに覆われた放熱用のフィンで構成されている。

図２に示すように、第２筐体４の背面側には吸気口５と排気口６が設けられている。そして、第２筐体４の内部は、吸気口５を有する吸気室８と、排気口６を有する排気室９の２室に、壁体１０によって区切られており、前述したタンク冷却部２ｂは壁体１０を貫通して配置されており、吸気室８から排気室９へ流れる空気の流路Ａ（図中矢印で示す）の一部を構成している。なお、後述するように、第２筐体４内の吸気室８の吸気口５に近接して熱交換器１５の放熱部１５ｂ及びファンＦが配置されており、第２筐体４内の排気室９の排気口６に近接してファンＦが配置されている。

図１に示すように、第１筐体３の内部は、その中央部に配置されたＸ線発生装置２のタンク２ａと、タンク２ａの周囲に適宜配置された複数の隔壁１６により、冷却区画Ｃ１〜Ｃ４と称する複数の部屋に仕切られており、これら各冷却区画内Ｃ１〜Ｃ４には、冷却すべき熱源である各装置又は冷却手段である熱交換器１５が収納されている。第１筐体３内にある複数の熱源には、耐熱性能又は使用可能な環境温度の上限を示す指標として、それぞれ固有の使用制限温度が定められている。そして、後述するように、熱源が収納される複数の冷却区画Ｃ２〜Ｃ４は、そこに収納される熱源の使用制限温度ごとに分けられている。すなわち、各冷却区画Ｃ２〜Ｃ４ごとに、そこに収納される熱源の使用制限温度が定められている。

まず、図１及び図３に示すように、第１筐体３の内部の背面側には、第１冷却区画Ｃ１が設けられている。この第１冷却区画Ｃ１は吸熱エリアであり、ここには熱源は配置されておらず、熱交換器１５の吸熱部１５ａが配置されている。この熱交換器１５は、密閉されたケース内に熱交換媒体が封入された装置であり、図３に示すその下半部は、吸熱フィンが設けられた吸熱部１５ａである。図１に示すように、この吸熱部１５ａにはファンＦが設けられており、第１冷却区画Ｃ１にある空気を吸熱部１５ａに吸い込んで通過させ、フィンによる吸熱を促進するようになっている。

また、図３に示す熱交換器１５の上半部は、放熱フィンが設けられた放熱部１５ｂである。図２を参照して先に説明したように、この放熱部１５ｂは、放熱エリアである第２筐体４の吸気室８内において、吸気口５に近接して配置されている。放熱部１５ｂにはファンＦが設けられており、外気を吸い込んで放熱部１５ｂを冷却し、さらに前述したタンク冷却部２ｂに空気を送ってＸ線発生装置２を冷却するように構成されている。

図１に示すように、第１筐体３の内部の略中央部には、第２冷却区画Ｃ２が設けられている。この第２冷却区画Ｃ２は、略中央部に配置されたタンク２ａの周囲の一部を隔壁１６で仕切って構成した平面視で略環状の部屋である。熱交換器１５のファンＦによって第２冷却区画Ｃ２に生じる空気の流路（図中矢印Ｂで示す空気の流れ）の方向に関して、相対的に上流側である第１筐体３の前面側には、制御部としてのＰＣ１７が配置され、相対的に下流側である第１筐体３の右側面側（図１においては左側）には第１電源部１８が配置されている。ＰＣ１７はＸ線検査装置１の各部を制御する装置であり、第１電源部１８はＸ線発生装置２以外の部分に必要な電源を供給する装置であり、いずれも冷却が必要な熱源である。そして、その使用制限温度はいずれも６０℃であり、同一である。ＰＣ１７及び第１電源部１８には、それぞれファンＦが設けられ、吸引した空気によって冷却されるように構成されている。そして、第２冷却区画Ｃ２において、空気の流路Ｂの方向に関して最も下流に位置する第１電源部１８と、熱交換器１５がある第１冷却区画Ｃ１とを区画している隔壁１６にはファンＦが貫通して設けられており、第１電源部１８を冷却して熱をもった空気が第１冷却区画Ｃ１に戻されるようになっている。

図１に示すように、熱交換器１５のファンＦによって第２冷却区画Ｃ２内に生じる空気の流路Ｂの方向に関して、ＰＣ１７よりも相対的に上流側には、隔壁１６に形成された開口で連通する第３冷却区画Ｃ３が第２冷却区画Ｃ２とは所定の独立性をもって設けられている。この第３冷却区画Ｃ３は、第２冷却区画Ｃ２の第１電源部１８とは装置１の反対側面にあり、第１筐体３の左側面側（図１においては右側）に配置されており、その内部には第２電源部１９が設けられている。この第２電源部１９はＸ線発生装置２の駆動に必要な電源を供給する装置であり、冷却が必要な熱源である。そして、その使用制限温度は５０℃であり、第２冷却区画Ｃ２の熱源の使用制限温度である６０℃よりも低い。第２電源部１９にはファンＦが設けられ、吸引した空気によって冷却されるように構成されている。そして、第３冷却区画Ｃ３と、熱交換器１５がある第１冷却区画Ｃ１とを区画している隔壁１６にはファンＦが貫通して設けられており、第２電源部１９を冷却して熱をもった空気が第１冷却区画Ｃ１に戻されるようになっている。

図１に示すように、熱交換器１５のファンＦによって第２冷却区画Ｃ２内に生じる空気の流路Ｂに関して、第３冷却区画Ｃ３よりも相対的に下流側であって、ＰＣ１７と略等しい位置には、第２冷却区画Ｃ２とは隔壁１６によって隔てられた第４冷却区画Ｃ４が、第２冷却区画Ｃ２とは所定の独立性をもって設けられている。この第４冷却区画Ｃ４は、ＰＣ１７よりも第１筐体３のさらに前面側に配置されており、その内部には、第１筐体３の外側から視認できるようにＬＣＤ（液晶表示装置）２０が配置されている。ＬＣＤ２０はタッチパネルが貼り合わされており、Ｘ線発生装置２の運転時に必要な情報等を表示する表示装置又は各種操作を行なう際の入力装置として使用される装置であって、冷却が必要な熱源である。そして、その使用制限温度は５０℃であり、第２冷却区画Ｃ２の熱源であるＰＣ１７及び第１電源部１８の使用制限温度６０℃よりも低い。

図１に示すように、ＬＣＤ２０には特に専用のファンＦはないが、第２冷却区画Ｃ２を流れてきた空気はＰＣ１７の手前で２経路に分岐し、一方は第４冷却区画Ｃ４のＬＣＤ２０を流通してこれを冷却した後、再び第２冷却区画Ｃ２の第１電源部１８に入り、さらに第１冷却区画Ｃ１に戻る。また、第２冷却区画Ｃ２を流れてＰＣ１７に向かった空気の流れは、ＰＣ１７を冷却した後、ダクト２１を介して第１冷却区画Ｃ１に戻る。すなわち、ＰＣ１７付近の第２冷却区画Ｃ２と第１冷却区画Ｃ１とはダクト２１で連結されており、第１冷却区画Ｃ１に接続されたダクト２１の開口には、第１冷却区画Ｃ１内に空気を引き込むファンＦが設けられており、ＰＣ１７を冷却した後の空気を第１冷却区画Ｃ１内に戻すように構成されている。

図１及び図３に示すように、第１筐体３内の第１冷却区画Ｃ１内には、熱交換器１５の吸熱部１５ａの近傍に、流入空気の干渉防止板２２が配置されている。干渉防止板２２の配置角度により、ダクト２１を経てファンＦで送り込まれてくる空気は、この干渉防止板２２の一方の面に当たって方向を変え、吸熱部１５ａに導かれる。また、第２冷却区画Ｃ２の第１電源部１８からファンＦで送り込まれてくる空気は、この干渉防止板２２の他方の面に当たって方向を変え、吸熱部１５ａに導かれる。このように、これら２つのファンＦ，Ｆから来る空気の流れＢ，Ｂは、干渉防止板２２の表と裏にそれぞれ当たるため、熱交換器１５の吸熱部１５ａが配置された第１冷却区画Ｃ１において互いに衝突することがない。このため、２つの空気の流れＢ，Ｂは互いに干渉せず、熱交換器１５の吸熱部１５ａに円滑に導かれて効率的に吸熱される。

図３に示すように、第１筐体３の第１冷却区画Ｃ１内の下方には、外部機器に対するＩ／Ｆ用ユニット２３が配置されている。また、第１筐体３の第１冷却区画Ｃ１の下方には、第１冷却区画Ｃ１とは隔離された部屋Ｄが設けられており、図示しない熱源を冷却するためのファンＦが設けられている。

以上説明したＸ線検査装置１は、第１筐体３内の熱源を冷却する手段として、エネルギーを必要とするエアコンではなく、構造が簡単な熱交換器１５を使用している。このため、価格が安く、ランニングコストも低廉であるという特徴がある。ここで一般的には、エネルギーを必要とするエアコンよりも、単なる熱交換器１５の方が冷却能力が劣るとも考えられるが、実施形態のＸ線検査装置１によれば十分な冷却能力が得られており、実用上何ら支障は生じない。これは、第１筐体３の内部は、使用制限温度が異なる複数の冷却区画Ｃ１〜Ｃ４に区画され、そのうち冷却区画Ｃ２〜Ｃ４には当該冷却区画に対応する使用制限温度の熱源を収納し、各冷却区画Ｃ１〜Ｃ４に所定の順序で空気を流通させる流路Ｂを設けて使用制限温度が異なる各熱源を効率的に冷却できるようにしているためである。

すなわち、使用制限温度が低い第２電源部１９がある第３冷却区画Ｃ３と、吸熱部１５ａがある第１冷却区画Ｃ１との間では、空気が直接循環するようになっており、使用制限温度が低いＬＣＤ２０がある第４冷却区画Ｃ４に対しては、吸熱部１５ａがある第１冷却区画Ｃ１からの空気を他の熱源を冷却する前に直接流入させ、その冷却後の空気を、より使用制限温度が高い第１電源部１８がある第２冷却区画Ｃ２に流して冷却に使用するようになっている。さらに、ＬＣＤ２０よりも内側にあり、冷却しにくい配置となっているＰＣ１７については、ＰＣ１７を冷却した直後の空気の大部分をダクト２１とファンＦで直接第１冷却区画Ｃ１に吸引し、ＰＣ１７の冷却がより効率的に行なえるように配慮している。

このように、第１筐体３内では、第１筐体３内に下記のように空気を流通させる流路を構成している。
１）使用制限温度が低い冷却区画Ｃ３と、熱交換器１５がある冷却区画Ｃ１との間で空気を循環させて第２電源部１９の冷却を行う。
２）同じ冷却区画Ｃ２内にあり、使用制限温度が同じであるＰＣ１７と第１電源部１８に順次空気を流通させて冷却し、その後で熱交換器１５の冷却区画Ｃ１に還流させる。
３）熱交換器１５がある冷却区画Ｃ１からの空気を、使用制限温度が高い熱源の前に、使用制限温度が低いＬＣＤ２０のある冷却区画Ｃ４に流通させ、その後で使用制限温度が高い第１電源部１８のある冷却区画Ｃ２に流して順次冷却を行う。

従って、Ｘ線検査装置１の使用時には、第１筐体３内の複数の熱源は、使用制限温度に基づいて冷却区画間に設定された流路Ｂに沿って流れる空気により効率的に冷却され、その熱は熱交換器１５の吸熱部１５ａにより効率的に吸収され、第２筐体４内の背面側に設置された熱交換器１５の放熱部１５ｂから放散され、さらにタンク冷却部２ｂからの熱も加え、第２筐体４の背面側に設けた放熱用の排気口１６から排気と共に環境雰囲気に放出される。

また、熱交換器１５は、第１筐体３と第２筐体４の境界を貫通するように設けられており、放熱部１５ｂが第１筐体３の外面から突出した構造となっている。しかし、第１筐体３の外面から突出した熱交換器１５の放熱部１５ｂは、第１筐体３と一体に設けられ、かつ環境雰囲気に開放された第２筐体４に収納されているので、第１及び第２筐体３，４の全体としては外形に格別の凹凸が生じることはない。このため、Ｘ線検査装置１の筐体３，４は洗浄が容易であり、サニタリー性に優れている。

１…Ｘ線検査装置
３…第１筐体
４…第２筐体
５…吸気口
６…排気口
１５…熱交換器
１５ａ…吸熱部
１５ｂ…放熱部
１６…冷却区画を区画する隔壁
１７…熱源としてのＰＣ
１８…熱源としての第１電源部
１９…熱源としての第２電源部
２０…熱源としてのＬＣＤ
Ｂ…流路
Ｃ１〜Ｃ４…冷却区画
Ｆ…ファン

Claims

被検査物に照射して透過したＸ線を検出することにより被検査物の検査を行なうＸ線検査装置であって、
内部に前記Ｘ線を発生するＸ線源を収容するタンク（２ａ）および複数の熱源（１７，１８，１９，２０）を収納し環境雰囲気に対して閉止された第１筐体（３）と、
前記第１筐体に取りつけられ環境雰囲気に対して開放され、前記タンクを冷却するタンク冷却部（２ｂ）が配置された第２筐体（４）と、
前記第１筐体内に配置された吸熱部（１５ａ）と前記第２筐体内に配置された放熱部（１５ｂ）を備え、前記熱源を冷却する熱交換器（１５）と、
を具備し、
前記第１筐体内には、前記タンクの周囲に配置された隔壁（１６）により複数の冷却区画（Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）が仕切られており、空気を所定の順序で各冷却区画に流通させることによって前記熱源を冷却するための流路（Ｂ）が構成されていることを特徴とするＸ線検査装置（１）。
前記第１筐体（３）の内部に仕切られた前記冷却区画（Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）は、前記熱源（１７，１８，１９，２０）の使用制限温度に基づき区画されて当該使用制限温度の前記熱源が収容されており、前記使用制限温度が低い熱源（１９，２０）が前記使用制限温度が高い熱源（１７，１８）の上流に配置されるように前記流路（Ｂ）が前記冷却区画内に設定されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置（１）。
前記第１筐体（３）内には、その中央部にＸ線発生装置（２）が配置され、その前面側に前記熱源としてのＬＣＤ（２０）及び制御部（１７）が配置され、その側面側に前記熱源としての電源部（１８，１９）が配置され、その背面側に前記熱交換器（１５）の前記吸熱部（１５ａ）が配置され、
前記第２筐体（４）内には、その背面側に前記熱交換器（１５）の前記放熱部（１５ｂ）が配置され、
前記放熱部は、前記第２筐体の背面側に形成された排気口（６）に対面していることを特徴とする請求項１乃至２のいずれか一つに記載のＸ線検査装置（１）。
前記第１筐体（３）内に、前記制御部（１７）を冷却した後に前記流路（Ｂ）に沿って前記吸熱部（１５ａ）に導かれた空気が一方の面に衝突するとともに、前記電源部（１８）を冷却した後に前記流路に沿って前記吸熱部に導かれた空気が他方の面に衝突する干渉防止板（２２）が設けられたことを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置（１）。