JP5840370B2 - 静電成膜装置 - Google Patents
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Description
本発明の他の態様は、メッシュ部を有するスクリーンと対象物との間に静電界を形成して、粉体からなる膜を前記対象物上に形成する静電成膜装置であって、前記スクリーンに粉体を供給するホッパと、前記スクリーン上の粉体を前記スクリーンに摺り込むスクリーンブラシと、前記ホッパを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるホッパ移動機構と、前記スクリーンブラシを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるスクリーンブラシ移動機構とを備え、前記ホッパ移動機構と前記スクリーンブラシ移動機構は、互いに独立に動作可能であり、前記ホッパは、粉体が貯留されるホッパ箱と、前記ホッパ箱内に配置されたホッパブラシと、前記ホッパブラシを回転させるホッパモータとを備え、前記ホッパ箱は、粉体を通過させる複数の孔が形成された底板を有し、前記ホッパブラシは前記複数の孔を塞ぐように前記底板に接触しており、前記ホッパは、前記ホッパブラシと前記底板とを離間させるホッパブラシ離間機構をさらに備えたことを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、メッシュ部を有するスクリーンと対象物との間に静電界を形成して、粉体からなる膜を前記対象物上に形成する静電成膜装置であって、前記スクリーンに粉体を供給するホッパと、前記スクリーン上の粉体を前記スクリーンに摺り込むスクリーンブラシと、前記ホッパを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるホッパ移動機構と、前記スクリーンブラシを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるスクリーンブラシ移動機構と、前記スクリーンブラシとともに移動し、前記スクリーン上の粉体の一部を前記スクリーンブラシの外側に押し出す羽根とを備え、前記ホッパ移動機構と前記スクリーンブラシ移動機構は、互いに独立に動作可能であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記スクリーンブラシを上下動させるスクリーンブラシ上下動機構と、前記ホッパを上下動させるホッパ上下動機構とをさらに備えたことを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態に係る静電成膜装置の正面図であり、図2は図1に示す静電成膜装置の背面図であり、図3は図1に示す静電成膜装置の上面図である。
2 スクリーン
6 スクリーンブラシ移動機構
11 ホッパ移動機構
21 ステージ
23 ブラシ位置センサ
24 ホッパ位置センサ
26 センサターゲット
30 スクリーンブラシユニット
31 スクリーンブラシ
32 ブラシモータ
60 ホッパユニット
61 ホッパ
80 仕切り
83 カバー板
90 制御部
92 クリーニング部材
92a クリーニングメッシュ
96 羽根
Claims (7)
- メッシュ部を有するスクリーンと対象物との間に静電界を形成して、粉体からなる膜を前記対象物上に形成する静電成膜装置であって、
前記スクリーンに粉体を供給するホッパと、
前記スクリーン上の粉体を前記スクリーンに摺り込むスクリーンブラシと、
前記ホッパを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるホッパ移動機構と、
前記スクリーンブラシを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるスクリーンブラシ移動機構とを備え、
前記ホッパ移動機構と前記スクリーンブラシ移動機構は、互いに独立に動作可能であり、
前記ホッパは、粉体を前記スクリーン上に供給しながら、前記スクリーンの表面に対して平行に移動し、同時に、前記スクリーンブラシは前記スクリーン上の粉体を前記スクリーンに摺り込みながら、前記ホッパの移動速度とは異なる移動速度で前記スクリーンの表面に対して平行に移動することを特徴とする静電成膜装置。 - メッシュ部を有するスクリーンと対象物との間に静電界を形成して、粉体からなる膜を前記対象物上に形成する静電成膜装置であって、
前記スクリーンに粉体を供給するホッパと、
前記スクリーン上の粉体を前記スクリーンに摺り込むスクリーンブラシと、
前記ホッパを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるホッパ移動機構と、
前記スクリーンブラシを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるスクリーンブラシ移動機構とを備え、
前記ホッパ移動機構と前記スクリーンブラシ移動機構は、互いに独立に動作可能であり、
前記ホッパは、粉体が貯留されるホッパ箱と、前記ホッパ箱内に配置されたホッパブラシと、前記ホッパブラシを回転させるホッパモータとを備え、
前記ホッパ箱は、粉体を通過させる複数の孔が形成された底板を有し、前記ホッパブラシは前記複数の孔を塞ぐように前記底板に接触しており、
前記ホッパは、前記ホッパブラシと前記底板とを離間させるホッパブラシ離間機構をさらに備えたことを特徴とする静電成膜装置。 - メッシュ部を有するスクリーンと対象物との間に静電界を形成して、粉体からなる膜を前記対象物上に形成する静電成膜装置であって、
前記スクリーンに粉体を供給するホッパと、
前記スクリーン上の粉体を前記スクリーンに摺り込むスクリーンブラシと、
前記ホッパを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるホッパ移動機構と、
前記スクリーンブラシを前記スクリーンの表面に対して平行に移動させるスクリーンブラシ移動機構と、
前記スクリーンブラシとともに移動し、前記スクリーン上の粉体の一部を前記スクリーンブラシの外側に押し出す羽根とを備え、
前記ホッパ移動機構と前記スクリーンブラシ移動機構は、互いに独立に動作可能であることを特徴とする静電成膜装置。 - 前記スクリーンブラシを前記スクリーンから離間させるスクリーンブラシ離間機構をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の静電成膜装置。
- 前記スクリーンブラシを上下動させるスクリーンブラシ上下動機構と、
前記ホッパを上下動させるホッパ上下動機構とをさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の静電成膜装置。 - 前記ホッパは、前記ホッパ箱内に配置された少なくとも1つの仕切りをさらに有しており、前記仕切りは前記ホッパブラシの軸方向に移動可能であることを特徴とする請求項2に記載の静電成膜装置。
- 前記スクリーンブラシの外周面に接触して該スクリーンブラシに付着した粉体を掻き落とすクリーニングメッシュをさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の静電成膜装置。
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