JP5839830B2 - 有機金属錯体化合物、有機金属錯体化合物の製造方法および有機金属錯体化合物を含む光硬化性組成物 - Google Patents
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Description
加熱−冷却工程が不要であり高スループットが見込まれる;
液状組成物を用いることができるため低加圧でのインプリントが可能;
熱膨張・収縮に依る解像度低下が少ない;
透明なモールド(型)を使用することができるためアライメント調整が容易である;
硬化後頑強な三次元架橋構造を形成できる。
特開2008−56852号公報(特許文献2)には、下記式で表される繰り返し単位を有する重合体または共重合体が開示されている。
[1] 光重合性の炭素-炭素不飽和結合を有する有機基を有するβ-ジケトン化合物と、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、ニオブ、タンタルおよびタングステンからなる群より選択されるいずれか1つの遷移金属の原子を有する遷移金属アルコキシド化合物とを、上記遷移金属の原子に対する上記β−ジケトン化合物のβ-ジケトン構造の当量比が2以上となる割合で反応させて得られる有機金属錯体化合物。
[2] 前記β-ジケトン化合物が下記一般式(1)で表される[1]に記載の有機金属錯体化合物。
[3] 前記一般式(1)における有機基R1がアクリロイルオキシ基またはメタクリロイルオキシ基である[2]に記載の有機金属錯体化合物。
[4] 下記一般式(2)で表される有機金属錯体化合物。
[6] 光重合性の炭素-炭素不飽和結合を有する有機基を有するβ-ジケトン化合物と、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、ニオブ、タンタルおよびタングステンからなる群より選択されるいずれか1つの遷移金属の原子を有する遷移金属アルコキシド化合物とを、上記遷移金属の原子に対する上記β−ジケトン化合物のβ-ジケトン構造の当量比が2以上となる割合で反応させる工程を含む有機金属錯体化合物の製造方法。
[7] 前記β-ジケトン化合物が下記一般式(1)で表される[6]に記載の有機金属錯体化合物の製造方法。
[8] 前記一般式(1)における有機基R1がアクリロイルオキシ基またはメタクリロイルオキシ基である[7]に記載の有機金属錯体化合物の製造方法。
[9] [1]〜[5]のいずれか1項に記載の有機金属錯体化合物および重合開始剤を含む光硬化性組成物。
[10] [1]〜[5]のいずれか1項に記載の有機金属錯体化合物および反応性希釈剤を含む光硬化性組成物。
[11] [1]〜[5]のいずれか1項に記載の有機金属錯体化合物または[9]もしくは[10]に記載の光硬化性組成物からなるナノインプリント用パターン形成材料。
本発明の有機金属錯体化合物の製造方法は、光重合性の炭素-炭素不飽和結合を有する有機基を有するβ-ジケトン化合物(以下、単に「β−ジケトン化合物」ともいう)と、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、ニオブ、タンタルおよびタングステンからなる群より選択されるいずれか1つの遷移金属の原子を有する遷移金属アルコキシド化合物とを、上記遷移金属の原子に対する上記β−ジケトン化合物のβ-ジケトン構造の当量比が2以上となる割合で反応させる工程を含む。
本発明に係る製造方法においては、上記遷移金属アルコキシド化合物と上記β-ジケトン化合物とを、通常、常圧下、露点−80℃以下の雰囲気下で、3時間以上(好ましくは3〜72時間)攪拌して反応させることで有機金属錯体化合物を製造する。
上記反応は、遷移金属アルコキシド化合物の加水分解を防ぐために、窒素ガス、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で実施することが好ましい。
上記反応は、温度が高いとβ-ジケトン化合物の有する炭素-炭素不飽和結合の熱重合や遷移金属アルコキシド化合物の加水分解を助長するおそれがあり、温度が低いとβ-ジケトン化合物の粘度が高くなり作業性が悪くなるおそれがある。また、反応をグローブボックス内で実施する場合、反応に伴い発生するアルコールによりグローブボックス内の圧力が大きくなるのを防ぐため、発生するアルコールの沸点よりも低い温度で実施する必要がある。そのため反応は0℃〜40℃で実施することが好ましく、より好ましくは20℃〜30℃である。
原料である遷移金属アルコキシド化合物やβ−ジケトン化合物では、C=Oの伸縮振動に基づく吸収が通常約1700cm-1付近に観測される。これに対して、有機金属錯体化合物では、この吸収の他にも通常約1500cm-1〜1700cm-1に分裂した吸収が観測される。これにより、β−ジケトン化合物のジケトン構造と遷移金属アルコキシド化合物の遷移金属の原子との間でキレート配位が生じたことを確認できる。
反応粗生成物は、単離処理に供してもよい。
以下、上記反応に原料として用いられる化合物について順次説明する。
<遷移金属アルコキシド化合物>
上記遷移金属アルコキシド化合物としては、一般式M(OR2)x(式中、Mはチタン、ジルコニウム、ハフニウム、ニオブ、タンタルおよびタングステンからなる群より選択されるいずれか1つの遷移金属の原子であり、R2は炭素数1〜6のアルキル基(好ましくは炭素数1〜5のアルキル基)もしくはフェニル基を示し、xは遷移金属アルコキシド化合物の遷移金属の価数を表す)で表される化合物を使用することができる。
これら遷移金属アルコキシド化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組合わせて用いてもよい。
β-ジケトン化合物としては、特に制限されないが、例えば、下記一般式(1)で表されるアセトアセトキシ化合物を挙げることができる。
本発明の有機金属錯体化合物は、特定の遷移金属の原子を有する遷移金属アルコキシド化合物と、光重合性の炭素-炭素不飽和結合を有する有機基であるβ−ジケトン化合物を反応して得ることができ、光硬化性を発現する。
本発明の有機金属錯体化合物およびそれを含む光硬化性組成物は、次のような利点を有し、モールドのパターンを転写可能な(UV)ナノインプリント用のパターン形成材料として有用である:
光重合性の炭素-炭素不飽和結合を有する有機基を有しているので光により容易に硬化する;
特定の遷移金属の原子(重金属の原子)を含むので、アルゴンガスなどのエッチングガスに対して高いエッチング耐性を有している。
また、一般式(2)中、Mは遷移金属の原子であり、mはMの価数であり、nは、上記配位子の数を表し、1〜mの整数である。
R2の具体例としては、メチル基、エチル基、イソプロピル基、n−プロピル基、イソブチル基、n−ブチル基、sec−ブチル基およびtert−ブチル基などが挙げられる。R2は、複数個存在する場合には、互いに同一であっても異なってもよい。
本発明の光硬化性組成物は、上記有機金属錯体化合物と、重合開始剤または反応性希釈剤を含む。
以下、本発明の光硬化性組成物に配合される成分について説明する。
本発明の光硬化性組成物は、上記有機金属錯体化合物の他に、重合開始剤または反応性希釈剤を含む。
<重合開始剤>
重合開始剤としては、
2−ヒドロキシ−2−シクロヘキシルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−フェニル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノンなどの、アセトフェノン系光ラジカル重合開始剤;
2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどのアシルホスフィンオキサイド系光ラジカル重合開始剤;
カルバゾール系光ラジカル重合開始剤;
トリフェニルホスホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルホスホニウムヘキサフルオロホスフェート、p−(フェニルチオ)フェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−クロルフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄−ヘキサフルオロホスフェートなどの、ルイス酸のオニウム塩などの光ラジカル重合開始剤;
ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン-1-イル)―ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウムなどのチタノセン型の重合開始剤があげられる。
また、上記重合開始剤は、上記有機金属錯体化合物100質量部に対して、通常0.2〜10質量部、好ましくは、0.5〜7質量部となる量で配合する。上記重合開始剤がこのような範囲にあると、得られる光硬化性組成物の硬化性や該光硬化性組成物から得られる塗膜の物性が優れるため、好ましい。
本発明の光硬化性組成物には、上記有機金属錯体化合物と共重合できる、上記有機金属錯体化合物以外の化合物を反応性希釈剤として配合してもよい。
このような反応性希釈剤としては、(メタ)アクリロイル基、スチリル基、ビニル基、アリル基、マレイル基、フマル基等を有する化合物等が挙げられ、これらの中でも特に(メタ)アクリロイル基を有する化合物が好ましく、(メタ)アクリル酸エステルの構造を1つ以上有するモノマーまたはオリゴマーが好適に用いられる。
本発明の光硬化性組成物には、塗布性向上のため必要に応じて溶媒等を配合することができる。
溶媒としては、
メチルイソブチルケトンなどのケトン系溶媒;
トルエンおよびキシレンなどの芳香族炭化水素溶媒;
酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエステル系溶媒;
2−プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のアルコール系溶媒;
ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、n−メチルピロリドン等のアミド系溶媒などを挙げることができる。
本発明の硬化性組成物においては、前記有機金属錯体化合物、前記重合開始剤、反応性希釈剤の他にさらに粘度調整剤、分散剤、表面調整剤などの添加剤を、硬化性組成物の硬化性およびその硬化物としてのエッチング特性等を阻害しない範囲で含んでいてもよい。
添加剤の量は前記有機金属錯体化合物、前記重合開始剤および反応性希釈剤の合計量100質量部に対して30質量部以下となるようにすることが好ましい。
本発明の有機金属錯体化合物およびそれを含む光硬化性組成物は、ナノインプリント用のパターン形成材料、層間絶縁膜などの用途に好適に用いることができる。
上記用途の中でも、ナノインプリント用のパターン形成材料がより好適である。
パターン形成は、例えば、次のように行われる。
<スタンパーを用いたパターンニングによる方法>
上記有機金属錯体化合物と、必要に応じてさらに前記重合開始剤、反応性希釈剤、粘度調整剤、分散剤、表面調整剤などの添加剤とを、必要に応じてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの溶剤に溶解させて上記有機金属錯体化合物を含む光硬化性組成物を調製する。
得られた媒体のパターンの様子は、断面走査型電子顕微鏡(SEM)画像測定などにより観測することができる。
上記「パターン形成方法」の項目において、スタンパーを用いないことを除いて、「パターン形成方法」の項目と同様の方法で、スピンコートした媒体上の薄膜に紫外線照射して、硬化膜を得る。
上述の非特許文献3に記載の合成方法に従い、2-アセトアセトキシエチルアクリレートを合成した。
具体的には、次の通りである。
2−ヒドロキシエチルアクリレート(59g、0.5mol)をフラスコに仕込み、フラスコを55〜60℃に加熱した。
なお、反応中に、ラジカル阻害剤として0.005gの4−メトキシフェノールをフラスコに2度添加した。
アルゴン置換したグローブボックス内で、合成例1で得られた2-アセトアセトキシエチルアクリレート2.0g(10mmol)とペンタエトキシタンタル(昭和電工株式会社製)2.0g(5mmol)とを室温下で混合した。
この反応粗生成物をグローブボックスから取り出し、臭化カリウム板に反応粗生成物を塗布しIRスペクトルの測定を実施した。
図2からは、次のことが分かる。
2-アセトアセトキシエチルアクリレートは、IRチャートではアセトアセトキシエチルアクリレートのC=Oの伸縮振動に基づく吸収が1703cm-1付近にまとまって観測される。
なお、図2において、合成例1で得られた2-アセトアセトキシエチルアクリレートのIRスペクトルを比較のため点線であわせて示している。
アルゴン置換したグローブボックス内で、合成例1で得られた2-アセトアセトキシエチルアクリレート2.0g(10mmol)とペンタエトキシタンタル(昭和電工株式会社製)1.4g(3.4mmol)とを室温下で混合した。
この反応粗生成物をグローブボックスから取り出し、臭化カリウム板に反応粗生成物を塗布しIRスペクトルの測定を実施した。
図3からは、次のことが分かる。
実施例1同様、この反応粗生成物のIRチャートで、C=Oの伸縮振動に基づく吸収(1703cm-1付近)の他にも、1520cm-1と1610cm-1付近に分裂した吸収が観測されており、タンタルに対して2-アセトアセトキシエチルアクリレートがキレート配位していることを示している。
アルゴン置換したグローブボックス内で、合成例1で得られた2-アセトアセトキシエチルアクリレート2.0g(10mmol)とペンタエトキシタンタル(昭和電工株式会社製)4.0g(10mmol)を室温下で混合した。
この反応粗生成物をグローブボックスから取り出し、臭化カリウム板に反応粗生成物を塗布しIRスペクトルの測定を実施した。
図4からは、次のことが分かる。
実施例1同様、この反応粗生成物のIRチャートで、C=Oの伸縮振動に基づく吸収(1703cm-1付近)の他にも、1513cm-1と1596cm-1付近に分裂した吸収が観測されており、タンタルに対して2-アセトアセトキシエチルアクリレートがキレート配位していることを示している。
上記、実施例1、2、比較例1の原料(β−ジケトン化合物、遷移金属アルコキシド化合物)の仕込み量について、下記表1にまとめた。
実施例1で得られた反応粗生成物3.0g及び、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4'−モルホリノブチロフェノン(IRGACURE369:チバ・ジャパン株式会社製)90mgを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(ダイセル化学工業株式会社製)72gに溶解させた。
この媒体を破断した断面SEM画像測定を実施したところ、パターンが転写されていることを確認できた(図5)。
実施例2で得られた反応粗生成物3.0g及び、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4'−モルホリノブチロフェノン(IRGACURE369:チバ・ジャパン株式会社製)90mgを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(ダイセル化学工業株式会社製)72gに溶解させた。
スピンコートはコーター内にセットした媒体に、調製した溶液を約1ml滴下した後、媒体を500rpmで5秒間回転させ、次いで3000rpmで2秒間回転させ、さらに5000rpmで25秒間回転させることにより、媒体上に薄膜を形成した。
合成例1で得られた2-アセトアセトキシエチルアクリレート3.0g及び、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4'−モルホリノブチロフェノン(IRGACURE369:チバ・ジャパン株式会社製)90mgを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(ダイセル化学工業株式会社製)72gに溶解させた。
スピンコートはコーター内にセットした媒体に、調製した溶液を約1ml滴下した後、媒体を500rpmで5秒間回転させ、次いで3000rpmで2秒間、さらに5000rpmで25秒間回転させることにより、媒体上に薄膜を形成した。
比較例1で得られた反応粗生成物3.0g及び、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4'−モルホリノブチロフェノン(IRGACURE369:チバ・ジャパン株式会社製)90mgを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(ダイセル化学工業株式会社製)72gに溶解させた。
スピンコートはコーター内にセットした媒体に、調製した溶液を約1ml滴下した後、媒体を500rpmで5秒間回転させ、次いで3000rpmで2秒間回転させ、さらに5000rpmで25秒間回転させることにより、媒体上に薄膜を形成した。
実施例3、4、比較例2、3におけるそれぞれのパターン転写の可否について、下記表2にまとめた。
合成例1で得られた2−アセトアセトキシエチルアクリレート2.0g及び2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4'−モルホリノブチロフェノン(IRGACURE369:チバ・ジャパン株式会社製)60mgを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(ダイセル化学工業株式会社製)48gに溶解させて溶液を得た。
これらの溶液を各々孔径0.03μmのろ紙でろ過し、次いで、媒体にスピンコートした。
以下に示す方法で、上記硬化膜のエッチングレートの測定を実施した。
作成した硬化膜上にガラス小片を貼り付け、エッチング装置を用いて、以下の条件で上記硬化膜のエッチング処理を実施した。次いで、ガラス小片を取り外し、ガラス小片に保護された硬化膜部分とエッチングされた硬化膜部分段差を、AFM(原子間力顕微鏡)(日本ビーコ社製、型番 ステージ:D−3100 、コントロールステーション:nanoscope IIIa)を用いて測定した。
エッチングの条件
エッチングガス : アルゴン
圧力 : 0.05Pa
ガス流量 : 40sccm
プラズマ電圧 : 200W
バイアス電圧 : 40W
処理時間 : 45sec
*sccm=standard centi cubic meter
硬化膜のアルゴンガスによるエッチングレートの測定結果を表3に示した。
Claims (8)
- 下記一般式(2)で表される有機金属錯体化合物。
- 前記一般式(2)における有機基R1がアクリロイルオキシ基またはメタクリロイルオキシ基である請求項1に記載の有機金属錯体化合物。
- アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基およびビニル基から選択される有機基を有するβ-ジケトン化合物と、タンタルである遷移金属の原子を有する遷移金属アルコキシド化合物とを、上記遷移金属の原子に対する上記β−ジケトン化合物のβ-ジケトン構造の当量比が2以上となる割合で反応させる工程を含む有機金属錯体化合物の製造方法。
- 前記β-ジケトン化合物が下記一般式(1)で表される請求項3に記載の有機金属錯体化合物の製造方法。
- 前記一般式(1)における有機基R1がアクリロイルオキシ基またはメタクリロイルオキシ基である請求項4に記載の有機金属錯体化合物の製造方法。
- 請求項1または2に記載の有機金属錯体化合物および重合開始剤を含む光硬化性組成物。
- 請求項1または2に記載の有機金属錯体化合物および反応性希釈剤を含む光硬化性組成物。
- 請求項1もしくは2に記載の有機金属錯体化合物または請求項6もしくは7に記載の光硬化性組成物からなるナノインプリント用パターン形成材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011101630A JP5839830B2 (ja) | 2010-04-28 | 2011-04-28 | 有機金属錯体化合物、有機金属錯体化合物の製造方法および有機金属錯体化合物を含む光硬化性組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010103959 | 2010-04-28 | ||
JP2010103959 | 2010-04-28 | ||
JP2011101630A JP5839830B2 (ja) | 2010-04-28 | 2011-04-28 | 有機金属錯体化合物、有機金属錯体化合物の製造方法および有機金属錯体化合物を含む光硬化性組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011246466A JP2011246466A (ja) | 2011-12-08 |
JP5839830B2 true JP5839830B2 (ja) | 2016-01-06 |
Family
ID=45412182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011101630A Expired - Fee Related JP5839830B2 (ja) | 2010-04-28 | 2011-04-28 | 有機金属錯体化合物、有機金属錯体化合物の製造方法および有機金属錯体化合物を含む光硬化性組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5839830B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG188770A1 (en) * | 2011-09-22 | 2013-04-30 | Agency Science Tech & Res | A process for making a patterned metal oxide structure |
KR102314722B1 (ko) * | 2015-05-27 | 2021-10-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 몰리브덴 또는 텅스텐 함유 박막의 ald용 전구체의 합성 및 사용 |
US10662527B2 (en) | 2016-06-01 | 2020-05-26 | Asm Ip Holding B.V. | Manifolds for uniform vapor deposition |
US10358407B2 (en) | 2016-10-12 | 2019-07-23 | Asm Ip Holding B.V. | Synthesis and use of precursors for vapor deposition of tungsten containing thin films |
US11492701B2 (en) | 2019-03-19 | 2022-11-08 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor manifolds |
KR20210048408A (ko) | 2019-10-22 | 2021-05-03 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 증착 반응기 매니폴드 |
TW202136571A (zh) | 2020-02-10 | 2021-10-01 | 荷蘭商Asm Ip 控股公司 | 高深寬比孔內的氧化鉿之沉積 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004061323A1 (de) * | 2004-12-20 | 2006-06-22 | Epg (Engineered Nanoproducts Germany)Gmbh | Optische Komponente aus einem anorganisch-organischen Hybridmaterial zur Herstellung von Brechzahlgradientenschichten mit hoher lateraler Auflösung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
-
2011
- 2011-04-28 JP JP2011101630A patent/JP5839830B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011246466A (ja) | 2011-12-08 |
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A521 | Written amendment |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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