JP5834600B2 - 紫外線センサ素子、および紫外線センサ - Google Patents
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<紫外線センサ素子の作製>
Nbが0.05wt%でドープされ、第1面が(001)面方位に優先的に配向しているNbドープSrTiO3単結晶バルク基板(Nb(0.05wt%):SrTiO3単結晶基板 (100) 10mm×10mm×0.5mmt 両面研磨 9分割ブレーク溝つき、信光社製)を寸法3.3mm×3.3mm×0.5mmtに切断した。この切断した試料をNbドープSrTiO3単結晶基板として用いた。その後、空気中で紫外線(低圧水銀ランプ(岩崎電気製))により30分露光し、オゾン洗浄を行うことにより、NbドープSrTiO3単結晶バルク基板の研磨面を洗浄・改質した。
ベース基板(TO−5ベース、フジ電科製)と第2電極であるAl薄膜とを、導電性カーボンペースト(ドータイト、CX−12、藤倉化成製)により接合した。ベース基板に接合された紫外線センサ素子の第1電極である金薄膜と陽極端子に接合した金製のボンディングワイヤ(30μφ、田中電子工業製)とを導電性接合部材である導電性カーボンペースト(ドータイト、CX−12、藤倉化成製)で接合することによって紫外線センサを作製した。
本実施例で作製した紫外線センサの特性評価を以下の項目で行った。
本実施例で作製した紫外線センサの分光応答度を以下の条件で測定した。その結果、紫外線センサへの紫外線の入射波長が280nmのとき、最大分光応答度3.90mA/Wを示した。測定結果を図3に示す。
波長:250nm〜800nm
スリット幅:7μm
電流計:エレクトロメータ、R8240、アドバンテスト
バイアス電圧:なし
ダーク電流:2.51×10−12A
<紫外線センサ素子の作製>
NbドープSrTiO3単結晶基板として、Nbが0.05wt%でドープされ、第1面が(001)面方位に優先的に配向しているNbドープSrTiO3単結晶バルク基板(Nb(0.05wt%):SrTiO3単結晶基板 (100) 10mm×10mm×0.5mmt 両面研磨 溝なし、信光社製)を用いた以外は、実施例1と同様の方法で、紫外線センサ素子を作製した。
ベース基板(銅張積層板、サンハヤト製)と第2電極であるAl薄膜とを、導電性カーボンペースト(ドータイト、CX−12、藤倉化成製)により接合した。ベース基板に接合された紫外線センサ素子の第1電極である金薄膜と陽極端子であるアルミニウム箔(アルミニウムはく、住軽アルミ箔製)とを導電性接合部材である導電性カーボンペースト(ドータイト、CX−12、藤倉化成製)で接合することによって紫外線センサを作製した。この紫外線センサを窒素雰囲気下に設置した。なお、本実施例ではパッケージを用いていないが、本実施例で作製した紫外線センサを窒素雰囲気下に設置すること、および窒素で満たされるパッケージ内部に紫外線センサ素子を設置することは、同様の効果をもたらす。
本実施例で作製した紫外線センサの特性評価を以下の項目で行った。
本実施例で作製した紫外線センサの線形性を以下の条件で測定した。このとき、紫外線センサに到達する紫外線の波長は254nmであった。測定結果を図4に示す。ただし、照射線照度が11.6mW/cm2のとき、減光フィルタはセットしなかった。
光源と紫外線センサとの距離:50mm
照度計:紫外線照度計・光量計、UV−M03A、オーク製作所
ダイヤモンド紫外線モニタ、EVUV−200、岩崎電気
減光フィルタ:メッシュフィルタ(岩崎電気製)
本実施例で作製した紫外線センサの耐久性を以下の条件で測定した。測定結果を図5に示す。
光源と紫外線センサとの距離:50mm
照射時間:74.5h
水銀輝線照度:185nmのとき1.37mW/cm2
254nmのとき9.72mW/cm2
365nmのとき0.30mW/cm2
400nmのとき1.54mW/cm2
2 NbドープSrTiO3単結晶基板
3 第1電極
4 第2電極
5 紫外線センサ
6 ベース基板
7 パッケージ
8 受光窓
9 ボンディングワイヤ
10 陽極端子
11 陰極端子
12 電流計
Claims (5)
- 紫外線センサ素子であって、
Nbが0.01wt%以上0.10wt%以下でドープされたSrTiO3単結晶基板からなり、紫外線を受光する面である第1面および前記第1面に対向する第2面を有する受光層と、
前記第1面上に形成され、紫外線を受光するショットキー電極である第1電極と、
前記第2面上に形成されるオーミック電極である第2電極と
を備えた紫外線センサ素子であり、
入射波長280nm〜315nmの分光応答度が1.00E−1より大きく、かつ入射波長400nm〜800nmの分光応答度が1.00E−4未満であることを特徴とする紫外線センサ素子。 - 請求項1に記載の紫外線センサ素子であって、
前記SrTiO3単結晶の第1面は、(001)面方位に優先的に配向している紫外線センサ素子。 - 請求項1または2に記載の紫外線センサ素子と、前記第2電極が接合されるベース基板とを備え、
前記第2電極がアルミニウムからなり、前記第2電極と前記ベース基板とがカーボンからなる導電性接合層で接合される紫外線センサ。 - 請求項3に記載の紫外線センサであって、
前記ベース基板と一体化されたパッケージ(部材)を備え、
前記パッケージは、前記紫外線センサ素子を内部に含み、かつ前記紫外線センサ素子に紫外線を入射させる受光窓を備える紫外線センサ。 - 請求項4に記載の紫外線センサであって、
前記パッケージの内部雰囲気は、アルゴン、窒素、乾燥空気から選ばれる1種または2種以上のガス、または真空である紫外線センサ。
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