JP5833303B2 - 接着剤層の形成方法、および接着剤組成物 - Google Patents
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Description
本発明の接着剤層の形成方法は、接着面上に、熱硬化性成分および有機溶媒を含む接着剤組成物を非接触型の塗付装置を用いて選択的に塗布する塗布工程と、接着面上に塗布された接着剤組成物から溶媒を除去する溶媒除去工程とを有するものである。本発明の接着剤層の形成方法では、特に接着剤組成物として平均粒子径が1〜200nmの無機フィラーを1〜20質量%含有するものを用いることを特徴としている。
半導体装置の製造には、例えば半導体素子自体を形成する前工程と、この半導体素子を基材に実装して半導体装置とする後工程とがある。前工程には、例えば成膜・レジスト塗布・露光・現像・エッチング・レジスト除去等によりシリコンウェハーの表面に回路パターンを形成する回路形成工程、検査工程、洗浄工程、熱処理工程、不純物導入工程、拡散工程、平坦化工程等がある。また、後工程には、接着剤層形成工程、ダイシング工程、ダイボンディング工程、ワイヤーボンディング工程、封止工程等の組立工程、機能や信頼性の検査を行う検査工程等がある。なお、各工程は必要に応じて適宜順序を変更することができる。
表1に示すように、エポキシ樹脂AとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)100質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーAとしてオルガノシリカゾルPMA−ST(日産化学工業株式会社製、商品名)370質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)416質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。
表1に示すように、エポキシ樹脂A、BとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)80質量部、EOCN103S(日本化薬株式会社製、商品名)20質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーAとしてオルガノシリカゾルPMA−ST(日産化学工業株式会社製、商品名)370質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)416質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。この接着剤組成物は、25℃における粘度が11mPa・sであり、固形成分が25質量%であった。
表1に示すように、エポキシ樹脂AとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)100質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーAとしてオルガノシリカゾルPMA−ST(日産化学工業株式会社製、商品名)190質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)439質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。この接着剤組成物は、25℃における粘度が11mPa・sであり、固形成分が23質量%であった。
表1に示すように、エポキシ樹脂AとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)100質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーAとしてオルガノシリカゾルPMA−ST(日産化学工業株式会社製、商品名)93質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)340質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。この接着剤組成物は、25℃における粘度が13mPa・sであり、固形成分が26質量%であった。
表1に示すように、エポキシ樹脂AとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)100質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーBとしてオルガノシリカゾルIPA−ST−ZL(日産化学工業株式会社製、商品名)370質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)416質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。
表1に示すように、エポキシ樹脂AとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)100質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーCとしてコロイダルシリカ スノーテックスXS(日産化学工業株式会社製、商品名)280質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)288質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。
表1に示すように、エポキシ樹脂AとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)100質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマーブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)342質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。この接着剤組成物は、25℃における粘度が12mPa・sであり、固形成分が25質量%であった。
表1に示すように、エポキシ樹脂AとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)100質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーDとしてアドマフィンSO−E3(株式会社アドマテックス製、商品名)110質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)672質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。この接着剤組成物は、25℃における粘度が14mPa・sであり、固形成分が25質量%であった。なお、上記したアドマフィンSO−E3(株式会社アドマテックス製、商品名)は、SiO2からなり、平均粒子径は1μmである。
表1に示すように、エポキシ樹脂A、BとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)80質量部、EOCN103S(日本化薬株式会社製、商品名)20質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーDとしてアドマフィンSO−E3(株式会社アドマテックス製、商品名)110質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)672質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。この接着剤組成物は、25℃における粘度が13mPa・sであり、固形成分が25質量%であった。
表1に示すように、エポキシ樹脂AとしてjER1001(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)100質量部、エポキシ用硬化剤としてフェノール樹脂のBRG−556(昭和高分子株式会社製、商品名)10質量部、シランカップリング剤としてKBM403(信越化学工業株式会社製、商品名)2質量部、硬化促進剤A、BとしてU−CAT SA 102(サンアプロ株式会社製、商品名)1.5質量部、2E4MZ(四国化成工業株式会社製、商品名)0.2質量部、無機フィラーAとしてオルガノシリカゾルPMA−ST(日産化学工業株式会社製、商品名)5000質量部、界面活性剤としてBYK−302(ビックケミー・ジャパン社製)0.2質量部、有機溶媒としてガンマ−ブチロラクトンGBL(三菱化学株式会社製、商品名)800質量部を混合し、60℃で加熱溶解して、接着剤組成物を作製した。この接着剤組成物は、25℃における粘度が12mPa・sであり、固形成分が27質量%であった。
まず、接着剤組成物について、粘弾性測定機 Rheometer ARES(Rheometric Scientific社製、商品名)を用いて、測定温度80℃で角速度を可変にして5ラジアン毎秒と50ラジアン毎秒との溶融粘度の比を算出した(表中、チクソ性)。一例として、実施例1の接着剤組成物については、5ラジアン毎秒では14800Pa・s、50ラジアン毎秒では5500Pa・sであり、その比は2.7であった。
Claims (6)
- ウェハー表面上に、熱硬化性成分および有機溶媒を含む接着剤組成物をインクジェット装置を用いて選択的に塗布する塗布工程と、前記ウェハー表面上に塗布された前記接着剤組成物から溶媒を除去する溶媒除去工程とを有する接着剤層の形成方法であって、
前記接着剤組成物は、平均粒子径が1〜200nmの無機フィラーを1〜20質量%含有するとともに、25℃での粘度が5〜50mPa・sで、チクソ性が1.8〜3.7であることを特徴とするウェハー表面上への接着剤層の形成方法。 - 前記熱硬化性成分は、エポキシ樹脂、エポキシ硬化剤、および硬化促進剤を含むことを特徴とする請求項1記載の接着剤層の形成方法。
- 前記無機フィラーがシリカであることを特徴とする請求項1または2記載の接着剤層の形成方法。
- 前記溶媒除去工程において40〜120℃で加熱を行うことにより前記接着剤組成物を半硬化状態とする半硬化工程を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の接着剤層の形成方法。
- 前記接着剤組成物中の前記熱硬化性成分の含有量が5〜50質量%であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の接着剤層の形成方法。
- インクジェット装置によるウェハー表面上の接着剤層の形成に用いられる接着剤組成物であって、
熱硬化性成分および有機溶媒を含むとともに、平均粒子径が1〜200nmの無機フィラーを1〜20質量%含み、25℃での粘度が5〜50mPa・sで、チクソ性が1.8〜3.7であることを特徴とする接着剤組成物。
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