JP5830111B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は半導体製造に関し、特に高電圧(HV)半導体素子およびその製造方法に関する。
本発明は、半導体装置に関し、特に、超低オン抵抗のトレンチゲート電極を有する半導体装置およびその製造方法に関するものである。
高収率の装置の需要の増加に伴い、2つ以上の半導体装置が1つのチップ内に統合される。バイポーラCMOS−LDMOS(BCD)は、デバイス集積に広く用いられている。BCD技術は、バイポーラ、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)、および横方向拡散金属酸化物半導体(LDMOS:laterally diffused metal−oxide−semiconductor)技術を1つのチップ内に集積する。BCD装置では、バイポーラ装置は、高電流を駆動するように用いられ、CMOSは、デジタル回路に低消費電力を提供し、LDMOS装置は、高電圧(HV)処理能力を提供する。
LDMOS装置は、各種のアプリケーションに広く用いられる。オン抵抗は、LDMOS装置の消費電力に直接比例する重要な要素である。電力節約の需要と電子装置のより良い性能の増加に伴い、メーカーは、LDMOS装置の漏れ(leakage)とオン抵抗(Ron)の低減を絶えず模索している。しかしながら、オン抵抗の低減は、高オフ状態ブレークダウン電圧に密接に関っている。具体的に言えば、オン抵抗の低減は、高オフ状態ブレークダウンブレークダウン電圧を大幅に下げることになる。よって、従来のLDMOS装置は、高オフ状態ブレークダウン電圧を供給することができるが、低オン抵抗を提供することができない。
LDMOS装置は、ドリフト領域、およびボディ領域を含む。ドリフト領域のドーパント濃度が増加した時、従来のLDMOS装置のオン抵抗が低減することは明らかになっている。しかしながら、ドーピング濃度が増加した時、LDMOSの高オフ状態ブレークダウン電圧が減少する。
よって、ブレークダウン電圧に関する不足のない低オン抵抗を有する改善された半導体装置およびその製造方法が必要である。
超低オン抵抗のトレンチゲート電極を有する半導体装置およびその製造方法を提供する。
半導体装置の例示的な実施形態は、第2の導電型と相対する第1の導電型を有するボディ領域、ボディ領域(第2の導電型を有する)に形成されたソース領域、ボディ領域に隣接した第2の導電型を有するドリフト領域、およびドリフト領域に形成されたドレイン領域を含む第1の導電型を有する基板、ボディ領域とドリフト領域の間に形成されたトレンチ、トレンチに隣接して配置されたゲート誘電体層、前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナー、および前記ゲート誘電体層上に形成され、前記トレンチに延伸するゲート電極を含む半導体装置を含む。
半導体装置のもう1つの例示的な実施形態は、ボディ領域を有する第1の導電型を有する基板、ボディ領域の上面からボディ領域内に延伸した、第1の導電型に相反する第2の導電型を有する一対の拡散エクステンション領域、拡散エクステンション領域の1つに形成されたソース領域および拡散エクステンション領域のもう1つに形成されたドレイン領域、拡散エクステンション領域の1つに形成され、一対の拡散エクステンション領域の間のボディ領域の一部内に延伸したトレンチ、トレンチに隣接して配置されたゲート誘電体層、トレンチをライニングし、ゲート誘電体層に接するライナー、およびゲート誘電体層上に形成され、トレンチに延伸するゲート電極を含む半導体装置を含む。
半導体装置を形成する方法の例示的な実施形態は、第1の導電型を有する基板を提供するステップ、基板に第1の導電型を有するボディ領域を形成するステップ、基板にボディ領域に隣接した、第1の導電型に相反する第2の導電型を有するドリフト領域を形成するステップ、ボディ領域とドリフト領域の間の基板にシャロートレンチアイソレーション(STI)を形成するステップ、基板上に誘電体層を形成するステップ、STIと誘電体層の一部を除去し、トレンチとトレンチに隣接するゲート誘電体層をそれぞれ形成するステップ、トレンチをライニングし、ゲート誘電体層に接するライナーを形成するステップ、ゲート誘電体層上、且つトレンチ内に延伸するゲート電極を形成するステップ、およびボディ領域にソース領域とドリフト領域にドレイン領域を形成するステップを含む。
半導体装置を形成する方法のもう1つの例示的な実施形態は、第1の導電型を有する基板を提供するステップ、基板に前記第1の導電型を有するボディ領域を形成するステップ、ボディ領域に第1の導電型に相反する第2の導電型を有する一対の拡散エクステンション領域を形成するステップ、拡散エクステンション領域の1つに、一対の拡散エクステンション領域の間のボディ領域の一部内に延伸するシャロートレンチアイソレーション(STI)を形成するステップ、基板上に誘電体層を形成するステップ、STIと前記誘電体層の一部を除去し、トレンチとトレンチに隣接するゲート誘電体層をそれぞれ形成するステップ、トレンチをライニングし、ゲート誘電体層に接するライナーを形成するステップ、ゲート誘電体層上、且つトレンチ内に延伸するゲート電極を形成するステップ、および拡散エクステンション領域にソース領域を形成し、且つ拡散エクステンション領域のもう1つにドレイン領域を形成するステップを含む。
従来の半導体装置の断面図である。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。 本発明の実施形態に係る半導体装置を製造する段階的な手順を示している。
図1は、従来の半導体装置100の断面図が示されている。半導体装置100は、基板110を含み、ボディ領域112と基板110に形成されたドリフト領域114を有する。基板110は、その中に形成された複数のシャロートレンチアイソレーション(STI:shallow trench isolation)130を更に含む。従来の半導体装置100では、STI130は、酸化ケイ素などの誘電材料で充填されたトレンチである。他の共通要素、例えば、ソース領域150とドレイン領域160、ゲート誘電体層170、およびゲート電極180なども半導体装置100に含まれる。注意するのは、オン抵抗(以下、Ronとも称す)は、半導体装置のピッチPに直接比例することである。
本発明は、ブレークダウン電圧を損なうことなく、ピッチを短縮することによってRonを低減した、改善された半導体装置を提供する。
図2a〜2jは、本発明の実施形態に係る半導体装置200を製造する段階的な手順を示しており、図2a〜2cは、半導体装置200のボディ領域とドリフト領域の形成を示している。図2aに示すように、第1の導電型を有する基板210が提供される。基板210は、例えばバルクシリコン基板、シリコンオンインシュレータ(SOI)基板などである。他の例として、基板210は、ホウ素ドープ基板などのp型の第1の導電型を有してもよい。また、基板210は、リンまたはヒ素基板などのn型の第1の導電型を有してもよい。任意の他の好適な基板、例えば化合物半導体基板、または多層基板なども用いられる。
図2bに示すように、複数の絶縁構造230、230a、および230bが形成される。本実施形態において、絶縁構造230、230a、および230bは、シャロートレンチアイソレーション(STI)である。STIを形成する従来のプロセスがSTI230を形成するのに用いられ、図では詳細に示されない。前記プロセスは、基板210上に第1の絶縁層(例えば、酸化ケイ素(SiO))および第2の絶縁層(例えば、窒化ケイ素(SiN))を順次に形成するステップ、第1と第2絶縁層および基板210を選択的にエッチングし、基板210にトレンチを形成するステップ、トレンチの表面または側壁に窒素(例えば、酸窒化ケイ素(Si))をリッチ(rich)状態とするライナーを形成するステップ、基板210の表面に充填材(隙間を埋める充填材であり、例えば、二酸化ケイ素、またはホウリンケイ酸ガラス)を堆積させ、トレンチを充填するステップ、充填材にアニールプロセスを施すプロセス、及び、基板210を平坦化して(例えば化学機械研磨(CMP)などの従来の方法によって)、トレンチの充填材の部分が基板の上面と同じ高さになるように余分な充填膜を除去するステップを含む。注意するのは、上述のプロセスは、一例であり、これらに制限されるものではない。
図2cに示すように、絶縁構造230、230a、230bが形成された後、パターン化されたマスク層20が基板210上に形成され、所定のドリフト領域を露出させる。パターン化されたマスク層20は、例えば窒化ケイ素または酸窒化ケイ素などのフォトレジスト層またはハードマスク層でもよい。ドーピングプロセス300は、第2の導電型を有するドーパントを半導体基板210内に選択的にドープし、ドリフト領域214を規定する。第2の導電型は、第1の導電型と異なり、ドリフト領域214の部分の導電型に相当する。また第1の導電型は、後述するボディ領域の212の部分の導電型に相当する。パターン化されたマスク層20は、ドリフト領域214が形成された後、除去される。
図2dに示すように、パターン化されたマスク層30は、基板210上に形成され、ドリフト領域214の形成に続いて所定のボディ領域を露出する。パターン化されたマスク層30は、例えば窒化ケイ素または酸窒化ケイ素などのフォトレジスト層またはハードマスク層である。マスク層30が形成された後、ドーピングプロセス400は、第1の導電型のドーパントを半導体基板210内に選択的にドープし、ボディ領域212を規定する。例示的な実施形態として、基板210のドーパントの濃度は、ボディ領域212のドーパントの濃度より大きい。例えば、ボディ領域212がp型の時、基板210は、重ドープのp型(P+)である。次いで、マスク層30は、ボディ領域212が形成された後、除去される。
ボディ領域212とドリフト領域214が形成された後、図2eに表されるように、誘電体層240は、基板210上に形成される。誘電体層240は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、高誘電率誘電体(high−k dielectric)、ゲート誘電体用の他の好適な誘電材料、またはその組み合わせを含む。高誘電率誘電体は、例えば、Li、Be、Mg、Ca、Sr、Sc、Y、Zr、Hf、Al、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、およびその混合物の酸化物の金属酸化物を含むことができる。誘電体層240は、原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)、化学気相成長(CVD:Chemical Vapor Deposition)、物理気相成長(PVD:Physical Vapor Deposition)、熱酸化、UVオゾン酸化、またはその組み合わせなどの当技術分野で公知の通常のプロセスによって形成されることができる。誘電体層240は、約2000オングストロームから10000オングストローム(2000オングストローム以上から10000オングストローム以下の間)の厚さを有することができる。
図2fに示すように、エッチングプロセス500は、パターン化されたマスク層を用いて絶縁構造230を除去し、ボディ領域212とドリフト領域214との間にトレンチ232を形成し、且つ誘電体層240の一部を除去し、トレンチ232に隣接してゲート誘電体層241を形成する。ゲート誘電体層241は、少なくとも1つのその端(側壁)に傾斜側壁241aを有する。留意すべきは、図2fは、傾斜側壁を示しているが側壁241は、垂直壁または任意の他の好適な形状でもよい。エッチングプロセス500は、ドライエッチングプロセス、ウェットエッチングプロセスなどでもよい。パターン化されたマスク層40は、例えば窒化ケイ素または酸窒化ケイ素などのフォトレジスト層またはハードマスク層でもよい。パターン化されたマスク層40は、エッチングプロセス500後、除去される。
図2gに示すように、トレンチ232をライニングし、ゲート誘電体層241に接するライナー250が形成される。ライナー250は、ゲート誘電体層241によって露出された基板の上面を覆っている。実施形態では、ライナー250は、例えば、熱酸化、UVオゾン酸化などの酸化プロセスによって基板210を酸化することで形成される。他の実施形態では、ライナー250は、例えば化学気相成長(CVD)、物理気相成長(PVD)などの堆積プロセスによって形成されてもよい。ライナー250は、ゲート誘電体層241より薄い。いくつかの実施形態では、ライナー250は、約100〜500オングストローム(100オングストローム以上から500オングストローム以下の間)の厚さを有することができる。
図2hに示すように、ゲート電極260は、ゲート誘電体層241とライナー250の一部の上に形成される。ゲート電極260は、トレンチ232内に少なくとも一部延伸する。ゲート電極260は、金属、ポリシリコン、ケイ化タングステン(WSi)、またはその組み合わせを含む材料で形成されることができる。ゲート電極260は、低圧化学気相成長(LPCVD)、プラズマ化学気相成長(PECVD)、他の好適なプロセス、またはその組み合わせなどのプロセスを用いて形成されることができる。ゲート電極260は、ゲート誘電体層241とライナー250間の高低差により段260aを有する。本実施形態では、ゲート電極260はトレンチに共形的に(トレンチの形状に沿うように)形成されてもよく、これによりトレンチ232に対応した凹部262を提供する。他の実施形態では、ゲート電極260は、トレンチを実質的に充填することができ、図2iに示されるように、平坦な表面を有してもよい。
図2jに示すように、ソース領域270は、ボディ領域212に形成され、ドレイン領域280はドリフト領域214に形成される。ソース領域270とドレイン領域280は、従来技術に一般的に用いられるドーピングプロセス、例えばイオン注入プロセスによって形成されればよい。
例えば、層間誘電(ILD:Inter−Layer Dielectric)膜とソース/ドレイン電極(不図示)などの従来の半導体装置に一般的に確認される特徴は、半導体装置200の形成を完成するために用いられる。このような特徴の形成は、当技術において周知のことであるため、ここでは詳細に述べない。
本実施形態は、トレンチ232に形成されたゲート電極260を有する半導体装置200を提供する。本実施形態は、従来の半導体装置と比較して少なくとも以下の利点を提供する。第1に、トレンチ232内に延伸するゲート電極260は、半導体装置200の低オン抵抗(Ron)へと導き、電流フローのためにより短いピッチP(図2jに図示)を提供する。第2に、ゲート電極260の設計により、ブレークダウン電圧レベルは、半導体装置200のオン抵抗を低減しながら維持されることができる。
留意すべきは、図に描かれた半導体装置200は、ゲート電極に形成された1つのトレンチと提供されることである。しかしながら、設計要件に応じて、ゲート電極のトレンチの数は、より短いピッチが提供されれば、1つ以上であることができる。
図3a〜3jは、本発明の他の実施形態に係る半導体装置300を製造する段階的な手順を示しており、その中の図3a〜3cは、本発明の実施形態に基づく半導体装置300のボディ領域と一対の拡散エクステンション領域の形成を示している。図3aに示すように、第1の導電型を有する基板310が提供される。基板310は、例えばバルクシリコン基板、シリコンオンインシュレータ(SOI)基板などである。他の例として、基板310は、ホウ素ドープ基板などのp型の第1の導電型を有してもよい。また、基板210は、リンまたはヒ素基板などのn型の第1の導電型を有してもよい任意の他の好適な基板、例えば化合物半導体基板、または多層基板なども用いられる。
図3bに示すように、複数の絶縁構造330、330a、および330bが形成される。絶縁構造330の一部は、拡散エクステンション領域314b内に延伸される。本実施形態では、絶縁構造330、330a、および330bは、シャロートレンチアイソレーション(STI)である。STIを形成する従来のプロセスがSTI230を形成するのに用いられ、図では詳細に示されない。前記プロセスは、基板310上に第1の絶縁層(例えば、酸化ケイ素(SiO))および第2の絶縁層(例えば、窒化ケイ素(SiN))を順次に形成するステップ、第1と第2絶縁層および基板310を選択的にエッチングし、基板310にトレンチ332を形成するステップ、トレンチの表面または側壁に窒素(例えば、酸窒化ケイ素(Si))をリッチ状態とするライナーを形成するステップ、基板310の表面に充填材(隙間を埋める充填材であり、例えば、二酸化ケイ素、またはホウリンケイ酸ガラス)を堆積させ、トレンチを充填するステップ、充填材にアニールプロセスを施すプロセス、および基板210を平坦化して(例えば化学機械研磨(CMP)などの従来の方法によって)、トレンチの充填材の部分が基板の上面と同じ高さになるように余分な間隙充填膜を除去するステップを含む。注意するのは、上述のプロセスは、一例であり、これらに制限されるものではない。
図3cに示すように、パターン化されたマスク層20が基板210上に形成され、所定のエクステンション領域を露出させる。パターン化されたマスク層20は、例えば窒化ケイ素または酸窒化ケイ素などのフォトレジスト層またはハードマスク層でもよい。ドーピングプロセス300は、第2の導電型を有するドーパントを半導体基板310内に選択的にドープし、一対の拡散エクステンション領域314a、314bを規定する。第2の導電型は、第1の導電型と異なり、一対の拡散エクステンション領域314a、314bの部分の導電型に相当する。また第1の導電型は後述するボディ領域312の部分の導電型に相当する。パターン化されたマスク層20は、拡散エクステンション領域314aと314bが形成された後、除去される。拡散エクステンション領域314aと314bが形成された後、図3dに示すように、ドーピングプロセス400が実行され、第1の導電型のドーパントを半導体基板310の所定の領域内に注入し、図3dに示すように、ボディ領域312を規定する。これにより、一対の拡散エクステンション領域314a、314bは、ボディ領域312の上面からボディ領域内312に延伸する。例示的な実施形態として、基板310のドーパントの濃度は、ボディ領域312のドーパントの濃度より大きい。例えば、ボディ領域312がp型の時、基板310は、重ドープのp型(P+)である。
図3dに示されたステップの後、図3eに表されるように、誘電体層340は基板310上に形成される。誘電体層340は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、高誘電率誘電体(high−k dielectric)、ゲート誘電体用の他の好適な誘電材料、またはその組み合わせを含む。高誘電率誘電体は、例えば、Li、Be、Mg、Ca、Sr、Sc、Y、Zr、Hf、Al、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、およびその混合物の酸化物の金属酸化物を含むことができる。誘電体層340は、原子層堆積(ALD)、化学気相成長(CVD)、物理気相成長(PVD)、熱酸化、UVオゾン酸化、またはその組み合わせなどの当技術分野で公知の通常のプロセスによって形成されることができる。誘電体層340は、約2000オングストロームから10000オングストローム(2000オングストローム以上から10000オングストローム以下の間)の厚さを有することができる。
図3fに示すように、エッチングプロセス500は、パターン化されたマスク層を用いて絶縁構造330を除去し、トレンチ332を形成し、且つ誘電体層340の一部を除去し、トレンチ232に隣接してゲート誘電体層341を形成する。ゲート誘電体層341は、少なくとも1つのその端(側壁)に形成された傾斜側壁341aを有する。図3fは、傾斜側壁を示しているが、留意すべきは、側壁341aは、垂直壁または任意の他の形状でもよい。いくつかの実施形態では、エッチングプロセス500は、ドライエッチングプロセス、ウェットエッチングプロセスなどでもよい。パターン化されたマスク層40は、例えば窒化ケイ素または酸窒化ケイ素などのフォトレジスト層またはハードマスク層でもよい。パターン化されたマスク層40は、エッチングプロセス500後、除去される。
図3gに示すように、トレンチ332をライニングし、ゲート誘電体層341に接するライナー350が形成される。ライナー350は、ゲート誘電体層341によって露出された基板の上面を覆っている。実施形態では、ライナー350は、例えば、熱酸化、UVオゾン酸化などの酸化プロセスによって基板310を酸化することで形成される。他の実施形態では、ライナー350は、例えば化学気相成長(CVD)、物理気相成長(PVD)などの堆積プロセスによって形成されてもよい。ライナー350は、ゲート誘電体層341より薄いことができる。いくつかの実施形態では、ライナー350は、約100〜500オングストローム(100オングストローム以上から500オングストローム以下の間)の厚さを有することができる。
図3hに示すように、ゲート電極360は、ゲート誘電体層341とライナー350の一部の上に形成される。ゲート電極360は、トレンチ332内に少なくとも一部延伸する。ゲート電極360は、金属、ポリシリコン、ケイ化タングステン(WSi)、またはその組み合わせを含む材料で形成されることができる。ゲート電極360は、低圧化学気相成長(LPCVD)、プラズマ化学気相成長(PECVD)、他の好適なプロセス、またはその組み合わせなどのプロセスを用いて形成されることができる。ゲート電極360は、ゲート誘電体層341とライナー350間の高低差により段360aを有する。本実施形態では、ゲート電極360はトレンチに共形的に形成されてもよく、これによりトレンチ332に対応した凹部262を提供する。他の実施形態では、ゲート電極360は、トレンチ332を実質的に充填することができ、図3iに示されるように、平坦な表面を有してもよい。
図3jに示すように、ソース領域370は、拡散エクステンション領域314bに形成され、ドレイン領域380は拡散エクステンション領域314aに形成される。ソース領域270とドレイン領域280は、従来技術に一般的に用いられるドーピングプロセス、例えばイオン注入プロセスによって形成されればよい。
例えば、層間誘電(ILD)膜とソース/ドレイン電極(不図示)などの従来の半導体装置に一般的に確認される特徴は、半導体装置300の形成を完成するために用いられる。このような特徴の形成は、当技術において周知のことであるため、ここでは詳細に述べない。
本実施形態は、二重拡散半導体装置300のトレンチ332に形成されたゲート電極360を提供する。トレンチ内に延伸するゲート電極360は、半導体装置のブレークダウン電圧値を維持しながら、半導体装置の低オン抵抗(Ron)へと導き、電流フローのためにより短いピッチを提供する。
留意すべきは、図に描かれた半導体装置200は、ゲート電極に形成された1つのトレンチと提供されることである。しかしながら、設計要件に応じて、ゲート電極のトレンチの数は、より短いピッチが提供されれば、1つ以上であることができる。
本実施形態は、特定の半導体装置を示しているが、絶縁構造に延伸するゲート電極は、他の半導体装置、例えばMOSFET、EDMOSなどに用いられてもよい。
この発明は実施例の方法及び好ましい実施の形態の観点で記述されているが、この発明がこれらの実施の形態を限定するものではなく種々の変更および同様の変形を施してもよい。
100…半導体装置
110、210、310…基板
112、212、312…ボディ領域
114、214…ドリフト領域
130…シャロートレンチアイソレーション(STI)
150…ソース領域
160…ドレイン領域
170…ゲート誘電体層
180、260、360…ゲート電極
210…基板
230、230a、230b、330、330a、330b…絶縁構造
232、332…トレンチ
20、30、40…マスク層
300、400…ドーピングプロセス
500…エッチングプロセス
240…誘電体層
241、341…ゲート誘電体層
241a、341a…傾斜側壁
250、350…ライナー
262…凹部
260a、360a…段
270、370…ソース領域
280…ドレイン領域
314a、314b…拡散エクステンション領域

Claims (14)

  1. 第2の導電型と相対する第1の導電型を有するボディ領域、前記ボディ領域に形成されたソース領域、前記ボディ領域に隣接し前記第2の導電型を有するドリフト領域、及び、前記ドリフト領域に形成されたドレイン領域を有する基板と、
    前記ボディ領域と前記ドリフト領域の間に形成されたトレンチと、
    前記トレンチに隣接して配置されたゲート誘電体層と、
    前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナーと、
    前記ゲート誘電体層上に形成され、前記トレンチに延伸するゲート電極を含み
    前記ゲート電極は、前記ゲート誘電体層と前記ライナー間の高低差により形成される段を有する
    半導体装置。
  2. 前記ライナーは、前記ゲート誘電体層より薄い請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記ライナーは、100〜500オングストロームの間の厚さを有する請求項1または2のいずれか一項に記載の半導体装置。
  4. 前記ゲート誘電体層は、2000〜10000オングストロームの間の厚さを有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。
  5. 前記ゲート電極は前記トレンチに共形的に形成される請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
  6. 前記ゲート電極は、前記トレンチを完全に充填し、前記トレンチ上に平坦な表面を形成する請求項1〜のいずれか一項に記載の半導体装置。
  7. 前記ゲート電極は、金属、ポリシリコン、金属シリサイド、またはその組み合わせを含む請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。
  8. 第1の導電型を有するボディ領域が形成された基板と、
    前記ボディ領域の上面から前記ボディ領域内に延伸し、前記第1の導電型に相反する第2の導電型を有する一対の拡散エクステンション領域と、
    前記一対の拡散エクステンション領域のうち一方の拡散エクステンション領域に形成されたソース領域と、
    前記一対の拡散エクステンション領域のうち他方の拡散エクステンション領域に形成されたドレイン領域と、
    前記一方の拡散エクステンション領域に形成され、前記一対の拡散エクステンション領域の間の前記ボディ領域の一部内に延伸したトレンチと、
    前記トレンチに隣接して配置されたゲート誘電体層と、
    前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナーと、
    前記ゲート誘電体層上に形成され、前記トレンチに延伸するゲート電極を含み
    前記ゲート電極は、前記ゲート誘電体層と前記ライナー間の高低差により形成される段を有する
    半導体装置。
  9. 半導体装置を形成する方法であって、
    第1の導電型を有する基板を提供するステップ、
    前記第1の導電型を有するボディ領域を前記基板に形成するステップ、
    前記ボディ領域に隣接した、前記第1の導電型に相反する第2の導電型を有するドリフト領域を前記基板に形成するステップ、
    前記ボディ領域とドリフト領域の間の前記基板にシャロートレンチアイソレーション(以下、STIを称す)を形成するステップ、
    前記基板上に誘電体層を形成するステップ、
    前記STIと前記誘電体層の一部を除去し、トレンチと前記トレンチに隣接するゲート誘電体層をそれぞれ形成するステップ、
    前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナーを形成するステップ、
    前記ゲート誘電体層上で前記トレンチ内に延伸するゲート電極を形成するステップ、および、
    前記ボディ領域にソース領域を形成し前記ドリフト領域にドレイン領域を形成するステップを含む方法。
  10. 前記ライナーは、前記ゲート誘電体層より薄い請求項9に記載の方法。
  11. 前記ゲート電極は前記トレンチに共形的に形成される請求項9又は10に記載の方法。
  12. 前記ゲート電極は、前記トレンチを完全に充填し、前記トレンチ上に平坦な表面を形成する請求項9又は10に記載の方法。
  13. 前記ゲート電極は、金属、ポリシリコン、金属シリサイド、またはその組み合わせを含む請求項9〜12のいずれか一項に記載の方法。
  14. 半導体装置を形成する方法であって、
    第1の導電型を有する基板を提供するステップ、
    前記第1の導電型を有するボディ領域を前記基板に形成するステップ、
    前記第1の導電型に相反する第2の導電型を有する一対の拡散エクステンション領域を前記ボディ領域に形成するステップ、
    前記一対の拡散エクステンション領域のうち一方の拡散エクステンション領域内から、前記一対の拡散エクステンション領域の間の前記ボディ領域の一部内に延伸するシャロートレンチアイソレーション(以下、STIと称す)を形成するステップ、
    前記基板上に誘電体層を形成するステップ、
    前記STIと前記誘電体層の一部を除去し、トレンチと前記トレンチに隣接するゲート誘電体層をそれぞれ形成するステップ、
    前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナーを形成するステップ、
    前記ゲート誘電体層上で、前記トレンチ内に延伸するゲート電極を形成するステップ、及び、
    前記拡散エクステンション領域にソース領域を形成し、且つ前記拡散エクステンション領域のもう1つにドレイン領域を形成するステップを含み、
    前記ゲート電極は、前記ゲート誘電体層と前記ライナー間の高低差により形成される段を有する
    方法。
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