JP5830111B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
110、210、310…基板
112、212、312…ボディ領域
114、214…ドリフト領域
130…シャロートレンチアイソレーション(STI)
150…ソース領域
160…ドレイン領域
170…ゲート誘電体層
180、260、360…ゲート電極
210…基板
230、230a、230b、330、330a、330b…絶縁構造
232、332…トレンチ
20、30、40…マスク層
300、400…ドーピングプロセス
500…エッチングプロセス
240…誘電体層
241、341…ゲート誘電体層
241a、341a…傾斜側壁
250、350…ライナー
262…凹部
260a、360a…段
270、370…ソース領域
280…ドレイン領域
314a、314b…拡散エクステンション領域
Claims (14)
- 第2の導電型と相対する第1の導電型を有するボディ領域、前記ボディ領域に形成されたソース領域、前記ボディ領域に隣接し前記第2の導電型を有するドリフト領域、及び、前記ドリフト領域に形成されたドレイン領域を有する基板と、
前記ボディ領域と前記ドリフト領域の間に形成されたトレンチと、
前記トレンチに隣接して配置されたゲート誘電体層と、
前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナーと、
前記ゲート誘電体層上に形成され、前記トレンチに延伸するゲート電極を含み、
前記ゲート電極は、前記ゲート誘電体層と前記ライナー間の高低差により形成される段を有する
半導体装置。 - 前記ライナーは、前記ゲート誘電体層より薄い請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ライナーは、100〜500オングストロームの間の厚さを有する請求項1または2のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート誘電体層は、2000〜10000オングストロームの間の厚さを有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極は前記トレンチに共形的に形成される請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極は、前記トレンチを完全に充填し、前記トレンチ上に平坦な表面を形成する請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極は、金属、ポリシリコン、金属シリサイド、またはその組み合わせを含む請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 第1の導電型を有するボディ領域が形成された基板と、
前記ボディ領域の上面から前記ボディ領域内に延伸し、前記第1の導電型に相反する第2の導電型を有する一対の拡散エクステンション領域と、
前記一対の拡散エクステンション領域のうち一方の拡散エクステンション領域に形成されたソース領域と、
前記一対の拡散エクステンション領域のうち他方の拡散エクステンション領域に形成されたドレイン領域と、
前記一方の拡散エクステンション領域に形成され、前記一対の拡散エクステンション領域の間の前記ボディ領域の一部内に延伸したトレンチと、
前記トレンチに隣接して配置されたゲート誘電体層と、
前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナーと、
前記ゲート誘電体層上に形成され、前記トレンチに延伸するゲート電極を含み、
前記ゲート電極は、前記ゲート誘電体層と前記ライナー間の高低差により形成される段を有する
半導体装置。 - 半導体装置を形成する方法であって、
第1の導電型を有する基板を提供するステップ、
前記第1の導電型を有するボディ領域を前記基板に形成するステップ、
前記ボディ領域に隣接した、前記第1の導電型に相反する第2の導電型を有するドリフト領域を前記基板に形成するステップ、
前記ボディ領域とドリフト領域の間の前記基板にシャロートレンチアイソレーション(以下、STIを称す)を形成するステップ、
前記基板上に誘電体層を形成するステップ、
前記STIと前記誘電体層の一部を除去し、トレンチと前記トレンチに隣接するゲート誘電体層をそれぞれ形成するステップ、
前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナーを形成するステップ、
前記ゲート誘電体層上で前記トレンチ内に延伸するゲート電極を形成するステップ、および、
前記ボディ領域にソース領域を形成し前記ドリフト領域にドレイン領域を形成するステップを含む方法。 - 前記ライナーは、前記ゲート誘電体層より薄い請求項9に記載の方法。
- 前記ゲート電極は前記トレンチに共形的に形成される請求項9又は10に記載の方法。
- 前記ゲート電極は、前記トレンチを完全に充填し、前記トレンチ上に平坦な表面を形成する請求項9又は10に記載の方法。
- 前記ゲート電極は、金属、ポリシリコン、金属シリサイド、またはその組み合わせを含む請求項9〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 半導体装置を形成する方法であって、
第1の導電型を有する基板を提供するステップ、
前記第1の導電型を有するボディ領域を前記基板に形成するステップ、
前記第1の導電型に相反する第2の導電型を有する一対の拡散エクステンション領域を前記ボディ領域に形成するステップ、
前記一対の拡散エクステンション領域のうち一方の拡散エクステンション領域内から、前記一対の拡散エクステンション領域の間の前記ボディ領域の一部内に延伸するシャロートレンチアイソレーション(以下、STIと称す)を形成するステップ、
前記基板上に誘電体層を形成するステップ、
前記STIと前記誘電体層の一部を除去し、トレンチと前記トレンチに隣接するゲート誘電体層をそれぞれ形成するステップ、
前記トレンチをライニングし、前記ゲート誘電体層に接するライナーを形成するステップ、
前記ゲート誘電体層上で、前記トレンチ内に延伸するゲート電極を形成するステップ、及び、
前記拡散エクステンション領域にソース領域を形成し、且つ前記拡散エクステンション領域のもう1つにドレイン領域を形成するステップを含み、
前記ゲート電極は、前記ゲート誘電体層と前記ライナー間の高低差により形成される段を有する
方法。
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JP2014012251A JP5830111B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | 半導体装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014012251A JP5830111B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
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JP2015141922A JP2015141922A (ja) | 2015-08-03 |
JP5830111B2 true JP5830111B2 (ja) | 2015-12-09 |
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ID=53772127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014012251A Active JP5830111B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | 半導体装置およびその製造方法 |
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