JP5828353B2 - 窒化物結晶製造方法および窒化物結晶製造装置 - Google Patents
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Description
2 断熱材
3 ヒーター
4 炉心管
5 結晶成長容器台
6 結晶成長容器
7 結晶成長容器蓋
8 坩堝
9 坩堝蓋
10 原料液
11 坩堝台
12 供給管
13 排気管
14 排出管
Claims (5)
- 断熱材および前記断熱材で囲われた加熱手段を有する加熱装置と、
前記加熱装置の内側に配置され、均熱性を保つための炉心管と、
前記炉心管の内側に配置され、結晶材料とアルカリ金属又はアルカリ土類金属とを収納する坩堝が内部に設置される結晶成長容器とを備え、
前記結晶成長容器内に原料ガスが供給された状態で、前記加熱装置が前記炉心管を介して前記坩堝を加熱する
窒化物結晶製造装置。 - 前記結晶成長容器内に複数の前記坩堝を設置した場合に前記坩堝が設置された各部分の温度差が10度未満である
請求項1に記載の窒化物結晶製造装置。 - 複数の前記坩堝は多段に配置されている
請求項2に記載の窒化物結晶製造装置。 - 前記結晶成長容器と前記炉心管との間に間隔を有する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の窒化物結晶製造装置。 - 結晶材料とアルカリ金属又はアルカリ土類金属とを坩堝に収納する工程と、
均熱性を保つための炉心管の内側に配置された結晶成長容器内に前記坩堝を設置する工程と、
前記炉心管の外側に配置され、断熱材および前記断熱材で囲われた加熱手段を有する加熱装置により前記炉心管を介して前記坩堝を加熱する工程と
を含む窒化物結晶製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014146078A JP5828353B2 (ja) | 2014-07-16 | 2014-07-16 | 窒化物結晶製造方法および窒化物結晶製造装置 |
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JP2010045433A Division JP5581735B2 (ja) | 2010-03-02 | 2010-03-02 | 窒化物結晶製造方法および窒化物結晶製造装置 |
Publications (2)
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JP2014221717A JP2014221717A (ja) | 2014-11-27 |
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JP2014146078A Active JP5828353B2 (ja) | 2014-07-16 | 2014-07-16 | 窒化物結晶製造方法および窒化物結晶製造装置 |
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JP (1) | JP5828353B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6233275B2 (ja) * | 2014-10-30 | 2017-11-22 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 定着装置及び画像形成装置 |
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JP4189423B2 (ja) * | 2004-02-19 | 2008-12-03 | パナソニック株式会社 | 化合物単結晶の製造方法、およびそれに用いる製造装置 |
JP5182944B2 (ja) * | 2006-03-24 | 2013-04-17 | 日本碍子株式会社 | 窒化物単結晶の製造方法および装置 |
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JP2014221717A (ja) | 2014-11-27 |
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