JP5824231B2 - ブレーキング装置 - Google Patents
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Description
受け部4(第1当接部)は基板保持部2の下面に当接している。また、押え部5(第2当接部)は基板保持部2の上面に当接している。撮像部7は基板10の上方のブレード3に対向して基板10の下方に設けてもよいし、基板10の下方のブレード3に対向して基板10の上方に設けてもよい。2点鎖線61、62、63は各ブレード3の中心とこれから切断しようとしている各分割予定線10a上とを通る仮想線である。その他の部分は第1実施形態と同様である。
2 基板保持部
3 ブレード
3a ブレード可動軸
4 受け部
4b 傾斜面
4c 曲面
5 押え部
5a 押え部可動軸
5b 傾斜面
5c 曲面
6 保持枠固定部
7 撮像部
8 照明部
10 基板
10a 分割予定線
11 粘着シート
12 保護シート
13 保持枠
21 取付台
22 基台
23 空間
25 アングル
41、51、61、62、63、71 仮想線
C1、C2、C3、C4、C5、C6 チップ領域
L1 受け部4の幅
L2 押え部5の幅
D1 チップ領域の幅
D2 ブレード3の中心と受け部4との基板10に平行な方向の距離
D3 ブレード3の中心と押え部5との基板10に平行な方向の距離
Claims (11)
- 分割予定線によって複数のチップ領域が形成された基板を前記分割予定線に沿って分割するブレーキング装置において、
前記基板の一面に当接する第1当接部と、第1当接部に対向して前記基板の他面に当接する第2当接部と、第1当接部及び第2当接部により挟まれた前記基板の前記分割予定線上に曲げ応力を付与して切断するブレードとを備え、
前記基板に対して第1当接部を前記ブレードと同じ側に配置して第2当接部を前記ブレードと反対側に配置し、前記ブレードの中心と第2当接部との前記基板に平行な方向の距離が前記ブレードの中心と第1当接部との前記基板に平行な方向の距離以下であり、
第1当接部は前記ブレードと反対側の面と前記基板の当接面とのコーナーが曲面に形成され、
第1当接部及び第2当接部により挟まれるとともに一端が分割済の前記チップ領域の他端を前記ブレードにより切断することを特徴とするブレーキング装置。 - 第1当接部及び第2当接部をそれぞれ複数設け、前記ブレードにより切断する前記分割予定線の両側の前記チップ領域を第1当接部及び第2当接部により挟んだことを特徴とする請求項1に記載のブレーキング装置。
- 第1当接部の前記ブレードに対向する面は前記ブレードに近づくほど前記基板側に近づくように傾斜する傾斜面となっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のブレーキング装置。
- 第1当接部の前記ブレードの長手方向に平行な方向の長さが、第2当接部の前記ブレードの長手方向に平行な方向の長さ以下であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のブレーキング装置。
- 第1当接部及び第2当接部の幅が前記チップ領域の幅以上であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載のブレーキング装置。
- 分割予定線によって複数のチップ領域が形成された基板を前記分割予定線に沿って分割するブレーキング装置において、
前記基板の一面に当接する第1当接部と、第1当接部に対向して前記基板の他面に当接する第2当接部と、第1当接部及び第2当接部により挟まれた前記基板の前記分割予定線上に曲げ応力を付与して切断するブレードとを備え、
第1当接部及び第2当接部により挟まれるとともに一端が分割済の前記チップ領域の他
端を前記ブレードにより切断し、
複数の前記ブレードを順に前記基板に対して反対側に配置して並設し、一端に配した前記ブレードにより切断される前記チップ領域を第1当接部及び第2当接部により挟んだことを特徴とするブレーキング装置。 - 前記ブレードを3つ備え、前記基板に対して第1当接部を両端の前記ブレードと同じ側に配置するとともに第2当接部を中央の前記ブレードと同じ側に配置し、前記中央のブレードの中心と第2当接部との前記基板に平行な方向の距離が前記チップ領域の幅の2倍よりも小さいことを特徴とする請求項6に記載のブレーキング装置。
- 前記基板に対して前記ブレードと反対側に設けられて前記分割予定線を撮像する撮像部を備え、前記ブレードと同じ側に配される第1当接部または第2当接部は透明な材料で形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれかに記載のブレーキング装置。
- 前記基板に対して前記ブレードと同じ側に設けられて前記基板を照明する照明部を備えたことを特徴とする請求項8に記載のブレーキング装置。
- 前記ブレードと同じ側に配した第1当接部又は第2当接部が照明光を導光すること特徴とする請求項9に記載のブレーキング装置。
- 分割予定線によって複数のチップ領域が形成された基板を前記分割予定線に沿って分割するブレーキング装置において、
前記基板の一面に当接する第1当接部と、第1当接部に対向して前記基板の他面に当接する第2当接部と、第1当接部及び第2当接部により挟まれた前記基板の前記分割予定線上に曲げ応力を付与して切断するブレードと、前記基板に対して前記ブレードと反対側に設けられて前記分割予定線を撮像する撮像部と、
を備え、前記ブレードと同じ側に配される第1当接部または第2当接部が自発光材料により形成され、
第1当接部及び第2当接部により挟まれるとともに一端が分割済の前記チップ領域の他端を前記ブレードにより切断することを特徴とするブレーキング装置。
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