JP5823999B2 - 高速直接変調レーザ - Google Patents
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本発明の実施例を、再び図1を参照して説明する。本発明の直接変調レーザ100を、下記のように製造した。
f3dB=1.55×fr
の関係が成り立つ。このため、DMLの高速動作を実現するために緩和振動周波数frの上昇が必須となる。
101、201 n−InP基板
102、202 MQW構造102
103 InGaAsPノンドープ半導体層
104、203、204 InGaAlAs pドープ半導体層
105 p−InPクラッド層105
106 p−InGaAsPコンタクト層
107 p側電極
108 n側電極
109 導波路部分
110 絶縁膜
111 誘電体
Claims (6)
- n−InP基板上に作製したリッジ型導波路を有する直接変調レーザにおいて、
InGaAlAs材料のMQW構造と、
前記MQW構造の上層のInGaAsP材料のノンドープ半導体層と、
前記ノンドープ半導体層の上層のInGaAlAs材料またはInAlAs材料のpドープ半導体層と、
前記pドープ半導体層の上層のp−InPクラッド層とにより構成され、
前記リッジ型導波路の導波路部分は前記pドープ半導体層およびp−InPクラッド層により構成される
ことを特徴とする直接変調レーザ。 - 前記リッジ型導波路の前記導波路部分の脇部は、半導体InPと比較して低誘電率な材料で埋め込まれた構造を有することを特徴とする請求項1に記載の直接変調レーザ。
- 共振器長が100μm〜200μmであることを特徴とする請求項2に記載の直接変調レーザ。
- 前記ノンドープ半導体層の厚さは20nm以上100nm以下であり、前記ノンドープ半導体層のInGaAsP材料のバンドギャップ波長が0.9〜1.2μmであることを特徴とする請求項2または3に記載の直接変調レーザ。
- 前記低誘電率の材料は、BCBであることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の直接変調レーザ。
- 前記低誘電率の材料は、ポリイミドであることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の直接変調レーザ。
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