JP5819345B2 - タッチパネルセンサ、タッチパネルセンサを作製するための積層体、および、タッチパネルセンサの製造方法 - Google Patents
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透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層と、前記第1導電層および前記第2導電層のうちの少なくとも一つの層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を有する積層体の一方の側の面上に感光性を有する第1感光層を形成し、前記積層体の他方の側の面上に感光性を有する第2感光層を形成する工程と、
前記第1感光層上に第1マスクを配置するとともに前記第2感光層上に第2マスクを配置した状態で、前記第1感光層および前記第2感光層を互いに異なるパターンで同時に露光する工程と、
前記第1感光層および前記第2感光層を現像してパターニングする工程と、
パターニングされた前記感光層をマスクとして前記遮光層をエッチングして、前記遮光層をパターニングする工程と、
パターニングされた前記感光層および前記遮光層をマスクとして、前記第1導電層および前記第2導電層をエッチングして、前記第1導電層および前記第2導電層を互いに異なるパターンにパターニングする工程と、
前記第1導電層および前記第2導電層をパターニングした後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記第1感光層および前記第2感光層を除去する工程と、
前記第1感光層および第2感光層を除去する工程の後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記遮光層を除去する工程と、を備えることを特徴とする。
タッチパネルセンサを作製するために用いられる積層体であって、
透光性を有した単一体としての基材フィルムと、
前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層と、
前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層と、
前記第1導電層および前記第2導電層の少なくとも一つの層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を備えることを特徴とする。
透光性を有した単一体としての基材フィルムと、
前記基材フィルムの一方の面上に所定のパターンで設けられた第1導電体を有する第1電極部と、
前記基材フィルムの他方の面上に所定のパターンで設けられた第2導電体を有する第2電極部と、を備え、
前記第1導電体および前記第2導電体は透光性を有し、
前記第1導電体および前記第2導電体のうちの少なくとも一方の端部における輪郭の傾斜角度は45°以上であることを特徴とする。
15 表示装置
20 タッチパネル装置
30 タッチパネルセンサ
32 基材フィルム
32a 面(一方の側の面)
32b 面(他方の側の面)
33 フィルム本体
34 機能膜(インデックスマッチング膜)
34a 高屈折率膜
34b 低屈折率膜
35 機能膜(低屈折率膜)
36 外部取り出し線
40 第1電極部
41 第1導電体
42 ライン部
43 膨出部
45 第2電極部
46 第2導電体
47 ライン部
48 膨出部
50 積層体(ブランクス)
52a 第1導電層
52b 第2導電層
54 遮光層
56a 第1感光層
56b 第2感光層
58a 第1マスク(第1フォトマスク)
58b 第2マスク(第2フォトマスク)
Claims (11)
- 透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層と、前記第1導電層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を有する積層体の前記遮光層側の面上に感光性を有する第1感光層を形成し、前記積層体の他方の側の面上に感光性を有する第2感光層を形成する工程と、
前記第1感光層上に第1マスクを配置するとともに前記第2感光層上に第2マスクを配置した状態で、前記第1感光層および前記第2感光層を互いに異なるパターンで露光する工程と、
前記第1感光層および前記第2感光層を現像してパターニングする工程と、
パターニングされた前記第1感光層をマスクとして前記遮光層をエッチングして、前記遮光層をパターニングする工程と、
パターニングされた前記第1感光層および前記遮光層をマスクとして、前記第1導電層をエッチングするとともに、パターニングされた前記第2感光層をマスクとして、前記第2導電層をエッチングして、前記第1導電層および前記第2導電層を互いに異なるパターンにパターニングする工程と、
前記第1導電層および前記第2導電層をパターニングした後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記第1感光層および前記第2感光層を除去する工程と、
前記第1感光層および第2感光層を除去する工程の後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記遮光層を除去する工程と、を備える
ことを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。 - 透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層と、前記1導電層上に設けられ遮光性を有する第1遮光層と、前記2導電層上に設けられ遮光性を有する第2遮光層と、を有する積層体の一方の側の面上に感光性を有する第1感光層を形成し、前記積層体の他方の側の面上に感光性を有する第2感光層を形成する工程と、
前記第1感光層上に第1マスクを配置するとともに前記第2感光層上に第2マスクを配置した状態で、前記第1感光層および前記第2感光層を互いに異なるパターンで露光する工程と、
前記第1感光層および前記第2感光層を現像してパターニングする工程と、
パターニングされた前記感光層をマスクとして前記第1遮光層および前記第2遮光層をエッチングして、前記第1遮光層および前記第2遮光層をパターニングする工程と、
パターニングされた前記感光層および前記遮光層をマスクとして、前記第1導電層および前記第2導電層をエッチングして、前記第1導電層および前記第2導電層を互いに異なるパターンにパターニングする工程と、
前記第1導電層および前記第2導電層をパターニングした後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記第1感光層および前記第2感光層を除去する工程と、
前記第1感光層および第2感光層を除去する工程の後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記第1遮光層および前記第2遮光層を除去する工程と、を備えることを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。 - 前記第1感光層および前記第2感光層を露光する工程において、前記第1マスクに設けられた位置決めマークおよび前記第2マスクに設けられた位置決めマークを基準として、前記第1マスクおよび前記第2マスクが互いに対して位置決めされる
ことを特徴とする請求項1または2に記載のタッチパネルセンサの製造方法。 - 透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層と、前記第1導電層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を有する積層体を用意する工程と、
前記積層体の前記遮光層側の面上に感光性を有する第1感光層を形成し、前記積層体の他方の側の面上に感光性を有する第2感光層を形成する工程と、
前記第1感光層上に第1マスクを配置するとともに前記第2感光層上に第2マスクを配置した状態で、前記第1感光層および前記第2感光層を互いに異なるパターンで露光する工程と、
前記第1感光層および前記第2感光層を現像してパターニングする工程と、
パターニングされた前記第1感光層をマスクとして、前記第1導電層までエッチングして第1導電層をパターニングし、パターニングされた前記第2感光層をマスクとして、前記第2導電層をエッチングして前記第2導電層をパターニングする工程と、
を有することを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。 - 透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層と、前記1導電層上に設けられ遮光性を有する第1遮光層と、前記2導電層上に設けられ遮光性を有する第2遮光層と、を有する積層体を用意する工程と、
前記積層体の前記第1遮光層側の面上に感光性を有する第1感光層を形成し、前記積層体の前記第2遮光層側の面上に感光性を有する第2感光層を形成する工程と、
前記第1感光層上に第1マスクを配置するとともに前記第2感光層上に第2マスクを配置した状態で、前記第1感光層および前記第2感光層を互いに異なるパターンで露光する工程と、
前記第1感光層および前記第2感光層を現像してパターニングする工程と、
パターニングされた前記第1感光層をマスクとして、前記第1導電層までエッチングして第1導電層をパターニングし、パターニングされた前記第2感光層をマスクとして、前記第2導電層までエッチングして前記第2導電層をパターニングする工程と、
を有することを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。 - 前記現像された前記第1感光層および前記第2感光層を除去する工程を、さらに有することを特徴とする請求項4または5に記載のタッチパネルセンサの製造方法。
- 前記感光層をマスクとしてエッチングされた後の遮光層を除去する工程をさらに有することを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサの製造方法。
- ロールに巻き取られた前記積層体を繰り出していき、繰り出された前記積層体に対して各工程を施し、得られたタッチパネルセンサはロールに巻き取られることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサの製造方法。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の製造方法でタッチパネルセンサを作製するために用いられる積層体であって、
透光性を有した単一体としての基材フィルムと、
前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層と、
前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層と、
前記第1導電層および前記第2導電層の少なくとも一つの層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を備える
ことを特徴とする積層体。 - タッチパネルセンサを作製するために用いられる積層体であって、
透光性を有した基材フィルムと、
前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層であって、前記積層体に前記一方の側から積層され且つ前記一方の側から露光されることによってパターンニングされた第1感光層をマスクとして、エッチングされることにより、パターニングされるようになる第1導電層と、
前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層であって、前記積層体に前記他方の側から積層され且つ前記他方の側から露光されることによってパターンニングされた第2感光層をマスクとして、エッチングされることにより、パターニングされるようになる第2導電層と、
前記第1導電層および前記第2導電層の少なくとも一つの層上に設けられた遮光層であって、前記第1感光層を露光するための前記一方の側からの光を遮光し得り且つ前記第2感光層を露光するための前記他方の側からの光を遮光し得る遮光性を有し、前記第1感光層上に第1マスクを配置するとともに前記第2感光層上に第2マスクを配置した状態で前記第1感光層および前記第2感光層を互いに異なるパターンで露光することを可能にする遮光層と、を備える
ことを特徴とする積層体。 - 前記第1導電層上に第1遮光層が設けられ、前記第2導電層上に第2遮光層が設けられている
ことを特徴とする請求項9または10に記載の積層体。
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