JP5816437B2 - レーザ加工機 - Google Patents
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Description
前記レーザ加工ヘッドに備えた保護ガラスの下面中央部の放射温度を測定するための温度測定手段と、
この温度測定手段によって測定した温度を基にして、レーザ加工初期における所定のサンプリング時間A1とA2との間の前記保護ガラスの温度勾配Rを演算する演算手段と、
劣化の浅い保護ガラスに対してレーザ光を照射したときの照射初期の温度勾配P及び劣化が進んでいる保護ガラスに対してレーザ光を照射したときの照射初期の温度勾配Qを格納した温度勾配メモリと、
前記演算手段によって演算された温度勾配Rと前記温度勾配メモリに格納されている前記温度勾配Qとを比較すると共に、前記温度勾配Qと温度勾配Rとの差(Q−R)と、予め設定してある設定値Sとを比較する比較手段と、
この比較手段の比較結果を出力する出力手段と、を備えていることを特徴とするレーザ加工機。
B=H・C+I・・・・・(1)
と表わされる。なお、H、Iは、保護ガラス13の劣化度合に対応したパラメータであり、保護ガラス13の前記NOに対応して予め設定してある。
B=U・t2 +V・t+W・・・・・(2)
と表わされる。なお、U,V,Wは、保護ガラス13の劣化度合に対応したパラメータであり、保護ガラス13の前記NOに対応して予め設定してある。
C=(U・t2 +V・t+W)/H−I・・・・・(3)
と表わされる。
T=X・t2 +Y・t+Z・・・・・(4)
と表わされる。なお、X,Y,Zは保護ガラス13の劣化度合に対応したパラメータであり、保護ガラス13の前記NOに対応して予め設定してある。
T=α・C±β・・・・・(5)
と表わされる。なお、α,βは保護ガラス13の劣化度合に対応したパラメータであり、保護ガラス13の前記NOに対応して予め設定してある。
5 レーザ加工ヘッド
11 集光レンズ(光学素子)
13 保護ガラス(光学素子)
17 放射温度センサ(温度測定手段)
19 焦点位置補正制御手段
31 保護ガラス状態メモリ
33 第1焦点位置メモリ
35 第2焦点位置メモリ
37 焦点位置補正手段
39 温度勾配メモリ
41 検索手段
43 演算手段
45 比較手段
47 温度・補正位置メモリ
Claims (3)
- ワークに対してレーザ加工ヘッドをX軸、Y軸、Z軸方向へ相対的に移動自在に備えたレーザ加工機であって、
前記レーザ加工ヘッドに備えた保護ガラスの下面中央部の放射温度を測定するための温度測定手段と、
この温度測定手段によって測定した温度を基にして、レーザ加工初期における所定のサンプリング時間A1とA2との間の前記保護ガラスの温度勾配Rを演算する演算手段と、
劣化の浅い保護ガラスに対してレーザ光を照射したときの照射初期の温度勾配P及び劣化が進んでいる保護ガラスに対してレーザ光を照射したときの照射初期の温度勾配Qを格納した温度勾配メモリと、
前記演算手段によって演算された温度勾配Rと前記温度勾配メモリに格納されている前記温度勾配Qとを比較すると共に、前記温度勾配Qと温度勾配Rとの差(Q−R)と、予め設定してある設定値Sとを比較する比較手段と、
この比較手段の比較結果を出力する出力手段と、を備えていることを特徴とするレーザ加工機。 - 請求項1に記載のレーザ加工機において、前記出力手段は、前記温度勾配P、Qを含む曲線PL、QL及び前記温度勾配Rを含む曲線RLを同時に表示する表示画面であることを特徴とするレーザ加工機。
- 請求項1又は2に記載のレーザ加工機において、コリメーションレンズを光軸方向に移動調節する場合のコリメーションレンズの位置と焦点位置との関係、又は集光レンズ方向へレーザ光を反射する凹面鏡の曲率と前記保護ガラスの温度との関係を、前記保護ガラスの劣化度合に対応して格納した温度・補正位置メモリと、前記温度測定手段によって測定した温度を基にして、前記温度・補正位置メモリを検索する検索手段と、この検索手段の検索結果に基づいて前記コリメーションレンズの位置、又は前記凹面鏡の曲率を補正する焦点位置補正手段と、を備えていることを特徴とするレーザ加工機。
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