JP5814630B2 - Crystal plate cleaning jig - Google Patents
Crystal plate cleaning jig Download PDFInfo
- Publication number
- JP5814630B2 JP5814630B2 JP2011122461A JP2011122461A JP5814630B2 JP 5814630 B2 JP5814630 B2 JP 5814630B2 JP 2011122461 A JP2011122461 A JP 2011122461A JP 2011122461 A JP2011122461 A JP 2011122461A JP 5814630 B2 JP5814630 B2 JP 5814630B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exterior body
- base plate
- crystal
- hole
- quartz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
本発明は、薄く形成された板状体を洗浄する際に用いる水晶素板洗浄用治具に関するものである。 The present invention relates to a quartz plate cleaning jig used when cleaning a thin plate-shaped body.
水晶素板は、従来より、その主面に励振用電極が形成されて通信機器や電子機器等に搭載される圧電デバイスに用いられている。 Conventionally, a quartz base plate is used for a piezoelectric device in which an excitation electrode is formed on a main surface thereof and is mounted on a communication device, an electronic device or the like.
水晶素板は、励振用電極を形成する前に洗浄される。水晶素板は小さく割れやすいため、水晶素板の洗浄には、水晶素板洗浄用治具が用いられる。具体的には、水晶素板洗浄用治具は、第1の外装体と第2の外装体とから構成されている。 The quartz base plate is cleaned before forming the excitation electrode. Since the crystal base plate is small and easily broken, a crystal base plate cleaning jig is used for cleaning the crystal base plate. Specifically, the crystal blank cleaning jig is composed of a first exterior body and a second exterior body.
第1の外装体は、第1の基部と第1の枠部により構成されている。第1の枠部は、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第1の枠部で囲まれた部分が第1の収容部となる。つまり、第1の収容部は、第1の基部と第1の枠部により形成される。第1の収容部は、その内部に水晶素板が挿入可能であり、第1の収容部底面となる第1の枠部内の第1の基部に第1の貫通孔が設けられている。 The first exterior body includes a first base portion and a first frame portion. A plurality of first frame portions are provided by etching a single metal plate, and a portion surrounded by the first frame portions serves as a first housing portion. That is, the first housing portion is formed by the first base portion and the first frame portion. A quartz base plate can be inserted into the first housing portion, and a first through hole is provided in a first base portion in the first frame portion that becomes the bottom surface of the first housing portion.
第2の外装体は、第2の基部と第2の枠部により構成されている。第2の枠部は、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第2の枠部で囲まれた部分が第2の収容部となる。つまり、第2の収容部は、第2の基部と第2の枠部により形成される。第2の基部と第2の枠部により第2の収容部が複数形成されており、第2の収容部底面となる第2の枠部内の第2の基部に第2の貫通孔が設けられている。水晶素板が、第1の収容部の水晶素板に対向する底面と第2の収容部の水晶素板に対向する底面にはさまれて第1の外装体から脱落しないようになっている(例えば、特許文献1参照)。 The second exterior body includes a second base portion and a second frame portion. The second frame portion is provided by etching a single metal plate, and a portion surrounded by the second frame portion serves as a second housing portion. That is, the second housing portion is formed by the second base portion and the second frame portion. A plurality of second accommodating portions are formed by the second base portion and the second frame portion, and a second through hole is provided in the second base portion in the second frame portion that becomes the bottom surface of the second accommodating portion. ing. The crystal base plate is sandwiched between the bottom surface of the first housing portion facing the crystal base plate and the bottom surface of the second housing portion facing the crystal base plate so as not to fall off from the first exterior body. (For example, refer to Patent Document 1).
この従来の水晶素板洗浄用治具を用いた水晶素板の洗浄は、水晶素板を収容し、洗浄用治具を洗浄槽に浸けて、水晶素板洗浄用治具に向かって水流を噴射することによって、水晶素板に付着している研磨粉やごみ等の付着物を落とすシャワー洗浄を行なっている(例えば、特許文献2参照)。 Cleaning of the crystal base plate using this conventional crystal base plate cleaning jig involves storing the crystal base plate, immersing the cleaning jig in a cleaning tank, and flowing water toward the crystal base plate cleaning jig. By spraying, shower cleaning is performed to remove deposits such as polishing powder and dust adhering to the quartz base plate (see, for example, Patent Document 2).
しかしながら、従来の水晶素板洗浄用治具は、第1の外装体及び第2の外装体が四隅に設けられた磁石部によって固定されているものであり、第1の外装体及び第2の外装体のどちらか一方の外側に向いている面に対して水流を噴射することにより、第1の貫通孔内及び第2の貫通孔内から第1の収容部内及び第2の収容部内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が撓んで第1の外装体と第2の外装体との間に不要な隙間が生じ、この隙間に水晶素板が入り込み、水晶素板が第1の外装体の第1の枠部と第2の外装体の第2の枠部とで挟まれることによって、水晶素板が割れてしまうといった課題があった。また、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が撓んだ状態になることから、水晶素板が固定されなくなるため、第1の外装体の第1の枠部と第2の外装体の第2の枠部との間に生じた隙間に入り込んだ水晶素板を収容部に再整理する工程が必要になるため、生産性が低下してしまうといった課題があった。
However, in the conventional quartz plate cleaning jig, the first exterior body and the second exterior body are fixed by the magnet portions provided at the four corners, and the first exterior body and the second exterior body are fixed. By injecting a water flow onto the outer surface of one of the exterior bodies, it enters the first housing part and the second housing part from within the first through hole and the second through hole. Due to the water pressure of the water flow, the exterior body on the surface opposite to the side from which the water flow is jetted is deflected to create an unnecessary gap between the first exterior body and the second exterior body. There is a problem that the quartz base plate breaks when the plate enters and the quartz base plate is sandwiched between the first frame portion of the first exterior body and the second frame portion of the second exterior body. . In addition, since the exterior body on the surface opposite to the side from which the water flow is jetted is bent, the crystal base plate is not fixed, and therefore the first frame portion and the second exterior body of the first exterior body are not fixed. Since a process of rearranging the quartz base plate that has entered the gap generated between the outer frame and the second frame portion into the housing portion is required, there is a problem that productivity is reduced.
本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、第1の外装体の第1の枠部と第2の外装体の第2の枠部との隙間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減すると共に、生産性を向上させる水晶素板洗浄用治具を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and a quartz base plate enters a gap between the first frame portion of the first exterior body and the second frame portion of the second exterior body, and the quartz base plate It is an object of the present invention to provide a crystal plate cleaning jig that reduces the breakage of the quartz plate and improves the productivity.
本発明の一つの態様による水晶素板洗浄用治具は、第1及び第2の外装体を備えている。第一外装体は、水晶素板が設けられている収容部を有し、収容部の底面に第1の貫通孔が設けられ、収容部を囲むようにして磁石部が設けられている。第2の外装体は、第2の貫通孔および前記収容部に嵌め込まれる凸部を有しており、前記収容部を覆うように前記磁石部によって、前記収容部の底面と前記凸部の主面とで前記収容部に収容される前記水晶素板の縁部を挟んだ状態で、前記第1の外装体に固定される。 A crystal blank cleaning jig according to an aspect of the present invention includes first and second exterior bodies. The first exterior body has a housing portion in which a quartz base plate is provided, a first through hole is provided in the bottom surface of the housing portion, and a magnet portion is provided so as to surround the housing portion. The second exterior body has a second through hole and a convex portion fitted into the accommodating portion, and the magnet portion covers the bottom surface of the accommodating portion and the main portion of the convex portion so as to cover the accommodating portion. It is fixed to the first exterior body with a surface sandwiching an edge of the quartz base plate housed in the housing part .
本発明の一つの態様による水晶素板洗浄用治具において、第1の外装体は、水晶素板が設けられる収容部を有し、収容部の底面に第1の貫通孔が設けられ、収容部を囲むようにして磁石部が設けられている。第2の外装体は、
第2の貫通孔および前記収容部に嵌め込まれる凸部を有しており、前記収容部を覆うように前記磁石部によって、前記収容部の底面と前記凸部の主面とで前記収容部に収容される前記水晶素板の縁部を挟んだ状態で、前記第1の外装体に固定されることによって、
洗浄時に収容部内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、
第1の外装体の第1の枠部と第2の外装体の第2の基部との間に隙間が生じず、前記隙間に水晶素板が入り込むことを低減することができるので、第1の外装体の第1の枠部と第2の外装体の第2の基部とで挟まれることがなくなり、水晶素板が破損することを低減することができる。
また、第1の外装体の第1の枠部と第2の外装体の第2の基部との間に隙間が生じないため、水晶素板が入り込むことがなくなり、水晶素板を第1の収容部に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
In the crystal base plate cleaning jig according to one aspect of the present invention, the first exterior body has a storage portion in which the crystal base plate is provided, and the first through hole is provided in the bottom surface of the storage portion. A magnet part is provided so as to surround the part. The second exterior body is
The second through hole and the convex portion fitted into the accommodating portion are provided, and the magnet portion covers the accommodating portion between the bottom surface of the accommodating portion and the main surface of the convex portion so as to cover the accommodating portion. By being fixed to the first exterior body in a state of sandwiching the edge of the accommodated quartz base plate ,
Due to the water pressure of the water flow that entered the container during cleaning, the exterior body on the side opposite to the side from which the water flow is jetted will not float,
Since no gap is generated between the first frame portion of the first exterior body and the second base portion of the second exterior body, it is possible to reduce the entry of the quartz base plate into the gap. It is no longer sandwiched between the first frame portion of the exterior body and the second base portion of the second exterior body, and it is possible to reduce the damage to the quartz base plate.
In addition, since no gap is generated between the first frame portion of the first exterior body and the second base portion of the second exterior body, the crystal base plate is prevented from entering, and the crystal base plate is attached to the first base body. Productivity can be improved because a process of rearranging the container is not necessary.
以下、本発明の実施形態における水晶素板洗浄用治具について添付図面を参照して詳細に説明する。図1〜図3に示す水晶素板洗浄用治具100は、水晶素板10を収容し、その水晶素板洗浄用治具100を洗浄槽(図示せず)に浸けて、水晶素板洗浄用治具100に向かって水流を噴射することによって、水晶素板10の表面に水流を当てて、水晶素板10に付着している付着物を落とすことにより洗浄する際に用いるものである。以下、水晶素板10、水晶素板洗浄用治具100の順に説明する。
Hereinafter, a quartz plate cleaning jig in an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The crystal
(水晶素板)
水晶素板10は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。水晶素板10の厚みは、例えば、20μm〜50μmとなっている。このように洗浄された水晶素板10の表裏両主面には励振用電極(図示せず)が被着形成され水晶振動素子(図示せず)となる。水晶振動素子は、外部からの電圧が引き出し電極(図示せず)を介して励振用電極に印加されると、所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。励振用電極は、水晶素板10の表裏両主面に金属膜を積層するようにして被着・形成したものであり、水晶素板10の上面には、クロム(Cr)、チタン(Ti)からなる第1の金属膜が形成され、第1の金属膜の上面に金(Au)からなる第2の金属膜が積層するように形成されている。
(Crystal base plate)
The
(水晶素板洗浄用治具)
(第1の実施形態)
図1〜図2に示すように、第1の実施形態に係る水晶素板洗浄用治具100は、第1の外装体110と第2の外装体120とから構成されている。図1〜図2に示す第1の外装体110は、例えば、SUS430及びSUS440等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。第1の外装体110は、第1の基部110aと第1の枠部110bと磁石部113とにより構成されている。第1の枠部110bは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第1の枠部110bで囲まれた部分が収容部111となる。つまり、収容部111は、第1の基部110aと第1の枠部110bにより形成される。図3に示されているように、収容部111を囲むようにして溝部114が設けられている。また、磁石部113は、溝部114内に設けられている。
(Crystal base plate cleaning jig)
(First embodiment)
As shown in FIGS. 1 to 2, the quartz
収容部111は、その内部に水晶素板10を収容することが可能であり、収容部111底面となる第1の枠部110b内の第1の基部110aに第1の貫通孔112が設けられている。第1の貫通孔112は、金属板をエッチング加工等をすることにより設けられている。第1の貫通孔112は、水晶素板10の主面に設けられる励振用電極及び引き出し電極の形状を成している。本実施形態の治具100は、洗浄工程の後に行われる励振用電極及び引き出し電極の形成工程においてマスクとして用いられる。したがって、本実施形態の水晶素板洗浄用治具100は、洗浄工程から励振用電極及び引き出し電極の形成工程までの共通治具として用いられる。
The accommodating portion 111 can accommodate the
また、第1の外装体110の厚みは、第1の基部110aと第1の枠部110bの厚みを足して、例えば、70〜140μmになっている。
Moreover, the thickness of the 1st
溝部114は、収容部111を囲むようにして、第1の枠部110bの主面に設けられている。 The groove portion 114 is provided on the main surface of the first frame portion 110b so as to surround the accommodating portion 111.
磁石部113は、例えばフェライト等から形成され、第1の外装体110の第1の枠部110bの主面の溝部114内に設けられている。磁石部113は、向かい合う位置にある後述する第2の外装体120の第2の基部120aと固定することができるようになっている。収容部111を囲むようにして磁石部113が設けられていることにより磁石部113で第1の外装体110と第2の外装体120とを固定されているため、洗浄時に収容部111内に入った水流の水圧によって水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、第1の外装体110の第1の枠部110bと第2の外装体120の第2の基部120aとの間に隙間を生じることがなくなる。よって、第1の外装体110の第1の枠部110bと第2の外装体120の第2の基部120aとの間に水晶素板10が入り込むことを低減する。
The
図1〜図2に示す第2の外装体120は、第1の外装体110と同様に、例えば、SUS430及びSUS440等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。第2の外装体120は、第2の基部120aと凸部120bにより構成されている。凸部120bは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって形成されている。
The second
凸部120bは、第2の基部120aに複数形成されており、凸部120bの主面には、第2の貫通孔122が設けられている。第2の貫通孔122は、金属板をエッチング加工等をすることにより設けられている。第2の貫通孔122は、水晶素板10の主面に設けられる励振用電極の形状を成している。
A plurality of convex portions 120b are formed in the second base portion 120a, and a second through
また、凸部120bの主面の外周サイズは、第1の外装体110の収容部111の外周サイズよりも小さくなっており、この収容部111内に第2の外装体120の凸部120bが嵌め込むことができるようになっている。このように収容部111に凸部120bを嵌め込むことによって、収容部111の底面と凸部120bの主面が水晶素板10と向かい合うようになっている。
Further, the outer peripheral size of the main surface of the convex portion 120 b is smaller than the outer peripheral size of the accommodating portion 111 of the first
この水晶素板10と対向する収容部111の底面の中央と凸部120bの主面の中央には、第1の外装体110と第2の外装体120の一方の主面から他方に主面に貫通された第1の貫通孔112、第2の貫通孔122が設けられている。尚、収容部111の開口サイズは、内部に収容する水晶素板10の主面サイズより大きくなっている。また、第2の外装体120の厚みは、第2の基部120aと凸部120bの厚みを足して、例えば、70〜140μmになっている。また、第1の外装体110の収容部111の底面と第2の外装体120の凸部120bの主面との間隔は、収容される水晶素板10の厚み程度となっている。
There are a main surface from one main surface of the first
このような水晶素板洗浄用治具100は、第1の外装体110の収容部111内に水晶素板10を収容し、第2の外装体120の凸部120bを第1の外装体110の収容部111内に嵌め込むようにして、第1の外装体110と第2の外装体120を重ね合わせ、第1の外装体110に前記収容部111を囲むようにして設けられている磁石部113は、向かい合う位置にある第2の外装体120の基板部120aと接合固定状態になることで使用される。水晶素板10が収容された水晶素板洗浄用治具100の第1の貫通孔112及び第2の貫通孔122の開口に向けて水流を噴射させる。第1の外装体110に設けられた第1の貫通孔112と第2の外装体120に設けられた第2の貫通孔122を通して、水流が水晶素板10にあたることによって、水晶素板10に付着している付着物が落とされ、水晶素板10の洗浄を行なっている。
Such a crystal
このように、本発明の水晶素板洗浄用治具100によれば、水晶素板10が挿入可能とするように、第1の基部110aと第1の枠部110bにより設けられる収容部111を有し、収容部111底面に第1の貫通孔112が設けられ、収容部111を囲むようにして磁石部113が設けられている第1の外装体110と、第2の基部120aと凸部120bを有し、凸部120bの主面に第2の貫通孔122が設けられている第2の外装体120と、を備え、第1の貫通孔112と第2の貫通孔122が向かい合う位置になるように、凸部120bが収容部111内に嵌め込めるようにして設けられていることによって、磁石部113により第1の外装体110と第2の外装体120とを固定することができるので、洗浄時に収容部111内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、第1の外装体110の第1の枠部110bと第2の外装体120の第2の基部120aとの間に隙間が生じることがなくなるため、水晶素板10が入り込むことを低減することができる。よって、前記水晶素板10が第1の外装体110の第1の枠部110bと第2の外装体120の第2の基部120bとで挟まれることがなくなるため、水晶素板10が破損することを低減することができる。また、第1の外装体110の第1の枠部110bと第2の外装体120の第2の基部120aとの間に水晶素板10が入り込むことがなくなり、水晶素板10を収容部111に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
Thus, according to the quartz base
また、第2の外装体120が第1の外装体110の収容部111に嵌め込まれる凸部120bを有しており、前記第2の貫通孔122が前記凸部120bに設けられていることにより、水晶素板10を収容部111底面と第2の外装体120の凸部120bの主面とで挟みながら固定することができ、第2の貫通孔122を通って水流を確実に水晶素板10に当てることで洗浄することができる。また、第2の外装体120が第1の外装体110の収容部111に嵌め込まれる凸部120bを有していることにより、第1の外装体110と第2の外装体120との位置ずれをさらに低減することができる。
Further, the second
さらに、前記磁石部113は、前記収容部111を囲むようにして溝部114が設けられ、前記溝部114内に設けられていることにより、磁石部113が位置ずれすることを低減することができるので、精度良く第1の外装体110と第2の外装体120を固定することができる。さらに、磁石部113の主面と第1の外装体110の第1の枠部110bの主面とが面一となるようにした場合は、第1の外装体110の第1の枠部110bと第2の外装体120の第1の基部120aとの隙間に水流が入り込んで外れてしまうことをさらに低減することができる。
Further, the
尚、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。また、実施形態においては、第1の貫通孔112、第2の貫通孔122は、平面形状は四角形で記載されていたが、円形でも構わない。また、水晶素板10も平面形状は四角形で記載されていたが、円形の板であっても構わない。
The present invention is not limited to the embodiments, and various changes and improvements can be made without departing from the scope of the present invention. In the embodiment, the first through-
10・・・水晶素板
110・・・第1の外装体
110a・・・第1の基部
110b・・・第1の枠部
111・・・収容部
112・・・第1の貫通孔
113・・・磁石部
114・・・溝部
120・・・第2の外装体
120a・・・第2の基部
120b・・・凸部
122・・・第2の貫通孔
100・・・水晶素板洗浄用治具
DESCRIPTION OF
Claims (2)
第2の貫通孔および前記収容部に嵌め込まれる凸部を有しており、前記収容部を覆うように前記磁石部によって、前記収容部の底面と前記凸部の主面とで前記収容部に収容される前記水晶素板の縁部を挟んだ状態で、前記第1の外装体に固定される第2の外装体と、
を備えていることを特徴とする水晶素板洗浄用治具。 A first exterior body having a housing portion provided with a quartz base plate, a first through hole provided in a bottom surface of the housing portion, and a magnet portion provided so as to surround the housing portion;
The second through hole and the convex portion fitted into the accommodating portion are provided, and the magnet portion covers the accommodating portion between the bottom surface of the accommodating portion and the main surface of the convex portion so as to cover the accommodating portion. A second exterior body fixed to the first exterior body in a state of sandwiching an edge of the accommodated quartz base plate ,
A quartz base plate cleaning jig characterized by comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011122461A JP5814630B2 (en) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | Crystal plate cleaning jig |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011122461A JP5814630B2 (en) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | Crystal plate cleaning jig |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012250139A JP2012250139A (en) | 2012-12-20 |
JP5814630B2 true JP5814630B2 (en) | 2015-11-17 |
Family
ID=47523484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011122461A Expired - Fee Related JP5814630B2 (en) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | Crystal plate cleaning jig |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5814630B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111614336A (en) * | 2020-05-27 | 2020-09-01 | 东晶电子金华有限公司 | Magnetic member, coating jig, and method for manufacturing magnetic member |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0955020A (en) * | 1995-08-14 | 1997-02-25 | Sanyo Electric Co Ltd | Rotary table driving device having magnetic force attraction type disk holding-down mechanism |
JP4724926B2 (en) * | 2001-02-19 | 2011-07-13 | 株式会社村田製作所 | Film forming jig, magnet used therefor, film forming apparatus and film forming method |
JP2006102699A (en) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Daishinku Corp | Work holder |
JP2007216182A (en) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Epson Toyocom Corp | Optical component retaining fixture |
JP2009106901A (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Kyocera Kinseki Corp | Cleaning tool |
JP5220461B2 (en) * | 2008-03-31 | 2013-06-26 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | Cleaning jig |
-
2011
- 2011-05-31 JP JP2011122461A patent/JP5814630B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012250139A (en) | 2012-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102480278B (en) | Piezoelectric resonator element and piezoelectric resonator | |
JP5239748B2 (en) | Quartz crystal | |
JP5220461B2 (en) | Cleaning jig | |
JP5316748B2 (en) | Manufacturing method of vibrating piece | |
JP2009293566A (en) | Piezoelectric driving body and piezoelectric blower | |
TWI548211B (en) | Piezoelectric device and method for manufacturing the same | |
JP5708079B2 (en) | Crystal oscillator | |
KR20170022976A (en) | A new type of quartz crystal blank with double convex structure and its processing technology | |
JP5814630B2 (en) | Crystal plate cleaning jig | |
JP5054146B2 (en) | Piezoelectric device and manufacturing method thereof | |
US20120068579A1 (en) | Method for Manufacturing a Piezoelectric Device and the Same | |
JP2008174767A (en) | Tool for film deposition | |
JP2014179774A (en) | Crystal oscillator piece, and crystal oscillator | |
TWI722267B (en) | Tuning-fork vibrator and manufacturing method of tuning-fork vibrator | |
JP2011211452A (en) | Method of manufacturing tuning fork type crystal vibration chip, crystal device | |
JP5272651B2 (en) | Manufacturing method of vibrating piece | |
JP4733550B2 (en) | Ultrasonic cleaning equipment | |
JP2011131177A (en) | Washing jig | |
JP2007005520A (en) | Chamfering method and cutting method of rectangular flat plate | |
JP2009106901A (en) | Cleaning tool | |
JP5042597B2 (en) | Method for manufacturing piezoelectric vibrating piece, piezoelectric vibrating piece and piezoelectric device | |
JP2007096369A (en) | Metal mask and method of cutting piezoelectric resonator element | |
JP2014072883A (en) | Piezoelectric device | |
WO2017012347A1 (en) | Piezoelectric quartz wafer with single convex structure | |
JP2017152885A (en) | Frequency adjustment jig |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150915 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150918 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5814630 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |