JP2011131177A - Washing jig - Google Patents

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JP2011131177A JP2009293968A JP2009293968A JP2011131177A JP 2011131177 A JP2011131177 A JP 2011131177A JP 2009293968 A JP2009293968 A JP 2009293968A JP 2009293968 A JP2009293968 A JP 2009293968A JP 2011131177 A JP2011131177 A JP 2011131177A
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Hiroyuki Yotsutsuka
裕之 四塚
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Kyocera Crystal Device Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a washing jig capable of preventing a crystal blank from getting into a gap between an outer body and the body of the washing jig to prevent the damaging of the crystal blank, and of preventing the bending or damaging of the washing jig itself. <P>SOLUTION: The washing jig for use in washing a thin plate, including a first outer body comprising a first storage member constituted of a first base member and a first frame member so that a thin plate can be inserted thereinto, with the bottom face of the first storage member comprising a first through hole, and a second outer body comprising a second storage member constituted of a second base member and a second frame member with the bottom face of the second storage member comprising a second through hole and second injection/discharge holes each disposed on the four corners thereof respectively, is characterized in that the first frame member is made insertible into the second storage member, and first injection/discharge holes are each disposed on the four corners of the first frame member respectively, at a position facing the corresponding second injection/discharge hole to communicate with the first storage member. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、薄く形成された板状体を洗浄する際に用いる洗浄治具に関するものである。   The present invention relates to a cleaning jig used when cleaning a thin plate-shaped body.

薄く形成された板状体、つまり薄板には、例えば水晶素板がある。この水晶素板は、従来より、通信機器や電子機器等に搭載される圧電デバイスに用いられている。   As a thin plate-like body, that is, a thin plate, for example, there is a quartz base plate. Conventionally, this quartz element plate has been used in piezoelectric devices mounted on communication equipment, electronic equipment, and the like.

図5及び図6に示す水晶素板400は、洗浄されてから用いられる。水晶素板400は小さく割れやすいため、前記水晶素板400の洗浄には、洗浄治具300が用いられる。
具体的には、図5及び図6に示すように、洗浄治具300は、第1の外装体310と第2の外装体320とから構成されている。
The quartz base plate 400 shown in FIGS. 5 and 6 is used after being cleaned. Since the quartz base plate 400 is small and easily broken, a cleaning jig 300 is used for cleaning the quartz base plate 400.
Specifically, as shown in FIGS. 5 and 6, the cleaning jig 300 is composed of a first exterior body 310 and a second exterior body 320.

第1の外装体310は、第1の基部310aと第1の枠部310bにより構成されている。
前記枠部310bは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第1の枠部310bで囲まれた部分が第1の収容部311となる。つまり、第1の収容部311は、第1の基部310aと第1の枠部310bにより形成される。
前記第1の収容部311は、その内部に前記水晶素板400が挿入可能であり、第1の収容部311底面となる第1の枠部310b内の第1の基部310aに第1の貫通孔312が設けられている。
The first exterior body 310 includes a first base portion 310a and a first frame portion 310b.
A plurality of the frame portions 310b are provided by etching a single metal plate, and a portion surrounded by the first frame portions 310b becomes the first accommodating portion 311. That is, the first accommodating portion 311 is formed by the first base portion 310a and the first frame portion 310b.
The first housing portion 311 can be inserted with the crystal base plate 400 therein, and the first base portion 310a in the first frame portion 310b serving as the bottom surface of the first housing portion 311 has a first penetration. A hole 312 is provided.

第2の外装体320は、第2の基部320aと第2の枠部320bにより構成されている。
前記枠部320bは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第2の枠部320bで囲まれた部分が第2の収容部321となる。つまり、第2の収容部321は、第2の基部320aと第2の枠部320bにより形成される。
第2の基部320aと第2の枠部320bにより第2の収容部321が複数形成されており、第2の収容部321底面となる第2の枠部320b内の第2の基部320aに第2の貫通孔322が設けられている。
水晶素板400が、前記第1の収容部311の水晶素板400に対向する底面と前記第2の収容部321の水晶素板400に対向する底面にはさまれて第1の外装体310から脱落しないようになっている(例えば、特許文献1参照)。
The second exterior body 320 includes a second base portion 320a and a second frame portion 320b.
The frame portion 320b is provided by etching a single metal plate, and a portion surrounded by the second frame portion 320b serves as a second accommodating portion 321. That is, the second housing portion 321 is formed by the second base portion 320a and the second frame portion 320b.
A plurality of second housing portions 321 are formed by the second base portion 320a and the second frame portion 320b, and the second base portion 320a in the second frame portion 320b serving as the bottom surface of the second housing portion 321 is connected to the second base portion 320a. Two through holes 322 are provided.
The first exterior body 310 is sandwiched between the bottom surface of the first housing portion 311 facing the quartz base plate 400 and the bottom surface of the second housing portion 321 facing the crystal base plate 400. (See, for example, Patent Document 1).

この従来の洗浄治具300を用いた水晶素板400の洗浄は、前記水晶素板300を収容し、前記洗浄治具300を洗浄槽に浸けて、前記洗浄治具300に向かって水流を噴射することによって、前記水晶素板400に付着している研磨粉やごみ等の付着物を落とすシャワー洗浄を行なっている(例えば、特許文献2参照)。   In the cleaning of the crystal base plate 400 using the conventional cleaning jig 300, the crystal base plate 300 is accommodated, the cleaning jig 300 is immersed in a cleaning tank, and a water flow is sprayed toward the cleaning jig 300. By doing so, shower cleaning is performed to remove deposits such as polishing powder and dust adhering to the quartz base plate 400 (see, for example, Patent Document 2).

特開2009−240977号公報JP 2009-240977 A 特開2007−28453号公報JP 2007-28453 A

しかしながら、従来の洗浄治具300は、第1の外装体310及び第2の外装体320のどちらか一方の外側に向いている面に対して水流を噴射することにより、前記第1の貫通孔312内及び前記第2の貫通孔322内から第1の収容部311内及び第2の収容部312内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になるので、第1の外装体310と第2の外装体320との間に水晶素板400が入り込み、水晶素板400が割れてしまうといった課題あった。
また、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になることから、水晶素板400が固定されなくなるため、第1の外装体310と第2の外装体320との間に入り込んだ水晶素板400を収容部に再整理する工程が必要になるため、生産性が低下してしまうといった課題があった。
However, the conventional cleaning jig 300 is configured to inject the water flow toward the outer surface of one of the first exterior body 310 and the second exterior body 320, so that the first through hole is formed. The exterior body on the surface opposite to the side from which the water flow is jetted by the water pressure of the water flow that has entered the first housing portion 311 and the second housing portion 312 from the inside of the 312 and the second through hole 322. Since the crystal element plate 400 enters between the first exterior body 310 and the second exterior body 320, the crystal element plate 400 breaks.
Further, since the exterior body on the side opposite to the side from which the water flow is jetted is in a floating state, the crystal base plate 400 is not fixed, and therefore the first exterior body 310 and the second exterior body 320 Since a process of rearranging the quartz base plate 400 that has entered between the two into the housing portion is required, there is a problem in that productivity decreases.

本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、第1の外装体と第2の外装体との間に薄板が入り込み、薄板が破損してしまうことを防ぐと共に、生産性を向上させる洗浄治具を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and a thin plate enters between the first exterior body and the second exterior body to prevent the thin plate from being damaged and to improve productivity. It is an object to provide a jig.

本発明の洗浄治具は、薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、薄板が挿入可能とするように、第1の基部と第1の枠部により設けられる第1の収容部を有し、第1の収容部底面に第1の貫通孔が設けられている第1の外装体と、第2の基部と第2の枠部により設けられる第2の収容部を有し、第2の収容部底面に第2の貫通孔が設けられ、第2の収容部底面の4隅に第2の注入排出孔が設けられている第2の外装体と、を備え、第1の枠部が第2の収容部内に嵌め込めるようになっており、第1の枠部の4隅に第1の注入排出孔が第2の注入排出孔と向かい合う位置に設けられ、第1の注入排出孔が第1の収容部と連通していることを特徴とするものである。   The cleaning jig of the present invention is a cleaning jig used when cleaning a thin plate, and is a first housing portion provided by a first base portion and a first frame portion so that the thin plate can be inserted. A first exterior body in which a first through hole is provided on the bottom surface of the first housing part, and a second housing part provided by a second base part and a second frame part, A second exterior body in which a second through hole is provided on the bottom surface of the second housing portion, and a second inlet / outlet hole is provided in four corners of the bottom surface of the second housing portion. The frame portion can be fitted into the second accommodating portion, and the first injection / discharge holes are provided at the four corners of the first frame portion at positions facing the second injection / discharge holes, and the first injection / discharge holes are provided. The discharge hole is in communication with the first housing portion.

また、本発明の洗浄治具は、薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、薄板が挿入可能とするように、第1の基部と4つの壁部により設けられる第1の収容部を有し、第1の収容部底面に第1の貫通孔が設けられている第1の外装体と、第2の基部と第2の枠部により設けられる第2の収容部を有し、第2の収容部底面に第2の貫通孔が設けられ、第2の収容部底面の4隅に第2の注入排出孔が設けられている第2の外装体と、を備え、4つの壁部が第2の収容部内に嵌め込めるようになっており、第1の基部の4箇所に第1の注入排出孔が第2の注入排出孔と向かい合う位置に設けられていることを特徴とするものである。   Further, the cleaning jig of the present invention is a cleaning jig used when cleaning a thin plate, and includes a first housing provided by a first base and four wall portions so that the thin plate can be inserted. A first exterior body provided with a first through-hole on the bottom surface of the first housing portion, and a second housing portion provided by a second base and a second frame portion. A second exterior body in which a second through hole is provided in the bottom surface of the second housing portion, and a second inlet / outlet hole is provided in four corners of the bottom surface of the second housing portion. The wall portion is adapted to be fitted into the second accommodating portion, and the first injection / discharge holes are provided at four positions of the first base portion at positions facing the second injection / discharge holes. To do.

このような洗浄治具によれば、第2の外装体の第2の収容部底面の4隅に第2の注入排出孔が設けられ、第1の外装体の第1の枠部の4隅に第1の注入排出孔が、第2の注入排出孔と向かい合う位置に設けられていることによって、洗浄治具の片面に対して水流を噴射することにより、前記第1の貫通孔内及び前記第2の貫通孔内から第1の収容部内及び第2の収容部内に入った水流は、第1の注入排出孔及び第2の注入排出孔から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減し、第1の外装体と第2の外装体との間に水晶素板が入り込むことを防ぐことができるので、水晶素板が破損することを防止することができる。
また、第1の注入排出孔及び第2の注入排出孔から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができるので、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になることを防ぐことができる。よって、第1の外装体と第2の外装体との間に水晶素板が入り込むことがなくなり、水晶素板を第1の収容部に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
According to such a cleaning jig, the second inlet / outlet holes are provided at the four corners of the bottom surface of the second housing portion of the second exterior body, and the four corners of the first frame portion of the first exterior body are provided. The first injection / discharge hole is provided at a position facing the second injection / discharge hole, so that a water flow is jetted onto one surface of the cleaning jig, so that the inside of the first through hole and the The water flow that has entered the first housing portion and the second housing portion from within the second through hole is ejected from the first injection / discharge hole and the second injection / discharge hole, thereby ejecting the water flow. Since the water pressure applied to the exterior body on the surface opposite to the surface can be reduced and the crystal base plate can be prevented from entering between the first exterior body and the second exterior body, the crystal base plate is damaged. This can be prevented.
Further, by discharging from the first injection / discharge hole and the second injection / discharge hole, it is possible to reduce the water pressure applied to the exterior body on the surface opposite to the surface from which the water flow is being injected. It can prevent that the exterior body of the surface on the opposite side to the spraying side will be in the state which floated. Therefore, the crystal element plate does not enter between the first exterior body and the second exterior body, and a process of rearranging the crystal element plate into the first housing portion is not necessary, thereby improving productivity. be able to.

また、このような洗浄治具によれば、第2の外装体の第2の収容部底面の4隅に第2の注入排出孔が設けられ、第1の外装体の4つの壁部が第2の収容部内に嵌め込めるようになっており、第1の基板部の4箇所に第1の注入排出孔が、第2の注入排出孔と向かい合う位置に設けられていることによって、洗浄治具の片面に対して水流を噴射することにより、前記第1の貫通孔内及び前記第2の貫通孔内から第1の収容部内及び第2の収容部内に入った水流は、第1の注入排出孔及び第2の注入排出孔から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減し、第1の外装体と第2の外装体との間に水晶素板が入り込むことを防ぐことができるので、水晶素板が破損することを防止することができる。
また、第1の注入排出孔及び第2の注入排出孔から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができるので、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になることを防ぐことができる。よって、第1の外装体と第2の外装体との間に水晶素板が入り込むことがなくなり、水晶素板を第1の収容部に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
Further, according to such a cleaning jig, the second inlet / outlet holes are provided in the four corners of the bottom surface of the second housing portion of the second exterior body, and the four wall portions of the first exterior body are provided in the first exterior body. The cleaning jig is configured so that the first injection / discharge holes are provided at four positions of the first substrate portion at positions facing the second injection / discharge holes. By injecting a water flow onto one surface of the first through-hole, the water flow that has entered the first housing portion and the second housing portion from within the first through-hole and the second through-hole, By being discharged from the hole and the second injection / discharge hole, the water pressure applied to the exterior body on the surface opposite to the surface from which the water flow is jetted is reduced, and the first exterior body and the second exterior body Since it is possible to prevent the quartz base plate from entering between, it is possible to prevent the quartz base plate from being damaged.
Further, by discharging from the first injection / discharge hole and the second injection / discharge hole, the water pressure applied to the exterior body on the surface opposite to the surface from which the water flow is injected can be reduced. It can prevent that the exterior body of the surface on the opposite side to the spraying side will be in the state which floated. Accordingly, the crystal element plate does not enter between the first exterior body and the second exterior body, and a process of rearranging the crystal element plate into the first housing portion is not necessary, so that productivity is improved. be able to.

本発明の第1の実施形態に係る洗浄治具を第1の外装体側から見た分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which looked at the cleaning jig which concerns on the 1st Embodiment of this invention from the 1st exterior body side. 本発明の第1の実施形態に係る洗浄治具を第2の外装体側から見た分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which looked at the cleaning jig which concerns on the 1st Embodiment of this invention from the 2nd exterior body side. 本発明の第2の実施形態に係る洗浄治具を第1の外装体側から見た分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which looked at the cleaning jig which concerns on the 2nd Embodiment of this invention from the 1st exterior body side. 本発明の第2の実施形態に係る洗浄治具を第2の外装体側から見た分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which looked at the cleaning jig which concerns on the 2nd Embodiment of this invention from the 2nd exterior body side. 従来の洗浄治具を第1の外装体側から見た分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which looked at the conventional cleaning jig from the 1st exterior body side. 従来の洗浄治具を第2の外装体側から見た分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which looked at the conventional cleaning jig from the 2nd exterior body side.

以下、本発明の実施添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、薄板を水晶素板として説明する。
図1〜図5に示す洗浄治具100は、水晶素板10を収容し、その洗浄治具100を洗浄槽(図示せず)に浸けて、洗浄治具100に向かって水流を噴射することによって、水晶素板10の表面に水流を当てて、前記水晶素板10に付着している付着物を落とすことにより洗浄する際に用いるものである。以下、水晶素板10、洗浄治具100の順に説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The thin plate will be described as a quartz base plate.
The cleaning jig 100 shown in FIGS. 1 to 5 accommodates the crystal base plate 10, immerses the cleaning jig 100 in a cleaning tank (not shown), and jets a water flow toward the cleaning jig 100. Thus, a water flow is applied to the surface of the crystal base plate 10 to remove the adhering matter adhering to the crystal base plate 10 for cleaning. Hereinafter, the quartz base plate 10 and the cleaning jig 100 will be described in this order.

(水晶素板)
水晶素板10は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。
水晶素板10の厚みは、例えば、20μm〜50μmとなっている。このように洗浄された水晶素板10の表裏両主面には励振用電極(図示せず)が被着形成され水晶振動素子(図示せず)となる。
前記水晶振動素子は、外部からの電圧が引き出し電極(図示せず)を励振用電極を介して水晶素板10に印加されると、所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。
励振用電極は、前記水晶素板10の表裏両主面に金属膜を積層するようにして被着・形成したものであり、水晶素板10の上面には第1の金属膜であるクロム(Cr)、チタン(Ti)が形成され、第1の金属膜の上面に第2の金属膜である金(Au)が積層するように形成されている。
(Crystal base plate)
The quartz base plate 10 is a substantially flat plate shape that is cut from an artificial crystalline lens at a predetermined cut angle and is subjected to outer shape processing, and has a planar shape of, for example, a square shape.
The thickness of the quartz base plate 10 is, for example, 20 μm to 50 μm. Exciting electrodes (not shown) are formed on both the front and back main surfaces of the cleaned quartz base plate 10 to form a quartz vibrating element (not shown).
The crystal resonator element is excited in a predetermined vibration mode and frequency when an external voltage is applied to the crystal base plate 10 through an extraction electrode (not shown) through an excitation electrode. .
The excitation electrode is formed by depositing and forming a metal film on both the front and back main surfaces of the crystal base plate 10, and chromium (the first metal film) is formed on the top surface of the crystal base plate 10. Cr) and titanium (Ti) are formed, and the second metal film, gold (Au), is stacked on the upper surface of the first metal film.

(洗浄治具)
(第1の実施形態)
図1〜図2に示すように、第1の実施形態に係る洗浄治具100は、第1の外装体110と第2の外装体120とから構成されている。
図1〜図2に示す第1の外装体110は、例えば、SUS304等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
第1の外装体110は、第1の基部110aと第1の枠部110bにより構成されている。
前記枠部110bは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第1の枠部110bで囲まれた部分が第1の収容部111となる。つまり、第1の収容部111は、第1の基部110aと第1の枠部110bにより形成される。
(Cleaning jig)
(First embodiment)
As shown in FIGS. 1 to 2, the cleaning jig 100 according to the first embodiment includes a first exterior body 110 and a second exterior body 120.
The 1st exterior body 110 shown in FIGS. 1-2 is comprised by the metal plate of the single plate comprised by stainless steel, such as SUS304, for example.
The first exterior body 110 includes a first base portion 110a and a first frame portion 110b.
A plurality of the frame portions 110 b are provided by etching a single metal plate, and a portion surrounded by the first frame portions 110 b becomes the first accommodating portion 111. That is, the first accommodating portion 111 is formed by the first base portion 110a and the first frame portion 110b.

前記第1の収容部111は、その内部に前記水晶素板10が挿入可能であり、第1の収容部111底面となる第1の枠部110b内の第1の基部110aに第1の貫通孔112が設けられている。
前記第1の貫通孔112は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。前記第1の貫通孔112は、水晶素板10の主面に設けられる励振用電極及び引き出し電極の形状を成している。
The first accommodating portion 111 can be inserted with the crystal base plate 10 therein, and the first accommodating portion 111 has a first penetration through the first base portion 110a in the first frame portion 110b serving as a bottom surface of the first accommodating portion 111. A hole 112 is provided.
The first through hole 112 is provided by punching a metal plate or the like. The first through-hole 112 has the shape of an excitation electrode and a lead electrode provided on the main surface of the quartz base plate 10.

また、前記第1の外装体110の前記第1の枠部110bの4隅には、第1の注入排出孔113が設けられている。つまり、第1の注入排出孔113は、後述する第2の注入排出孔123と向かい合う位置になるように前記第1の枠部110bの4隅に設けられている。
前記第1の注入排出孔113は、前記第1の収容部111と連通している。つまり、第1の注入排出孔113は、水流を第1の収容部111内及び後述する第2の収容部121に注入する役割と前記前記第1の貫通孔112及び後述する第2の注入排出孔123から入った水流を排出する役割とを果たす。
In addition, first injection / discharge holes 113 are provided at four corners of the first frame portion 110 b of the first exterior body 110. That is, the first injection / discharge holes 113 are provided at the four corners of the first frame portion 110b so as to face the second injection / discharge holes 123 described later.
The first injection / discharge hole 113 communicates with the first accommodating portion 111. That is, the first injection / discharge hole 113 serves to inject a water flow into the first storage portion 111 and the second storage portion 121 described later, and the first through hole 112 and the second injection / discharge described later. It plays the role of discharging the water flow that has entered through the holes 123.

また、第1の収容部111は、後述する第2の外装体120の第2の収容部121よりも開口面積は小さくなっている。つまり、第1の枠部110bの外周サイズは、後述する第2の枠部120bに設けられた第2の収容部121の開口部サイズよりも小さくなっている。
また、第1の外装体110の厚みは、第1の基部110aと第1の枠部110bの厚みを足して、例えば、70〜140μmになっている。
Moreover, the opening area of the 1st accommodating part 111 is smaller than the 2nd accommodating part 121 of the 2nd exterior body 120 mentioned later. That is, the outer peripheral size of the first frame portion 110b is smaller than the opening size of the second accommodating portion 121 provided in the second frame portion 120b described later.
Moreover, the thickness of the 1st exterior body 110 is 70-140 micrometers, for example, adding the thickness of the 1st base part 110a and the 1st frame part 110b.

図1〜図2に示す第2の外装体120は、第1の外装体110と同様に、例えば、SUS304等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
第2の外装体120は、第2の基部120aと第2の枠部120bにより構成されている。
前記枠部120bは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第2の枠部120bで囲まれた部分が第2の収容部121となる。つまり、第2の収容部121は、第2の基部120aと第2の枠部120bにより形成される。
The second exterior body 120 shown in FIGS. 1 to 2 is configured by a single metal plate made of stainless steel such as SUS304, for example, similarly to the first exterior body 110.
The second exterior body 120 includes a second base portion 120a and a second frame portion 120b.
The frame portion 120b is provided by etching a single metal plate, and a portion surrounded by the second frame portion 120b serves as the second accommodating portion 121. That is, the second accommodating part 121 is formed by the second base part 120a and the second frame part 120b.

第2の基部120aと第2の枠部120bにより第2の収容部121が複数形成されており、第2の収容部121底面となる第2の枠部120b内の第2の基部120aに第2の貫通孔122が設けられている。
前記第2の貫通孔122は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。前記第2の貫通孔122は、水晶素板10の主面に設けられる励振用電極の形状を成している。
A plurality of second housing portions 121 are formed by the second base portion 120a and the second frame portion 120b, and the second base portion 120a in the second frame portion 120b which becomes the bottom surface of the second housing portion 121 is connected to the second base portion 120a. Two through holes 122 are provided.
The second through hole 122 is provided by punching a metal plate or the like. The second through-hole 122 has a shape of an excitation electrode provided on the main surface of the quartz base plate 10.

また、第2の外装体120の前記第2の収容部121底面の4隅に第2の注入排出孔123が設けられている。
また、第2の注入排出孔123は、前記第1の注入排出孔113と向かい合う位置になるように設けられている。つまり、前記第2の注入排出孔123は、前記第1の注入排出孔113と対向する位置に設けられている。
これにより、第2の注入排出孔123は、水流を前記第1の収容部111内及び前記第2の収容部121内に注入する役割と前記前記第2の貫通孔112及び後述する第1の注入排出孔113から入った水流を排出する役割とを果たす。
In addition, second injection / discharge holes 123 are provided at four corners of the bottom surface of the second housing portion 121 of the second exterior body 120.
Further, the second injection / discharge hole 123 is provided so as to face the first injection / discharge hole 113. In other words, the second injection / discharge hole 123 is provided at a position facing the first injection / discharge hole 113.
Accordingly, the second injection / discharge hole 123 serves to inject a water flow into the first storage portion 111 and the second storage portion 121, the second through-hole 112, and a first to be described later. It plays the role of discharging the water flow entered from the injection / discharge hole 113.

また、第2の収容部121の開口部サイズは、前記第1の外装体110の第1の枠部110bの外周サイズよりも開口面積は大きくなっており、この第2の収容部121内に第1の外装体110の第1の枠部110bが嵌め込むことができるようになっている。
このように第2の収容部121に第1の枠部110bを嵌め込むことによって、前記第1の収容部111の底面と前記第2の収容部121の底面が水晶素板10と向かい合うようになっている。
また、このように第2の収容部121に第1の枠部110bを嵌め込むことによって前記第2の注入排出孔123と前記第1の注入排出孔113が向かい合うようになっている。
In addition, the opening size of the second housing portion 121 is larger than the outer peripheral size of the first frame portion 110 b of the first exterior body 110. The first frame portion 110b of the first exterior body 110 can be fitted.
By fitting the first frame part 110 b into the second housing part 121 in this way, the bottom surface of the first housing part 111 and the bottom surface of the second housing part 121 face the crystal base plate 10. It has become.
In addition, by fitting the first frame portion 110b into the second accommodating portion 121 in this way, the second injection / discharge hole 123 and the first injection / discharge hole 113 face each other.

この水晶素板10と対向する前記第1の収容部111の底面の中央と前記第2の収容部121の底面の中央には、第1の外装体110と第2の外装体120の一方の主面から他方に主面に貫通された第1の貫通孔112、第2の貫通孔122が設けられている。尚、第1の収容部111及び第2の収容部121の開口サイズは、内部に収容する水晶素板10の主面サイズより小さくなっている。
また、第2の外装体120の厚みは、第2の基部120aと第2の枠部120bの厚みを足して、例えば、70〜140μmになっている。
また、第1の外装体110、第2の外装体120との間隔は、収容される水晶素板10の厚み程度となっている。
One of the first exterior body 110 and the second exterior body 120 is located at the center of the bottom surface of the first housing portion 111 and the center of the bottom surface of the second housing portion 121 facing the crystal base plate 10. A first through-hole 112 and a second through-hole 122 penetrating from the main surface to the main surface are provided. In addition, the opening size of the 1st accommodating part 111 and the 2nd accommodating part 121 is smaller than the main surface size of the quartz base plate 10 accommodated in an inside.
Moreover, the thickness of the 2nd exterior body 120 is 70-140 micrometers, for example, adding the thickness of the 2nd base 120a and the 2nd frame 120b.
Moreover, the space | interval with the 1st exterior body 110 and the 2nd exterior body 120 is about the thickness of the quartz base plate 10 accommodated.

このような洗浄治具100は、第1の外装体110の第1の収容部111内に水晶素板10を収容し、第2の外装体120の第2の収容部121に第1の外装体110の第1の枠部120bを嵌め込むようにして、第1の外装体110と第2の外装体120を重ね合わせ、接合固定状態で使用される。
前記水晶素板10が収容された洗浄治具100の第1の貫通孔112及び第2の貫通孔122の開口に向けて水流を噴射させる。
第1の外装体110に設けられた第1の貫通孔112と第2の外装体120に設けられた第2の貫通孔122を通して、水流が水晶素板10にあたることによって、前記水晶素板10に付着している付着物が落とされ、水晶素板10の洗浄を行なっている。
In such a cleaning jig 100, the crystal base plate 10 is accommodated in the first accommodating portion 111 of the first exterior body 110, and the first exterior is accommodated in the second accommodating portion 121 of the second exterior body 120. The first exterior body 110 and the second exterior body 120 are overlapped with each other so as to fit the first frame portion 120b of the body 110, and are used in a bonded and fixed state.
A water flow is sprayed toward the opening of the first through hole 112 and the second through hole 122 of the cleaning jig 100 in which the crystal base plate 10 is accommodated.
When the water stream hits the crystal base plate 10 through the first through hole 112 provided in the first exterior body 110 and the second through hole 122 provided in the second exterior body 120, the crystal base plate 10 The adhered material adhering to the substrate is removed, and the quartz base plate 10 is cleaned.

このように、本発明の洗浄治具100によれば、第2の外装体120の第2の収容部121底面の4隅に第2の注入排出孔123が設けられ、第1の外装体110の第1の枠部110bの4隅に第1の注入排出孔113が、第2の注入排出孔123と向かい合う位置に設けられていることによって、洗浄治具100の片面に対して水流を噴射することにより、前記第1の貫通孔112内及び前記第2の貫通孔122内から第1の収容部111内及び第2の収容部121内に入った水流は、第1の注入排出孔113及び第2の注入排出孔123から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減し、第1の外装体110と第2の外装体120との間に水晶素板10が入り込むことを防ぐことができるので、水晶素板10が破損することを防止することができる。
また、第1の注入排出孔113及び第2の注入排出孔123から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができる。よって、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態にならないので、第1の外装体110と第2の外装体120との間に入り込むことがなくなり、水晶素板10を第1の収容部111に整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
As described above, according to the cleaning jig 100 of the present invention, the second inlet / outlet holes 123 are provided at the four corners of the bottom surface of the second housing part 121 of the second exterior body 120, and the first exterior body 110. Since the first injection / discharge holes 113 are provided at the four corners of the first frame portion 110b at positions facing the second injection / discharge holes 123, a water flow is jetted onto one surface of the cleaning jig 100. As a result, the water flow that has entered the first accommodating portion 111 and the second accommodating portion 121 from the first through hole 112 and the second through hole 122 is converted into the first inlet / outlet hole 113. By discharging from the second injection / discharge hole 123, the water pressure applied to the exterior body on the surface opposite to the surface from which the water flow is jetted is reduced, and the first exterior body 110 and the second exterior body 120 are reduced. Can prevent the quartz base plate 10 from entering between In, it is possible to prevent that the quartz crystal plate 10 may be damaged.
Moreover, by discharging from the first injection / discharge hole 113 and the second injection / discharge hole 123, the water pressure applied to the exterior body on the surface opposite to the surface from which the water flow is injected can be reduced. Therefore, since the exterior body on the side opposite to the side from which the water flow is jetted does not float, it does not enter between the first exterior body 110 and the second exterior body 120, and the crystal element plate Since the process of arranging 10 in the 1st accommodating part 111 is unnecessary, productivity can be improved.

(第2の実施形態)
図3〜図4に示すように、第2の実施形態に係る洗浄治具200は、第1の外装体210と第2の外装体220とから構成され、前記第1の外装体210が、第1の基部210aと4つの壁部210bにより構成されている点が第1の実施形態と異なる。
図3〜図4に示す第1の外装体210は、例えば、SUS304等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
第1の外装体210は、第1の基部210aと4つの壁部210bにより構成されている。
前記4つの壁部210bは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、前記4つの壁部210bで囲まれた部分が第1の収容部211となる。つまり、第1の収容部211は、第1の基部210aと4つの壁部210bにより形成される。
(Second Embodiment)
As shown in FIGS. 3 to 4, the cleaning jig 200 according to the second embodiment includes a first exterior body 210 and a second exterior body 220, and the first exterior body 210 includes: The point which is comprised by the 1st base 210a and the four wall parts 210b differs from 1st Embodiment.
The first exterior body 210 shown in FIGS. 3 to 4 is made of a single metal plate made of stainless steel such as SUS304, for example.
The first exterior body 210 includes a first base portion 210a and four wall portions 210b.
A plurality of the four wall portions 210b are provided by etching a single metal plate, and a portion surrounded by the four wall portions 210b becomes the first accommodating portion 211. That is, the first accommodating portion 211 is formed by the first base portion 210a and the four wall portions 210b.

前記第1の収容部211は、その内部に前記水晶素板10が挿入可能であり、第1の収容部211底面となる4つの壁部210bで囲まれた第1の基部210aに第1の貫通孔212が設けられている。また、前記4つの壁部210bは、第1の貫通孔212を囲むと共に、各壁部210bが接触しない位置にそれぞれ設けられている。
前記第1の貫通孔212は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。前記第1の貫通孔212は、水晶素板10の主面に設けられる励振用電極及び引き出し電極の形状を成している。
The first accommodating portion 211 can be inserted with the crystal base plate 10 therein, and the first accommodating portion 211 has a first base portion 210a surrounded by four wall portions 210b serving as a bottom surface of the first accommodating portion 211. A through hole 212 is provided. The four wall portions 210b surround the first through-hole 212 and are provided at positions where the wall portions 210b do not contact each other.
The first through hole 212 is provided by punching a metal plate or the like. The first through hole 212 has the shape of an excitation electrode and a lead electrode provided on the main surface of the quartz base plate 10.

また、後述する第2の注入排出孔223と向かい合う前記第1の外装体210の第1の基部210aの位置に第1の注入排出孔213が設けられている。
つまり、第1の注入排出孔213は、後述する第2の注入排出孔223と向かい合う位置になるように、4つの壁部210bが設けられていない第1の基部210aの4箇所に設けられている。
前記第1の注入排出孔213は、水流を第1の収容部211内及び後述する第2の収容部221に注入する役割と前記前記第1の貫通孔212及び後述する第2の注入排出孔223から入った水流を排出する役割とを果たす。
Further, a first injection / discharge hole 213 is provided at a position of the first base portion 210a of the first exterior body 210 facing a second injection / discharge hole 223 described later.
That is, the first injection / discharge holes 213 are provided at four locations on the first base portion 210a where the four wall portions 210b are not provided so as to face the second injection / discharge holes 223 described later. Yes.
The first injection / discharge hole 213 serves to inject a water flow into the first storage portion 211 and a second storage portion 221 described later, and the first through hole 212 and a second injection / discharge hole described below. It plays the role of draining the water stream entered from H.223.

図1〜図2に示す第2の外装体220は、第1の外装体210と同様に、例えば、SUS304等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
第2の外装体220は、第2の基部220aと第2の枠部220bにより構成されている。
前記枠部220bは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第2の枠部220bで囲まれた部分が第2の収容部221となる。つまり、第2の収容部221は、第2の基部220aと第2の枠部220bにより形成される。
The second exterior body 220 shown in FIGS. 1 and 2 is configured by a single metal plate made of stainless steel such as SUS304, for example, like the first exterior body 210.
The second exterior body 220 includes a second base portion 220a and a second frame portion 220b.
The frame portion 220b is provided by etching a single metal plate, and a portion surrounded by the second frame portion 220b is a second accommodating portion 221. That is, the second accommodating portion 221 is formed by the second base portion 220a and the second frame portion 220b.

第2の基部220aと第2の枠部220bにより第2の収容部221が複数形成されており、第2の収容部221底面となる第2の枠部220b内の第2の基部220aに第2の貫通孔222が設けられている。
前記第2の貫通孔222は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。前記第2の貫通孔222は、水晶素板10の主面に設けられる励振用電極の形状を成している。
A plurality of second housing portions 221 are formed by the second base portion 220a and the second frame portion 220b, and the second base portion 220a in the second frame portion 220b serving as the bottom surface of the second housing portion 221 is secondly connected. Two through holes 222 are provided.
The second through hole 222 is provided by punching a metal plate or the like. The second through hole 222 has the shape of an excitation electrode provided on the main surface of the quartz base plate 10.

また、第2の外装体220の前記第2の収容部221底面の4隅に第2の注入排出孔223が設けられている。
また、第2の注入排出孔223は、前記第1の注入排出孔213と向かい合う位置になるように設けられている。つまり、前記第2の注入排出孔223は、前記第1の注入排出孔213と対向する位置に設けられている。
これにより、第2の注入排出孔223は、水流を前記第1の収容部211内及び前記第2の収容部221内に注入する役割と前記前記第2の貫通孔222及び後述する第1の注入排出孔213から入った水流を排出する役割とを果たす。
In addition, second injection / discharge holes 223 are provided at the four corners of the bottom surface of the second housing portion 221 of the second exterior body 220.
Further, the second injection / discharge hole 223 is provided so as to face the first injection / discharge hole 213. That is, the second injection / discharge hole 223 is provided at a position facing the first injection / discharge hole 213.
Accordingly, the second injection / discharge hole 223 serves to inject a water flow into the first storage portion 211 and the second storage portion 221, the second through-hole 222, and the first to be described later. It plays the role of discharging the water flow that has entered from the injection / discharge hole 213.

また、第2の収容部221の開口部サイズは、前記第1の外装体210の前記4つの壁部210bの外周サイズよりも開口面積は大きくなっており、この第2の収容部221内に第1の外装体210の4つの壁部210bが嵌め込むことができるようになっている。
このように第2の収容部221に前記4つの壁部210bを嵌め込むことによって、前記第1の収容部211の底面と前記第2の収容部221の底面が水晶素板10と向かい合うようになっている。
また、このように第2の収容部221に前記4つの壁部210bを嵌め込むことによって、前記第2の注入排出孔223と前記第1の注入排出孔213が向かい合うようになっている。
In addition, the opening size of the second housing portion 221 is larger than the outer peripheral size of the four wall portions 210b of the first exterior body 210, and the second housing portion 221 has an opening area. The four wall portions 210b of the first exterior body 210 can be fitted.
By fitting the four wall portions 210b into the second housing portion 221 in this way, the bottom surface of the first housing portion 211 and the bottom surface of the second housing portion 221 face the crystal base plate 10. It has become.
Further, by fitting the four wall portions 210b into the second accommodating portion 221, the second injection / discharge hole 223 and the first injection / discharge hole 213 face each other.

このような洗浄治具200によれば、第2の外装体220の第2の収容部221底面の4隅に第2の注入排出孔223が設けられ、第1の外装体210の4つの壁部210bが第2の収容部221内に嵌め込めるようになっており、第2の注入排出孔223と向かい合う第1の外装体210の位置に第1の注入排出孔213が設けられていることによって、洗浄治具200の片面に対して水流を噴射することにより、前記第1の貫通孔212内及び前記第2の貫通孔222内から第1の収容部211内及び第2の収容部221内に入った水流は、第1の注入排出孔213及び第2の注入排出孔223から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができる。よって、第1の外装体210と第2の外装体220との間に水晶素板10が入り込むことを防ぐことができるので、水晶素板10が破損することを防止することができる。   According to such a cleaning jig 200, the second injection / discharge holes 223 are provided at the four corners of the bottom surface of the second housing portion 221 of the second exterior body 220, and the four walls of the first exterior body 210 are provided. The portion 210b can be fitted into the second accommodating portion 221 and the first injection / discharge hole 213 is provided at the position of the first exterior body 210 facing the second injection / discharge hole 223. By injecting a water flow onto one surface of the cleaning jig 200, the first accommodation portion 211 and the second accommodation portion 221 from within the first through hole 212 and the second through hole 222. The water flow entering the inside is discharged from the first injection / discharge hole 213 and the second injection / discharge hole 223, thereby reducing the water pressure applied to the exterior body on the surface opposite to the surface from which the water flow is injected. be able to. Therefore, since the quartz base plate 10 can be prevented from entering between the first exterior body 210 and the second exterior body 220, the quartz base plate 10 can be prevented from being damaged.

また、第1の注入排出孔213及び第2の注入排出孔223から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができるので、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になることを防ぐことができる。よって、第1の外装体210と第2の外装体220との間に水晶素板10が入り込むことがなくなり、水晶素板10を第1の収容部211に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。   Moreover, since the water pressure applied to the exterior body on the surface opposite to the surface from which the water flow is injected can be reduced by being discharged from the first injection / discharge hole 213 and the second injection / discharge hole 223, It can prevent that the exterior body of the surface on the opposite side to the side which is injecting a water flow will be in the state which floated. Therefore, the crystal element plate 10 does not enter between the first exterior body 210 and the second exterior body 220, and there is no need for a process of rearranging the crystal element plate 10 into the first housing portion 211. Productivity can be improved.

尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
また、前記実施形態においては、第1の注入排出孔213及び第2の注入排出孔223は、1つの収容部に対して、各4箇所設けられているが、隣り合う別の収容部に設けられた第1の注入排出孔及び第2の注入排出孔とつながっていても構わない。
In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change, improvement, etc. are possible in the range which does not deviate from the summary of this invention.
Moreover, in the said embodiment, although the 1st injection | pouring discharge hole 213 and the 2nd injection | pouring discharge hole 223 are each provided in four places with respect to one accommodating part, it is provided in another adjacent accommodating part. The first injection / discharge hole and the second injection / discharge hole may be connected to each other.

また、前記実施形態においては、第1の貫通孔212、第2の貫通孔222は、平面形状は四角形で記載されていたが、円形でも構わない。また、水晶素板10も平面形状は四角形で記載されていたが、円形の板であっても構わない。   Moreover, in the said embodiment, although the 1st through-hole 212 and the 2nd through-hole 222 were described with the square shape in the planar shape, it may be circular. Further, the crystal base plate 10 is also described as a quadrilateral planar shape, but it may be a circular plate.

また、前記実施形態においては、薄板を水晶素板10として説明したが、セラミック、ガラス、サファイア等の硬脆材のものであっても構わない。   Moreover, in the said embodiment, although the thin plate was demonstrated as the quartz base plate 10, you may use the thing of hard brittle materials, such as a ceramic, glass, and sapphire.

また、圧電デバイスは、素子搭載部材の一方の主面に形成されている凹部空間内に、水晶素板10に励振電極が設けられた水晶振動素子が搭載され、前記封止用導体パターンと蓋体が接合され、気密封止されている水晶振動子がある。
また、素子搭載部材に水晶振動素子と集積回路素子が搭載され、前記素子搭載部材の封止用導体パターンと蓋体が接合され、気密封止されている水晶発振器がある。
The piezoelectric device includes a quartz resonator element in which an excitation electrode is provided on the quartz base plate 10 in a recessed space formed on one main surface of the element mounting member, and the sealing conductor pattern and lid There is a crystal unit in which bodies are joined and hermetically sealed.
In addition, there is a crystal oscillator in which a crystal resonator element and an integrated circuit element are mounted on an element mounting member, and a sealing conductor pattern of the element mounting member and a lid are joined and hermetically sealed.

10・・・水晶素板
110、210・・・第1の外装体
110a、210a・・・第1の基部
110b・・・第1の枠部
210b・・・壁部
111、211・・・第1の収容部
112、212・・・第1の貫通孔
113、213・・・第1の注入排出孔
120、220・・・第2の外装体
120a、220a・・・第2の基部
120b、220b・・・第2の枠部
121、221・・・第2の収容部
122、222・・・第2の貫通孔
123、223・・・第2の注入排出孔
100、200・・・洗浄治具
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Crystal base plate 110, 210 ... 1st exterior body 110a, 210a ... 1st base part 110b ... 1st frame part 210b ... Wall part 111, 211 ... 1st 1 accommodating part 112,212 ... 1st through-hole 113, 213 ... 1st injection | emission / discharge hole 120,220 ... 2nd exterior body 120a, 220a ... 2nd base 120b, 220b ... 2nd frame part 121, 221 ... 2nd accommodating part 122, 222 ... 2nd through-hole 123, 223 ... 2nd injection | emission / discharge hole 100, 200 ... washing | cleaning jig

Claims (2)

薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、
前記薄板が挿入可能とするように、第1の基部と第1の枠部により設けられる第1の収容部を有し、前記第1の収容部底面に第1の貫通孔が設けられている第1の外装体と、
第2の基部と第2の枠部により設けられる第2の収容部を有し、前記第2の収容部底面に第2の貫通孔が設けられ、前記第2の収容部底面の4隅に第2の注入排出孔が設けられている第2の外装体と、を備え、
前記第1の枠部が前記第2の収容部内に嵌め込めるようになっており、前記第1の枠部の4隅に第1の注入排出孔が前記第2の注入排出孔と向かい合う位置に設けられ、前記第1の注入排出孔が前記第1の収容部と連通していることを特徴とする洗浄治具。
A cleaning jig used for cleaning a thin plate,
In order to allow the thin plate to be inserted, the thin plate has a first housing portion provided by a first base and a first frame portion, and a first through hole is provided in the bottom surface of the first housing portion. A first exterior body;
A second housing portion provided by a second base portion and a second frame portion; a second through hole is provided in the bottom surface of the second housing portion; and at four corners of the bottom surface of the second housing portion. A second exterior body provided with a second injection / discharge hole,
The first frame portion can be fitted into the second accommodating portion, and the first injection / discharge holes are located at the four corners of the first frame portion so as to face the second injection / discharge holes. A cleaning jig provided, wherein the first injection / discharge hole communicates with the first housing portion.
薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、
前記薄板が挿入可能とするように、第1の基部と4つの壁部により設けられる第1の収容部を有し、前記第1の収容部底面に第1の貫通孔が設けられている第1の外装体と、
第2の基部と第2の枠部により設けられる第2の収容部を有し、前記第2の収容部底面に第2の貫通孔が設けられ、前記第2の収容部底面の4隅に第2の注入排出孔が設けられている第2の外装体と、を備え、
前記4つの壁部が前記第2の収容部内に嵌め込めるようになっており、前記第1の基部の4箇所に第1の注入排出孔が前記第2の注入排出孔と向かい合う位置に設けられていることを特徴とする洗浄治具。
A cleaning jig used for cleaning a thin plate,
A first receiving portion provided by a first base and four wall portions so that the thin plate can be inserted, and a first through hole is provided in a bottom surface of the first receiving portion. 1 exterior body,
A second housing portion provided by a second base portion and a second frame portion; a second through hole is provided in the bottom surface of the second housing portion; and at four corners of the bottom surface of the second housing portion. A second exterior body provided with a second injection / discharge hole,
The four wall portions can be fitted into the second accommodating portion, and the first injection / discharge holes are provided at four positions of the first base portion at positions facing the second injection / discharge holes. A cleaning jig characterized by
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