JP2000254604A - Cleaning pallet - Google Patents

Cleaning pallet

Info

Publication number
JP2000254604A
JP2000254604A JP11063359A JP6335999A JP2000254604A JP 2000254604 A JP2000254604 A JP 2000254604A JP 11063359 A JP11063359 A JP 11063359A JP 6335999 A JP6335999 A JP 6335999A JP 2000254604 A JP2000254604 A JP 2000254604A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
hole
mortar
main body
cleaned
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11063359A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takae Hayashi
孝枝 林
Kunihiko Uzawa
邦彦 鵜澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP11063359A priority Critical patent/JP2000254604A/en
Publication of JP2000254604A publication Critical patent/JP2000254604A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Eyeglasses (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning pallet which is capable of holding washed objects having different outer diameters from each other, and rapidly performing the removal of a washing liquid remaining after washing, from the washed objects and the drying of the resulting objects when subjected to rotary drying. SOLUTION: This cleaning pallet 10 for drying washed objects in such a state that the objects are held on a pallet main body 1 after washing, while rotating the objects, is provided with: the main body 1; inverted-conical through- holes 2 each of which is formed through the main body 1 from its upper surface to its lower surface and receives one of the washed objects; and liquid guide grooves 3 formed at least in the upper surface of the main body 1; wherein each of the liquid guide grooves 3 is formed so as to extend from the center of the main body 1 to its outer periphery while passing through plural of the inverted-conical through-holes 2. Thus, the washed objects having different outer diameters from each other can be held in the inverted-conical through- holes 2 respectively and also, the liquid removal is promoted and the drying is rapidly performed by using the inverted-conical through-holes 2 and the liquid guide grooves 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レンズやフィルターな
どの被洗浄物を収納して保持し、この保持状態で被洗浄
物の洗浄や乾燥に用いられる洗浄パレットに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning pallet for storing and holding an object to be cleaned such as a lens and a filter, and for cleaning and drying the object to be cleaned in the held state.

【0002】[0002]

【従来の技術】光学機器のレンズやフィルターなどの光
学部品や、これらの光学部品を装着する部品は、空気中
のゴミ、埃の付着や油脂などの汚染物により光学特性品
質が左右されるため、多くの部品は、溶剤による手拭き
や超音波洗浄機による洗浄によって部品の表面を清浄に
している。
2. Description of the Related Art The optical characteristics and quality of optical components such as lenses and filters of optical equipment and components to which these optical components are mounted are affected by contaminants such as dust and dirt in the air and oils and fats. For many parts, the surfaces of the parts are cleaned by hand wiping with a solvent or cleaning with an ultrasonic cleaner.

【0003】レンズやフィルター等の光学部品の超音波
洗浄においては、一度に多くの光学部品を洗浄してい
る。その際、光学部品の相互接触や光学部品と光学部品
を収納した洗浄かごとの接触により、光学部品に洗浄ム
ラができたり、光学部品の有効径内に傷がついたりする
可能性があるため、光学部品の有効径の外側を保持して
収納するキャリヤやパレット等の収納保持具に光学部品
をセットし、光学部品が接触したり、光学部品有効径内
に洗浄かごが接触したりすることを防止し、この防止状
態で洗浄槽の洗浄液に浸して超音波振動によって清浄化
を行っている。
In ultrasonic cleaning of optical components such as lenses and filters, many optical components are cleaned at one time. At that time, the mutual contact between the optical parts and the contact between the optical parts and the cleaning basket containing the optical parts may cause uneven cleaning of the optical parts or damage the effective diameter of the optical parts. The optical component is set on a storage holder such as a carrier or pallet that holds and stores the outside of the effective diameter of the optical component, and the optical component comes into contact with the cleaning basket inside the optical component effective diameter. In this state, the substrate is immersed in a cleaning solution in a cleaning tank and cleaned by ultrasonic vibration.

【0004】一般にキャリヤやパレット等の収納保持具
は、同一形状の被洗浄物の複数を同時に洗浄するように
作製されており、被洗浄物のサイズに合わせた収納保持
具を交換して洗浄している。このため、同一の収納保持
具によって異なるサイズの被洗浄物を同時に洗浄するこ
とは難しく、異なったサイズの被洗浄物の全数を洗浄す
るまでには長時間を費やしている。
Generally, storage holders such as carriers and pallets are manufactured so that a plurality of objects to be cleaned having the same shape are washed at the same time. ing. For this reason, it is difficult to simultaneously wash objects of different sizes with the same storage holder, and it takes a long time to wash all the objects of different sizes.

【0005】このようなことを解決するため、実開平6
−23033号公報には、異なったサイズのレンズを保
持することができる洗浄用ラックが開示されている。こ
の洗浄用ラックは、被洗浄物の下端面を支持する支持部
と、被洗浄物の両側面を挟持する左右一対の挟持部と、
この挟持部の少なくとも一方に設けられ、支点で支えら
れると共に先端部分の位置が被洗浄物の大きさに合わせ
て調整可能となっている支持脚とによって構成されてい
る。又、支持脚にはばねが巻回された連結棒が連結され
ており、ばねによって支持脚が閉じる方向に付勢されて
いる。かかる洗浄用ラックでは、被洗浄物を支持部にセ
ットすると、支持脚が反対側の挟持部に被洗浄物の側面
を当て付けて保持するものである。
In order to solve such a problem, Japanese Utility Model Laid-Open No.
No. 23033 discloses a cleaning rack capable of holding lenses of different sizes. The cleaning rack has a supporting portion that supports a lower end surface of the object to be cleaned, a pair of left and right holding portions that hold both side surfaces of the object to be cleaned,
A support leg is provided on at least one of the holding portions and supported by a fulcrum, and the position of the tip portion is adjustable according to the size of the object to be cleaned. A connecting rod on which a spring is wound is connected to the support leg, and the support leg is urged in the closing direction by the spring. In such a cleaning rack, when the object to be cleaned is set on the support portion, the supporting legs hold the side of the object to be cleaned by applying the side surface of the object to the holding portion on the opposite side.

【0006】一方、洗浄後の乾燥は、洗浄後の自然乾燥
による再汚染の防止や乾燥時間の短縮を行うため、遠心
乾燥機によって行われている。この遠心乾燥機では、洗
浄時の洗浄液で濡れた被洗浄物を収納保持具に収納した
状態でセットし、回転軸の高速回転の遠心力で被洗浄物
に付着している洗浄液を外周に押し出して、強制的に乾
燥させるものである。この遠心乾燥機では、被洗浄物を
セットするため、洗浄機用の被洗浄物収納保持具から遠
心乾燥機用の収納保持具に被洗浄物を移し換える必要が
あり、この作業によって被洗浄物の再汚染や作業効率の
低下が発生している。
On the other hand, drying after washing is performed by a centrifugal dryer in order to prevent re-contamination due to natural drying after washing and to shorten the drying time. In this centrifugal dryer, the object to be washed wet with the washing liquid at the time of washing is set in the storage holder, and the washing liquid adhering to the object to be washed is pushed out to the outer periphery by the centrifugal force of the high speed rotation of the rotating shaft. And forcibly dry. In this centrifugal dryer, it is necessary to transfer the object to be washed from the storage holder for the washing machine to the storage holder for the centrifugal dryer in order to set the object to be washed. Has been recontaminated and work efficiency has been reduced.

【0007】特開平6−208093号公報には、この
被洗浄物の移し換えを不要とした構造が開示されてい
る。図10はこの公報に開示された乾燥機200を示
し、乾燥機200は乾燥室210と、隔壁220によっ
て乾燥室210と仕切られた駆動室230とを内部に備
えている。
[0007] Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-208093 discloses a structure which does not require transfer of the object to be cleaned. FIG. 10 shows a dryer 200 disclosed in this publication. The dryer 200 includes therein a drying chamber 210 and a driving chamber 230 separated from the drying chamber 210 by a partition wall 220.

【0008】駆動室230内には、モータ240及びモ
ータ240の駆動によって回転するプーリ250が配置
され、プーリ250には回転軸260が上方に延びてお
り、この回転軸260が隔壁220を貫通して乾燥室2
10内に延びている。回転軸260の上部には、一対の
アーム270が取り付けられており、各アーム270に
キャリヤホルダ280が取り付けられている。各キャリ
ヤホルダ280は図11に示すレンズキャリヤ290を
保持するものである。
In the drive chamber 230, a motor 240 and a pulley 250 which is rotated by the drive of the motor 240 are arranged. A rotating shaft 260 extends upward from the pulley 250, and the rotating shaft 260 passes through the partition wall 220. Drying room 2
10 extend into. A pair of arms 270 are attached to the upper part of the rotating shaft 260, and a carrier holder 280 is attached to each arm 270. Each carrier holder 280 holds a lens carrier 290 shown in FIG.

【0009】レンズキャリヤ290は図11に示すよう
に、ステンレスからなる矩形状の枠体292を備えてい
る。枠体292の内部には、多数のレンズ受け溝291
が形成されたテトラフルオロエチレンからなる受け板2
93を取り付けた真鍮からなる支持棒294が平行状態
で取り付けられている。この支持棒294はレンズ30
0を3点で支持するように設けられており、レンズ30
0をレンズ受け溝291に落とし込むことにより、レン
ズ300を起立状態で保持する。
As shown in FIG. 11, the lens carrier 290 has a rectangular frame 292 made of stainless steel. A large number of lens receiving grooves 291 are provided inside the frame body 292.
Plate 2 made of tetrafluoroethylene on which is formed
A support rod 294 made of brass to which 93 is attached is attached in a parallel state. This support rod 294 is the lens 30
The lens 30 is provided so as to support 0 at three points.
By dropping 0 into the lens receiving groove 291, the lens 300 is held upright.

【0010】この構造では、レンズキャリヤ290によ
ってレンズ300を保持した状態で洗浄を行い、洗浄後
にはレンズキャリヤ290をそのまま乾燥機200のキ
ャリヤホルダ280に載置する。この載置状態で乾燥機
200を駆動することによりレンズ300を乾燥するも
のである。このため、洗浄後のレンズをレンズキャリヤ
290にセットしたままでの状態で乾燥機200に移し
換えることができ、短時間での移し換えが可能となって
いる。
In this structure, cleaning is performed with the lens 300 held by the lens carrier 290, and after cleaning, the lens carrier 290 is directly placed on the carrier holder 280 of the dryer 200. By driving the dryer 200 in this mounted state, the lens 300 is dried. For this reason, the lens after cleaning can be transferred to the dryer 200 while being set on the lens carrier 290, and the transfer can be performed in a short time.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実開平
6−23033号公報の構造では、支持脚の構造が複雑
のため、洗浄後における洗浄槽からの液の持ち出しが多
くなり、次の洗浄槽の洗浄液に前洗浄工程の汚れた液が
多量に混入する。このため、液交換のサイクルが短くな
り、コスト高になる。また、支持脚はばねによって付勢
されており、ばね力によってレンズの外周面を押圧する
ため、コバの薄い光学部品が割れ易いと共に、構造が複
雑である問題を有している。
However, in the structure disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. Hei 6-23033, the structure of the supporting legs is complicated, so that the liquid is taken out of the cleaning tank after the cleaning, and the next cleaning tank is required. A large amount of dirty liquid from the pre-cleaning step is mixed into the cleaning liquid. For this reason, the liquid exchange cycle is shortened, and the cost is increased. Further, since the supporting leg is urged by a spring and presses the outer peripheral surface of the lens by the spring force, there is a problem that the optical component having a thin edge is easily broken and the structure is complicated.

【0012】特開平6−208093号公報のレンズキ
ャリヤ290では、レンズを3点で支持しているが、固
定的であり、同じ外径のレンズしか保持することができ
ない不便さを有している。又、レンズの下面には液溜ま
りが生じ易く、液溜まりによってシミができ易いものと
もなっている。さらに、遠心乾燥機での高速回転による
乾燥では、回転時にレンズ下端に大きな遠心力が作用す
るため、コバの薄い光学部品が割れる問題も有してい
る。更に、微小径レンズは安定した保持ができず、この
ため洗浄中や乾燥中にレンズキャリアからレンズが脱落
する不安定さを有している。
In the lens carrier 290 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-208093, the lens is supported at three points, but it is fixed and has the inconvenience that only lenses having the same outer diameter can be held. . In addition, a liquid pool easily occurs on the lower surface of the lens, and spots are easily formed by the liquid pool. Further, in drying by high-speed rotation in a centrifugal dryer, a large centrifugal force acts on the lower end of the lens during rotation, and thus there is a problem that an optical component with a thin edge is cracked. Further, the micro-diameter lens cannot be stably held, and therefore has an instability that the lens falls off from the lens carrier during cleaning or drying.

【0013】本発明はこのような従来技術の問題点に鑑
みてなされたもので、外径の異なる被洗浄物であっても
確実に保持することができ、しかも保持中に被洗浄物が
損傷することなく、迅速に洗浄及び乾燥させることが可
能な洗浄パレットを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and can surely hold objects to be cleaned having different outer diameters. An object of the present invention is to provide a cleaning pallet that can be quickly cleaned and dried without performing cleaning.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、洗浄後に被洗浄物を本体で保持
した状態で回転しながら被洗浄物を乾燥させる洗浄パレ
ットにおいて、前記本体の上面と下面とを貫通して形成
され被洗浄物を収納するすり鉢状貫通穴と、少なくとも
前記本体の上面に設けられた液誘導溝とを備え、液誘導
溝は前記すり鉢状貫通穴を通過し、且つ前記本体の中心
から外周方向に向けて設けられていることを特徴とす
る。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a cleaning pallet for drying an object to be cleaned while rotating the object to be cleaned while holding the object after cleaning. A mortar-shaped through-hole formed through the upper surface and the lower surface of the main body to store an object to be cleaned, and a liquid guiding groove provided at least on the upper surface of the main body, and the liquid guiding groove passes through the mortar-shaped through hole. And provided from the center of the main body toward the outer peripheral direction.

【0015】この発明におけるすり鉢状貫通穴は、被洗
浄物の外径と同一径の斜面部分で被洗浄物を保持する。
このため、外径が異なる被洗浄物であっても確実に保持
することができる。
In the present invention, the mortar-shaped through hole holds the object to be cleaned on a slope portion having the same diameter as the outer diameter of the object to be cleaned.
Therefore, even objects to be cleaned having different outer diameters can be reliably held.

【0016】すり鉢状貫通穴及びすり鉢状貫通穴を通過
するように本体の上面に設けられた液誘導溝は、被洗浄
物全面への洗浄液の流通経路を確保し、洗浄液が供給ま
たは除去される。更に、乾燥時のパレットの回転は、本
体の中心を回転軸線として高速回転して、遠心力が作用
するため、被洗浄物に付着した洗浄液がすり鉢状貫通穴
及び液誘導溝を伝って外周方向に押し出される。従っ
て、被洗浄物をパレットで保持したままで洗浄及び乾燥
を行うことができる。
The mortar-shaped through hole and the liquid guide groove provided on the upper surface of the main body so as to pass through the mortar-shaped through hole ensure a flow path of the cleaning liquid to the entire surface of the object to be cleaned, and supply or remove the cleaning liquid. . Furthermore, the rotation of the pallet during drying is performed at a high speed around the center of the main body as a rotation axis, and centrifugal force acts. Extruded. Therefore, cleaning and drying can be performed while the object to be cleaned is held on the pallet.

【0017】パレットの材質は、テトラフルオロエチレ
ン(商標名「テフロン」)などのフッ素樹脂、ポリエチ
レン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン樹脂あるい
はポリアセタールなどの撥水性を有している材質が望ま
しく、特にテフロンが望ましい。
The material of the pallet is preferably a material having water repellency, such as a fluororesin such as tetrafluoroethylene (trade name "Teflon"), a polyolefin resin such as polyethylene or polypropylene, or a polyacetal, and particularly preferably Teflon.

【0018】被洗浄物を収納するすり鉢状貫通穴の傾斜
角は30〜70°が望ましく、特に30〜50°が望ま
しい。30°より小さいと、被洗浄物が光学部品の場合
に光学面への接触範囲が大きくなり、70°より大きい
と被洗浄物の取り出しや回転乾燥時の液切れ性が悪くな
る。
The angle of inclination of the mortar-shaped through hole for storing the object to be cleaned is desirably 30 to 70 °, particularly desirably 30 to 50 °. If the angle is smaller than 30 °, the contact area with the optical surface becomes large when the object to be cleaned is an optical component.

【0019】液誘導溝はV溝、U溝などが良好である。
又、溝の深さは、パレットの本体の厚さの2/3以下が
望ましく、2/3を越えるとパレットの強度が弱くな
る。液誘導溝の側壁の傾斜角は30〜90°が望まし
く、特に被洗浄物を収納するすり鉢状貫通穴と同様に3
0〜70°が望ましい。30°より小さいと傾斜が緩や
かなため洗浄液が流れにくく、70°より大きいと特
に、V溝の場合には溝の幅が狭くなるため洗浄液の掃け
が悪くなる。また、液誘導溝はパレットの本体の中心か
ら外周に向けて徐々に低くなる、例えば1°以下の傾斜
を有する傾斜溝とすることが可能であり、これにより洗
浄液を良好に掃けることができる。
The liquid guiding groove is preferably a V-shaped groove, a U-shaped groove or the like.
Further, the depth of the groove is desirably 2/3 or less of the thickness of the main body of the pallet, and if it exceeds 2/3, the strength of the pallet becomes weak. The inclination angle of the side wall of the liquid guiding groove is desirably 30 to 90 °, and is particularly 3 ° like the mortar-shaped through hole for storing the object to be cleaned.
0 to 70 ° is desirable. When the angle is smaller than 30 °, the cleaning liquid hardly flows because the inclination is gentle, and when the angle is larger than 70 °, particularly, in the case of the V-shaped groove, the width of the groove becomes narrow, so that the cleaning liquid is hardly swept. In addition, the liquid guide groove can be an inclined groove having a slope of, for example, 1 ° or less, which gradually decreases from the center of the main body of the pallet toward the outer periphery, so that the cleaning liquid can be swept satisfactorily. .

【0020】請求項2の発明は、洗浄後に被洗浄物を本
体で保持した状態で回転しながら被洗浄物を乾燥させる
洗浄パレットにおいて、前記本体の上面と下面とを貫通
して形成され被洗浄物を収納するすり鉢状貫通穴と、こ
のすり鉢状貫通穴の小径側の開口部以下の直径を有して
すり鉢状貫通穴の斜面部分に貫通状に設けられた液誘導
穴とを備えていることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a cleaning pallet for drying an object to be cleaned while rotating while holding the object to be cleaned after the cleaning, wherein the pallet is formed through the upper and lower surfaces of the main body. A mortar-shaped through-hole for storing an object, and a liquid guide hole having a diameter equal to or less than the opening on the small diameter side of the mortar-shaped through-hole and provided in a sloping portion of the mortar-shaped through-hole in a penetrating manner. It is characterized by the following.

【0021】この発明におけるすり鉢状貫通穴において
も、被洗浄物の外径と同一径の斜面部分で被洗浄物を保
持するため、外径が異なる被洗浄物であっても確実に保
持することができる。
In the mortar-shaped through hole according to the present invention, the object to be cleaned is held on the slope portion having the same diameter as the outer diameter of the object to be cleaned. Can be.

【0022】又、パレットが高速回転するときには、洗
浄液がすり鉢状貫通穴及びすり鉢状貫通穴の斜面部分に
貫通状に設けられた液誘導穴を伝って外周方向に押し出
される。このため、洗浄液を効率良く除去することがで
きる。
Further, when the pallet rotates at a high speed, the cleaning liquid is pushed out in the outer peripheral direction along the mortar-shaped through-hole and the liquid guide hole provided in the slope of the mortar-shaped through-hole. Therefore, the cleaning liquid can be efficiently removed.

【0023】パレットの材質や被洗浄物を収納するすり
鉢状貫通穴の傾斜角は、請求項1と同様が望ましい。一
方、液誘導穴はパレットの本体のすり鉢状貫通穴内で遠
心力の作用時に洗浄液が溜まり易い側に配置されるのが
望ましい。このため、この液誘導穴はすり鉢状貫通穴の
パレット中心より外周方向に位置する斜面に配置するこ
とが好ましい。
It is desirable that the material of the pallet and the angle of inclination of the mortar-shaped through hole for storing the object to be cleaned are the same as those in the first aspect. On the other hand, the liquid guide hole is desirably arranged on the side where the cleaning liquid easily accumulates when a centrifugal force acts in the mortar-shaped through hole of the main body of the pallet. For this reason, it is preferable that this liquid guide hole is disposed on a slope located in the outer peripheral direction from the pallet center of the mortar-shaped through hole.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示する実施の形
態を参照して具体的に説明する。なお、各実施の形態に
おいて、同一の要素は同一の符号を付して対応させてあ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments shown in the drawings. In each of the embodiments, the same elements are denoted by the same reference numerals and correspond to each other.

【0025】(実施の形態1)図1〜図5は本発明の実
施の形態1であり、図1はこの実施の形態における洗浄
パレット10の平面図、図2は洗浄パレット10の部分
拡大図、図3は図2のA−A線断面図、図4は洗浄パレ
ット10の縦断面図を示す。洗浄パレット10はテトラ
フルオロエチレン、ポリオレフィン、ポリアセタールな
どの撥水性樹脂によって円盤状に形成された本体1と、
本体1に設けられた複数のすり鉢状貫通穴2と、液誘導
溝3とを備えている。
(Embodiment 1) FIGS. 1 to 5 show Embodiment 1 of the present invention. FIG. 1 is a plan view of a cleaning pallet 10 in this embodiment, and FIG. FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2, and FIG. The cleaning pallet 10 includes a disk-shaped main body 1 made of a water-repellent resin such as tetrafluoroethylene, polyolefin, or polyacetal;
A plurality of mortar-shaped through holes 2 provided in the main body 1 and a liquid guiding groove 3 are provided.

【0026】本体1はその全体が回転されるものであ
り、その中央部分には中心穴11が厚さ方向に貫通して
いる。この中心穴11を中心として洗浄パレット10の
全体が回転する。
The main body 1 is entirely rotated, and a center hole 11 penetrates in a thickness direction in a central portion thereof. The entire cleaning pallet 10 rotates around the center hole 11.

【0027】複数のすり鉢状貫通穴2は本体1の中心穴
11を中心として等角度で放射した線上に所定の間隔で
設けられていると共に、本体1を厚さ方向に貫通してい
る。又、各すり鉢状貫通穴2は図4に示すように、本体
1の上面1a側が大径で、本体1の下面1b側が小径と
なっている。図1〜図4において、2aは上面側の開口
部、2bは下面側の開口部であり、これらの開口部2
a、2bが斜面2cによって連結されている。この実施
の形態において、斜面2cは傾斜角45°に形成されて
いる。
The plurality of mortar-shaped through holes 2 are provided at predetermined intervals on a line radiated at an equal angle around the center hole 11 of the main body 1 and penetrate the main body 1 in the thickness direction. As shown in FIG. 4, each mortar-shaped through hole 2 has a large diameter on the upper surface 1a side of the main body 1 and a small diameter on the lower surface 1b side of the main body 1. 1 to 4, reference numeral 2a denotes an opening on the upper surface side, and 2b denotes an opening on the lower surface side.
a, 2b are connected by a slope 2c. In this embodiment, the slope 2c is formed at an inclination angle of 45 °.

【0028】各すり鉢状貫通穴2はレンズ等の被洗浄物
6を収納するものである。この収納は上面側の開口部2
aから被洗浄物6をすり鉢状貫通穴2内に落とし込むこ
とによって行われる。落とし込まれた被洗浄物6は図5
に示すように、被洗浄物6の外径と、すり鉢状貫通穴2
の所定の深さにおける径とが同径となったとき、その斜
面2c部分によって被洗浄物6の外周エッジ部6aが保
持される。従って、外径の異なった被洗浄物であっても
確実に保持することができる。
Each mortar-shaped through-hole 2 accommodates an object 6 to be cleaned such as a lens. This storage is the opening 2 on the top side
This is performed by dropping the object 6 to be cleaned into the mortar-shaped through hole 2 from a. FIG. 5 shows the dropped object 6 to be cleaned.
As shown in FIG.
When the diameter at the predetermined depth becomes the same diameter, the outer peripheral edge portion 6a of the article 6 to be cleaned is held by the slope 2c. Therefore, even objects to be cleaned having different outer diameters can be reliably held.

【0029】液誘導溝3は本体1の上面に設けられてい
る。液誘導溝3は放射線上に並んでいるすり鉢状貫通穴
2を通過するように設けられるものであり、このため、
液誘導溝3は本体1の中心穴11から外周方向に向かっ
て放射状に複数条が設けられている。この実施の形態に
おける液誘導溝3は傾斜角45°のV溝に形成されるも
のである。又、各液誘導溝3は本体1の中心から外周に
向かって1°以下で低く傾斜している。このように外側
に向かって低くなることにより、液誘導溝3に沿って液
体を外側に良好に導くことができる。
The liquid guide groove 3 is provided on the upper surface of the main body 1. The liquid guiding groove 3 is provided so as to pass through the mortar-shaped through-holes 2 arranged on the radiation.
A plurality of liquid guide grooves 3 are provided radially from the center hole 11 of the main body 1 toward the outer periphery. The liquid guide groove 3 in this embodiment is formed as a V-shaped groove having an inclination angle of 45 °. Each liquid guide groove 3 is inclined at a low angle of 1 ° or less from the center of the main body 1 toward the outer periphery. As the height decreases outward, the liquid can be favorably guided to the outside along the liquid guide groove 3.

【0030】この実施の形態では、図4に示すように、
蓋体8を取り付けることができる。蓋体8は本体1と同
径となっていると共に、本体1の中心穴11と連通する
中心穴8aが形成されている。又、蓋体8は樹脂などに
よって網目状あるいは格子状に形成されており、このた
め、液体が流通する液穴8bを有している。かかる蓋体
8は本体1の上面に被せられることにより、すり鉢状貫
通穴2内の被洗浄物6の移動や脱落を防止するものであ
る。この蓋体8の本体1への取り付けは、本体1にビス
穴12(図1参照)を形成し、蓋体8を本体1の上面に
被せた後、蓋体8をビスによって本体1に押し付けるこ
とにより簡単に行うことができる。
In this embodiment, as shown in FIG.
The lid 8 can be attached. The lid 8 has the same diameter as the main body 1 and has a central hole 8a communicating with the central hole 11 of the main body 1. The lid 8 is formed in a mesh shape or a lattice shape with a resin or the like, and thus has a liquid hole 8b through which a liquid flows. The lid 8 is placed on the upper surface of the main body 1 to prevent the object 6 to be cleaned from moving or falling off in the mortar-shaped through-hole 2. To attach the lid 8 to the main body 1, a screw hole 12 (see FIG. 1) is formed in the main body 1, and after the lid 8 is covered on the upper surface of the main body 1, the lid 8 is pressed against the main body 1 with a screw. This can be easily performed.

【0031】図6はこの実施の形態の洗浄パレット10
が適用される洗浄乾燥装置20を示し、第1及び第2の
洗浄槽21,22と、乾燥槽23とを備えている。第1
及び第2の洗浄槽21,22は超音波振動子24が設け
られており、超音波振動による洗浄を行うようになって
いる。又、第1及び第2の洗浄槽21,22、乾燥槽2
3には回転モータ25が順次、移動する。回転モータ2
5は下方に垂下する回転軸26を備えており、この回転
軸26が洗浄パレット10の中心穴11に挿通すること
により洗浄パレット10が回転軸26に取り付けられ
る。そして、この取り付け状態で回転モータ25が駆動
することにより、回転しながら洗浄及び乾燥が行われ
る。
FIG. 6 shows a cleaning pallet 10 according to this embodiment.
1 shows a cleaning / drying apparatus 20 to which the first and second cleaning tanks 21 and 22 and a drying tank 23 are provided. First
The second cleaning tanks 21 and 22 are provided with an ultrasonic vibrator 24 so as to perform cleaning by ultrasonic vibration. Also, the first and second cleaning tanks 21 and 22 and the drying tank 2
3, the rotation motor 25 moves sequentially. Rotary motor 2
5 is provided with a rotating shaft 26 that hangs downward. The rotating shaft 26 is inserted into the center hole 11 of the cleaning pallet 10, whereby the cleaning pallet 10 is attached to the rotating shaft 26. When the rotating motor 25 is driven in this mounted state, the washing and drying are performed while rotating.

【0032】このような洗浄乾燥装置では、回転軸26
に取り付けた状態で、洗浄パレット10を各槽21,2
2,23の間に移送させることができ、洗浄工程から乾
燥工程に移送する際にも、異なったパレットの間で被洗
浄物6を移し換える必要がなくなる。従って、作業性が
向上する。
In such a washing and drying apparatus, the rotating shaft 26
The washing pallet 10 is attached to each of the tanks 21 and
The transfer can be performed between the pallets 2 and 23, and when transferring from the washing step to the drying step, there is no need to transfer the article 6 to be washed between different pallets. Therefore, workability is improved.

【0033】以上のような実施の形態では、洗浄パレッ
ト10の本体1に設けたすり鉢状貫通穴2に落とし込ま
れた被洗浄物6は、その外径と同じ径となっているすり
鉢状貫通穴2の斜面2c部分に外周エッジ部6aが当た
ることにより、それ以上、下方に移動することがない。
このため、被洗浄物6はすり鉢状貫通穴2を通過して落
下することなくすり鉢状貫通穴2に確実に保持される。
In the embodiment described above, the object 6 to be cleaned dropped into the mortar-shaped through hole 2 provided in the main body 1 of the cleaning pallet 10 has the same diameter as the outer diameter of the mortar-shaped through-hole. Since the outer peripheral edge portion 6a hits the slope 2c of the hole 2, the hole 2 does not move further downward.
For this reason, the to-be-cleaned object 6 is reliably held by the mortar-shaped through-hole 2 without falling through the mortar-shaped through-hole 2.

【0034】このすり鉢状貫通穴2は本体1の上面から
下面に向かって径が小さくなっているため、被洗浄物6
の外径が異なっていても同じ洗浄パレット10に収納す
ることができる。この場合、すり鉢状貫通穴2の下面側
の開口部2bの径を小さくすることにより、被洗浄物6
が微小径のレンズであっても確実に保持することができ
る。
Since the diameter of the mortar-shaped through hole 2 decreases from the upper surface to the lower surface of the main body 1,
Can be housed in the same washing pallet 10 even if their outer diameters are different. In this case, by reducing the diameter of the opening 2b on the lower surface side of the mortar-shaped through hole 2,
Can be securely held even if the lens has a small diameter.

【0035】又、本体1を貫通しているすり鉢状貫通穴
2には、洗浄パレット10を洗浄槽21,22に浸漬す
る際に、下面側の開口部2bから洗浄液が内部に送り込
まれる。このときにおいて、すり鉢状貫通穴2を通過し
ている液誘導溝3は横方向からの被洗浄物6全面への洗
浄液の流通経路を確保する。従って、被洗浄物6に対し
て洗浄液が良好に接触することができる。
When the cleaning pallet 10 is immersed in the cleaning tanks 21 and 22, the cleaning liquid is fed into the mortar-shaped through hole 2 penetrating the main body 1 from the opening 2b on the lower surface side. At this time, the liquid guide groove 3 passing through the mortar-shaped through hole 2 secures a flow path of the cleaning liquid from the lateral direction to the entire surface of the cleaning target 6. Therefore, the cleaning liquid can satisfactorily contact the object 6 to be cleaned.

【0036】洗浄後においては、洗浄パレット10の全
体が洗浄モータ25と共に洗浄槽21,22から引き上
げられる。この引き上げの際には、液誘導溝3が本体1
の外周に向かって低くなる傾斜を有しているため、すり
鉢状貫通穴2内に洗浄液を迅速に送り込むことができ
る。又、すり鉢状貫通穴2では、斜面2cを伝って下面
側の開口部2bから洗浄液を排出するため、迅速に排出
することができる。このため、次工程への洗浄液の持ち
出しを少なくすることができる。
After the cleaning, the entire cleaning pallet 10 is pulled up from the cleaning tanks 21 and 22 together with the cleaning motor 25. At the time of this lifting, the liquid guiding groove 3 is attached to the main body 1.
The cleaning liquid can be quickly fed into the mortar-shaped through-hole 2 because the cleaning liquid has a slope that becomes lower toward the outer periphery of the mortar. Further, in the mortar-shaped through hole 2, the cleaning liquid is discharged from the opening 2b on the lower surface side along the slope 2c, so that the cleaning liquid can be discharged quickly. For this reason, carry-out of the cleaning liquid to the next step can be reduced.

【0037】洗浄工程後には、洗浄パレット10は乾燥
槽23内に移送され、同槽23内で高速回転する。洗浄
パレット10の高速回転では、洗浄パレット10と被洗
浄物6との遠心力が作用し、この遠心力によって洗浄液
が被洗浄物6の外周又は本体1の外周に押し出される。
このとき、洗浄液はすり鉢状貫通穴2やすり鉢状貫通穴
2から本体1の外周方向に向かう液誘導溝3を伝って洗
浄パレット10の外周方向に移動し、洗浄パレット10
の外周端で迅速に液切れされる。従って、洗浄液を迅速
且つ確実に切ることができ、液溜まりによるシミの発生
を防止することができる。
After the washing step, the washing pallet 10 is transferred into the drying tank 23 and rotates at a high speed in the same tank 23. In the high-speed rotation of the cleaning pallet 10, a centrifugal force acts between the cleaning pallet 10 and the object 6 to be cleaned, and the cleaning liquid is pushed out to the outer periphery of the object 6 or the outer periphery of the main body 1 by the centrifugal force.
At this time, the cleaning liquid moves from the mortar-shaped through-hole 2 to the outer peripheral direction of the cleaning pallet 10 through the liquid guide groove 3 directed toward the outer peripheral direction of the main body 1.
Liquid is quickly drained at the outer peripheral edge of the. Therefore, the cleaning liquid can be quickly and reliably cut off, and the occurrence of spots due to the liquid pool can be prevented.

【0038】なお、この実施の形態では、液誘導溝3を
本体1の上面1aに設けているが、本体1の下面1bに
対しても、上面1aと同様にすり鉢状貫通穴2を通過す
るように液誘導溝3を設けることができる。このように
下面1bに液誘導溝3を設けることにより、回転乾燥時
の当初にすり鉢状貫通穴2の下面側の開口部2bに集ま
った洗浄液を迅速に排出させることが可能となる。
Although the liquid guide groove 3 is provided on the upper surface 1a of the main body 1 in this embodiment, the lower surface 1b of the main body 1 also passes through the mortar-shaped through hole 2 similarly to the upper surface 1a. The liquid guiding groove 3 can be provided as described above. By providing the liquid guide groove 3 on the lower surface 1b in this manner, it is possible to quickly discharge the cleaning liquid collected at the opening 2b on the lower surface side of the mortar-shaped through-hole 2 at the beginning of rotation drying.

【0039】(実施の形態2)図7〜図9は本発明の実
施の形態2を示す。この実施の形態では、実施の形態1
と同様に、厚さ方向に貫通するすり鉢状貫通穴2が本体
1に対して放射状に複数設けられている。各すり鉢状貫
通穴2は実施の形態1と同様に、本体1の上面1a側に
大径の開口部2aを有し、本体1の下面1b側に小径の
開口部2bを有しており、これらの開口部2a、2bの
間が斜面2cとなっている。斜面2cは実施の形態1と
同じ角度で形成されるものである。
(Embodiment 2) FIGS. 7 to 9 show Embodiment 2 of the present invention. In this embodiment, the first embodiment
Similarly, a plurality of mortar-shaped through holes 2 penetrating in the thickness direction are provided radially with respect to the main body 1. Each of the mortar-shaped through holes 2 has a large-diameter opening 2a on the upper surface 1a side of the main body 1 and a small-diameter opening 2b on the lower surface 1b side of the main body 1, as in the first embodiment. A slope 2c is formed between the openings 2a and 2b. The slope 2c is formed at the same angle as in the first embodiment.

【0040】この実施の形態におけるすり鉢状貫通穴2
のそれぞれには、液誘導穴5が設けられている。液誘導
穴5は各すり鉢状貫通穴2の斜面2cに設けられてお
り、この斜面2cから本体1の下面1bにまで直線的に
貫通している。この液誘導穴5はすり鉢状貫通穴2の下
面側の開口部2bよりも小さな直径となるように貫通し
ている。従って、すり鉢状貫通穴2内に落とし込まれた
被洗浄物6が、液誘導穴5に入り込んで、液誘導穴5を
塞いだり、液誘導穴5から落下することはない。ここ
で、液誘導穴5はすり鉢状貫通穴2の斜面2cにおける
本体1の外周側に位置するように設けられるものであ
る。
The mortar-shaped through hole 2 in this embodiment
Are each provided with a liquid guide hole 5. The liquid guide hole 5 is provided on the slope 2 c of each of the mortar-shaped through holes 2, and penetrates linearly from the slope 2 c to the lower surface 1 b of the main body 1. The liquid guide hole 5 penetrates so as to have a smaller diameter than the opening 2 b on the lower surface side of the mortar-shaped through hole 2. Therefore, the object 6 to be cleaned dropped into the mortar-shaped through-hole 2 does not enter the liquid guide hole 5 to close the liquid guide hole 5 or fall from the liquid guide hole 5. Here, the liquid guide hole 5 is provided so as to be located on the outer peripheral side of the main body 1 on the slope 2 c of the mortar-shaped through hole 2.

【0041】以上のような液誘導穴5は、洗浄槽21,
22(図6参照)内での回転時に、すり鉢状貫通穴2の
下面側の開口部2bと同様に、その下端部から洗浄液を
すり鉢状貫通穴2の内部に送り込む。又、洗浄槽21,
22から洗浄パレット10を引き上げる際は、すり鉢状
貫通穴2の下面側の開口部2bと同様に、すり鉢状貫通
穴2の斜面2cに沿って集まる洗浄液を下方に落下させ
る。従って、次工程への洗浄液の持ち出しを少なくする
ことができる。
The above-described liquid guide hole 5 is provided in the cleaning tank 21,
During rotation within the mortar 22 (see FIG. 6), the cleaning liquid is fed into the mortar-shaped through-hole 2 from the lower end, similarly to the opening 2 b on the lower surface side of the mortar-shaped through-hole 2. Also, the cleaning tank 21,
When the cleaning pallet 10 is pulled up from the hopper 22, the cleaning liquid collected along the slope 2c of the mortar-shaped through-hole 2 is dropped downward similarly to the opening 2b on the lower surface side of the mortar-shaped through-hole 2. Therefore, the carry-out of the cleaning liquid to the next step can be reduced.

【0042】一方、乾燥工程での洗浄パレット10の高
速回転時は、回転の遠心力によって洗浄液が被洗浄物6
の外周や本体1の外周に押し出される。このとき、液誘
導穴5が本体1の外周側に位置するように設けられてい
るため、すり鉢状貫通穴2内で外周側に押し出された洗
浄液が液誘導穴5から落下して液切れが行われる。従っ
て、洗浄液の液切れを最短距離で行うことができ、迅速
に液切れさせることができる。これにより、液溜まりに
よるシミの発生を抑えることができる。
On the other hand, when the cleaning pallet 10 rotates at a high speed in the drying step, the cleaning liquid is washed by the centrifugal force of the rotation.
And the outer periphery of the main body 1. At this time, since the liquid guide hole 5 is provided so as to be located on the outer peripheral side of the main body 1, the cleaning liquid extruded to the outer peripheral side in the mortar-shaped through hole 2 falls from the liquid guide hole 5 and runs out of liquid. Done. Therefore, the cleaning liquid can be drained at the shortest distance, and the liquid can be quickly drained. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of stains due to the liquid pool.

【0043】なお、この実施の形態では、実施の形態1
で説明したすり鉢状貫通穴2を通過する液誘導溝3(図
1参照)を本体1に設けていないが、この液誘導溝3を
配置することも可能である。
In this embodiment, the first embodiment
Although the liquid guiding groove 3 (see FIG. 1) passing through the mortar-shaped through hole 2 described in the above is not provided in the main body 1, it is also possible to arrange the liquid guiding groove 3.

【0044】以上の説明から、本発明は次の発明を包含
するものである。
From the above description, the present invention includes the following inventions.

【0045】(1)洗浄後に被洗浄物を本体で保持した
状態で回転しながら被洗浄物を乾燥させる洗浄パレット
において、前記本体の上面と下面とを貫通して形成され
被洗浄物を収納するすり鉢状貫通穴と、少なくとも前記
本体の上面に設けられた液誘導溝とを備え、液誘導溝は
前記すり鉢状貫通穴の大径側の開口部を通過し、且つ前
記本体の中心から外周方向に向けて設けられていること
を特徴とする洗浄パレット。
(1) In a cleaning pallet for drying an object to be cleaned while rotating while holding the object to be cleaned after cleaning, the cleaning pallet is formed through the upper surface and the lower surface of the main body to store the object to be cleaned. A mortar-shaped through-hole, and a liquid guide groove provided at least on the upper surface of the main body, wherein the liquid guide groove passes through a large-diameter side opening of the mortar-shaped through-hole and extends from the center of the main body toward the outer periphery. A cleaning pallet characterized by being provided to a pallet.

【0046】この発明では、すり鉢状貫通穴の大径側の
開口部を液誘導溝が通過しているため、洗浄液を大径側
の開口部からすり鉢状貫通穴に円滑に導入することがで
き、導入された洗浄液をすり鉢状貫通穴の斜面から外周
方向に排出できる。このため、液切れを円滑に行うこと
ができる。
In the present invention, since the liquid guiding groove passes through the opening on the large diameter side of the mortar-shaped through hole, the cleaning liquid can be smoothly introduced into the mortar-shaped through hole from the large diameter side opening. In addition, the introduced cleaning liquid can be discharged from the slope of the mortar-shaped through hole in the outer peripheral direction. Therefore, the liquid can be smoothly drained.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上説明したように請求項1の発明によ
れば、すり鉢状貫通穴が被洗浄物の外径と同一径の斜面
部分で被洗浄物を保持するため、外径が異なる被洗浄物
であっても確実に保持することができる。又、すり鉢状
貫通穴及び液誘導溝は、被洗浄物全面への洗浄液の流通
経路を確保して洗浄液を円滑に供給または除去すると共
に、高速回転の際に、洗浄液がすり鉢状貫通穴及び液誘
導溝を伝って外周方向に押し出され、シミのない乾燥を
行うことができ、しかも、被洗浄物をパレットで保持し
たままで洗浄及び乾燥を行うことができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the mortar-shaped through hole holds the object to be cleaned on the slope portion having the same diameter as the outer diameter of the object to be cleaned. Even a washed object can be reliably held. In addition, the mortar-shaped through-hole and the liquid guide groove ensure a flow path of the cleaning liquid to the entire surface of the object to be cleaned to smoothly supply or remove the cleaning liquid. It is extruded in the outer circumferential direction along the guide groove, and can be dried without stains. Further, it is possible to perform cleaning and drying while holding the object to be cleaned on the pallet.

【0048】請求項2の発明によれば、すり鉢状貫通穴
及び液誘導穴によって、洗浄液を円滑に排出できるた
め、液切れを迅速に行うことができる。
According to the second aspect of the present invention, the cleaning liquid can be smoothly discharged by the mortar-shaped through-hole and the liquid guide hole, so that the liquid can be quickly drained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態1の洗浄パレットの平面図
である。
FIG. 1 is a plan view of a cleaning pallet according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の部分拡大平面図である。FIG. 2 is a partially enlarged plan view of FIG. 1;

【図3】図2におけるA−A線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG. 2;

【図4】実施の形態1の縦断面図である。FIG. 4 is a longitudinal sectional view of the first embodiment.

【図5】図4におけるB部拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged sectional view of a portion B in FIG.

【図6】本発明が適用される洗浄乾燥装置の断面図であ
る。
FIG. 6 is a sectional view of a cleaning / drying apparatus to which the present invention is applied.

【図7】実施の形態2の洗浄パレットの平面図である。FIG. 7 is a plan view of a cleaning pallet according to a second embodiment.

【図8】実施の形態2の縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view of the second embodiment.

【図9】図8におけるC部拡大断面図である。FIG. 9 is an enlarged sectional view of a portion C in FIG. 8;

【図10】従来の乾燥装置の部分破断斜視図である。FIG. 10 is a partially cutaway perspective view of a conventional drying device.

【図11】従来の乾燥装置に用いられるレンズキャリヤ
の斜視図である。
FIG. 11 is a perspective view of a lens carrier used in a conventional drying device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 本体 2 すり鉢状貫通穴 3 液誘導溝 5 液誘導穴 6 被洗浄物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main body 2 Crate-shaped through-hole 3 Liquid guide groove 5 Liquid guide hole 6 Object to be cleaned

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 洗浄後に被洗浄物を本体で保持した状態
で回転しながら被洗浄物を乾燥させる洗浄パレットにお
いて、 前記本体の上面と下面とを貫通して形成され被洗浄物を
収納するすり鉢状貫通穴と、少なくとも前記本体の上面
に設けられた液誘導溝とを備え、液誘導溝は前記すり鉢
状貫通穴を通過し、且つ前記本体の中心から外周方向に
向けて設けられていることを特徴とする洗浄パレット。
1. A cleaning pallet for drying an object to be cleaned while rotating while holding the object to be cleaned after cleaning, comprising: a mortar formed through the upper surface and the lower surface of the body to store the object to be cleaned. And a liquid guide groove provided at least on the upper surface of the main body, wherein the liquid guide groove passes through the mortar-shaped through hole and is provided from the center of the main body toward the outer periphery. A washing pallet characterized by the following.
【請求項2】 洗浄後に被洗浄物を本体で保持した状態
で回転しながら被洗浄物を乾燥させる洗浄パレットにお
いて、 前記本体の上面と下面とを貫通して形成され被洗浄物を
収納するすり鉢状貫通穴と、このすり鉢状貫通穴の小径
側の開口部以下の直径を有してすり鉢状貫通穴の斜面部
分に貫通状に設けられた液誘導穴とを備えていることを
特徴とする洗浄パレット。
2. A cleaning pallet for drying an object to be cleaned while rotating while holding the object to be cleaned after the cleaning, wherein a mortar formed through the upper surface and the lower surface of the body to store the object to be cleaned. And a liquid guide hole having a diameter equal to or less than the opening on the small diameter side of the mortar-shaped through hole and being provided in a sloping part of the mortar-shaped through hole in a penetrating manner. Wash pallets.
JP11063359A 1999-03-10 1999-03-10 Cleaning pallet Withdrawn JP2000254604A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11063359A JP2000254604A (en) 1999-03-10 1999-03-10 Cleaning pallet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11063359A JP2000254604A (en) 1999-03-10 1999-03-10 Cleaning pallet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000254604A true JP2000254604A (en) 2000-09-19

Family

ID=13226996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11063359A Withdrawn JP2000254604A (en) 1999-03-10 1999-03-10 Cleaning pallet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000254604A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011131177A (en) * 2009-12-25 2011-07-07 Kyocera Kinseki Corp Washing jig
JP2011240258A (en) * 2010-05-18 2011-12-01 Olympus Corp Holding tool for cleaning, and cleaning method
CN105629419A (en) * 2016-01-18 2016-06-01 苏州艾力光电科技有限公司 Optical glass washing tool convenient for dismounting and combination
KR20230055648A (en) * 2021-10-19 2023-04-26 송율아 Ultrasonic washable support tray for solid carbide rods

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011131177A (en) * 2009-12-25 2011-07-07 Kyocera Kinseki Corp Washing jig
JP2011240258A (en) * 2010-05-18 2011-12-01 Olympus Corp Holding tool for cleaning, and cleaning method
CN105629419A (en) * 2016-01-18 2016-06-01 苏州艾力光电科技有限公司 Optical glass washing tool convenient for dismounting and combination
KR20230055648A (en) * 2021-10-19 2023-04-26 송율아 Ultrasonic washable support tray for solid carbide rods
KR102572150B1 (en) 2021-10-19 2023-08-28 송율아 Ultrasonic washable support tray for solid carbide rods

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4643774A (en) Method of washing and drying substrates
TWI511191B (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
US20090038641A1 (en) Substrate Cleaning Apparatus, Substrate Cleaning Method, Substrate Processing System, and Storage Medium
JPH1092784A (en) Wafer treatment equipment and wafer treatment method
US6052855A (en) Liquid flow workpiece cassette washing apparatus
CA2709197C (en) Fixtures for the cleaning of lenses
JP2000254604A (en) Cleaning pallet
JP2002096037A (en) Tool and device for cleaning substrate
JPH07211689A (en) Wafer holder
JP2000249466A (en) Method and device for drying part and pallet employed for drying
KR100525302B1 (en) Cleaner method of spin cup
JP3448602B2 (en) Disk cassette cleaning device
JP7137420B2 (en) Brush cleaning device, substrate processing device and brush cleaning method
JP2005072429A (en) Method and apparatus for cleaning both surfaces
JP3999540B2 (en) Brush cleaning method and processing system for scrub cleaning apparatus
JPH11162898A (en) Scrubber cleaning equipment of wafer and cleaning method
JP3229952B2 (en) Wafer carrier cleaning equipment
JP2916409B2 (en) Spin cleaning method and apparatus therefor
JP3229951B2 (en) Wafer carrier cleaning equipment
JP2003297793A (en) Treatment device and cleaning method of substrate
JPH06208093A (en) Drying method for lens
JP3707026B2 (en) Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus
JPH0155573B2 (en)
JP2000237700A (en) Substrate washing apparatus
JP2000243807A (en) Substrate processing device

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20060606