JP5796667B2 - 振動素子、振動デバイス及び振動素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明のある形態に係る振動素子は、厚み滑り振動を主振動として振動し、一定の厚さを有している第1の領域と、前記第1の領域の前記主振動の振動方向に沿って並んでいる両側の外縁部に、段差を介して連結され、前記第1の領域よりも厚さが薄い部分を備えている第2の領域と、を含む振動素子であって、平面視で、前記第2の領域は、更に、固定部が配置される一方の端部側とは反対側の他方の端部側の一主面側であって、前記振動方向と交差する方向に沿った幅の中央部を除いた部分に、前記第1の領域と離れ、かつ、前記振動素子の外縁よりも内側に、前記薄い部分の前記一主面よりも厚さ方向に沿って突出した2つの第1の突起部と、前記第2の領域の前記一方の端部側の一主面側であって、前記薄い部分の前記一主面よりも厚さ方向に沿って突出した第2の突起部と、が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動素子は、前記第1の突起部及び前記第2の突起部が、前記外縁に沿って配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動素子は、平面視で前記振動素子は矩形状であり、
平面視で前記振動素子の角部に前記第1の突起部が配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動素子は、前記振動素子の厚さ方向の断面において、前記第2の領域の一主面よりも前記第1の領域が突出している高さと、前記一主面よりも前記第1の突起部が突出している高さとが同じであることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動素子は、平面視で、前記第2の領域の前記他方の端部側の他主面側であって、前記振動方向と交差する方向に沿った幅の中央部を除いた部分に、前記薄い部分の前記他主面よりも厚さ方向に沿って突出した第3の突起部が配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動素子は、前記振動素子は、前記第1の領域に設けられている励振電極と、前記励振電極から前記第2の領域の前記一方の端部側に延出しているリード電極と、前記一方の端部側に設けられ、前記リード電極と接続されている電極端子と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動デバイスは、前記振動素子と、前記振動素子が収容されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動素子の製造方法は、厚み滑り振動を主振動として振動する第1の領域と、前記第1の領域の前記主振動の振動方向に沿って並んでいる両側の外縁部に段差を介して連結され、前記第1の領域よりも厚さの薄い部分を備えている第2の領域と、を含む振動素子の製造方法であって、基板をエッチングすることにより、平面視で前記第2の領域の固定部が配置される一方の端部側とは反対側の他方の端部側の一主面側であって、前記振動方向と交差する方向に沿った幅の中央部を除いた部分に、前記第1の領域と離れ、かつ、前記振動素子の外縁よりも内側に、前記薄い部分の前記一主面よりも厚さ方向に沿って突出した2つの第1の突起部を形成する工程と、基板をエッチングすることにより、前記第2の領域の前記一方の端部側の一主面側であって、前記薄い部分の前記一主面よりも厚さ方向に沿って突出した第2の突起部を形成する工程と、基板をエッチングすることにより、前記第1の領域を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動素子の製造方法は、平面視で前記基板は矩形状であり、前記第1の突起部を形成する工程は、平面視で前記基板の角部に突起部を形成することを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動素子の製造方法は、前記第1の突起部を形成する工程と、前記第2の突起部を形成する工程と、前記第1の領域を形成する工程と、を同時に行うことを特徴とする。
(実施形態)
Claims (10)
- 厚み滑り振動を主振動として振動し、一定の厚さを有している第1の領域と、
前記第1の領域の前記主振動の振動方向に沿って並んでいる両側の外縁部に、段差を介して連結され、前記第1の領域よりも厚さが薄い部分を備えている第2の領域と、
を含む振動素子であって、
平面視で、前記第2の領域は、更に、固定部が配置される一方の端部側とは反対側の他方の端部側の一主面側であって、前記振動方向と交差する方向に沿った幅の中央部を除いた部分に、前記第1の領域と離れ、かつ、前記振動素子の外縁よりも内側に、前記薄い部分の前記一主面よりも厚さ方向に沿って突出した2つの第1の突起部と、
前記第2の領域の前記一方の端部側の一主面側であって、前記薄い部分の前記一主面よりも厚さ方向に沿って突出した第2の突起部と、が設けられていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1において、
前記第1の突起部及び前記第2の突起部が、前記外縁に沿って配置されていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1または2において、
平面視で前記振動素子は矩形状であり、
平面視で前記振動素子の角部に前記第1の突起部が配置されていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記振動素子の厚さ方向の断面において、前記第2の領域の一主面よりも前記第1の領域が突出している高さと、前記一主面よりも前記第1の突起部が突出している高さとが同じであることを特徴とする振動素子。 - 請求項1乃至4のいずれか一項において、
平面視で、前記第2の領域の前記他方の端部側の他主面側であって、前記振動方向と交差する方向に沿った幅の中央部を除いた部分に、前記薄い部分の前記他主面よりも厚さ方向に沿って突出した第3の突起部が配置されていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記振動素子は、前記第1の領域に設けられている励振電極と、
前記励振電極から前記第2の領域の前記一方の端部側に延出しているリード電極と、
前記一方の端部側に設けられ、前記リード電極と接続されている電極端子と、
を含むことを特徴とする振動素子。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の振動素子と、
前記振動素子が収容されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動デバイス。 - 厚み滑り振動を主振動として振動する第1の領域と、
前記第1の領域の前記主振動の振動方向に沿って並んでいる両側の外縁部に段差を介して連結され、前記第1の領域よりも厚さの薄い部分を備えている第2の領域と、
を含む振動素子の製造方法であって、
基板をエッチングすることにより、平面視で前記第2の領域の固定部が配置される一方の端部側とは反対側の他方の端部側の一主面側であって、前記振動方向と交差する方向に沿った幅の中央部を除いた部分に、前記第1の領域と離れ、かつ、前記振動素子の外縁よりも内側に、前記薄い部分の前記一主面よりも厚さ方向に沿って突出した2つの第1の突起部を形成する工程と、
基板をエッチングすることにより、前記第2の領域の前記一方の端部側の一主面側であって、前記薄い部分の前記一主面よりも厚さ方向に沿って突出した第2の突起部を形成する工程と、
基板をエッチングすることにより、前記第1の領域を形成する工程と、
を含むことを特徴とする振動素子の製造方法。 - 請求項8において、
平面視で前記基板は矩形状であり、
前記第1の突起部を形成する工程は、平面視で前記基板の角部に突起部を形成することを特徴とする振動素子の製造方法。 - 請求項8または9において、
前記第1の突起部を形成する工程と、前記第2の突起部を形成する工程と、前記第1の領域を形成する工程と、を同時に行うことを特徴とする振動素子の製造方法。
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