JP5794858B2 - イオン注入法及び磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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- XmYn(式中、X及びYのいずれか一方を水素原子とし、いずれか他方を質量数が11〜40の原子とし、水素原子の数を1〜6、他方の原子の数を1〜2とする)で表される分子の中から選択される少なくとも1種を含む処理ガスを用い、この処理ガスを減圧下で導入してプラズマを形成し、プラズマ中で電離したイオンを引き出し、引き出したイオンを加速して、表面に保護膜が形成されていない処理対象物内に注入するイオン注入法であって、
イオン注入中、処理ガスの分圧、イオンの注入エネルギ及びイオンの注入ドーズ量の少なくとも1つを制御して、引き出したイオンによる処理対象物表面に堆積した活性種のエッチング速度を処理対象物表面に堆積する活性種の堆積速度以下とすることを特徴とするイオン注入法。 - 前記処理ガスとして、PH3 、B 2 H 6 及びSiH 4 の少なくとも1種を含むものを用いることを特徴とする請求項1記載のイオン注入法。
- 請求項1又は2記載のイオン注入法であって、前記処理ガスの分圧を制御して、前記活性種の堆積速度よりもエッチング速度を遅くするものにおいて、
前記処理ガスの分圧を1×10−5〜0.01Paの範囲内に制御することを特徴とするイオン注入法。 - 請求項1又は2記載のイオン注入法であって、前記イオンの注入エネルギを制御して、前記活性種の堆積速度よりもエッチング速度を遅くするものにおいて、
前記イオンの注入エネルギを0.01〜50keVの範囲内に制御することを特徴とするイオン注入法。 - 処理すべき基板表面に磁性膜を形成する磁性膜形成工程と、
磁性膜表面にマスクを直接形成して、所定の保護領域を形成するマスク形成工程と、
XmYn(式中、X及びYのいずれか一方を水素原子とし、いずれか他方を質量数が11〜40の原子とし、水素原子の数を1〜6、他方の原子の数を1〜2とする)で表される分子の中から選択される少なくとも1種を含む処理ガスを用い、この処理ガスを減圧下で導入してプラズマを形成し、プラズマ中で電離したイオンを引き出し、引き出したイオンを加速して基板に照射するイオン注入工程と、を備え、
イオン注入工程での処理ガスの分圧、イオンの注入エネルギ及びイオンの注入ドーズ量の少なくとも1つを制御して、引き出したイオンによる処理対象物表面に堆積した活性種のエッチング速度を処理対象物表面に堆積する活性種の堆積速度以下とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記処理ガスとして、PH3 、B 2 H 6 及びSiH 4 の少なくとも1種を含むものを用いることを特徴とする請求項5記載の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
WO2015142284A1 (en) * | 2014-03-19 | 2015-09-24 | National University Of Singapore | A method of fabricating a bit-patterned medium |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7807961B2 (en) * | 2008-10-08 | 2010-10-05 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for ion implantation of molecular ions |
CN102257650A (zh) * | 2008-12-18 | 2011-11-23 | 默克专利股份有限公司 | 通过具有低能量的粒子形成绝缘层的方法 |
SG10201401425RA (en) * | 2009-04-13 | 2014-08-28 | Applied Materials Inc | Modification of magnetic properties of films using ion and neutral beam implantation |
JP2012079379A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
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