JP5793839B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態について説明する。最初に、遮断周波数とpn接合における接合容量との関係について説明する。遮断周波数と接合容量との関係は、数1に示す式で表わされる。尚、fcは遮断周波数、Rsは抵抗成分、Cjはpn接合における接合容量を示す。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、半導体装置及び半導体装置の製造方法である。図12及び図13に基づき、本実施の形態における半導体装置の製造方法であるバックワードダイオードの製造方法について説明する。
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、半導体装置及び半導体装置の製造方法である。図14から図16に基づき、本実施の形態における半導体装置の製造方法であるバックワードダイオードの製造方法について説明する。
次に、第4の実施の形態について説明する。本実施の形態は、半導体装置及び半導体装置の製造方法である。図17から図21に基づき、本実施の形態における半導体装置であるバックワードダイオードとHEMT(High Electron Mobility Transistor)を集積させたMMICの製造方法について説明する。
次に、第5の実施の形態について説明する。本実施の形態は半導体装置であるバックワードダイオードであり、第1の実施の形態とは異なる構造のものである。図22に本実施の形態におけるバックワードダイオードの構造を示す。本実施の形態におけるバックワードダイオードは、高濃度領域をn−InGaAs領域とp−GaAsSb領域の双方に設けた構造のものである。
(付記1)
第1の導電型の第1の半導体層と、
前記第1の半導体層に接して形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層に接して形成された第2の導電型の第3の半導体層と、
を有し、
前記第1の半導体層において、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との界面より所定の距離離れた位置には第1の半導体領域が形成されており、
前記第1の半導体領域における不純物濃度は、前記第1の半導体領域を除く前記第1の半導体層における不純物濃度よりも高いものであることを特徴とする半導体装置。
(付記2)
第1の導電型の第1の半導体層と、
前記第1の半導体層に接して形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層に接して形成された第2の導電型の第3の半導体層と、
を有し、
前記第1の半導体層において、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との界面より所定の距離離れた位置には第1の半導体領域が形成されており、
前記第3の半導体層において、前記第3の半導体層と前記第2の半導体層との界面より所定の距離離れた位置には第2の半導体領域が形成されており、
前記第1の半導体領域における不純物濃度は、前記第1の半導体領域を除く前記第1の半導体層における不純物濃度よりも高いものであって、
前記第2の半導体領域における不純物濃度は、前記第2の半導体領域を除く前記第3の半導体層における不純物濃度よりも高いものであることを特徴とする半導体装置。
(付記3)
前記所定の距離は、3nm以上、15nm以下であることを特徴とする付記1または2に記載の半導体装置。
(付記4)
前記第1の半導体層、前記第2の半導体層及び前記第3の半導体層は、InP基板上に形成されるものであることを特徴とする付記1から3のいずれかに記載の半導体装置。
(付記5)
前記第1の導電型はn型であって、前記第2の導電型はp型であることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載の半導体装置。
(付記6)
前記第1の半導体層は、InGaAsにより形成されているものであることを特徴とする付記1から5のいずれかに記載の半導体装置。
(付記7)
前記第3の半導体層は、GaAsSbにより形成されているものであることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載の半導体装置。
(付記8)
前記第1の半導体領域は、不純物元素をシートドーピングすることにより形成されたものであることを特徴とする付記1から7のいずれかに記載の半導体装置。
(付記9)
前記第1の半導体層、前記第2の半導体層及び前記第3の半導体層は、半導体基板上方に形成されるものであって、
前記半導体基板上方には、さらにHEMTが形成されていることを特徴とする付記1から8のいずれかに記載の半導体装置。
(付記10)
前記HEMTは、前記半導体基板上方に形成される第4の半導体層と、前記第4の半導体層上方に形成される第1の導電型の第5の半導体層を含み、
前記第5の半導体層上方には、前記第1の半導体層、前記第2の半導体層及び前記第3の半導体層が形成されているものであることを特徴とする付記9に記載の半導体装置。
(付記11)
前記第4の半導体層はInGaAsにより形成されているものであることを特徴とする付記10に記載の半導体装置。
(付記12)
前記第5の半導体層はInAlAsにより形成されているものであることを特徴とする付記10または11に記載の半導体装置。
(付記13)
半導体基板上に、第1の導電型の第1の半導体層の第1層を形成する工程と、
前記第1の半導体層の前記第1層上に、前記第1層における不純物濃度よりも高い不純物濃度を有する第1の半導体領域を形成する工程と、
前記第1の半導体領域上に、第1の導電型の前記第1の半導体層の第2層を形成する工程と、
前記第1の半導体層の前記第2層上に第2の半導体層を形成する工程と、
前記第2の半導体層上に第2の導電型の第3の半導体層を形成する工程と、
前記第3の半導体層に接続される一方のダイオード電極と、前記第1の半導体層の前記第1層に接続される他方のダイオード電極とを形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記14)
前記第1の半導体領域は、前記第1の半導体層に添加される不純物元素をシートドーピングすることにより形成されるものであることを特徴とする付記13に記載の半導体装置の製造方法。
(付記15)
前記第1の半導体層の前記第1層を形成する前に、前記半導体基板上に導電性を有する導電性半導体層を形成する工程を有し、
前記第3の半導体層を形成した後、前記一方のダイオード電極及び前記他方のダイオード電極を形成する前に、前記第3の半導体層、前記第2の半導体層、前記第1の半導体層の前記第1層及び前記第2層の一部を除去し、前記導電性半導体層の表面を露出させる工程を有し、
前記第1の半導体層の前記第1層に接続される他方のダイオード電極は、前記導電性半導体層の表面に形成されるものであることを特徴とする付記13または14に記載の半導体装置の製造方法。
(付記16)
前記第3の半導体層を形成した後、前記導電性半導体層の表面を露出させる工程の前に、前記第3の半導体層上の所定の領域にシリサイド層を形成する工程を有し、
前記導電性半導体層の表面を露出させる工程は、前記シリサイド層をマスクとしてウエットエッチングにより、前記ウエットエッチングされた後の前記第1の半導体層の幅は、前記シリサイド層の幅よりも狭くなるように行なわれるものであって、
前記導電性半導体層の表面を露出させる工程の後、真空蒸着により金属膜を成膜することにより、前記一方のダイオード電極及び前記他方のダイオード電極を同時に形成することを特徴とする付記15に記載の半導体装置の製造方法。
(付記17)
前記導電性半導体層を形成する工程と、前記第1の半導体層の第1層を形成する工程との間に、
前記第3の半導体層、前記第2の半導体層、前記第1の半導体層の前記第1層及び前記第2層をエッチングすることができるエッチング液では、エッチングされない材料により形成されるエッチストップ層を形成する工程を有することを特徴とする付記15または16に記載の半導体装置の製造方法。
(付記18)
前記導電性半導体層を形成する工程の前に、前記半導体基板上に第4の半導体層を形成する工程と、
前記第4の半導体層上に第1の導電型の第5の半導体層を形成する工程を有し、
前記第4の半導体層及び前記第5の半導体層によりHEMTが形成されるものであることを特徴とする付記15から17のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記19)
前記HEMTが形成される領域における前記導電性半導体層上には、前記HEMTのドレイン電極及びソース電極が形成されるものであることを特徴とする付記18に記載の半導体装置の製造方法。
(付記20)
前記HEMTの前記ドレイン電極及び前記ソース電極は、前記一方のダイオード電極及び他方のダイオード電極を形成する工程において、同時に形成されるものであることを特徴とする付記19に記載の半導体装置の製造方法。
11 n−InGaAs層
12 InAlAs層
13 p+−GaAsSb層
14 高濃度領域
20 n+−InGaAsコンタクト層
21 電極
22 電極
110 InP基板
111 i−InAlAsバッファー層
112 n+−InGaAsコンタクト層
113 n−InGaAs第1層
114 Siシートドープ層
115 n−InGaAs第2層
116 i−InAlAsバリア層
117 p+−GaAsSb層
120 素子分離領域
121 電極(一方のダイオード電極)
122 電極(他方のダイオード電極)
Claims (4)
- 第1の導電型の第1の半導体層と、
前記第1の半導体層に接して形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層に接して形成された第2の導電型の第3の半導体層と、
を有し、
前記第1の半導体層において、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との界面より所定の距離離れた位置には第1の半導体領域が形成されており、
前記第3の半導体層において、前記第3の半導体層と前記第2の半導体層との界面より所定の距離離れた位置には第2の半導体領域が形成されており、
前記第1の半導体領域における不純物濃度は、前記第1の半導体領域を除く前記第1の半導体層における不純物濃度よりも高いものであって、
前記第2の半導体領域における不純物濃度は、前記第2の半導体領域を除く前記第3の半導体層における不純物濃度よりも高いものであって、
前記第1の半導体領域における不純物濃度は、5×1018cm−3以上であり、
前記第2の半導体領域における不純物濃度は、5×1018cm−3以上であることを特徴とする半導体装置。 - 前記所定の距離は、3nm以上、15nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体層、前記第2の半導体層及び前記第3の半導体層は、半導体基板上方に形成されるものであって、
前記半導体基板上方には、さらにHEMTが形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記HEMTは、前記半導体基板上方に形成される第4の半導体層と、前記第4の半導体層上方に形成される第1の導電型の第5の半導体層を含み、
前記第5の半導体層上方には、前記第1の半導体層、前記第2の半導体層及び前記第3の半導体層が形成されているものであることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
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