JP5793735B2 - 磁性異物検査装置及び磁性異物検査方法 - Google Patents
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Description
前記磁界検出手段の磁界検出方向に対して垂直方向から前記磁界検出手段へ向けて磁界を印加し、
前記磁界検出手段の磁界検出範囲に検査対象物を投入して前記2つの磁界検出手段により検出された信号を差動増幅して得られた信号に基づき、前記検査対象物における磁性異物の存在を判定する
ことを特徴とする。
20、20−1、20−2、20A−1、20A−2 磁気センサ
21、24 センサ素子
22 電極パッド
25 電極
30 判定手段
31、32 磁石
34 ネオジム磁石
35、36、37 軟磁性体
38、45 差動増幅器
39 高周波発振回路
41 ホルムヘルツコイル
42 高周波発生回路
43 サーキュレータ
44 ログアンプ
46 電圧部
50 磁性異物
60 磁気ヨーク
Claims (20)
- 磁界検出方向に指向性を有すると共に、検査対象物の移動方向に延びる少なくとも1本の素子パターンを有する2素子が前記移動方向に直交する方向に2段に平行に並べられて配置された2つの磁界検出手段と、
前記磁界検出手段の磁界検出方向に対して垂直方向から前記磁界検出手段へ向けて磁界を印加する垂直磁界印加手段と、
前記2つの磁界検出手段により検出された信号を差動増幅する差動増幅手段と、
前記磁界検出手段の磁界検出範囲に検査対象物を投入して前記差動増幅手段により得られされた信号に基づき、前記検査対象物における磁性異物の存在を判定する判定手段と
を具備し、
前記2つの磁界検出手段は、磁界検出方向において異なる位置に設けられていることを特徴とする磁性異物検査装置。 - 磁界検出手段は、薄膜磁気センサであることを特徴とする請求項1に記載の磁性異物検査装置。
- 薄膜磁気センサとして、薄膜磁気インピーダンスセンサを用いたことを特徴とする請求項2に記載の磁性異物検査装置。
- 薄膜磁気センサの素子パターンを、ミアンダ形状としたことを特徴とする請求項2または3に記載の磁性異物検査装置。
- 前記2つの磁界検出手段は、素子パターンが同じであって、それぞれの電極の位置が磁界検出方向において異なることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の磁性異物検査装置。
- 垂直磁界印加手段は、N極とS極を対向させて磁石を配置した構成であることを特徴と
する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の磁性異物検査装置。 - 垂直磁界印加手段は、1つの磁石におけるN極からS極が磁界検出方向に対して垂直な位置となるように前記磁石を配置した構成であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の磁性異物検査装置。
- 磁気検出手段と垂直磁界印加手段との間に軟磁性体を配置したことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の磁性異物検査装置。
- 判定手段にログアンプを備えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の磁性異物検査装置。
- 検査対象物は、粉体、粒体、液体のいずれか、その形状は板状、または薄層状であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の磁性異物検査装置。
- 磁界検出方向に指向性を有すると共に、検査対象物の移動方向に延びる少なくとも1本の素子パターンを有する2素子が前記移動方向に直交する方向に2段に平行に並べられて配置された2つの磁界検出手段を用いて、前記2つの磁界検出手段を、磁界検出方向において異なる位置に設け、
前記磁界検出手段の磁界検出方向に対して垂直方向から前記磁界検出手段へ向けて磁界を印加し、
前記磁界検出手段の磁界検出範囲に検査対象物を投入して前記2つの磁界検出手段により検出された信号を差動増幅して得られた信号に基づき、前記検査対象物における磁性異物の存在を判定する
ことを特徴とする磁性異物検査方法。 - 磁界検出手段として、薄膜磁気センサを用いることを特徴とする請求項11に記載の磁性異物検査方法。
- 薄膜磁気センサとして、薄膜磁気インピーダンスセンサを用いることを特徴とする請求項12に記載の磁性異物検査方法。
- 薄膜磁気センサの素子パターンを、ミアンダ形状としたことを特徴とする請求項12または13に記載の磁性異物検査方法。
- 素子パターンが同じであって、それぞれの電極の位置が磁界検出方向において異なる2つの磁界検出手段を用いて検査を行うことを特徴とする請求項11乃至14のいずれか1項に記載の磁性異物検査方法。
- N極とS極を対向させて磁石を配置し、垂直磁界印加を行うことを特徴とする請求項11乃至15のいずれか1項に記載の磁性異物検査方法。
- 1つの磁石におけるN極からS極が磁界検出方向に対して垂直な位置となるように前記磁石を配置し垂直磁界印加を行うことを特徴とする請求項11乃至15のいずれか1項に記載の磁性異物検査方法。
- 磁気検出手段と垂直磁界印加を行う磁石との間に軟磁性体を配置したことを特徴とする請求項16または17に記載の磁性異物検査方法。
- ログアンプを用いて判定を行うことを特徴とする請求項11乃至18のいずれか1項に記載の磁性異物検査方法。
- 検査対象物は、粉体、粒体、液体のいずれか、その形状は板状、または薄層状であることを特徴とする請求項11乃至19のいずれか1項に記載の磁性異物検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013029987A JP5793735B2 (ja) | 2013-02-19 | 2013-02-19 | 磁性異物検査装置及び磁性異物検査方法 |
PCT/JP2014/053753 WO2014129457A1 (ja) | 2013-02-19 | 2014-02-18 | 磁性異物検査装置及び磁性異物検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013029987A JP5793735B2 (ja) | 2013-02-19 | 2013-02-19 | 磁性異物検査装置及び磁性異物検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014159984A JP2014159984A (ja) | 2014-09-04 |
JP5793735B2 true JP5793735B2 (ja) | 2015-10-14 |
Family
ID=51391247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013029987A Active JP5793735B2 (ja) | 2013-02-19 | 2013-02-19 | 磁性異物検査装置及び磁性異物検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5793735B2 (ja) |
WO (1) | WO2014129457A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018077052A (ja) * | 2016-11-07 | 2018-05-17 | 株式会社ラディックス | 磁場測定システム、磁場測定方法及びプログラム |
JP6842164B2 (ja) * | 2017-03-03 | 2021-03-17 | 宮城県 | 磁性異物検査装置および磁性異物検査システム |
JP7343108B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2023-09-12 | 宮城県 | 磁場発生機構および異物検査装置 |
JP7328919B2 (ja) * | 2019-09-13 | 2023-08-17 | 株式会社東芝 | 磁気センサ及び診断装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS564084A (en) * | 1979-06-25 | 1981-01-16 | Taitetsuku:Kk | Metal detector |
JP2001141514A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気抵抗素子 |
JP4406632B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2010-02-03 | アルプス電気株式会社 | 磁気検出装置およびその製造方法 |
JP5209994B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2013-06-12 | 浜松光電株式会社 | 渦電流センサ |
JP2009217339A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Canon Electronics Inc | 磁気識別センサ及び磁気識別装置 |
JP5867235B2 (ja) * | 2011-05-16 | 2016-02-24 | 三菱電機株式会社 | 磁気センサ装置 |
-
2013
- 2013-02-19 JP JP2013029987A patent/JP5793735B2/ja active Active
-
2014
- 2014-02-18 WO PCT/JP2014/053753 patent/WO2014129457A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014159984A (ja) | 2014-09-04 |
WO2014129457A1 (ja) | 2014-08-28 |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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