JP5786832B2 - 金型の製造方法、切削工具、光学素子成形用の金型および光学素子 - Google Patents
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Description
前記切削工具を回転させながら、前記金型の素材に対して前記溝方向に移動させることにより、前記第1の縁部により前記溝の第1面を加工形成すると同時に、前記第2の縁部により前記溝の前記第1面とは異なる第2面を加工するようになっており、加工された前記第1面は鏡面であり、加工された前記前記第2面は粗面であって、前記第1面は底面であり、前記第2面は側面であることを特徴とする。
前記第1の縁部の形状は平滑であり、前記第2の縁部の形状は微小な凹凸を有し、
前記切削工具を回転させながら、光学素子成形用の金型の素材に対して前記溝方向に移動させることにより、前記第1の縁部により前記溝の第1面を加工形成すると同時に、前記第2の縁部により前記溝の前記第1面とは異なる第2面を加工するようになっており、加工された前記底面は第1面であり、加工された前記第2面は粗面であって、前記第2の縁部は、前記第1の縁部を挟んで前記すくい面の両側に設けられていることを特徴とする。
以下に本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態の金型の製造方法を実施できる加工装置の一例であるX、Z、Y軸の3軸超精密加工機の斜視図である。図1において、ベースBS上に、X方向に移動可能なX軸ステージXSと、それに直交するZ方向に移動可能なZ軸ステージZSが載置されている。X軸ステージXS上には、X方向及びZ方向に直交するY方向(高さ方向)に移動可能なY軸ステージYSが載置されており、Y軸ステージYSは、回転部RTを回転駆動する回転機構RSを支持している。回転部RTの周囲には、図2に示す切削工具T1がすくい面SPを周方向に向けて取り付けられている。一方、Z軸ステージZS上には、金型の素材となる金型の素材WKが取り付けられている。尚、Z軸ステージZS上に載置された金型の素材WKの加工部を観察できる顕微鏡等の光学検出部OSが、ベースBS上に設けられている。
図8(a)は、第2の実施の形態にかかる切削工具T2にて、金型の素材WKを切削する状態を示す図である。本実施の形態にかかる切削工具T2は、上述した実施の形態と同様にすくい面SPが、直線状の縁部E1と、縁部E1に対して交差する方向に延在する直線状の縁部E2A及びE2Bとにより輪郭付けられているが、上述とは異なり縁部E1および縁部E2Bは平滑な形状となっている。一方、縁部E2Aは、微小な凹凸を有する形状となっている。すなわち、本実施の形態では、縁部E1および縁部E2Bが第1の縁部を構成し、縁部E2Aが第2の縁部を構成する。
2 発光素子
3 ケース
4 反射板
5 拡散板
11 第1主面
12 第2主面
13 入射面
15 光路偏向手段
21 基板
30 机上
31 台座部
32 支柱
40 観察者
BT 溝底
E1 第1の縁部
E2A,E2B 第2の縁部
GV 溝
OS 光学検出部
RS 回転機構
RT 回転部
S1 第1の斜面
S2 第2の斜面
SP すくい面
ST 照明スタンド
T1 切削工具
TH 支持部
U 照明ユニット
WK 金型の素材
WP 加工面
XS X軸ステージ
YS Y軸ステージ
ZS Z軸ステージ
Claims (10)
- すくい面が、第1の縁部と、前記第1の縁部に対して交差する方向に延在する第2の縁部とを含む切削工具を用いて、光学素子成形用の金型の素材に溝を形成する金型の製造方法であって、
前記切削工具を回転させながら、前記金型の素材に対して前記溝方向に移動させることにより、前記第1の縁部により前記溝の第1面を加工形成すると同時に、前記第2の縁部により前記溝の前記第1面とは異なる第2面を加工するようになっており、加工された前記第1面は鏡面であり、加工された前記第2面は粗面であって、前記第1面は底面であり、前記第2面は側面であることを特徴とする金型の製造方法。 - 前記第1面は前記溝の底面と前記溝の一方の側面であり、前記第2面は前記一方の側面に対向する他方の側面であることを特徴とする請求項1に記載の金型の製造方法。
- 前記金型の素材はフライカット方式により切削されることを特徴とする請求項1または2に記載の金型の製造方法。
- 前記溝の第2面には、綾目模様が形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の金型の製造方法。
- 前記切削工具の回転速度と送り速度の比を変化させることにより、前記綾目模様の形状を変化させて面粗度を異ならせることを特徴とする請求項4に記載の金型の製造方法。
- 前記金型の素材は並行して延在する複数の溝を有し、少なくとも2つの前記溝の加工時に、前記切削工具の回転速度と送り速度との比を変化させることにより、前記第2面の面粗度を異ならせたことを特徴とする請求項4または5に記載の金型の製造方法。
- 1本の前記溝の加工時に、前記切削工具の回転速度と送り速度との比を変化させることにより、局所的に前記第2面の面粗度を異ならせたことを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載の金型の製造方法。
- 光学素子成形用の金型の素材に対して溝を形成するために、すくい面が、第1の縁部と、前記第1の縁部に対して交差する方向に延在する第2の縁部とを含む切削工具であって、
前記第1の縁部の形状は平滑であり、前記第2の縁部の形状は微小な凹凸を有し、
前記切削工具を回転させながら、光学素子成形用の金型の素材に対して前記溝方向に移動させることにより、前記第1の縁部により前記溝の第1面を加工形成すると同時に、前記第2の縁部により前記溝の前記第1面とは異なる第2面を加工するようになっており、加工された前記第1面は鏡面であり、加工された前記第2面は粗面であって、前記第2の縁部は、前記第1の縁部を挟んで前記すくい面の両側に設けられていることを特徴とする切削工具。 - 前記第2の縁部は、前記第1の縁部と交差していることを特徴とする請求項8に記載の切削工具。
- 前記切削工具は単結晶ダイヤモンド製であることを特徴とする請求項8または9に記載の切削工具。
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