JP5773743B2 - Circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method - Google Patents

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Description

本発明は、複数の導体パターンを有する回路基板における各導体パターンの間の絶縁状態を検査する回路基板検査装置および回路基板検査方法に関するものである。   The present invention relates to a circuit board inspection apparatus and a circuit board inspection method for inspecting an insulation state between conductor patterns in a circuit board having a plurality of conductor patterns.

回路基板に形成されている導体パターンの間の絶縁状態を検査する回路基板検査方法として、各導体パターンの中から選択した一対の導体パターンに対する絶縁検査を一対の導体パターンの全ての組み合わせについて行う回路基板検査方法が知られている。この場合、数多くの導体パターンが形成されている回路基板に対してこの回路基板検査方法で検査を行うと、一対の導体パターンの組み合わせが膨大な数となって検査に長時間を要することとなる。このような問題点を解決可能な回路基板検査方法として、各導体パターンうちの1つと、その1つを除く他の導体パターンの一部または全部との間の絶縁状態を検査することによって検査回数を低減する回路基板検査方法(例えば、特開2000−193702の段落(0002)〜段落(0006)に開示されている絶縁検査:以下「1対N検査」ともいう)が知られている。   As a circuit board inspection method for inspecting an insulation state between conductor patterns formed on a circuit board, a circuit that performs an insulation inspection on a pair of conductor patterns selected from each conductor pattern for all combinations of a pair of conductor patterns Substrate inspection methods are known. In this case, when a circuit board on which a large number of conductor patterns are formed is inspected by this circuit board inspection method, the number of combinations of a pair of conductor patterns becomes enormous, and a long time is required for the inspection. . As a circuit board inspection method capable of solving such problems, the number of inspections is performed by inspecting the insulation state between one of the conductor patterns and a part or all of the other conductor patterns except the one. There is known a circuit board inspection method (for example, insulation inspection disclosed in paragraphs (0002) to (0006) of JP-A-2000-193702, hereinafter also referred to as “1 to N inspection”).

例えば、1番からM番までの番号が付番されたM個の導体パターンを有する回路基板に対して上記の1対N検査を行う際には、図7に示すように、1回目の検査において、M個のうちの1つの導体パターンとして1番の導体パターンを選択し、選択した1番の導体パターンを除く2番からM番までの導体パターンを同電位としつつ、2番からM番までの導体パターンと1番の導体パターンとの間に検査用信号を供給して各導体パターンの間の抵抗値を測定し、各導体パターンの間の絶縁状態を検査する。この場合、抵抗値が予め決められた下限値以上のときには、その導体パターンの間の絶縁状態が良好であると判定する。次いで、2回目の検査において、検査が終了した1番の導体パターンを検査の対象から除外し、M個のうちの1つの導体パターンとして2番の導体パターンを新たに選択し、1番および2番の導体パターンを除く3番からM番までの導体パターンを同電位としつつ、3番からM番までの導体パターンと2番の導体パターンとの間に検査用信号を供給して各導体パターンの間の絶縁状態を検査する。以下、同図に示すように、M個のうちの1つの導体パターンとして順次大きな番号の導体パターンを選択し、その導体パターンよりも番号が大きい各導体パターンを同電位としつつ検査用信号を供給して各導体パターンの間の絶縁状態を検査し、M個のうちの1つの導体パターンとして選択する導体パターンの番号が(M−1)番となるまでこの検査を繰り返して、合計で(M−1)回の検査を実行する。このような手順で検査を行うことにより、検査時間を大幅に短縮することが可能となる。   For example, when the above 1-to-N inspection is performed on a circuit board having M conductor patterns numbered from 1 to M, the first inspection is performed as shown in FIG. The first conductor pattern is selected as one of the M conductor patterns, and the second to Mth conductor patterns other than the selected first conductor pattern are set to the same potential while the second to Mth conductor patterns are set to the same potential. A test signal is supplied between the first conductor pattern and the first conductor pattern, the resistance value between the conductor patterns is measured, and the insulation state between the conductor patterns is inspected. In this case, when the resistance value is equal to or greater than a predetermined lower limit value, it is determined that the insulation state between the conductor patterns is good. Next, in the second inspection, the first conductor pattern that has been inspected is excluded from the inspection target, and the second conductor pattern is newly selected as one of the M conductor patterns. The conductor patterns from No. 3 to No. M except for the No. conductor pattern are set to the same potential, and an inspection signal is supplied between the No. 3 to No. M conductor patterns and the No. 2 conductor pattern to each conductor pattern. Check the insulation state between. Hereinafter, as shown in the figure, a conductor pattern having a larger number is sequentially selected as one of the M conductor patterns, and an inspection signal is supplied while keeping each conductor pattern having a larger number than that conductor pattern at the same potential. Then, the insulation state between each conductor pattern is inspected, and this inspection is repeated until the number of the conductor pattern to be selected as one of the M conductor patterns becomes (M-1). -1) Perform inspections one time. By performing the inspection in such a procedure, the inspection time can be significantly shortened.

また、上記の回路基板検査方法で検査を行う際には、各導体パターンに設けられている検査対象点(電子部品等を接続するための接続ポイント(いわゆるランド))の全てにプローブを接触させた状態で、電源部とプローブとの接断(接続および切断)をスキャナスイッチ等を用いて行うことにより、検査用信号の供給を行う。このような構成および方法を採用することで、複数の導体パターンを同電位とすることが可能となり、また、検査時間をさらに短縮することが可能となっている。   Further, when performing the inspection by the circuit board inspection method described above, the probe is brought into contact with all inspection target points (connection points (so-called lands) for connecting electronic components etc.) provided in each conductor pattern. In this state, the inspection signal is supplied by connecting and disconnecting the power supply unit and the probe using a scanner switch or the like. By adopting such a configuration and method, a plurality of conductor patterns can be set to the same potential, and the inspection time can be further shortened.

特開2000−193702号公報(第3頁、第9−11図)JP 2000-193702 A (page 3, FIGS. 9-11)

ところが、上記した従来の回路基板検査方法には、解決すべき以下の課題がある。すなわち、上記の回路基板検査方法では、回路基板の各導体パターンに設けられている検査対象点の全てにプローブを接触させた状態で、電源部とプローブとの接断を行っている。一方、電源部や基準電位に接続される電源用の導体パターンには数多くの電子部品が接続されるため、これらの導体パターンには、一般的に、数多くの検査対象点が設けられている。このため、上記の回路基板検査方法で検査を行うときには、これらの導体パターンには、数多くのプローブが接触することとなる。したがって、検査対象点の数が多い導体パターン間の絶縁状態を検査するときには、これらの導体パターンの各検査対象点に接触している各プローブが多いことに加えて、各プローブに接続されているケーブルの数、および各ケーブルに接続されているスキャナスイッチの数も多いため、これらの数多くのプローブ、ケーブルおよびスキャナスイッチ(これらを合わせて「信号供給媒体」ともいう)の相互間の浮遊容量が大きくなる。このため、検査対象点の数が多い導体パターン間の絶縁状態を検査するときには、検査用信号の供給開始から導体パターン間の電圧が検査に必要な規定電圧に達するまでの時間が長くなり、検査効率の向上が困難となる。また、信号供給媒体の相互間の浮遊容量が大きいときには、多くの電荷がチャージされることとなる。このため、検査対象点の数が多い導体パターン間の絶縁状態の検査中に絶縁破壊が発生したときには、チャージされた多くの電荷が一気に放電されて回路基板に損傷を与えるおそれがある。   However, the above-described conventional circuit board inspection method has the following problems to be solved. That is, in the circuit board inspection method described above, the power supply unit and the probe are connected and disconnected in a state where the probe is in contact with all the inspection target points provided on each conductor pattern of the circuit board. On the other hand, since a large number of electronic components are connected to the power supply conductor pattern and the power supply conductor pattern connected to the reference potential, a large number of inspection points are generally provided in these conductor patterns. For this reason, when the inspection is performed by the circuit board inspection method, many probes come into contact with these conductor patterns. Therefore, when inspecting the insulation state between conductor patterns having a large number of inspection target points, in addition to the fact that there are many probes in contact with the inspection target points of these conductor patterns, they are connected to the probes. Due to the large number of cables and the number of scanner switches connected to each cable, there is a stray capacitance between these many probes, cables and scanner switches (collectively referred to as “signal supply medium”). growing. For this reason, when inspecting the insulation state between conductor patterns with a large number of points to be inspected, the time from the start of supplying the inspection signal to the voltage between the conductor patterns reaching the specified voltage required for the inspection becomes longer. It becomes difficult to improve efficiency. Further, when the stray capacitance between the signal supply media is large, a lot of electric charges are charged. For this reason, when dielectric breakdown occurs during the inspection of the insulation state between conductor patterns having a large number of inspection target points, there is a possibility that many charged charges are discharged all at once and damage the circuit board.

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査効率を向上させると共に検査時における回路基板の破損を防止し得る回路基板検査装置および回路基板検査方法を提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of such problems to be solved, and mainly provides a circuit board inspection apparatus and a circuit board inspection method capable of improving inspection efficiency and preventing damage to a circuit board during inspection. Objective.

上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板検査装置は、1または複数の検査対象点を有する複数の導体パターンを備えている回路基板における当該各検査対象点に接触させた検査用プローブを介して当該各導体パターンに検査用信号が供給されている状態で当該各導体パターン間の抵抗値を測定する測定部と、前記各導体パターンのうちの1つを第1被検査体として設定すると共に当該第1被検査体を除く他の前記導体パターンのうちの一部または全部を第2被検査体として設定し、当該第2被検査体における前記各検査対象点を同電位としつつ当該第2被検査体と前記第1被検査体との間に前記検査用信号を供給させている状態で前記測定部によって測定された前記抵抗値に基づいて当該第2被検査体と当該第1被検査体との間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を、前記第1被検査体および前記第2被検査体の組み合わせを変更しつつ複数回実行する際に、2回目以降の前記第1絶縁検査において、それよりも前の前記第1絶縁検査で前記第1被検査体として設定した導体パターンを前記第1被検査体および前記第2被検査体として設定する対象から除外すると共に、直前の前記第1絶縁検査で前記第2被検査体として設定した導体パターンのうちの1つの導体パターンを前記第2被検査体として設定する対象から除外して前記第1被検査体として設定する検査部を備えた回路基板検査装置であって、前記検査部は、前記回路基板における前記各導体パターンの中に予め決められた数以上の前記検査対象点を有する特定の導体パターンが存在するときには、当該特定の導体パターンを前記第1被検査体として設定する対象から除外して前記複数回の第1絶縁検査を実行した後に、1つの前記特定の導体パターンを第3被検査体として設定すると共に、当該特定の導体パターンを前記第2被検査体として設定して実行した前記第1絶縁検査において前記第1被検査体として設定した前記導体パターンと当該特定の導体パターンとを除く他の前記導体パターンのうちの一部を第4被検査体として設定し、当該第4被検査体における前記各検査対象点を同電位としつつ当該第4被検査体と前記第3被検査体との間に前記検査用信号を供給させている状態で前記測定部によって測定された前記抵抗値に基づいて当該第4被検査体と当該第3被検査体との間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査を実行する。 In order to achieve the above object, a circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein an inspection probe brought into contact with each inspection target point on a circuit board having a plurality of conductor patterns having one or a plurality of inspection target points is provided. A measuring unit for measuring a resistance value between the conductor patterns in a state in which an inspection signal is supplied to the conductor patterns, and setting one of the conductor patterns as a first object to be inspected. A part or all of the conductor pattern other than the first object to be inspected is set as a second object to be inspected, and the inspection target points in the second object to be inspected are set to the same potential. The second object to be inspected and the first object to be inspected based on the resistance value measured by the measuring unit in a state where the inspection signal is supplied between the two object to be inspected and the first object to be inspected. Insulation with the specimen When the first insulation inspection for inspecting the state is performed a plurality of times while changing the combination of the first object to be inspected and the second object to be inspected, the first insulation inspection after the second time is more than that. The conductor pattern set as the first inspection object in the previous first insulation inspection is excluded from the objects to be set as the first inspection object and the second inspection object, and in the immediately preceding first insulation inspection. Circuit board inspection provided with an inspection unit that excludes one of the conductor patterns set as the second object to be inspected from the object to be set as the second object to be inspected and sets it as the first object to be inspected In the apparatus, when the inspection unit includes a specific conductor pattern having a predetermined number or more of the inspection target points in the conductor patterns on the circuit board, the specific conductor After the turn is excluded from the object to be set as the first object to be tested and the plurality of first insulation inspections are performed, one specific conductor pattern is set as the third object to be inspected, and the specific object Of the other conductor patterns excluding the conductor pattern set as the first object to be inspected and the specific conductor pattern in the first insulation inspection executed by setting the conductor pattern as the second object to be inspected. set the part as a fourth object to be inspected, the fourth said inspection signal between the third inspection object at the same potential to each inspection point in the object to be inspected while being with the fourth object to be tested A second insulation test is performed for inspecting an insulation state between the fourth object to be inspected and the third object to be inspected based on the resistance value measured by the measurement unit in a state where the measurement object is supplied.

また、請求項2記載の回路基板検査装置は、請求項1記載の回路基板検査装置において、前記検査部は、前記特定の導体パターンが複数存在するときには、2回目以降の前記第2絶縁検査において、それよりも前の前記第2絶縁検査で前記第3被検査体として設定した前記特定の導体パターンを前記第4被検査体として設定する対象から除外する。   The circuit board inspection apparatus according to claim 2 is the circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection section performs the second and subsequent second insulation inspections when there are a plurality of the specific conductor patterns. The specific conductor pattern set as the third inspection object in the second insulation inspection before that is excluded from the target to be set as the fourth inspection object.

また、請求項3記載の回路基板検査装置は、請求項1または2記載の回路基板検査装置において、前記検査部は、前記第2絶縁検査の実行時において前記第4被検査体として前記導体パターンを1つだけ設定する。   The circuit board inspection apparatus according to claim 3 is the circuit board inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein the inspection unit is configured to use the conductor pattern as the fourth object to be inspected when the second insulation inspection is performed. Set only one.

また、請求項4記載の回路基板検査方法は、1または複数の検査対象点を有する複数の導体パターンを備えている回路基板における当該各導体パターンのうちの1つを第1被検査体として設定すると共に当該第1被検査体を除く他の前記導体パターンのうちの一部または全部を第2被検査体として設定し、前記第1被検査体および前記第2被検査体における前記各検査対象点に接触させた検査用プローブを介して当該第2被検査体における当該各検査対象点を同電位としつつ当該第2被検査体と当該第1被検査体との間に検査用信号が供給されている状態で当該第2被検査体と当該第1被検査体との間の抵抗値を測定し、当該抵抗値に基づいて当該第2被検査体と当該第1被検査体との間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を、前記第1被検査体および前記第2被検査体の組み合わせを変更しつつ複数回実行する際に、2回目以降の前記第1絶縁検査において、それよりも前の前記第1絶縁検査で前記第1被検査体として設定した導体パターンを前記第1被検査体および前記第2被検査体として設定する対象から除外すると共に、直前の前記第1絶縁検査で前記第2被検査体として設定した導体パターンのうちの1つの導体パターンを前記第2被検査体として設定する対象から除外して前記第1被検査体として設定する回路基板検査方法であって、前記回路基板における前記各導体パターンの中に予め決められた数以上の前記検査対象点を有する特定の導体パターンが存在するときには、当該特定の導体パターンを前記第1被検査体として設定する対象から除外して前記複数回の第1絶縁検査を実行した後に、1つの前記特定の導体パターンを第3被検査体として設定すると共に、当該特定の導体パターンを前記第2被検査体として設定して実行した前記第1絶縁検査において前記第1被検査体として設定した前記導体パターンと当該特定の導体パターンとを除く他の前記導体パターンのうちの一部を第4被検査体として設定し、当該第4被検査体における前記各検査対象点を同電位としつつ当該第4被検査体と前記第3被検査体との間に前記検査用信号を供給させている状態で前記測定部によって測定された前記抵抗値に基づいて当該第4被検査体と当該第3被検査体との間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査を実行する。 The circuit board inspection method according to claim 4 sets one of the conductor patterns in the circuit board having a plurality of conductor patterns having one or a plurality of inspection target points as a first object to be inspected. In addition, a part or all of the conductor pattern other than the first object to be inspected is set as a second object to be inspected, and each inspection object in the first object to be inspected and the second object to be inspected is set. An inspection signal is supplied between the second object to be inspected and the first object to be inspected through the inspection probe brought into contact with the point while keeping the respective inspection object points in the second object to be inspected at the same potential. A resistance value between the second object to be inspected and the first object to be inspected is measured, and based on the resistance value, between the second object to be inspected and the first object to be inspected. A first insulation test for inspecting an insulation state of the first test When performing a plurality of times while changing the combination of the body and the second object to be inspected, in the first insulation inspection after the second time, as the first object to be inspected in the first insulation inspection before that One of the conductor patterns set as the second object to be inspected in the immediately preceding first insulation inspection while excluding the set conductor pattern from the object to be set as the first object to be inspected and the second object to be inspected. A circuit board inspection method in which two conductor patterns are excluded from an object to be set as the second object to be tested and set as the first object to be inspected, and are determined in advance in each conductor pattern on the circuit board When there is a specific conductor pattern having a plurality of inspection target points, the specific conductor pattern is excluded from the target to be set as the first inspected object, and the plurality of times After performing the insulation inspection, the one specific conductor pattern is set as the third object to be inspected, and the first insulation inspection is performed by setting the specific conductor pattern as the second object to be inspected. the part of the other of the conductor pattern excluding said conductive pattern and the specific conductor pattern set as the first object to be inspected is set as the fourth object to be inspected, each inspection in the fourth device under test Based on the resistance value measured by the measurement unit in a state where the inspection signal is supplied between the fourth object to be inspected and the third object to be inspected while keeping the target point at the same potential. A second insulation test is performed to inspect the insulation state between the four test objects and the third test object.

請求項1記載の回路基板検査装置、および請求項4記載の回路基板検査方法では、予め決められた数以上の検査対象点を有する特定の導体パターンが存在するときには、その特定の導体パターンを第1被検査体として設定する対象から除外して第1絶縁検査を実行した後に、1つの特定の導体パターンを第3被検査体として設定して第2絶縁検査を実行する。このため、この回路基板検査装置および回路基板検査方法では、第1絶縁検査および第2絶縁検査において、検査用信号を供給するプローブピン等の信号供給媒体を介して検査用信号のHi側(高電位側)に接続される検査対象点の数および検査用信号のLo側(低電位側)に接続される検査対象点の数のうちの少ない方の数を少なくすることができる結果、その数がパラメータとなって大きさが決まる信号供給媒体の相互間の浮遊容量を十分に小さく抑えることができる。したがって、この回路基板検査装置および回路基板検査方法によれば、導体パターンに対する検査用信号の供給開始時点から導体パターン間の電圧が検査に必要な規定電圧に達する時点までの時間を短縮することができる結果、その分、検査効率を十分に向上させることができる。また、この回路基板検査装置および回路基板検査方法によれば、信号供給媒体の相互間の浮遊容量が十分に小さい分、電荷のチャージを少なく抑えることができる結果、絶縁検査の実行中に絶縁破壊が発生したとしても、チャージされた電荷の放電による回路基板の破損を確実に防止することができる。   In the circuit board inspection apparatus according to claim 1 and the circuit board inspection method according to claim 4, when there is a specific conductor pattern having a predetermined number of inspection points or more, the specific conductor pattern is changed to the first pattern. After performing the first insulation inspection by excluding it from the object to be set as one inspection object, one specific conductor pattern is set as the third inspection object and the second insulation inspection is executed. For this reason, in this circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method, in the first insulation inspection and the second insulation inspection, the inspection signal Hi side (high level) via a signal supply medium such as a probe pin for supplying the inspection signal. As a result, the smaller of the number of inspection target points connected to the potential side) and the number of inspection target points connected to the Lo side (low potential side) of the inspection signal can be reduced. As a parameter, the stray capacitance between the signal supply media whose sizes are determined can be sufficiently reduced. Therefore, according to the circuit board inspection apparatus and the circuit board inspection method, it is possible to shorten the time from the start of supplying the inspection signal to the conductor pattern to the time when the voltage between the conductor patterns reaches the specified voltage required for the inspection. As a result, the inspection efficiency can be improved sufficiently. Further, according to the circuit board inspection apparatus and the circuit board inspection method, since the stray capacitance between the signal supply media is sufficiently small, the charge charge can be suppressed to a low level. Even if this occurs, it is possible to reliably prevent the circuit board from being damaged by the discharge of the charged charges.

また、請求項2記載の回路基板検査装置によれば、予め決められた数以上の検査対象点を有する特定の導体パターンが複数存在するときには、2回目以降の第2絶縁検査において、それよりも前の第2絶縁検査で第3被検査体として設定した特定の導体パターンを第4被検査体として設定する対象から除外することにより、第3被検査体および第4被検査体の組み合わせの種類が少なくなる分、第2絶縁検査の回数を少なくすることができるため、検査効率をより向上させることができる。   According to the circuit board inspection apparatus of claim 2, when there are a plurality of specific conductor patterns having a predetermined number of inspection target points or more, in the second and subsequent second insulation inspections, By excluding the specific conductor pattern set as the third inspected object in the previous second insulation inspection from the object to be set as the fourth inspected object, the type of combination of the third inspected object and the fourth inspected object Since the number of the second insulation inspections can be reduced by the reduction in the inspection efficiency, the inspection efficiency can be further improved.

また、請求項3記載の回路基板検査装置では、第2絶縁検査の実行時において1つの導体パターンを第4被検査体として設定する。このため、この回路基板検査装置によれば、複数の導体パターンを第4被検査体として設定する構成および方法と比較して、第2絶縁検査において、検査用信号のHi側に接続される導体パターンの検査対象点の数および検査用信号のLo側に接続される導体パターンの検査対象点の数のうちの少ない方の数をより少なくすることができる結果、信号供給媒体の相互間の浮遊容量をさらに小さく抑えることができる。したがって、この回路基板検査装置によれば、検査効率をさらに向上させることができると共に、検査時における回路基板の破損をより確実に防止することができる。   In the circuit board inspection apparatus according to claim 3, one conductor pattern is set as the fourth object to be inspected when the second insulation inspection is performed. For this reason, according to this circuit board inspection apparatus, the conductor connected to the Hi side of the inspection signal in the second insulation inspection as compared with the configuration and method of setting a plurality of conductor patterns as the fourth inspected object As a result of the fact that the smaller one of the number of inspection points of the pattern and the number of inspection points of the conductor pattern connected to the Lo side of the inspection signal can be reduced, floating between the signal supply media The capacity can be further reduced. Therefore, according to this circuit board inspection apparatus, it is possible to further improve the inspection efficiency and more reliably prevent the circuit board from being damaged during the inspection.

回路基板検査装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a circuit board inspection device 1. FIG. 回路基板100の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a circuit board 100. FIG. 回路基板検査方法を説明する第1の説明図である。It is the 1st explanatory view explaining a circuit board inspection method. 回路基板検査方法を説明する第2の説明図である。It is the 2nd explanatory view explaining a circuit board inspection method. 比較例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining a comparative example. 回路基板検査方法を説明する第3の説明図である。It is the 3rd explanatory view explaining a circuit board inspection method. 従来の回路基板検査方法を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the conventional circuit board inspection method.

以下、回路基板検査装置および回路基板検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment of a circuit board inspection apparatus and a circuit board inspection method will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、回路基板検査装置1の構成について説明する。図1に示す回路基板検査装置1は、複数(一例として、8個)の導体パターンP1〜P8(図2参照:以下、区別しないときには「導体パターンP」ともいう)が配設された回路基板100における各導体パターンPの間の絶縁状態を後述する回路基板検査方法に従って検査可能に構成されている。この場合、回路基板100の各導体パターンPには、電子部品等を実装する際にそれらの端子を接続するための接続ポイント(いわゆるランド)であって、検査の際に後述するプローブピン21が接触(プロービング)される検査対象点Pjが設けられている。   First, the configuration of the circuit board inspection apparatus 1 will be described. A circuit board inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 is a circuit board on which a plurality of (for example, eight) conductor patterns P1 to P8 (see FIG. 2; hereinafter, also referred to as “conductor pattern P” when not distinguished) are arranged. The insulation state between the conductor patterns P in 100 can be inspected according to a circuit board inspection method described later. In this case, each conductor pattern P of the circuit board 100 is a connection point (a so-called land) for connecting those terminals when mounting an electronic component or the like, and a probe pin 21 described later at the time of inspection. An inspection target point Pj to be contacted (probed) is provided.

一方、回路基板検査装置1は、一例として、図1に示すように、基板保持部11、プローブユニット12、移動機構13、検査用信号出力部14、スキャナ部15、測定部16、記憶部17および制御部18を備えて構成されている。   On the other hand, as shown in FIG. 1, the circuit board inspection apparatus 1, as an example, includes a substrate holding unit 11, a probe unit 12, a moving mechanism 13, an inspection signal output unit 14, a scanner unit 15, a measurement unit 16, and a storage unit 17. And a control unit 18.

基板保持部11は、一例として、保持台と、保持台に取り付けられて回路基板100の端部を挟み込んで固定するクランプ機構(いずれも図示せず)とを備えて、回路基板100を保持可能に構成されている。プローブユニット12は、回路基板100の各導体パターンPにおける検査対象点Pjにそれぞれ接触(プロービング)させる複数のプローブピン(検査用プローブ)21を備えて治具型に構成されている。移動機構13は、制御部18の制御に従い、プローブユニット12を上下方向に移動させることによってプロービングを実行する。   For example, the substrate holding unit 11 includes a holding table and a clamp mechanism (none of which is shown) that is attached to the holding table and sandwiches and fixes the end of the circuit board 100 to hold the circuit board 100. It is configured. The probe unit 12 includes a plurality of probe pins (inspection probes) 21 that are brought into contact (probing) with the inspection target points Pj in the respective conductor patterns P of the circuit board 100, and are configured in a jig shape. The moving mechanism 13 performs probing by moving the probe unit 12 in the vertical direction under the control of the control unit 18.

検査用信号出力部14は、制御部18の制御に従い、例えば、電圧値(信号レベル)が200V程度に規定された検査用信号S(例えば、直流電圧信号)を出力する。スキャナ部15は、複数のスイッチ(図示せず)を備えて構成され、制御部18の制御に従って各スイッチをオン状態またはオフ状態に移行させることにより、プローブユニット12におけるプローブピン21と検査用信号出力部14との接断(接続および切断)、およびプローブピン21と測定部16との接断を行う(以下、これらの処理を「接断処理」ともいう)。   The inspection signal output unit 14 outputs an inspection signal S (for example, a DC voltage signal) whose voltage value (signal level) is regulated to about 200 V, for example, according to the control of the control unit 18. The scanner unit 15 includes a plurality of switches (not shown), and switches each switch to an on state or an off state according to the control of the control unit 18, whereby the probe pin 21 and the inspection signal in the probe unit 12 are switched. Connection / disconnection with the output unit 14 and connection / disconnection between the probe pin 21 and the measurement unit 16 are performed (hereinafter, these processes are also referred to as “connection / disconnection process”).

測定部16は、回路基板100の各導体パターンPにおける各検査対象点Pjに接触されたプローブピン21を介して各導体パターンPに検査用信号Sが供給されている状態において、各導体パターンP間の抵抗値Rを測定する測定処理を実行する。   In the state where the inspection signal S is supplied to each conductor pattern P through the probe pin 21 in contact with each inspection target point Pj in each conductor pattern P of the circuit board 100, the measurement unit 16 A measurement process for measuring the resistance value R is executed.

記憶部17は、制御部18によって実行される後述する第1絶縁検査および第2絶縁検査(以下、第1絶縁検査および第2絶縁検査を区別しないときには「絶縁検査」ともいう)において用いられる導体パターンデータを記憶する。この場合、導体パターンデータは、一例として、回路基板100の各導体パターンPを識別する情報(例えば、各導体パターンPに付した番号を示す情報)、各パターンPに設けられている検査対象点Pjの数を示す情報、および検査時において各導体パターンPの各検査対象点Pjに接触(プロービング)されるプローブピン21を識別可能な情報などを含んで構成されている。   The storage unit 17 is a conductor used in a later-described first insulation test and second insulation test (hereinafter also referred to as “insulation test” when the first insulation test and the second insulation test are not distinguished), which is executed by the control unit 18. Stores pattern data. In this case, the conductor pattern data includes, for example, information for identifying each conductor pattern P of the circuit board 100 (for example, information indicating the number assigned to each conductor pattern P), and inspection target points provided in each pattern P. It includes information indicating the number of Pj, information that can identify the probe pins 21 that are in contact (probing) with each inspection target point Pj of each conductor pattern P at the time of inspection, and the like.

制御部18は、図外の操作部から出力される操作信号に従って回路基板検査装置1を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部18は、移動機構13によるプローブユニット12の移動を制御する。また、制御部18は、検査用信号出力部14による検査用信号Sの出力を制御する。   The control unit 18 controls each component constituting the circuit board inspection apparatus 1 according to an operation signal output from an operation unit (not shown). Specifically, the control unit 18 controls the movement of the probe unit 12 by the moving mechanism 13. The control unit 18 controls the output of the inspection signal S by the inspection signal output unit 14.

また、制御部18は、検査部として機能し、後述する第1絶縁検査を複数回実行することにより、回路基板100における各導体パターンPの間の絶縁状態を測定部16によって測定された抵抗値Rに基づいて検査する。制御部18は、この第1絶縁検査において、スキャナ部15による接断処理を制御することによって回路基板100の導体パターンPに対して検査用信号Sを供給させる供給処理を実行する。   Further, the control unit 18 functions as an inspection unit, and a resistance value obtained by measuring the insulation state between the conductor patterns P on the circuit board 100 by the measurement unit 16 by performing a first insulation test described later a plurality of times. Inspect based on R. In the first insulation inspection, the control unit 18 executes a supply process for supplying the inspection signal S to the conductor pattern P of the circuit board 100 by controlling the connection / disconnection process by the scanner unit 15.

この場合、制御部18は、第1絶縁検査における供給処理において、各導体パターンPのうちの1つを第1被検査体として設定すると共に、第1被検査体を除く他の導体パターンPのうちの一部または全部を第2被検査体として設定し、第2被検査体における各検査対象点Pjを同電位としつつ、第2被検査体と第1被検査体との間に検査用信号Sを供給させる。また、制御部18は、第1被検査体および第2被検査体として設定する導体パターンPの組み合わせを後述する手順に従って各第1絶縁検査毎に変更する。   In this case, the control unit 18 sets one of the conductor patterns P as the first inspected object in the supply process in the first insulation inspection, and sets the other conductor patterns P excluding the first inspected object. A part or all of them is set as a second object to be inspected, and each inspection object point Pj in the second object to be inspected is set to the same potential, while being inspected between the second object to be inspected and the first object to be inspected. A signal S is supplied. Moreover, the control part 18 changes the combination of the conductor pattern P set as a 1st to-be-tested object and a 2nd to-be-tested object for every 1st insulation test | inspection according to the procedure mentioned later.

また、制御部18は、被検査体の回路基板100における各導体パターンPの中に、予め決められた規定数Ar以上の検査対象点Pjを有する導体パターンP(特定の導体パターンに相当し、以下、他の導体パターンPと区別するときには「導体パターンPa」ともいう)が存在するときには、導体パターンPaを第1被検査体として設定する対象から除外して複数回の第1絶縁検査を実行した後に、後述する第2絶縁検査を実行することにより、導体パターンPaと他の導体パターンPとの間の絶縁状態を測定部16によって測定された抵抗値Rに基づいて検査する。   Further, the control unit 18 includes a conductor pattern P (corresponding to a specific conductor pattern) having inspection target points Pj of a predetermined number Ar or more in each conductor pattern P on the circuit board 100 of the object to be inspected. Hereinafter, when it is distinguished from other conductor patterns P (also referred to as “conductor pattern Pa”), the conductor pattern Pa is excluded from the target to be set as the first inspected object, and a plurality of first insulation inspections are performed. After that, the second insulation inspection described later is executed to inspect the insulation state between the conductor pattern Pa and the other conductor pattern P based on the resistance value R measured by the measurement unit 16.

制御部18は、この第2絶縁検査において、上記した供給処理を実行する。この場合、制御部18は、1つの導体パターンPaを第3被検査体として設定すると共に、その導体パターンPaを第2被検査体として設定して実行した第1絶縁検査において第1被検査体として設定した導体パターンPとその導体パターンPaとを除く他の導体パターンPのうちの1つ(一部の一例)を第4被検査体として設定し、第4被検査体における各検査対象点Pjを同電位としつつ第4被検査体と第3被検査体との間に検査用信号Sを供給させる。 The controller 18 executes the above-described supply process in the second insulation test. In this case, the control unit 18 sets the first conductor pattern Pa as the third object to be inspected, and also sets the conductor pattern Pa as the second object to be inspected and performs the first object to be inspected in the first insulation inspection. one set (an example of a part) as a fourth object to be inspected, the inspection point in a fourth object to be inspected of the other conductor pattern P except the set conductor pattern P and its conductor pattern Pa as An inspection signal S is supplied between the fourth object to be inspected and the third object to be inspected while keeping Pj at the same potential.

また、制御部18は、導体パターンPaが複数存在するときには、第3被検査体および第4被検査体の組み合わせを後述する手順に従って変更しつつ第2絶縁検査を複数回実行する。この場合、制御部18は、第2絶縁検査を複数回実行するときには、2回目以降の第2絶縁検査において、それよりも前の第2絶縁検査で第3被検査体として設定した導体パターンPaを第4被検査体として設定する対象から除外する。   In addition, when there are a plurality of conductor patterns Pa, the control unit 18 executes the second insulation inspection a plurality of times while changing the combination of the third inspection object and the fourth inspection object according to the procedure described later. In this case, when performing the second insulation inspection a plurality of times, the control unit 18 performs the conductor pattern Pa set as the third object to be inspected in the second insulation inspection before the second insulation inspection after the second time. Are excluded from the target to be set as the fourth inspected object.

次に、回路基板検査装置1を用いて回路基板100における各導体パターンPの間の絶縁状態を検査する回路基板検査方法、およびその際の回路基板検査装置1の動作について、図面を参照して説明する。なお、回路基板100は、図2に示すように、8個の導体パターンP1〜P8を有しているものとする。また、同図に示すように、導体パターンP1〜P8には、1個または複数(2個〜9個)の検査対象点Pjが設けられているものとする。また、上記した規定数Arが「3」に予め決められているものとする。   Next, a circuit board inspection method for inspecting the insulation state between the conductor patterns P in the circuit board 100 using the circuit board inspection apparatus 1 and the operation of the circuit board inspection apparatus 1 at that time will be described with reference to the drawings. explain. The circuit board 100 has eight conductor patterns P1 to P8 as shown in FIG. Moreover, as shown in the figure, the conductor patterns P1 to P8 are provided with one or a plurality (2 to 9) of inspection target points Pj. In addition, it is assumed that the specified number Ar is determined in advance to “3”.

まず、被検査体の回路基板100を基板保持部11における保持台(図示せず)に載置し、次いで、基板保持部11のクランプ機構(図示せず)で回路基板100の端部を挟み込んで固定することにより、回路基板100を基板保持部11に保持させる。続いて、図外の操作部を用いて検査開始操作を行う。この際に、制御部18が、操作部から出力された操作信号に従い、移動機構13を制御してプローブユニット12を下向きに移動させる。これにより、プローブユニット12の各プローブピン21の先端部が各導体パターンPにおける各検査対象点Pjに接触(プロービング)させられる。   First, the circuit board 100 of the object to be inspected is placed on a holding base (not shown) in the board holding unit 11, and then the end of the circuit board 100 is sandwiched by a clamping mechanism (not shown) of the board holding unit 11. Then, the circuit board 100 is held by the board holding part 11. Subsequently, an inspection start operation is performed using an operation unit (not shown). At this time, the control unit 18 controls the moving mechanism 13 to move the probe unit 12 downward in accordance with the operation signal output from the operation unit. Thereby, the tip of each probe pin 21 of the probe unit 12 is brought into contact (probing) with each inspection target point Pj in each conductor pattern P.

次いで、制御部18は、記憶部17から導体パターンデータを読み出す。続いて、制御部18は、各導体パターンPの中に、規定数Arとしての「3」個以上の検査対象点Pjを有する導体パターンPaが存在するか否かを導体パターンデータに基づいて判別する。この場合、この回路基板100では、図2に示すように、3個以上の検査対象点Pjを有する3つの導体パターンP3,P4,P6が存在し、制御部18は、これらの導体パターンP(以下、「導体パターンPa3,Pa4,Pa6」ともいう)が導体パターンPaであると判別する。次いで、制御部18は、検査用信号出力部14を制御して、検査用信号S(一例として、電圧値が200Vの直流電圧信号)の出力を開始させる。   Next, the control unit 18 reads the conductor pattern data from the storage unit 17. Subsequently, the control unit 18 determines, based on the conductor pattern data, whether or not a conductor pattern Pa having “3” or more inspection target points Pj as the specified number Ar exists in each conductor pattern P. To do. In this case, in the circuit board 100, as shown in FIG. 2, there are three conductor patterns P3, P4, and P6 having three or more inspection target points Pj, and the control unit 18 uses these conductor patterns P ( Hereinafter, it is determined that the “conductor pattern Pa3, Pa4, Pa6”) is the conductor pattern Pa. Next, the control unit 18 controls the test signal output unit 14 to start outputting the test signal S (for example, a DC voltage signal having a voltage value of 200 V).

続いて、制御部18は、次のようにして、複数回(この例では、4回)の第1絶縁検査を実行する。1回目の第1絶縁検査では、制御部18は、まず、各導体パターンP1〜P8のうちの導体パターンPaであると判別した3つの導体パターンP3,P4,P6を第1被検査体として設定する対象から除外する。この結果、導体パターンP1,P2,P5,P7,P8が第1被検査体の設定対象となる。   Subsequently, the control unit 18 executes the first insulation inspection a plurality of times (in this example, four times) as follows. In the first first insulation inspection, the control unit 18 first sets three conductor patterns P3, P4, and P6, which are determined to be the conductor pattern Pa among the conductor patterns P1 to P8, as the first object to be inspected. Excluded from the target. As a result, the conductor patterns P1, P2, P5, P7, and P8 are the setting targets of the first inspection object.

次いで、制御部18は、図3に示すように、第1被検査体の設定対象としての導体パターンP1,P2,P5,P7,P8のうちの1つとして、導体パターンP1を選択し、その導体パターンP1を第1被検査体として設定する。また、制御部18は、導体パターンP1を除く他の導体パターンP2〜P8の全部を第2被検査体として設定する(同図における「1回目」の列参照)。   Next, as shown in FIG. 3, the control unit 18 selects the conductor pattern P1 as one of the conductor patterns P1, P2, P5, P7, and P8 as the setting target of the first object to be inspected. The conductor pattern P1 is set as the first object to be inspected. Moreover, the control part 18 sets all the other conductor patterns P2-P8 except the conductor pattern P1 as a 2nd to-be-tested object (refer the column of "the 1st time" in the figure).

続いて、制御部18は、供給処理を実行する。この供給処理では、制御部18は、スキャナ部15を制御して、第1被検査体(導体パターンP1)の検査対象点Pjに接触しているプローブピン21と検査用信号出力部14とを接続する。また、制御部18は、スキャナ部15を制御して、第2被検査体(導体パターンP2〜P8)の各検査対象点Pjに接触しているプローブピン21を基準電位(例えば、グランド電位)に接続する。   Subsequently, the control unit 18 executes supply processing. In this supply process, the control unit 18 controls the scanner unit 15 so that the probe pin 21 and the inspection signal output unit 14 that are in contact with the inspection target point Pj of the first object to be inspected (conductor pattern P1). Connecting. Further, the control unit 18 controls the scanner unit 15 so that the probe pin 21 in contact with each inspection target point Pj of the second object to be inspected (conductor patterns P2 to P8) has a reference potential (for example, ground potential). Connect to.

これにより、第1被検査体と第2被検査体との間に各プローブピン21を介して検査用信号Sが供給(印加)される。この場合、第2被検査体の検査対象点Pjがプローブピン21を介してグランド電位に接続されているため、各検査対象点Pjが同電位(この例では、グランド電位)に維持される。   As a result, the inspection signal S is supplied (applied) between the first inspection object and the second inspection object via the probe pins 21. In this case, since the inspection target point Pj of the second object to be inspected is connected to the ground potential via the probe pin 21, each inspection target point Pj is maintained at the same potential (in this example, the ground potential).

次いで、制御部18は、測定部16に対して測定処理を実行させて、第1被検査体と第2被検査体との間の抵抗値Rを測定させる。続いて、制御部18は、測定部16によって測定された抵抗値Rと抵抗値の下限値とを比較して第1被検査体と第2被検査体との間の絶縁状態を検査する。この場合、制御部18は、算出(測定)した抵抗値が下限値以上のときには、絶縁状態が良好と判定し、下限値よりも小さいときには、絶縁状態が不良と判定する。   Next, the control unit 18 causes the measurement unit 16 to perform a measurement process to measure the resistance value R between the first inspection object and the second inspection object. Subsequently, the control unit 18 compares the resistance value R measured by the measurement unit 16 with the lower limit value of the resistance value, and inspects the insulation state between the first inspection object and the second inspection object. In this case, the control unit 18 determines that the insulation state is good when the calculated (measured) resistance value is equal to or greater than the lower limit value, and determines that the insulation state is poor when the calculated resistance value is smaller than the lower limit value.

次いで、制御部18は、2回目の第1絶縁検査を実行する。2回目の第1絶縁検査では、制御部18は、導体パターンPaである導体パターンP3,P4,P6を第1被検査体として設定する対象から除外する。また、制御部18は、それよりも前(この例では、1回目)の第1絶縁検査において第1被検査体として設定した導体パターンP1を、第1被検査体として設定する対象および第2被検査体として設定する対象から除外する。この結果、導体パターンP2,P5,P7,P8が第1被検査体の設定対象となる。   Next, the control unit 18 executes a second first insulation test. In the second first insulation inspection, the control unit 18 excludes the conductor patterns P3, P4, and P6, which are the conductor patterns Pa, from the objects to be set as the first object to be inspected. In addition, the control unit 18 sets the conductor pattern P1 set as the first object to be tested in the first insulation test before (first time in this example) before that as the first object to be set and the second object. It excludes from the object set up as an inspection object. As a result, the conductor patterns P2, P5, P7, and P8 are set as the first inspection target.

続いて、制御部18は、第1被検査体の設定対象の導体パターンP(この例では、導体パターンP2,P5,P7,P8)であって、かつ直前の第1絶縁検査において第2被検査体として設定した導体パターンP(この例では、導体パターンP2〜P8)であるとの条件を満たす導体パターンP(この例では、導体パターンP2,P5,P7,P8)のうちの1つとして、導体パターンP2を選択し、その導体パターンP2を第2被検査体として設定する対象から除外して第1被検査体として設定する。また、制御部18は、残りの導体パターンP3〜P8の全部を第2被検査体として設定する(図3における「2回目」の列参照)。次いで、制御部18は、供給処理を実行し、続いて、測定部16によって測定された抵抗値Rに基づいて第1被検査体と第2被検査体との間の絶縁状態を検査する。   Subsequently, the control unit 18 is a conductor pattern P to be set for the first object to be inspected (in this example, conductor patterns P2, P5, P7, P8), and the second object to be examined in the immediately preceding first insulation inspection. As one of the conductor patterns P (in this example, conductor patterns P2, P5, P7, P8) that satisfy the condition that the conductor pattern P is set as an inspection object (in this example, conductor patterns P2 to P8) The conductor pattern P2 is selected, and the conductor pattern P2 is excluded from the object to be set as the second object to be tested and set as the first object to be inspected. Moreover, the control part 18 sets all the remaining conductor patterns P3-P8 as a 2nd to-be-inspected object (refer the column of "the 2nd time" in FIG. 3). Next, the control unit 18 executes the supply process, and subsequently inspects the insulation state between the first device under test and the second device under test based on the resistance value R measured by the measurement unit 16.

次いで、制御部18は、3回目の第1絶縁検査を実行する。3回目の第1絶縁検査では、制御部18は、導体パターンPaである導体パターンP3,P4,P6を第1被検査体として設定する対象から除外する。また、制御部18は、それよりも前(この例では、1回目および2回目)の第1絶縁検査において第1被検査体として設定した導体パターンP1,P2を、第1被検査体として設定する対象および第2被検査体として設定する対象から除外する。この結果、導体パターンP5,P7,P8が第1被検査体の設定対象となる。   Next, the control unit 18 performs a third first insulation test. In the third first insulation inspection, the control unit 18 excludes the conductor patterns P3, P4, and P6, which are the conductor patterns Pa, from the objects to be set as the first object to be inspected. Further, the control unit 18 sets the conductor patterns P1 and P2 set as the first inspected object in the first insulation inspection before (in this example, the first and second times) before that as the first inspected object. And the target to be set as the second object to be inspected. As a result, the conductor patterns P5, P7, and P8 are set as the first inspection target.

続いて、制御部18は、第1被検査体の設定対象の導体パターンP(この例では、導体パターンP1,P5,P7,P8)であって、かつ直前の第1絶縁検査において第2被検査体として設定した導体パターンP(この例では、導体パターンP3〜P8)であるとの条件を満たす導体パターンP(この例では、導体パターンP5,P7,P8)のうちの1つとして、導体パターンP5を選択し、その導体パターンP5を第2被検査体として設定する対象から除外して第1被検査体として設定する。また、制御部18は、残りの導体パターンPの一部(この例では、導体パターンP6〜P8)を第2被検査体として設定する(図3における「3回目」の列参照)。次いで、制御部18は、供給処理を実行し、続いて、測定部16によって測定された抵抗値Rに基づいて第1被検査体と第2被検査体との間の絶縁状態を検査する。   Subsequently, the control unit 18 is a conductor pattern P to be set for the first object to be inspected (in this example, conductor patterns P1, P5, P7, P8), and in the immediately preceding first insulation inspection, the second object to be inspected. As one of the conductor patterns P (in this example, the conductor patterns P5, P7, P8) that satisfy the condition that the conductor pattern P is set as the inspection object (in this example, the conductor patterns P3 to P8), the conductor The pattern P5 is selected, and the conductor pattern P5 is excluded from the object to be set as the second inspection object and set as the first inspection object. Further, the control unit 18 sets a part of the remaining conductor pattern P (in this example, the conductor patterns P6 to P8) as the second object to be inspected (see the “third time” column in FIG. 3). Next, the control unit 18 executes the supply process, and subsequently inspects the insulation state between the first device under test and the second device under test based on the resistance value R measured by the measurement unit 16.

次いで、制御部18は、4回目の第1絶縁検査を実行する。4回目の第1絶縁検査では、制御部18は、導体パターンPaである導体パターンP3,P4,P6を第1被検査体として設定する対象から除外する。また、制御部18は、それよりも前(この例では、1回目〜3回目)の第1絶縁検査において第1被検査体として設定した導体パターンP1,P2,P5を、第1被検査体として設定する対象および第2被検査体として設定する対象から除外する。この結果、導体パターンP1,P2,P7,P8が第1被検査体の設定対象となる。   Next, the control unit 18 performs a fourth first insulation test. In the fourth first insulation inspection, the control unit 18 excludes the conductor patterns P3, P4, and P6, which are the conductor patterns Pa, from the objects to be set as the first object to be inspected. In addition, the control unit 18 uses the first inspected conductor patterns P1, P2, and P5 set as the first inspected object in the first insulation inspection before (first to third in this example). And the target to be set as the second object to be inspected. As a result, the conductor patterns P1, P2, P7, and P8 are the setting targets of the first inspection object.

続いて、制御部18は、第1被検査体の設定対象の導体パターンP(この例では、導体パターンP1,P2,P7,P8)であって、かつ直前の第1絶縁検査において第2被検査体として設定した導体パターンP(この例では、導体パターンP6,P7,P8)であるとの条件を満たす導体パターンP(この例では、導体パターンP7,P8)のうちの1つとして、導体パターンP7を選択し、その導体パターンP7を第2被検査体として設定する対象から除外して第1被検査体として設定する。また、制御部18は、導体パターンPの一部(この例では、導体パターンP8)を第2被検査体として設定する(図3における「4回目」の列参照)。次いで、制御部18は、供給処理を実行し、続いて、測定部16によって測定された抵抗値Rに基づいて第1被検査体と第2被検査体との間の絶縁状態を検査する。以上により、第1絶縁検査が終了する。   Subsequently, the control unit 18 is a conductor pattern P (a conductor pattern P1, P2, P7, P8 in this example) to be set for the first object to be inspected, and the second object to be tested in the immediately preceding first insulation inspection. As one of the conductor patterns P (in this example, the conductor patterns P7, P8) that satisfy the condition that the conductor pattern P is set as the inspection object (in this example, the conductor patterns P6, P7, P8), the conductor The pattern P7 is selected, and the conductor pattern P7 is excluded from the target to be set as the second inspection object and set as the first inspection object. Further, the control unit 18 sets a part of the conductor pattern P (in this example, the conductor pattern P8) as the second object to be inspected (see the “fourth” column in FIG. 3). Next, the control unit 18 executes the supply process, and subsequently inspects the insulation state between the first device under test and the second device under test based on the resistance value R measured by the measurement unit 16. Thus, the first insulation test is completed.

次いで、制御部18は、第2絶縁検査を実行する。この場合、導体パターンPaが複数(この例では3つ)存在するため、制御部18は、第3被検査体および第4被検査体の組み合わせを変更しつつ第2絶縁検査を複数回実行する。1回目の第2絶縁検査では、制御部18は、図4に示すように、導体パターンPa3,Pa4,Pa6のうちの1つとして導体パターンPa3を選択し、その導体パターンPa3を第3被検査体として設定する。また、制御部18は、第3被検査体として設定した導体パターンPa3を第2被検査体として設定して実行した上記の第1絶縁検査において第1被検査体として設定した導体パターンP(この例では、導体パターンP1,P2:図3参照)と、その導体パターンPa3とを除く他の導体パターンP(この例では、導体パターンP4〜P8)のうちの1つ(一部の一例)として導体パターンP4を選択し、その導体パターンP4を第4被検査体として設定する(図4における「1回目」の列参照)。 Next, the control unit 18 performs a second insulation test. In this case, since there are a plurality of conductor patterns Pa (three in this example), the control unit 18 performs the second insulation inspection a plurality of times while changing the combination of the third inspection object and the fourth inspection object. . In the first second insulation inspection, as shown in FIG. 4, the control unit 18 selects the conductor pattern Pa3 as one of the conductor patterns Pa3, Pa4, and Pa6, and the conductor pattern Pa3 is subjected to the third inspection. Set as body. In addition, the control unit 18 sets the conductor pattern P3 set as the first object to be inspected in the first insulation inspection performed by setting the conductor pattern Pa3 set as the third object to be inspected as the second object to be inspected. in the example, the conductor pattern P1, P2: a see FIG. 3), the other conductor pattern P (this example except for its conductor pattern Pa3, as one of the conductor patterns P4~P8) (an example of a part) The conductor pattern P4 is selected, and the conductor pattern P4 is set as the fourth object to be inspected (see the “first time” column in FIG. 4).

続いて、制御部18は、供給処理を実行し、スキャナ部15を制御して、第3被検査体の検査対象点Pjに接触しているプローブピン21と検査用信号出力部14とを接続させると共に、第4被検査体の検査対象点Pjに接触しているプローブピン21を基準電位に接続させる。これにより、第4被検査体における各検査対象点Pjが同電位に維持されつつ第4被検査体と第3被検査体との間に検査用信号Sが供給される。次いで、制御部18は、測定部16に対して、第3被検査体と第4被検査体との間の抵抗値Rを測定させる。続いて、制御部18は、測定部16によって測定された抵抗値Rと抵抗値の下限値とを比較して第3被検査体と第4被検査体との間の絶縁状態を検査する。   Subsequently, the control unit 18 executes a supply process and controls the scanner unit 15 to connect the probe pin 21 in contact with the inspection target point Pj of the third object to be inspected and the inspection signal output unit 14. At the same time, the probe pin 21 in contact with the inspection target point Pj of the fourth object to be inspected is connected to the reference potential. As a result, the inspection signal S is supplied between the fourth object to be inspected and the third object to be inspected while the inspection target points Pj in the fourth object to be inspected are maintained at the same potential. Next, the control unit 18 causes the measurement unit 16 to measure the resistance value R between the third object to be inspected and the fourth object to be inspected. Subsequently, the control unit 18 compares the resistance value R measured by the measurement unit 16 with the lower limit value of the resistance value, and inspects the insulation state between the third inspection object and the fourth inspection object.

次いで、制御部18は、2回目の第2絶縁検査を実行する。2回目の第2絶縁検査では、第3被検査体および第4被検査体の組み合わせを変更する。具体的には、制御部18は、導体パターンPa3を第3被検査体として設定する。また、制御部18は、1回目の第2絶縁検査と同様にして、導体パターンP1,P2と導体パターンPa3とを除く他の導体パターンP(この例では、導体パターンP4〜P8)のうちの1つ(一部の一例)として導体パターンP5を選択し、その導体パターンPを第4被検査体として設定する(図4における「2回目」の列参照)。続いて、制御部18は、供給処理を実行し、次いで、測定部16によって測定された抵抗値Rに基づいて第3被検査体と第4被検査体との間の絶縁状態を検査する。 Next, the control unit 18 executes a second second insulation test. In the second second insulation inspection, the combination of the third inspection object and the fourth inspection object is changed. Specifically, the control unit 18 sets the conductor pattern Pa3 as the third object to be inspected. Further, the control unit 18 performs the same operation as in the first second insulation inspection among the other conductor patterns P (conductor patterns P4 to P8 in this example) excluding the conductor patterns P1 and P2 and the conductor pattern Pa3. one selects a conductor pattern P5 as (an example of a part), and sets the conductive pattern P 5 as a fourth object to be inspected (see column "second time" in FIG. 4). Subsequently, the control unit 18 performs a supply process, and then inspects the insulation state between the third inspected object and the fourth inspected object based on the resistance value R measured by the measuring unit 16.

続いて、制御部18は、導体パターンPa3を第3被検査体として設定し、第4被検査体として設定する導体パターンPを変更しつつ、3回目〜5回目の第2絶縁検査を実行する(図4における「3回目〜5回目」の列参照)。   Subsequently, the control unit 18 sets the conductor pattern Pa3 as the third object to be inspected, and executes the third to fifth second insulation inspections while changing the conductor pattern P to be set as the fourth object to be inspected. (Refer to the column “3rd to 5th” in FIG. 4).

次いで、制御部18は、6回目〜9回目の第2絶縁検査を実行する。この場合、制御部18は、導体パターンPa3,Pa4,Pa6のうちの1つとして導体パターンPa4を選択し、その導体パターンPa4を第3被検査体として設定する。また、制御部18は、2回目以降の第2絶縁検査において、導体パターンPa4を第2被検査体として設定して実行した上記の第1絶縁検査において第1被検査体として設定した導体パターンP(この例では、導体パターンP1,P2:図3参照)と、導体パターンPa4とを第4被検査体として設定する対象から除外し、さらに、実行しようとしている第2絶縁検査よりも前の第2絶縁検査(例えば6回目の第2絶縁検査を実行しようとしているときには、1回目〜5回目の第2絶縁検査)において第3被検査体として設定した導体パターンPa3を第4被検査体として設定する対象から除外する。この結果、導体パターンP5〜P8が第4被検査体の設定対象となるため、制御部18は、6回目〜9回目の第2絶縁検査において、導体パターンP5〜P8のうちの1つを順次選択して第4被検査体として設定する。(図4における「6回目」〜「9回目」の列参照)。   Next, the control unit 18 performs the sixth to ninth second insulation inspections. In this case, the control unit 18 selects the conductor pattern Pa4 as one of the conductor patterns Pa3, Pa4, and Pa6, and sets the conductor pattern Pa4 as the third device under test. Further, the control unit 18 performs the second and subsequent second insulation inspections by setting the conductor pattern Pa4 as the second inspected object and performing the conductor pattern P set as the first inspected object in the first insulation inspection described above. (In this example, the conductor patterns P1, P2: see FIG. 3) and the conductor pattern Pa4 are excluded from the objects to be set as the fourth object to be inspected, and further, the second before the second insulation inspection to be performed. The conductor pattern Pa3 set as the third object to be inspected is set as the fourth object to be inspected in the 2 insulation inspection (for example, when the second insulation inspection is being performed for the sixth time, the first to the fifth second insulation inspection). Excluded from the target. As a result, since the conductor patterns P5 to P8 are set as the fourth inspection object, the control unit 18 sequentially selects one of the conductor patterns P5 to P8 in the sixth to ninth second insulation inspections. Select and set as the fourth object to be inspected. (Refer to the columns “6th” to “9th” in FIG. 4).

続いて、制御部18は、10回目および11回目の第2絶縁検査を実行する。この場合、制御部18は、導体パターンPa3,Pa4,Pa6のうちの1つとして導体パターンPa6を選択し、その導体パターンPa6を第3被検査体として設定する。また、制御部18は、2回目以降の第2絶縁検査において、導体パターンPa6を第2被検査体として設定して実行した上記の第1絶縁検査において第1被検査体として設定した導体パターンP(この例では、導体パターンP1,P2,P5:図3参照)と、導体パターンPa6とを第4被検査体として設定する対象から除外し、さらに、実行しようとしている第2絶縁検査よりも前の第2絶縁検査において第3被検査体として設定した導体パターンPa3,Pa4を第4被検査体として設定する対象から除外する。この結果、導体パターンP7,P8が第4被検査体の設定対象となるため、制御部18は、10回目および11回目の第2絶縁検査において、導体パターンP7,P8のうちの1つを順次選択して第4被検査体として設定する。(図4における「10回目」および「11回目」の列参照)。以上により、第2絶縁検査が終了する。次いで、制御部18、第1絶縁検査および第2絶縁検査の結果を図外の表示部に表示させる。   Subsequently, the control unit 18 performs the tenth and eleventh second insulation inspections. In this case, the control unit 18 selects the conductor pattern Pa6 as one of the conductor patterns Pa3, Pa4, Pa6, and sets the conductor pattern Pa6 as the third device under test. The control unit 18 performs the second and subsequent second insulation inspections by setting the conductor pattern Pa6 as the second inspected object and performing the conductor pattern P set as the first inspected object in the first insulation inspection described above. (In this example, the conductor patterns P1, P2, P5: see FIG. 3) and the conductor pattern Pa6 are excluded from the objects to be set as the fourth object to be inspected, and further before the second insulation inspection to be performed. The conductor patterns Pa3 and Pa4 set as the third test object in the second insulation test are excluded from the targets to be set as the fourth test object. As a result, since the conductor patterns P7 and P8 are set as the fourth inspection object, the control unit 18 sequentially selects one of the conductor patterns P7 and P8 in the tenth and eleventh second insulation inspections. Select and set as the fourth object to be inspected. (See the columns “10th” and “11th” in FIG. 4). Thus, the second insulation test is completed. Next, the control unit 18, the results of the first insulation test and the second insulation test are displayed on the display unit outside the figure.

ここで、導体パターンPの各検査対象点Pjに接触されているプローブピン21および各プローブピン21に接続されているケーブルやスキャナスイッチ等の導体パターンPに検査用信号Sを供給する媒体(以下、「信号供給媒体」ともいう)の相互間には、浮遊容量が存在する。この浮遊容量は、信号供給媒体を介して検査用信号SのHi側に接続される検査対象点Pjの数、および信号供給媒体を介して検査用信号SのLo側に接続される検査対象点Pjの数のうちの少ない方の数がパラメータとなってその大きさが決まる。具体的には、第1絶縁検査における信号供給媒体の相互間の浮遊容量は、図3に示すように、第1被検査体の検査対象点Pjのポイント数A1、および第2被検査体の検査対象点Pjのポイント数A2のうちの少ない方の数(同図の最下段に示すポイント数As1)が小さいほど小さく大きいほど大きくなる。また、第2絶縁検査における信号供給媒体の相互間の浮遊容量は、図4に示すように、第3被検査体の検査対象点Pjのポイント数A3、および第4被検査体の検査対象点Pjのポイント数A4のうちの少ない方の数(同図の最下段に示すポイント数As2)が小さいほど小さく大きいほど大きくなる。   Here, a medium for supplying the inspection signal S to the conductor pattern P such as a cable or a scanner switch connected to each probe pin 21 and the probe pin 21 that is in contact with each inspection target point Pj of the conductor pattern P (hereinafter, referred to as a medium). , Also referred to as “signal supply medium”), there is a stray capacitance. This stray capacitance is the number of inspection target points Pj connected to the Hi side of the inspection signal S through the signal supply medium, and the inspection target points connected to the Lo side of the inspection signal S through the signal supply medium. The smaller number of Pj is used as a parameter to determine its size. Specifically, as shown in FIG. 3, the stray capacitance between the signal supply media in the first insulation test is the number of points A1 of the test target points Pj of the first test object and the second test object. The smaller the number of points A2 of the inspection target points Pj (the number of points As1 shown at the bottom of the figure) is, the smaller and larger the number. In addition, the stray capacitance between the signal supply media in the second insulation inspection includes the number A3 of inspection target points Pj of the third inspection object and the inspection object points of the fourth inspection object, as shown in FIG. The smaller the number of points P4 of Pj (the number of points As2 shown in the lowermost stage in the figure) is, the smaller and larger it is.

一方、信号供給媒体の相互間の浮遊容量が大きいほど、導体パターンPに対する検査用信号Sの供給開始時点から導体パターンP間の電圧が検査に必要な規定電圧に達する時点までの時間が長くなり、これに起因して検査効率の向上が困難となる。このため、信号供給媒体の相互間の浮遊容量は小さいのが好ましい。この場合、検査対象点Pjの数の多少に関わらず全ての導体パターンPaを第1被検査体として設定して第1絶縁検査を実行する従来の構成および方法によって回路基板100の検査を行ったときには、図5に示す比較例のように、信号供給媒体の相互間の浮遊容量の大きさのパラメータとなるポイント数As1が最大で「9」となる。   On the other hand, the larger the stray capacitance between the signal supply media, the longer the time from the start of supply of the inspection signal S to the conductor pattern P until the time when the voltage between the conductor patterns P reaches the specified voltage required for inspection. This makes it difficult to improve inspection efficiency. For this reason, it is preferable that the stray capacitance between the signal supply media is small. In this case, the circuit board 100 is inspected by the conventional configuration and method in which all the conductor patterns Pa are set as the first inspected objects regardless of the number of inspection target points Pj and the first insulation inspection is performed. In some cases, as in the comparative example shown in FIG. 5, the point number As1 that is a parameter for the size of the stray capacitance between the signal supply media is “9” at the maximum.

これに対して、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、規定数Ar以上の検査対象点Pjを有する導体パターンPaが存在するときには、その導体パターンPaを第1被検査体として設定する対象から除外して第1絶縁検査を実行し、導体パターンPaについては、第2絶縁検査を実行することで、図3,4に示すように、信号供給媒体の相互間の浮遊容量の大きさのパラメータとなるポイント数As1,As2が最大で「3」に抑えられる。この場合、この例では、回路基板100の各導体パターンPにおける検査対象点Pjの最大数が「9」であるため、従来の構成および方法におけるポイント数As1の最大数と、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法におけるポイント数As1,As2の最大数との差異が僅か(この例では「6」)であるが、一般的な回路基板100では、1000以上のポイントPjを有する導体パターンP(例えば、接続電源用の導体パターンP)を複数備えているため、このような回路基板100を検査する際には、上記の差異が大きい値となって現れる。このため、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、従来の構成および方法と比較して、信号供給媒体の相互間の浮遊容量が十分に小さく抑えられ、その分、検査効率を向上させることが可能となっている。また、信号供給媒体の相互間の浮遊容量が十分に小さく抑えられるため、電荷のチャージが少なく抑えられる結果、絶縁検査の実行中に絶縁破壊が発生したとしても、チャージされた電荷の放電による回路基板の破損を確実に防止することが可能となっている。   On the other hand, in the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, when there is a conductor pattern Pa having an inspection target point Pj greater than or equal to the specified number Ar, the conductor pattern Pa is set as the first object to be inspected. The first insulation test is performed excluding the target, and the second insulation test is performed on the conductor pattern Pa, so that the stray capacitance between the signal supply media as shown in FIGS. The number of points As1 and As2 that are the parameters of is suppressed to “3” at the maximum. In this case, in this example, since the maximum number of inspection target points Pj in each conductor pattern P of the circuit board 100 is “9”, the maximum number of points As1 in the conventional configuration and method, and this circuit board inspection apparatus 1 and the maximum number of points As1 and As2 in the circuit board inspection method are slight (in this example, “6”), but in the general circuit board 100, the conductor pattern P having 1000 or more points Pj Since a plurality of conductor patterns P (for example, a connection power source) are provided, the above difference appears as a large value when such a circuit board 100 is inspected. Therefore, in the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, the stray capacitance between the signal supply media is sufficiently reduced as compared with the conventional configuration and method, and the inspection efficiency is improved correspondingly. It is possible. In addition, since the stray capacitance between the signal supply media is sufficiently small, the charge charge can be suppressed to a low level. As a result, even if a dielectric breakdown occurs during the execution of the insulation test, the circuit by discharging the charged charge It is possible to reliably prevent the substrate from being damaged.

なお、上記した例では、第2絶縁検査において、第4被検査体としての導体パターンPを1つだけ設定しているが、図6に示すように、2つ(一部の一例)の導体パターンPを第4被検査体として設定する構成および方法を採用することもできる。この構成においても、同図に示すように、信号供給媒体の相互間の浮遊容量の大きさのパラメータとなるポイント数A1,A2のうちの少ない方の数が最大で「5」に抑えられ、従来の構成および方法と比較して、信号供給媒体の相互間の浮遊容量が十分に小さく抑えられることが理解される。 In the example described above, in the second insulation test, the fourth is set only one conductor pattern P as an object to be inspected, but as shown in FIG. 6, the conductor of the two (an example of a part) A configuration and a method for setting the pattern P as the fourth object to be inspected can also be adopted. Even in this configuration, as shown in the figure, the smaller one of the number of points A1 and A2 that is a parameter of the magnitude of the stray capacitance between the signal supply media is suppressed to “5” at the maximum, It can be understood that the stray capacitance between the signal supply media can be kept sufficiently small as compared with the conventional configuration and method.

このように、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、予め決められた数としての規定数Ar以上の検査対象点Pjを有する導体パターンPaが存在するときには、その導体パターンPaを第1被検査体として設定する対象から除外して第1絶縁検査を実行した後に、1つの導体パターンPaを第3被検査体として設定して第2絶縁検査を実行する。このため、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、第1絶縁検査および第2絶縁検査において、プローブピン21等の信号供給媒体を介して検査用信号SのHi側に接続される検査対象点Pjの数および検査用信号SのLo側に接続される検査対象点Pjの数のうちの少ない方の数を少なくすることができる結果、その数がパラメータとなって大きさが決まる信号供給媒体の相互間の浮遊容量を十分に小さく抑えることができる。したがって、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法によれば、導体パターンPに対する検査用信号Sの供給開始時点から導体パターンP間の電圧が検査に必要な規定電圧に達する時点までの時間を短縮することができる結果、その分、検査効率を十分に向上させることができる。また、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法によれば、信号供給媒体の相互間の浮遊容量が十分に小さい分、電荷のチャージを少なく抑えることができる結果、絶縁検査の実行中に絶縁破壊が発生したとしても、チャージされた電荷の放電による回路基板100の破損を確実に防止することができる。   As described above, in the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, when there is a conductor pattern Pa having the inspection target point Pj equal to or larger than the predetermined number Ar as a predetermined number, the conductor pattern Pa is set to the first. After performing the first insulation inspection excluding the object to be set as the inspection object, one conductor pattern Pa is set as the third inspection object and the second insulation inspection is executed. For this reason, in the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, in the first insulation inspection and the second insulation inspection, the inspection connected to the Hi side of the inspection signal S via the signal supply medium such as the probe pin 21. A signal whose size is determined by the number of target points Pj and the number of test target points Pj connected to the Lo side of the test signal S can be reduced. The stray capacitance between the supply media can be kept sufficiently small. Therefore, according to the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, the time from the start of supplying the inspection signal S to the conductor pattern P until the time when the voltage between the conductor patterns P reaches the specified voltage required for the inspection is obtained. As a result, the inspection efficiency can be improved sufficiently. Further, according to the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, since the stray capacitance between the signal supply media is sufficiently small, the charge can be suppressed to a low level. Even if the breakdown occurs, it is possible to reliably prevent the circuit board 100 from being damaged by the discharge of the charged charges.

また、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法によれば、規定数Ar以上の検査対象点Pjを有する特定の導体パターンPaが複数存在するときには、2回目以降の第2絶縁検査において、それよりも前の第2絶縁検査で第3被検査体として設定した特定の導体パターンPaを第4被検査体として設定する対象から除外することにより、第3被検査体および第4被検査体の組み合わせの種類が少なくなる分、第2絶縁検査の回数を少なくすることができるため、検査効率をより向上させることができる。   In addition, according to the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, when there are a plurality of specific conductor patterns Pa having inspection target points Pj equal to or greater than the prescribed number Ar, in the second and subsequent second insulation inspections, By excluding the specific conductor pattern Pa set as the third inspected object in the second insulation inspection prior to the setting of the fourth inspected object, the third inspected object and the fourth inspected object Since the number of combinations is reduced, the number of times of the second insulation inspection can be reduced, so that the inspection efficiency can be further improved.

また、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、第2絶縁検査の実行時において1つの導体パターンPを第4被検査体として設定する。このため、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法によれば、複数の導体パターンPを第4被検査体として設定する構成および方法と比較して、第2絶縁検査において、検査用信号SのHi側に接続される導体パターンPの検査対象点Pjの数および検査用信号SのLo側に接続される導体パターンPの検査対象点Pjの数のうちの少ない方の数をより少なくすることができる結果、信号供給媒体の相互間の浮遊容量をさらに小さく抑えることができる。したがって、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法によれば、検査効率をさらに向上させることができると共に、検査時における回路基板100の破損をより確実に防止することができる。   In the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, one conductor pattern P is set as the fourth object to be inspected when the second insulation inspection is performed. Therefore, according to the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, in the second insulation inspection, the inspection signal S is compared with the configuration and method in which the plurality of conductor patterns P are set as the fourth inspected object. The smaller one of the number of inspection target points Pj of the conductor pattern P connected to the Hi side and the number of inspection target points Pj of the conductor pattern P connected to the Lo side of the inspection signal S is made smaller. As a result, the stray capacitance between the signal supply media can be further reduced. Therefore, according to the circuit board inspection apparatus 1 and the circuit board inspection method, it is possible to further improve the inspection efficiency and more reliably prevent the circuit board 100 from being damaged during the inspection.

なお、回路基板検査装置および回路基板検査方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、第1絶縁検査において、第1被検査体の導体パターンPを検査用信号出力部14に接続すると共に、第2被検査体の導体パターンPをグランド電位に接続する例について上記したが、これとは逆に、第1被検査体の導体パターンPを基準電位としてのグランド電位に接続すると共に、第2被検査体の導体パターンPを検査用信号出力部14に接続する構成および方法を採用することもできる。同様にして、第2絶縁検査において、第3被検査体の導体パターンPを検査用信号出力部14に接続すると共に、第4被検査体の導体パターンPをグランド電位に接続する構成および方法に代えて、第3被検査体の導体パターンPを基準電位としてのグランド電位に接続すると共に、第4被検査体の導体パターンPを検査用信号出力部14に接続する構成および方法を採用することもできる。   The circuit board inspection apparatus and the circuit board inspection method are not limited to the above configuration and method. For example, in the first insulation inspection, the conductor pattern P of the first object to be inspected is connected to the inspection signal output unit 14 and the conductor pattern P of the second object to be inspected is connected to the ground potential. On the contrary, a configuration and method for connecting the conductor pattern P of the first object to be inspected to the ground potential as the reference potential and connecting the conductor pattern P of the second object to be inspected to the inspection signal output unit 14. It can also be adopted. Similarly, in the second insulation test, the configuration and method of connecting the conductor pattern P of the third device under test to the inspection signal output unit 14 and connecting the conductor pattern P of the fourth device under test to the ground potential. Instead, the configuration and method of connecting the conductor pattern P of the third object to be inspected to the ground potential as the reference potential and connecting the conductor pattern P of the fourth object to be inspected to the inspection signal output unit 14 are adopted. You can also.

また、8個の導体パターンPを有する回路基板100における各導体パターンPの間の絶縁状態を検査する例について上記したが、3個以上の任意の数の導体パターンPを有する回路基板100を対象とした検査においても、上記した効果と同様の効果を実現することができる。また、第2絶縁検査において、1つまたは2つの導体パターンPを第4被検査体として設定する構成および方法について上記したが、3つ以上の導体パターンPを第4被検査体として設定する構成および方法を採用することもできる。   Further, the example of inspecting the insulation state between the conductor patterns P in the circuit board 100 having the eight conductor patterns P has been described above, but the circuit board 100 having an arbitrary number of three or more conductor patterns P is an object. Also in the inspection, it is possible to achieve the same effect as described above. In the second insulation test, the configuration and method for setting one or two conductor patterns P as the fourth object to be inspected are described above, but the configuration for setting three or more conductor patterns P as the fourth object to be inspected. And methods can also be employed.

1 回路基板検査装置
14 検査用信号出力部
15 スキャナ部
16 測定部
18 制御部
21 プローブピン
100 回路基板
Ar 規定数
A1,A2,As1,A3,A4,As2 ポイント数
P1〜P8,Pa 導体パターン
Pj 検査対象点
R 抵抗値
S 検査用信号
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Circuit board inspection apparatus 14 Inspection signal output part 15 Scanner part 16 Measurement part 18 Control part 21 Probe pin 100 Circuit board Ar Specified number A1, A2, As1, A3, A4, As2 Number of points P1-P8, Pa Conductor pattern Pj Inspection point R Resistance value S Inspection signal

Claims (4)

1または複数の検査対象点を有する複数の導体パターンを備えている回路基板における当該各検査対象点に接触させた検査用プローブを介して当該各導体パターンに検査用信号が供給されている状態で当該各導体パターン間の抵抗値を測定する測定部と、
前記各導体パターンのうちの1つを第1被検査体として設定すると共に当該第1被検査体を除く他の前記導体パターンのうちの一部または全部を第2被検査体として設定し、当該第2被検査体における前記各検査対象点を同電位としつつ当該第2被検査体と前記第1被検査体との間に前記検査用信号を供給させている状態で前記測定部によって測定された前記抵抗値に基づいて当該第2被検査体と当該第1被検査体との間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を、前記第1被検査体および前記第2被検査体の組み合わせを変更しつつ複数回実行する際に、2回目以降の前記第1絶縁検査において、それよりも前の前記第1絶縁検査で前記第1被検査体として設定した導体パターンを前記第1被検査体および前記第2被検査体として設定する対象から除外すると共に、直前の前記第1絶縁検査で前記第2被検査体として設定した導体パターンのうちの1つの導体パターンを前記第2被検査体として設定する対象から除外して前記第1被検査体として設定する検査部を備えた回路基板検査装置であって、
前記検査部は、前記回路基板における前記各導体パターンの中に予め決められた数以上の前記検査対象点を有する特定の導体パターンが存在するときには、当該特定の導体パターンを前記第1被検査体として設定する対象から除外して前記複数回の第1絶縁検査を実行した後に、
1つの前記特定の導体パターンを第3被検査体として設定すると共に、当該特定の導体パターンを前記第2被検査体として設定して実行した前記第1絶縁検査において前記第1被検査体として設定した前記導体パターンと当該特定の導体パターンとを除く他の前記導体パターンのうちの一部を第4被検査体として設定し、当該第4被検査体における前記各検査対象点を同電位としつつ当該第4被検査体と前記第3被検査体との間に前記検査用信号を供給させている状態で前記測定部によって測定された前記抵抗値に基づいて当該第4被検査体と当該第3被検査体との間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査を実行する回路基板検査装置。
In a state where an inspection signal is supplied to each conductor pattern via an inspection probe brought into contact with each inspection object point on a circuit board having a plurality of conductor patterns having one or a plurality of inspection object points. A measurement unit for measuring a resistance value between the conductor patterns,
One of the conductor patterns is set as a first object to be inspected and a part or all of the other conductor patterns excluding the first object to be inspected is set as a second object to be inspected. Measured by the measurement unit in a state in which the inspection signal is supplied between the second inspection object and the first inspection object while setting each inspection object point in the second inspection object to the same potential. A first insulation inspection for inspecting an insulation state between the second inspection object and the first inspection object based on the resistance value is a combination of the first inspection object and the second inspection object. In the first insulation inspection after the second time, the conductor pattern set as the first object to be inspected in the first insulation inspection prior to the first insulation inspection is changed. Body and object to be set as the second object to be inspected In addition, one of the conductor patterns set as the second object to be inspected in the immediately preceding first insulation inspection is excluded from the object to be set as the second object to be inspected. A circuit board inspection apparatus having an inspection unit set as an inspection body,
When there is a specific conductor pattern having a predetermined number or more of the inspection target points in each of the conductor patterns on the circuit board, the inspection unit displays the specific conductor pattern as the first object to be inspected. After performing the first insulation test multiple times excluding from the target to be set as
One specific conductor pattern is set as a third object to be inspected, and the specific conductor pattern is set as the second object to be inspected and set as the first object to be inspected in the first insulation inspection performed. above sets the part of the other of the conductor pattern excluding the conductor pattern and the specific conductor pattern as a fourth object to be inspected was, while the respective inspection point in the fourth object to be inspected at the same potential Based on the resistance value measured by the measurement unit in a state where the inspection signal is supplied between the fourth inspected object and the third inspected object, the fourth inspected object and the 3. A circuit board inspection apparatus that performs a second insulation inspection for inspecting an insulation state between the three inspected objects.
前記検査部は、前記特定の導体パターンが複数存在するときには、2回目以降の前記第2絶縁検査において、それよりも前の前記第2絶縁検査で前記第3被検査体として設定した前記特定の導体パターンを前記第4被検査体として設定する対象から除外する請求項1記載の回路基板検査装置。   When there are a plurality of the specific conductor patterns, the inspection unit sets the specific object set as the third object to be inspected in the second insulation inspection before the second insulation inspection after the second time. The circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein a conductor pattern is excluded from an object to be set as the fourth object to be inspected. 前記検査部は、前記第2絶縁検査の実行時において前記第4被検査体として前記導体パターンを1つだけ設定する請求項1または2記載の回路基板検査装置。   The circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection unit sets only one conductor pattern as the fourth object to be inspected when the second insulation inspection is performed. 1または複数の検査対象点を有する複数の導体パターンを備えている回路基板における当該各導体パターンのうちの1つを第1被検査体として設定すると共に当該第1被検査体を除く他の前記導体パターンのうちの一部または全部を第2被検査体として設定し、前記第1被検査体および前記第2被検査体における前記各検査対象点に接触させた検査用プローブを介して当該第2被検査体における当該各検査対象点を同電位としつつ当該第2被検査体と当該第1被検査体との間に検査用信号が供給されている状態で当該第2被検査体と当該第1被検査体との間の抵抗値を測定し、当該抵抗値に基づいて当該第2被検査体と当該第1被検査体との間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を、前記第1被検査体および前記第2被検査体の組み合わせを変更しつつ複数回実行する際に、2回目以降の前記第1絶縁検査において、それよりも前の前記第1絶縁検査で前記第1被検査体として設定した導体パターンを前記第1被検査体および前記第2被検査体として設定する対象から除外すると共に、直前の前記第1絶縁検査で前記第2被検査体として設定した導体パターンのうちの1つの導体パターンを前記第2被検査体として設定する対象から除外して前記第1被検査体として設定する回路基板検査方法であって、
前記回路基板における前記各導体パターンの中に予め決められた数以上の前記検査対象点を有する特定の導体パターンが存在するときには、当該特定の導体パターンを前記第1被検査体として設定する対象から除外して前記複数回の第1絶縁検査を実行した後に、
1つの前記特定の導体パターンを第3被検査体として設定すると共に、当該特定の導体パターンを前記第2被検査体として設定して実行した前記第1絶縁検査において前記第1被検査体として設定した前記導体パターンと当該特定の導体パターンとを除く他の前記導体パターンのうちの一部を第4被検査体として設定し、当該第4被検査体における前記各検査対象点を同電位としつつ当該第4被検査体と前記第3被検査体との間に前記検査用信号を供給させている状態で前記測定部によって測定された前記抵抗値に基づいて当該第4被検査体と当該第3被検査体との間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査を実行する回路基板検査方法。
One of the conductor patterns in a circuit board having a plurality of conductor patterns having one or a plurality of inspection target points is set as a first object to be inspected, and other than the first object to be inspected is excluded. A part or all of the conductor pattern is set as a second object to be inspected, and the first inspection object and the second object to be inspected are brought into contact with the respective inspection target points through the inspection probes. In a state in which an inspection signal is supplied between the second object to be inspected and the first object to be inspected while setting each inspection object point in the two objects to be inspected to have the same potential, Measuring a resistance value between the first object to be inspected and performing a first insulation inspection for inspecting an insulation state between the second object to be inspected and the first object to be inspected based on the resistance value; A combination of the first inspection object and the second inspection object In addition, when the test is performed a plurality of times, the conductor pattern set as the first object to be inspected in the first insulation inspection prior to the first insulation inspection after the second time is used as the first object to be inspected. In addition, the conductor pattern is excluded from the object to be set as the second object to be inspected, and one conductor pattern among the conductor patterns set as the second object to be inspected in the immediately preceding first insulation inspection is used as the second object to be inspected. A circuit board inspection method for setting as the first object to be inspected excluding a target to be set,
When there is a specific conductor pattern having a predetermined number or more of the inspection target points in each of the conductor patterns on the circuit board, from the target to set the specific conductor pattern as the first inspection object After performing the plurality of first insulation inspections by excluding,
One specific conductor pattern is set as a third object to be inspected, and the specific conductor pattern is set as the second object to be inspected and set as the first object to be inspected in the first insulation inspection performed. above sets the part of the other of the conductor pattern excluding the conductor pattern and the specific conductor pattern as a fourth object to be inspected was, while the respective inspection point in the fourth object to be inspected at the same potential Based on the resistance value measured by the measurement unit in a state where the inspection signal is supplied between the fourth inspected object and the third inspected object, the fourth inspected object and the 3. A circuit board inspection method for performing a second insulation inspection for inspecting an insulation state between the object to be inspected.
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