JP5430892B2 - Circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method - Google Patents
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本発明は、回路基板の各導体パターン間の絶縁状態および各導体パターンの導通状態を検査する回路基板検査装置および回路基板検査方法に関するものである。 The present invention relates to a circuit board inspection apparatus and a circuit board inspection method for inspecting an insulation state between conductor patterns of a circuit board and a conduction state of each conductor pattern.
この種の回路基板検査装置として、特開2001−66351号公報に開示された回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、フィクスチャおよび接続計測部を備えて、回路基板における各導体パターン(ランドパターン)の導通検査や各導体パターンの間の絶縁検査を実行可能に構成されている。この場合、フィクスチャは、回路基板の各導体パターンに対応する複数のプローブピンがその上面に突出形成された下側フィクスチャと、回路基板の他面に実装された各電子部品間の隙間に対応して複数の当接ピンがその下面に形成されると共に昇降機構によって上下方向に移動させられる上側フィクスチャとで構成されている。この回路基板検査装置では、下側フィクスチャと上側フィクスチャとの間に回路基板を挟み込むことによって下側フィクスチャのプローブピンを各導体パターンに接触させて所定のプローブピンに信号を供給した状態で、接続計測部がプローブピンを介して入力する信号に基づいて各導体パターンの間の絶縁検査や各導体パターンの導通検査を行う。この場合、この種の回路基板検査装置では、絶縁検査および導通検査のいずれか一方を行い、その後に両検査の他方が行われる。 As this type of circuit board inspection apparatus, a circuit board inspection apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-66351 is known. This circuit board inspection apparatus includes a fixture and a connection measurement unit, and is configured to be able to perform a continuity inspection of each conductor pattern (land pattern) on the circuit board and an insulation inspection between the conductor patterns. In this case, the fixture is a gap between a lower fixture in which a plurality of probe pins corresponding to each conductor pattern of the circuit board are formed to protrude on the upper surface and each electronic component mounted on the other surface of the circuit board. Correspondingly, a plurality of contact pins are formed on the lower surface of the contact pin, and the upper fixture is moved up and down by an elevating mechanism. In this circuit board inspection apparatus, the circuit board is sandwiched between the lower fixture and the upper fixture so that the probe pin of the lower fixture is brought into contact with each conductor pattern and a signal is supplied to a predetermined probe pin. Thus, based on a signal input by the connection measuring unit via the probe pin, an insulation inspection between the conductor patterns and a conduction inspection of each conductor pattern are performed. In this case, in this type of circuit board inspection apparatus, one of the insulation inspection and the continuity inspection is performed, and then the other of the both inspections is performed.
一方、数多くの導体パターンを有する回路基板における各導体パターン間の絶縁状態の検査を少ない検査回数で行い得る絶縁検査方法として、バルクショート方式の絶縁検査方法が下記の非特許文献1に開示されている。このバルクショート方式の絶縁検査方法では、回路基板における各導体パターン(ネット)の中から1つの導体パターンを選択し、その1つを除く他の全ての導体パターンで構成される導体パターン群(ネット集合体)における各導体パターンを互いに接続した状態で、上記1つの導体パターンと導体パターン群との間に電圧信号を供給して、その1つの導体パターンと導体パターン群の各導体パターンとの間の抵抗値を測定し、その抵抗値と基準値とを比較して絶縁状態を検査する。このため、このバルクショート方式の絶縁検査方法では、(導体パターン数−1)回の検査を行うことで、全ての導体パターンについて、他の導体パターンとの間の絶縁状態が良好であるか否かを検査することができる結果、検査効率の向上が可能となる。
ところが、上記した回路基板検査装置を含む従来の回路基板検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、従来の回路基板検査装置では、絶縁検査および導通検査の一方を行った後に両検査の他方を行っている。このため、従来の回路基板検査装置には、数多くの導体パターンを有する回路基板に対する検査を行う際には、上記したバルクショート方式の絶縁検査方法によって絶縁検査を行って絶縁検査の時間を短縮したとしても、絶縁検査の前または後に行う導通検査において多くの時間を要する結果、さらなる検査効率の向上が困難であるという問題点が存在する。 However, the conventional circuit board inspection apparatus including the circuit board inspection apparatus described above has the following problems. That is, in the conventional circuit board inspection apparatus, after performing one of the insulation inspection and the continuity inspection, the other of the two inspections is performed. For this reason, in the conventional circuit board inspection apparatus, when inspecting a circuit board having a large number of conductor patterns, the insulation inspection is performed by the above-described bulk short-type insulation inspection method, thereby shortening the insulation inspection time. However, there is a problem that it is difficult to further improve the inspection efficiency as a result of requiring a lot of time in the continuity inspection performed before or after the insulation inspection.
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、数多くの導体パターンを有する回路基板に対する検査の効率を向上し得る回路基板検査装置および回路基板検査方法を提供することを主目的とする。 The present invention has been made in view of the problems to be improved, and it is a main object of the present invention to provide a circuit board inspection apparatus and a circuit board inspection method capable of improving the inspection efficiency for a circuit board having a large number of conductor patterns. And
上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板検査装置は、回路基板における複数の導体パターンに対する検査用信号の供給に伴って生じる物理量に基づいて当該各導体パターン間の絶縁状態および当該各導体パターンの導通状態を検査する検査部を備えた回路基板検査装置であって、前記検査部は、前記複数の導体パターンの一部で構成される第1導体パターン群内の当該導体パターンを互いに接続すると共に当該第1導体パターン群外の前記導体パターンで構成される第2導体パターン群内の当該導体パターンを互いに接続した状態で当該両導体パターン群の間に前記検査用信号としての絶縁検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該第1導体パターン群内の当該導体パターンと当該第2導体パターン群内の当該導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を実行して当該第1絶縁検査において当該絶縁状態が良好と判別したときに、前記両導体パターン群の一方の中から導通検査の対象として選択した導体パターンに前記検査用信号としての導通検査用信号を供給したときに当該導体パターンの両端部に生じる物理量に基づいて当該導通検査対象の導体パターンの導通状態を検査する導通検査と、前記両導体パターン群の他方の中から第2絶縁検査の対象として選択した1つの導体パターンと前記導通検査対象の導体パターンとを除く他の全ての前記導体パターンのうちの当該他方の導体パターン群内に含まれる全ての導体パターンを少なくとも含む導体パターンで構成される第3導体パターン群内の当該各導体パターンを互いに接続した状態で当該第2絶縁検査対象の導体パターンと当該第3導体パターン群との間に前記絶縁検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該第2絶縁検査対象の導体パターンと当該第3導体パターン群内の当該導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査とを並行して実行する。
In order to achieve the above object, the circuit board inspection apparatus according to
また、請求項2記載の回路基板検査装置は、請求項1記載の回路基板検査装置において、前記検査部は、前記第2絶縁検査において、前記第2絶縁検査対象として選択した導体パターンと前記導通検査対象の導体パターンとを除く他の全ての前記導体パターンで構成される前記第3導体パターン群内の当該導体パターンと当該第2絶縁検査対象として選択した導体パターンとの間の絶縁状態を検査する。
The circuit board inspection apparatus according to
また、請求項3記載の回路基板検査装置は、請求項1記載の回路基板検査装置において、前記検査部は、前記第2絶縁検査において、前記他方の導体パターン群内における前記第2絶縁検査対象として選択した導体パターン以外の全ての導体パターンのみで構成される前記第3導体パターン群内の当該導体パターンと当該第2絶縁検査対象として選択した導体パターンとの間の絶縁状態を検査する。
The circuit board inspection apparatus according to claim 3 is the circuit board inspection apparatus according to
また、請求項4記載の回路基板検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載の回路基板検査装置において、前記導体パターンの数を特定可能な導体パターンデータを記憶する記憶部を備え、前記検査部は、前記導体パターンデータに基づき、前記各導体パターン群を特定すると共に、前記導通検査対象の導体パターンおよび前記第2絶縁検査対象の導体パターンを選択する。
Further, the circuit board inspection apparatus according to claim 4 includes a storage unit that stores conductor pattern data capable of specifying the number of the conductor patterns in the circuit board inspection apparatus according to any one of
また、請求項5記載の回路基板検査方法は、回路基板における複数の導体パターンに対する検査用信号の供給に伴って生じる物理量に基づいて当該各導体パターン間の絶縁状態および当該各導体パターンの導通状態を検査する回路基板検査方法であって、前記複数の導体パターンの一部で構成される第1導体パターン群内の当該導体パターンを互いに接続すると共に当該第1導体パターン群外の前記導体パターンで構成される第2導体パターン群内の当該導体パターンを互いに接続した状態で当該両導体パターン群の間に前記検査用信号としての絶縁検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該第1導体パターン群内の当該導体パターンと当該第2導体パターン群内の当該導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を実行して当該第1絶縁検査において当該絶縁状態が良好と判別したときに、前記両導体パターン群の一方の中から導通検査の対象として選択した導体パターンに前記検査用信号としての導通検査用信号を供給したときに当該導体パターンの両端部に生じる物理量に基づいて当該導通検査対象の導体パターンの導通状態を検査する導通検査と、前記両導体パターン群の他方の中から第2絶縁検査の対象として選択した1つの導体パターンと前記導通検査対象の導体パターンとを除く他の全ての前記導体パターンのうちの当該他方の導体パターン群内に含まれる全ての導体パターンを少なくとも含む導体パターンで構成される第3導体パターン群内の当該各導体パターンを互いに接続した状態で当該第2絶縁検査対象の導体パターンと当該第3導体パターン群との間に前記絶縁検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該第2絶縁検査対象の導体パターンと当該第3導体パターン群内の当該導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査とを並行して実行する。 The circuit board inspection method according to claim 5 is an insulating state between the conductor patterns and a conduction state of the conductor patterns based on a physical quantity that is generated in response to the supply of the inspection signal to the plurality of conductor patterns on the circuit board. A circuit board inspection method for inspecting a circuit board, wherein the conductor patterns in a first conductor pattern group constituted by a part of the plurality of conductor patterns are connected to each other and the conductor patterns outside the first conductor pattern group are connected to each other. Based on a physical quantity generated when an insulation inspection signal as the inspection signal is supplied between the two conductor pattern groups in a state where the conductor patterns in the second conductor pattern group to be configured are connected to each other. the first insulating inspection for inspecting an insulation state between the corresponding conductor pattern of the and the conductor pattern of the conductive pattern in the group in the second conductive pattern group When executed by the insulating state in the first insulation test is determined to good, the continuity test signal as one the inspection signal to the selected conductive pattern as a target of the continuity test from among the two conductive pattern group A continuity test for inspecting the continuity state of the conductor pattern to be inspected on the basis of physical quantities generated at both ends of the conductor pattern when the first and second conductor patterns are supplied; all conductor patterns included in the other conductor patterns within a group of all other of the conductor pattern excluding the conductor pattern of the selected one of the conductor patterns the conducting test object consists of at least comprises conductive pattern as that the third conductor pattern the second insulating inspected conductors in a state where the connecting the respective conductive patterns to each other in the group pattern and the third The insulation state between the conductor pattern of the second insulation inspection target and the conductor pattern in the third conductor pattern group based on the physical quantity generated when the insulation inspection signal is supplied to the body pattern group. The second insulation inspection to be inspected is executed in parallel.
請求項1記載の回路基板検査装置、および請求項5記載の回路基板検査方法では、第1導体パターン群内の導体パターンと第2導体パターン群内の導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査において絶縁状態が良好と判別したときに、両導体パターン群の一方の中から選択した1つの導通検査対象の導体パターンの導通状態を検査する導通検査と、両導体パターン群の他方の中から選択した1つの第2絶縁検査対象の導体パターンと導通検査対象の導体パターンとを除く他の全ての導体パターンのうちの他方の導体パターン群内に含まれる全ての導体パターンを少なくとも含む導体パターンで構成される第3導体パターン群内の導体パターンと第2絶縁検査対象の導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査とを並行して実行する。このため、この回路基板検査装置および回路基板検査方法によれば、絶縁検査および導通検査の一方を行った後に両検査の他方を実行する従来の回路基板検査装置と比較して、導通検査および第2絶縁検査を並行して行う時間の分だけ、全体としての検査時間を短縮することができる。したがって、この回路基板検査装置および回路基板検査方法によれば、数多くの導体パターンを有する回路基板に対する検査を行う際の検査効率を十分に向上させることができる。
The circuit board inspection apparatus according to
また、請求項2記載の回路基板検査装置では、検査部が、第2絶縁検査において、第2絶縁検査対象として選択した導体パターンと導通検査対象の導体パターンとを除く他の全ての導体パターンで構成される第3導体パターン群内の導体パターンと第2絶縁検査対象として選択した導体パターンとの間の絶縁状態を検査する。このため、この回路基板検査装置によれば、バルクショート方式の絶縁検査による良否結果と同じ良否結果を第2絶縁検査において得ることができる。
In the circuit board inspection apparatus according to
また、請求項3記載の回路基板検査装置では、検査部が、第2絶縁検査において、他方の導体パターン群(第2絶縁検査対象として選択した導体パターンが属する導体パターン群)内における第2絶縁検査対象として選択した導体パターン以外の全ての導体パターンのみで構成される第3導体パターン群内の導体パターンと第2絶縁検査対象として選択した導体パターンとの間の絶縁状態を検査する。このため、この回路基板検査装置によれば、例えば、第2絶縁検査対象の導体パターンが属していない導体パターン群内の全ての導体パターンを互いに接続(直列接続)した状態で導通検査を行うことができ、このように行うことで、少ない回数で全ての導体パターンの導通状態を検査することができる。 The circuit board inspection apparatus according to claim 3, wherein the inspection unit performs the second insulation in the other conductor pattern group (the conductor pattern group to which the conductor pattern selected as the second insulation inspection target belongs) in the second insulation inspection. inspecting the insulation state between the conductor pattern and the selected conductive pattern as a second insulating inspected third conductive pattern in the group constituted only with all of the conductor pattern other than the conductor pattern selected as the inspection target. For this reason, according to this circuit board inspection apparatus, for example, the continuity test is performed in a state where all the conductor patterns in the conductor pattern group to which the conductor pattern to be subjected to the second insulation inspection does not belong are connected to each other (in series connection). By performing in this way, the conductive state of all the conductor patterns can be inspected with a small number of times.
また、請求項4記載の回路基板検査装置では、検査部が、記憶部に記憶されている導体パターンデータに基づき、各導体パターン群を特定すると共に導通検査対象の導体パターンおよび第2絶縁検査対象の導体パターンを選択する。このため、この回路基板検査装置によれば、使用者によるこれらの特定作業や選択作業を不要とすることができる結果、このような機能を有していない回路基板検査装置と比較して、検査効率をさらに向上させることができる。 In the circuit board inspection apparatus according to claim 4, the inspection unit specifies each conductor pattern group based on the conductor pattern data stored in the storage unit, and the conductor pattern to be subjected to continuity inspection and the second insulation inspection target. Select the conductor pattern. For this reason, according to this circuit board inspection apparatus, it is possible to eliminate the need for these specific work and selection work by the user. Efficiency can be further improved.
以下、本発明に係る回路基板検査装置および回路基板検査方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。 The best mode of a circuit board inspection apparatus and a circuit board inspection method according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
最初に、回路基板検査装置1の構成について説明する。図1に示す回路基板検査装置1は、本発明に係る回路基板検査装置の一例であって、例えば、一面に形成された複数の導体パターンP1〜P10(図2参照:以下、区別しないときには「導体パターンP」ともいう)を有する回路基板100における各導体パターンP間の絶縁状態および各導体パターンPの導通状態を本発明に係る回路基板検査方法に従って検査可能に構成されている。具体的には、回路基板検査装置1は、図1に示すように、基板保持部2、プローブユニット3、移動機構4および検査部5を備えて構成されている。
First, the configuration of the circuit
基板保持部2は、保持板と、保持板に取り付けられて回路基板100の端部を挟み込んで固定するクランプ機構(いずれも図示せず)とを備えて、回路基板100を保持可能に構成されている。プローブユニット3は、複数のプローブピン21を備えて治具型に構成されている。この場合、プローブユニット3は、回路基板100の各導体パターンPに設けられている電気部品接続用の接続点H(図2参照)の位置に応じて、プローブピン21の数や配列パターンが規定されている。移動機構4は、制御部15の制御に従い、上下方向にプローブユニット3を移動させることによってプロービングを実行する。
The
検査部5は、図1に示すように、スキャナ部11、検査用信号生成部12、測定部13、記憶部14および制御部15を備えて構成されている。スキャナ部11は、複数のスイッチ(図示せず)を備えて構成され、制御部15の制御に従って各スイッチをオン状態またはオフ状態に移行させることにより、プローブユニット3におけるプローブピン21と検査用信号生成部12との接断(接続および切断)、およびプローブピン21と測定部13との接断を行う。検査用信号生成部12は、電圧信号生成回路31および電流信号生成回路32を備えて構成されている。この場合、電圧信号生成回路31は、制御部15の制御に従い、検査用信号Sとしての電圧信号S1(本発明における絶縁検査用信号であって、一例として、直流電圧)を生成する。また、電流信号生成回路32は、制御部15の制御に従い、電流信号S2(本発明における導通検査用信号であって、一例として、直流電流)を生成する。
As shown in FIG. 1, the inspection unit 5 includes a scanner unit 11, an inspection
測定部13は、電圧信号S1の供給に伴って導体パターンP間に流れる電流(本発明における物理量の一例)を測定する。また、測定部13は、電流信号S2の供給に伴って導体パターンPの両端部間(両接続点H,H間)に生じる電圧(本発明における物理量の一例)を測定する。記憶部14は、制御部15によって実行される検査処理50(図3参照)において用いられる導体パターンデータD1を記憶する。また、記憶部14は、測定部13によって測定された測定値、および制御部15によって実行される検査の結果を記憶する。この場合、導体パターンデータD1は、回路基板100における導体パターンPの数や、各導体パターンPに設けられている接続点Hの位置に関する情報等を含んで構成されている。
The measuring
制御部15は、図外の操作部から出力される操作信号に従って移動機構4および検査部5を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部15は、移動機構4によるプローブユニット3の移動を制御する。また、制御部15は、検査用信号生成部12による検査用信号S(電圧信号S1および電流信号S2)の生成を制御すると共にスキャナ部11による接断処理を制御することにより、回路基板100の導体パターンPに対して検査用信号Sを供給させる。また、制御部15は、検査処理50において、後にそれぞれ詳述する、第1絶縁検査、導通検査および第2絶縁検査を実行する。
The
次に、回路基板検査装置1を用いて本発明に係る回路基板検査方法に従い、回路基板100における各導体パターンP間の絶縁状態および各導体パターンPの導通状態を検査する方法、およびその際の回路基板検査装置1の動作について、図面を参照して説明する。
Next, according to the circuit board inspection method according to the present invention using the circuit
まず、検査対象の回路基板100を基板保持部2における保持板(図示せず)に載置し、次いで、基板保持部2のクランプ機構(図示せず)で回路基板100の端部を挟み込んで固定することにより、回路基板100を基板保持部2に保持させる。続いて、図外の操作部を用いて検査開始操作を行う。この際に、制御部15が、操作部から出力された操作信号に従い、移動機構4を制御してプローブユニット3を下向きに移動させる。これにより、プローブユニット3の各プローブピン21の先端部が各導体パターンPの各接続点Hに接触(プロービング)させられる。
First, the
次いで、制御部15は、図3に示す検査処理50を実行する。この検査処理50では、制御部15は、記憶部14から導体パターンデータD1を読み出す(ステップ51)。続いて、制御部15は、第1絶縁検査を1回だけ実行する(ステップ52)。この第1絶縁検査では、制御部15は、回路基板100における導体パターンPの数や、各導体パターンPに設けられている接続点Hの位置を導体パターンデータD1に基づいて特定する。次いで、制御部15は、各導体パターンPを第1導体パターン群Gfおよび第2導体パターン群Gs(図2参照:以下、第1導体パターン群Gfおよび第2導体パターン群Gsを区別しないときには「導体パターン群G」ともいう)に区分けする(グループ化する)。この場合、制御部15は、例えば、同図に示すように、導体パターンP1〜P5(各導体パターンPの一部)で構成される導体パターン群Gを第1導体パターン群Gfとし、導体パターンP6〜P10(第1導体パターン群Gf群外の導体パターンP)で構成される導体パターン群Gを第2導体パターン群Gsとする。
Next, the
続いて、制御部15は、検査用信号生成部12の電圧信号生成回路31を制御して電圧信号S1を生成させる。次いで、制御部15は、スキャナ部11を制御して、第1導体パターン群Gf内の導体パターンPの各接続点Hに接触しているプローブピン21と電圧信号生成回路31とを接続する。また、制御部15は、スキャナ部11を制御して、第2導体パターン群Gs内の導体パターンPの各接続点Hに接触しているプローブピン21をグランド電位に接続する。これにより、第1導体パターン群Gf群内の各導体パターンPが互いに接続されると共に、第2導体パターン群Gs内の各導体パターンPが互いに接続された状態で、両導体パターン群Gの間に電圧信号S1が供給(印加)される。
Subsequently, the
続いて、制御部15は、測定部13に対して、電圧信号S1の供給に伴って第1導体パターン群Gfと第2導体パターン群Gsとの間に流れる電流を測定させる。次いで、制御部15は、測定部13によって測定された電流の測定値および電圧信号S1の電圧値に基づいて抵抗値を算出し、その抵抗値と所定の基準値とを比較して第1導体パターン群Gf内の導体パターンPと第2導体パターン群Gs内の導体パターンPとの間の絶縁状態を検査する。
Subsequently, the
続いて、制御部15は、上記した第1絶縁検査において、検査した絶縁状態の良否を判別する(ステップ53)。この場合、制御部15は、第1検査において、第1導体パターン群Gf内の導体パターンPと第2導体パターン群Gs内の導体パターンPとの間の絶縁状態が不良である(良好ではない)と判別したときには、その旨を図外の表示部に表示させて検査処理50を終了する。
Subsequently, the
一方、制御部15は、ステップ53において、第1導体パターン群Gf内の導体パターンPと第2導体パターン群Gs内の導体パターンPとの間の絶縁状態が良好であると判別したときには、導通検査を実行する(ステップ54)。この導通検査では、制御部15は、検査用信号生成部12の電流信号生成回路32を制御して電流信号S2を生成させる。次いで、制御部15は、導体パターンデータD1に基づき、図4に示すように、両導体パターン群Gの一方(例えば、第2導体パターン群Gs)の中から、導通検査の対象としての1つの導体パターンP(例えば、導体パターンP10:以下「導通検査対象パターンPc」ともいう)を選択する。続いて、制御部15は、スキャナ部11を制御して、選択した導通検査対象パターンPcの一端部の接続点Hに接触しているプローブピン21と電流信号生成回路32とを接続すると共に、導通検査対象パターンPcの他端部の接続点Hに接触しているプローブピン21をグランド電位に接続する。これにより、導通検査対象パターンPcに電流信号S2が供給される。
On the other hand, when the
次いで、制御部15は、測定部13に対して、電流信号S2の供給に伴って導通検査対象パターンPcの両端(両接続点H,H間)に生じる電圧を測定させる。続いて、制御部15は、測定部13によって測定された電圧の測定値および電流信号S2の電流値に基づいて抵抗値を算出し、その抵抗値と所定の基準値とを比較して導通検査対象パターンPcの導電状態を検査する。
Next, the
また、制御部15は、上記した導通検査に並行して第2絶縁検査を実行する(ステップ55)。この第2絶縁検査では、制御部15は、導体パターンデータD1に基づき、図4に示すように、両導体パターン群Gの他方(この例では、第1導体パターン群Gf)の中から第2絶縁検査の対象としての1つの導体パターンP(例えば、導体パターンP1:以下「第2絶縁検査対象パターンPi」ともいう)を選択する。次いで、制御部15は、導体パターンデータD1に基づき、同図に示すように、選択した第2絶縁検査対象パターンPi(この例では、導体パターンP1)および上記した導通検査対象パターンPc(この例では、導体パターンP10)を除く他の導体パターンPの全部(本発明における「他の導体パターンの一部または全部であってかつ他方の導体パターン群内の全ての導体パターンを含む導体パターン」の一例であって、この例では、導体パターンP2〜P9)で構成される導体パターン群Gを第3導体パターン群Gtとして特定する。
In addition, the
続いて、制御部15は、検査用信号生成部12の電圧信号生成回路31を制御して電圧信号S1を生成させる。次いで、制御部15は、スキャナ部11を制御して、第2絶縁検査対象パターンPiの接続点Hに接触しているプローブピン21と電圧信号生成回路31とを接続する。また、制御部15は、スキャナ部11を制御して、第3導体パターン群Gt内の導体パターンP2〜P9の各接続点Hに接触しているプローブピン21をグランド電位に接続する。これにより、第3導体パターン群Gt内の各導体パターンPが互いに接続された状態で、第2絶縁検査対象パターンPiと第3導体パターン群Gt(詳しくは第3導体パターン群Gt内の各導体パターンP)との間に電圧信号S1が供給(印加)される。
Subsequently, the
続いて、制御部15は、測定部13に対して、電圧信号S1の供給に伴って第2絶縁検査対象パターンPiと第3導体パターン群Gtとの間に流れる電流を測定させる。次いで、制御部15は、測定部13によって測定された電流の測定値および電圧信号S1の電圧値に基づいて抵抗値を算出し、その抵抗値と所定の基準値とを比較して、第2絶縁検査対象パターンPiと第3導体パターン群Gt内の導体パターンPとの間の絶縁状態を検査する。
Subsequently, the
続いて、制御部15は、導通検査対象パターンPcを他の導体パターンPに変更して上記した導通検査を順次実行すると共に、これに並行して、第2絶縁検査対象パターンPiを他の導体パターンPに変更して上記した第2絶縁検査を順次実行する。具体的には、制御部15は、例えば図4に示すように、導通検査対象パターンPcとして、導体パターンP9、導体パターンP8・・・導体パターンP1の順に導体パターンPを順次選択して導通検査を実行すると共に、第2絶縁検査対象パターンPiとして、導体パターンP2、導体パターンP3・・・導体パターンP10の順に導体パターンPを順次選択して第2絶縁検査を実行する。この場合、制御部15は、同図に示すように、導通検査対象パターンPcを第2導体パターン群Gsの中から選択したときには第2絶縁検査対象パターンPiを第1導体パターン群Gfの中から選択し、導通検査対象パターンPcを第1導体パターン群Gfの中から選択したときには、第2絶縁検査対象パターンPiを第2導体パターン群Gsの中から選択する。つまり、制御部15は、導通検査対象パターンPcおよび第2絶縁検査対象パターンPiを互いに異なる導体パターン群Gの中から選択する。
Subsequently, the
ここで、従来から知られているバルクショート方式の絶縁検査方法では、回路基板100における各導体パターンPの中から選択した1つの導体パターンPと、その1つを除く他の全ての導体パターンPで構成される導体パターン群との間の検査を行うため、この検査に並行して導通検査を行うことはできない。一方、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、第1絶縁検査において第1導体パターン群Gf内の導体パターンPと第2導体パターン群Gs内の導体パターンPとの間の絶縁状態が良好なときに第2絶縁検査を実行している。このため、第2絶縁検査の実行時においては、互いに異なる導体パターン群Gの中から選択した導通検査対象パターンPcと第2絶縁検査対象パターンPiとの間の絶縁状態が良好であることが既に確認されており、上記したように第3導体パターン群Gtから導通検査対象パターンPcを除いたとしても、バルクショート方式の絶縁検査による良否結果と同じ良否結果を第2絶縁検査において得ることができる。この場合、バルクショート方式の絶縁検査と同様にして少ない回数で全ての導体パターンについて、他の導体パターンとの間の絶縁状態が良好であるか否かを検査することができる。したがって、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、第3導体パターン群Gtから除いた導通検査対象パターンPcに対する導通検査を、第2絶縁検査と並行して行うことができ、この結果、導通検査と第2絶縁検査とを並行して行う時間の分だけ全体としての検査時間を短縮することが可能となっている。
Here, in a conventionally known bulk short type insulation inspection method, one conductor pattern P selected from each conductor pattern P on the
次いで、制御部15は、全ての導体パターンPについての導通検査および第2絶縁検査を終了したときには、導通検査において検査した導通状態の良否を判別して、その結果を図外の表示部に表示させると共に、第2絶縁検査において検査した絶縁状態の良否を判別して、その結果を図外の表示部に表示させて検査処理50を終了する。この場合、各導体パターンP毎に導通状態の良否を判別して導通状態が不良と判別した時点で検査処理50を終了したり、各導体パターンP毎に絶縁状態の良否を判別して絶縁状態が不良と判別した時点で検査処理50を終了する構成および方法を採用することもできる。
Next, when the continuity test and the second insulation test for all the conductor patterns P are completed, the
このように、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、第1導体パターン群Gf内の導体パターンPと第2導体パターン群Gs内の導体パターンPとの間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を1回だけ実行して絶縁状態が良好と判別したときに、両導体パターン群Gf,Gsの一方の中から選択した1つの導通検査対象パターンPcの導通状態を検査する導通検査と、両導体パターン群Gf,Gsの他方の中から選択した1つの第2絶縁検査対象パターンPiおよび導通検査対象パターンPcを除く他の導体パターンPの一部または全部であってかつ第2絶縁検査対象パターンPiの属する導体パターン群G内の全ての導体パターンPを含む導体パターンPで構成される第3導体パターン群Gt内の導体パターンPと第2絶縁検査対象パターンPiとの間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査とを並行して実行する。このため、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法によれば、絶縁検査および導通検査の一方を行った後に両検査の他方を実行する従来の回路基板検査装置と比較して、導通検査および第2絶縁検査を並行して行う時間の分だけ、全体としての検査時間を短縮することができる。したがって、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法によれば、数多くの導体パターンPを有する回路基板に対する検査を行う際の検査効率を十分に向上させることができる。
As described above, in the circuit
また、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法では、第2絶縁検査において、第2絶縁検査対象パターンPiおよび導通検査対象パターンPcを除く他の導体パターンPの全部で構成される第3導体パターン群Gt内の導体パターンPと第2絶縁検査対象パターンPiとの間の絶縁状態を検査する。このため、この回路基板検査装置1および回路基板検査方法によれば、バルクショート方式の絶縁検査による良否結果と同じ良否結果を第2絶縁検査において得ることができる。
In the circuit
また、この回路基板検査装置1では、制御部15が、記憶部14に記憶されている導体パターンデータD1に基づいて各導体パターン群Gf,Gs,Gtを特定すると共に導通検査対象パターンPcおよび第2絶縁検査対象パターンPiを選択する。このため、この回路基板検査装置1によれば、使用者によるこれらの特定作業や選択作業を不要とすることができる結果、このような機能を有していない回路基板検査装置と比較して、検査効率をさらに向上させることができる。
Further, in this circuit
なお、本発明は、上記した構成および方法(以下、上記した構成および方法を「第1の構成および方法」ともいう)に限定されない。例えば、第2絶縁検査対象パターンPiおよび導通検査対象パターンPcを除く他の導体パターンPの全部で構成される導体パターン群G、つまり第1導体パターン群Gf内の各導体パターンPおよび第2導体パターン群Gs内の各導体パターンPの双方で構成される導体パターン群Gを第3導体パターン群Gtとして特定する例について上記したが、第2絶縁検査対象パターンPiが属している導体パターン群G内の導体パターンPのみで構成される導体パターン群Gを第3導体パターン群Gtとして特定する構成および方法(以下、この構成および方法を「第2の構成および方法」ともいう)を採用することもできる。 The present invention is not limited to the above-described configuration and method (hereinafter, the above-described configuration and method are also referred to as “first configuration and method”). For example, the conductor pattern group G composed of all of the conductor patterns P other than the second insulation inspection target pattern Pi and the continuity inspection target pattern Pc, that is, each conductor pattern P and the second conductor in the first conductor pattern group Gf. Although the example in which the conductor pattern group G configured by both the conductor patterns P in the pattern group Gs is specified as the third conductor pattern group Gt has been described above, the conductor pattern group G to which the second insulation inspection target pattern Pi belongs. Adopting a configuration and method (hereinafter, this configuration and method are also referred to as “second configuration and method”) that specify a conductor pattern group G composed only of the inner conductor pattern P as the third conductor pattern group Gt. You can also.
この第2の構成および方法では、制御部15が、第2絶縁検査において、図5に示すように、選択した第2絶縁検査対象パターンPi(例えば、導体パターンP1)が属している導体パターン群G(本発明における他方の導体パターン群であって、この例では、第1導体パターン群Gf)内の各導体パターンPのうちの、第2絶縁検査対象パターンPiを除く全ての導体パターンP(この例では、導体パターンP2〜P5)のみで構成される導体パターン群Gを第3導体パターン群Gtとして特定する。次いで、制御部15は、上記した第1の構成および方法と同様にして、検査用信号生成部12およびスキャナ部11を制御することによって第2絶縁検査対象パターンPiと第3導体パターン群Gtとの間に電圧信号S1を供給させると共に、第2絶縁検査対象パターンPiと第3導体パターン群Gt内の導体パターンPとの間の絶縁状態を検査する。
In the second configuration and method, as shown in FIG. 5, the
続いて、制御部15は、導通検査対象パターンPcを他の導体パターンPに変更して上記した導通検査を順次実行すると共に、これに並行して、第2絶縁検査対象パターンPiを他の導体パターンPに変更して上記した第2絶縁検査を順次実行する。具体的には、制御部15は、例えば図5に示すように、導通検査対象パターンPcとして、導体パターンP9、導体パターンP8・・・導体パターンP1の順に導体パターンPを順次選択して導通検査を実行すると共に、第2絶縁検査対象パターンPiとして、導体パターンP2、導体パターンP3・・・導体パターンP10の順に導体パターンPを順次選択して第2絶縁検査を実行する。この場合、制御部15は、同図に示すように、導通検査対象パターンPcを第2導体パターン群Gsの中から選択したときには、第2絶縁検査対象パターンPiを第1導体パターン群Gfの中から選択すると共に、第1導体パターン群Gf内の各導体パターンPのうちの第2絶縁検査対象パターンPiを除く全ての導体パターンPのみで構成される導体パターン群Gを第3導体パターン群Gtとして特定する。また、制御部15は、導通検査対象パターンPcを第1導体パターン群Gfの中から選択したときには、第2絶縁検査対象パターンPiを第2導体パターン群Gsの中から選択すると共に、第2導体パターン群Gs内の各導体パターンPのうちの第2絶縁検査対象パターンPiを除く全ての導体パターンPのみで構成される導体パターン群Gを第3導体パターン群Gtとして特定する。
Subsequently, the
この場合、この第2の構成および方法においても、第1絶縁検査において第1導体パターン群Gf内の導体パターンPと第2導体パターン群Gs内の導体パターンPとの間の絶縁状態が良好なときに第2絶縁検査を実行している。このため、第2絶縁検査の実行時においては、第1導体パターン群Gf内の導体パターンPと第2導体パターン群Gs内の導体パターンPとの間の絶縁状態が良好であることが既に確認されており、上記したように、第2絶縁検査対象パターンPiが属している導体パターン群G内の導体パターンPのみで第3導体パターン群Gtを構成したとしても(第2絶縁検査対象パターンPiが属していない導体パターン群G内の導体パターンPを第3導体パターン群Gtから除いたとしても)、第2絶縁検査対象パターンPiを変更して第2絶縁検査を順次実行することで、全ての導体パターンPについての絶縁状態を検査することができる。したがって、この第2の構成および方法においても、第3導体パターン群Gtから除いた導通検査対象パターンPcに対する導通検査を、第2絶縁検査と並行して行うことができ、この結果、導通検査と第2絶縁検査とを並行して行う時間の分だけ全体としての検査時間を短縮することができる。 In this case, also in the second configuration and method, the insulation state between the conductor pattern P in the first conductor pattern group Gf and the conductor pattern P in the second conductor pattern group Gs is good in the first insulation inspection. Sometimes a second insulation test is performed. For this reason, at the time of execution of the second insulation test, it has already been confirmed that the insulation state between the conductor pattern P in the first conductor pattern group Gf and the conductor pattern P in the second conductor pattern group Gs is good. As described above, even if the third conductor pattern group Gt is configured only by the conductor pattern P in the conductor pattern group G to which the second insulation inspection target pattern Pi belongs (second insulation inspection target pattern Pi). Even if the conductor pattern P in the conductor pattern group G that does not belong to is excluded from the third conductor pattern group Gt), the second insulation inspection target pattern Pi is changed and the second insulation inspection is sequentially executed. The insulation state of the conductor pattern P can be inspected. Therefore, also in the second configuration and method, the continuity test for the continuity test target pattern Pc excluded from the third conductor pattern group Gt can be performed in parallel with the second insulation test. The inspection time as a whole can be shortened by the time for performing the second insulation inspection in parallel.
なお、上記した第2の構成および方法では、第2絶縁検査対象パターンPiが属していない導体パターン群G(両導体パターン群Gf,Gsのいずれか一方)内の全ての導体パターンPを互いに接続(直列接続)した状態で導通検査を行うこともでき、このように行うことで、少ない回数で全ての導体パターンPの導通状態を検査することができる。 In the second configuration and method described above, all the conductor patterns P in the conductor pattern group G (one of the two conductor pattern groups Gf and Gs) to which the second insulation inspection target pattern Pi does not belong are connected to each other. The continuity test can also be performed in a (serial connection) state. By performing in this way, the continuity state of all the conductor patterns P can be inspected with a small number of times.
また、上記した第1,2の構成および方法において、上記の非特許文献1に開示されているマルチプル方式で第2絶縁検査を行うこともでき、この方式で行うことで、少ない回数で全ての導体パターンPの絶縁状態を検査することができる。
In the first and second configurations and methods described above, the second insulation test can be performed by the multiple method disclosed in
さらに、10個の導体パターンPを有する回路基板100に対する検査を行う例について上記したが、任意の複数の導体パターンPを有する回路基板100に対する検査を行う際にも上記と同様の効果を実現することができる。また、第1絶縁検査において、互いに同じ数の導体パターンPで第1導体パターン群Gfおよび第2導体パターン群Gsを構成した(互いに同じ数となるように導体パターンPを区分けした)例について上記したが、互いに異なる数の導体パターンPで両導体パターン群Gf,Gsを構成しても良い。
Furthermore, although the example in which the
また、一面に導体パターンPが形成された回路基板100に対する検査を実行可能に構成した回路基板検査装置1を例に挙げて説明したが、一対のプローブユニット3を備えて、両面に導体パターンPが形成された回路基板に対する上記の検査を実行可能に構成した回路基板検査装置に適用することもできる。また、多層の回路基板を検査可能に構成された回路基板検査装置に適用することもできる。さらに、プローブユニット3に代えて、複数のプローブピンを移動させて検査用信号Sを供給すべき導体パターンPの接続点Hにプローブピンを接触させるフライングプローブタイプの回路基板検査装置に適用することもできる。
Further, the circuit
1 回路基板検査装置
5 検査部
14 記憶部
100 回路基板
D1 導体パターンデータ
Gf 第1導体パターン群
Gs 第2導体パターン群
Gt 第3導体パターン群
H 接続点
P 導体パターン
Pc 導通検査対象パターン
Pi 第2絶縁検査対象パターン
S 検査用信号
S1 電圧信号
S2 電流信号
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記検査部は、前記複数の導体パターンの一部で構成される第1導体パターン群内の当該導体パターンを互いに接続すると共に当該第1導体パターン群外の前記導体パターンで構成される第2導体パターン群内の当該導体パターンを互いに接続した状態で当該両導体パターン群の間に前記検査用信号としての絶縁検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該第1導体パターン群内の当該導体パターンと当該第2導体パターン群内の当該導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を実行して当該第1絶縁検査において当該絶縁状態が良好と判別したときに、前記両導体パターン群の一方の中から導通検査の対象として選択した導体パターンに前記検査用信号としての導通検査用信号を供給したときに当該導体パターンの両端部に生じる物理量に基づいて当該導通検査対象の導体パターンの導通状態を検査する導通検査と、前記両導体パターン群の他方の中から第2絶縁検査の対象として選択した1つの導体パターンと前記導通検査対象の導体パターンとを除く他の全ての前記導体パターンのうちの当該他方の導体パターン群内に含まれる全ての導体パターンを少なくとも含む導体パターンで構成される第3導体パターン群内の当該各導体パターンを互いに接続した状態で当該第2絶縁検査対象の導体パターンと当該第3導体パターン群との間に前記絶縁検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該第2絶縁検査対象の導体パターンと当該第3導体パターン群内の当該導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査とを並行して実行する回路基板検査装置。 A circuit board inspection apparatus provided with an inspection unit for inspecting an insulation state between each conductor pattern and a conduction state of each conductor pattern based on a physical quantity caused by supplying inspection signals to a plurality of conductor patterns on the circuit board. There,
The inspection unit connects the conductor patterns in the first conductor pattern group constituted by a part of the plurality of conductor patterns to each other and the second conductor constituted by the conductor patterns outside the first conductor pattern group. Based on a physical quantity generated when an insulation inspection signal as the inspection signal is supplied between the two conductor pattern groups in a state in which the conductor patterns in the pattern group are connected to each other, the elements in the first conductor pattern group When the first insulation inspection is performed to inspect the insulation state between the conductor pattern and the conductor pattern in the second conductor pattern group and the insulation state is determined to be good in the first insulation inspection , the both When a continuity test signal as the test signal is supplied to a conductor pattern selected as a continuity test target from one of the conductor pattern groups, the conductor pattern Wherein a continuity test for checking the conduction state of the conductor pattern of the conductive test object on the basis of the physical quantity occurring in the end portions, wherein the one conductor pattern selected from among the other two conductive pattern group as the target of the second insulation test The third conductor pattern group in the third conductor pattern group composed of a conductor pattern including at least all the conductor patterns included in the other conductor pattern group among all the other conductor patterns other than the conductor pattern to be inspected for continuity. the second insulation test on the basis of the physical quantity generated when supplying the insulation test signal between the second insulating inspected conductors pattern and the third conductive pattern group in a state of connecting the respective conductive patterns to each other The second insulation test for inspecting the insulation state between the target conductor pattern and the conductor pattern in the third conductor pattern group is executed in parallel. Road board inspection apparatus.
前記検査部は、前記導体パターンデータに基づき、前記各導体パターン群を特定すると共に、前記導通検査対象の導体パターンおよび前記第2絶縁検査対象の導体パターンを選択する請求項1から3のいずれかに記載の回路基板検査装置。 A storage unit for storing conductor pattern data capable of specifying the number of the conductor patterns;
4. The inspection unit according to claim 1, wherein the inspection unit specifies each conductor pattern group based on the conductor pattern data, and selects the conductor pattern to be subjected to continuity inspection and the conductor pattern to be subjected to second insulation inspection. Circuit board inspection device according to claim 1.
前記複数の導体パターンの一部で構成される第1導体パターン群内の当該導体パターンを互いに接続すると共に当該第1導体パターン群外の前記導体パターンで構成される第2導体パターン群内の当該導体パターンを互いに接続した状態で当該両導体パターン群の間に前記検査用信号としての絶縁検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該第1導体パターン群内の当該導体パターンと当該第2導体パターン群内の当該導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を実行して当該第1絶縁検査において当該絶縁状態が良好と判別したときに、前記両導体パターン群の一方の中から導通検査の対象として選択した導体パターンに前記検査用信号としての導通検査用信号を供給したときに当該導体パターンの両端部に生じる物理量に基づいて当該導通検査対象の導体パターンの導通状態を検査する導通検査と、前記両導体パターン群の他方の中から第2絶縁検査の対象として選択した1つの導体パターンと前記導通検査対象の導体パターンとを除く他の全ての前記導体パターンのうちの当該他方の導体パターン群内に含まれる全ての導体パターンを少なくとも含む導体パターンで構成される第3導体パターン群内の当該各導体パターンを互いに接続した状態で当該第2絶縁検査対象の導体パターンと当該第3導体パターン群との間に前記絶縁検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該第2絶縁検査対象の導体パターンと当該第3導体パターン群内の当該導体パターンとの間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査とを並行して実行する回路基板検査方法。 A circuit board inspection method for inspecting an insulation state between each conductor pattern and a conduction state of each conductor pattern based on a physical quantity generated along with supply of an inspection signal for a plurality of conductor patterns on a circuit board,
The conductor patterns in the first conductor pattern group composed of a part of the plurality of conductor patterns are connected to each other and the conductor patterns in the second conductor pattern group composed of the conductor patterns outside the first conductor pattern group are connected. The conductor pattern in the first conductor pattern group and the first conductor pattern based on a physical quantity generated when an insulation inspection signal as the inspection signal is supplied between the two conductor pattern groups in a state where the conductor patterns are connected to each other. When a first insulation test for inspecting an insulation state between the two conductor pattern groups in the two conductor pattern group is performed and the insulation state is determined to be good in the first insulation test , one of the two conductor pattern groups Generated at both ends of the conductor pattern when the continuity test signal as the test signal is supplied to the conductor pattern selected as the continuity test target from among A continuity test for checking the conduction state of the conductor pattern of the conductive test object on the basis of the physical quantity, wherein both conductive pattern group from the other selected one conductor pattern and said continuity check of the target as a target of the second insulation test all other relevant other all the conductor patterns of the third conductor pattern in the group consisting of at least comprises conductive pattern conductive patterns included in the conductor pattern in the group of the conductor pattern excluding the conductor pattern conductive pattern of the second insulation test object based on the physical quantity generated when supplying the insulation test signal between the second insulating inspected conductors pattern and the third conductive pattern group in a state of being connected to each other Circuit board inspection method for executing in parallel a second insulation inspection for inspecting an insulation state between the conductor pattern and the conductor pattern in the third conductor pattern group .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008193136A JP5430892B2 (en) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | Circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008193136A JP5430892B2 (en) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | Circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010032286A JP2010032286A (en) | 2010-02-12 |
JP5430892B2 true JP5430892B2 (en) | 2014-03-05 |
Family
ID=41736947
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008193136A Expired - Fee Related JP5430892B2 (en) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | Circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5430892B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6173836B2 (en) * | 2013-08-28 | 2017-08-02 | 日置電機株式会社 | Substrate inspection apparatus and substrate inspection method |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62180276A (en) * | 1986-02-05 | 1987-08-07 | Ibiden Co Ltd | Method and device for inspecting printed wiring board |
JP3089128B2 (en) * | 1993-03-12 | 2000-09-18 | シャープ株式会社 | Display panel inspection method |
JP3784479B2 (en) * | 1996-12-05 | 2006-06-14 | 日置電機株式会社 | Circuit board inspection method |
JP2004184109A (en) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Hioki Ee Corp | Inspection method of circuit board by in-circuit tester |
JP2006105795A (en) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Hioki Ee Corp | Insulation inspection method and insulation inspection device |
JP5014635B2 (en) * | 2006-01-24 | 2012-08-29 | 日置電機株式会社 | Inspection apparatus and inspection method |
-
2008
- 2008-07-28 JP JP2008193136A patent/JP5430892B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010032286A (en) | 2010-02-12 |
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