JP5773445B2 - Multilayer ceramic electronic component and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、積層セラミック電子部品及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a multilayer ceramic electronic component and a method for manufacturing the same.

近年、電子製品、IT及びA/V等の製品の小型化及び高機能化の要求に従い、電子部品の小型化及び高機能化も要求されており、これにより、積層セラミック電子部品への需要が増大している。積層セラミック電子部品は、小型でありながらも高容量が保障され実装が容易であるという長所によってコンピュータ、携帯電話等の部品として広く用いられている。   In recent years, in accordance with the demand for downsizing and high functionality of electronic products, products such as IT and A / V, there has been a demand for downsizing and high functionality of electronic components. It is increasing. Multilayer ceramic electronic components are widely used as components for computers, mobile phones, and the like because of their advantages of being small in size and ensuring high capacity and being easy to mount.

積層セラミック電子部品にはキャパシタ、インダクター、バリスター等があり、一般に最も広く用いられる受動型素子である積層型セラミックキャパシタにおいても小型化、高容量化及び高信頼性の製品が要求されている。   Multilayer ceramic electronic components include capacitors, inductors, varistors, and the like. In general, multilayer ceramic capacitors, which are the most widely used passive elements, are required to be small, high capacity, and highly reliable.

積層セラミックキャパシタの小型化及び高容量化のためにはセラミックシート及び内部電極の薄膜化及び高積層化が必要であり、薄膜化及び高積層化するほど積層セラミックキャパシタの内部電極の体積率は増加しカバー層の厚さは減少する。   To reduce the size and increase the capacity of multilayer ceramic capacitors, it is necessary to reduce the thickness and thickness of the ceramic sheet and internal electrodes. The volume ratio of the internal electrodes of the multilayer ceramic capacitors increases as the thickness and thickness of the multilayer ceramic capacitors increase. The cover layer thickness is reduced.

カバー層の厚さが減少するにつれ外部から水分等が浸透して積層セラミックキャパシタの耐湿特性が低下する可能性がある。   As the thickness of the cover layer decreases, moisture and the like may permeate from the outside, and the moisture resistance characteristics of the multilayer ceramic capacitor may be degraded.

本発明は、耐湿特性に優れた積層セラミック電子部品及びその製造方法を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the multilayer ceramic electronic component excellent in the moisture-proof characteristic, and its manufacturing method.

本発明の一実施形態による積層セラミック電子部品は、セラミック本体と、上記セラミック本体の外部面に形成された外部電極と、上記セラミック本体内にセラミック層を挟んで積層配置された内部電極と、を含み、上記セラミック本体は最上内部電極から最下内部電極までのアクティブ領域と上記アクティブ領域の上下に接するカバー領域とを含み、上記カバー領域内のセラミックグレインの平均直径Dは上記アクティブ領域内のセラミックグレインの平均直径Dより小さく、上記カバー領域の厚さをTとするとき、9μm≦T≦25μmであり、T/D≧55であることができる。 A multilayer ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention includes a ceramic main body, an external electrode formed on an external surface of the ceramic main body, and an internal electrode arranged in a stack with a ceramic layer sandwiched in the ceramic main body. The ceramic body includes an active region from the uppermost internal electrode to the lowermost internal electrode and a cover region in contact with the upper and lower sides of the active region, and an average diameter D c of the ceramic grains in the cover region is within the active region. smaller than the average diameter D a of the ceramic grains, the thickness of the cover region when the T c, a 9μm ≦ T c25μm, can be a T c / D c ≧ 55.

上記カバー領域内のセラミックグレインの平均直径Dは、厚さ方向の平均直径であることができる。 The average diameter D c of the ceramic grain in the coverage area may be an average diameter in the thickness direction.

1.1≦D/D≦4.4であることができる。 1.1 ≦ D a / D c ≦ 4.4.

上記セラミック本体は誘電材料を含み、上記誘電材料はチタン酸バリウム又はチタン酸ストロンチウムを含むことができる。   The ceramic body may include a dielectric material, and the dielectric material may include barium titanate or strontium titanate.

上記内部電極の積層数は、250以上であることができる。   The number of stacked internal electrodes may be 250 or more.

上記内部電極は、ニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The internal electrode may include one or more selected from the group consisting of nickel, palladium, and alloys thereof.

上記外部電極は、ニッケル、ニッケル合金及びパラジウムからなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The external electrode may include one or more selected from the group consisting of nickel, a nickel alloy, and palladium.

本実施形態の他の側面による積層セラミック電子部品は、複数の内部電極が積層された内部電極積層部を含むセラミック本体と、上記セラミック本体の外部に形成された外部電極と、を含み、上記セラミック本体において上記内部電極積層部の外部である上部及び下部カバー領域のそれぞれの厚さTは9〜25μmであり、上記内部電極積層部の外部領域のセラミックグレインの平均直径Dは上記内部電極積層部の内部領域のセラミックグレインの平均直径Dより小さく、T/D≧55であることができる。 A multilayer ceramic electronic component according to another aspect of the present embodiment includes a ceramic main body including an internal electrode stacked portion in which a plurality of internal electrodes are stacked, and an external electrode formed outside the ceramic main body. In the main body, the thickness T c of each of the upper and lower cover regions outside the internal electrode laminate is 9 to 25 μm, and the average diameter D c of the ceramic grains in the external region of the internal electrode laminate is the internal electrode smaller than the average diameter D a of the ceramic grains of the inner area of the laminate may be a T c / D c ≧ 55.

上記内部電極積層部は、隣り合う内部電極が互いに反対方向に引き出されることができる。   In the internal electrode stacked portion, adjacent internal electrodes can be drawn out in opposite directions.

上記外部領域は、上記内部電極積層部の内部電極の積層方向に配置されることができる。   The external region may be disposed in the stacking direction of the internal electrodes of the internal electrode stack portion.

上記外部領域のセラミックグレインの平均直径Dは、厚さ方向の平均直径であることができる。 The average diameter D c of the ceramic grains of the external region can be a mean diameter in the thickness direction.

1.1≦D/D≦4.4であることができる。 1.1 ≦ D a / D c ≦ 4.4.

上記セラミック本体は誘電材料を含み、上記誘電材料はチタン酸バリウム又はチタン酸ストロンチウムを含むことができる。   The ceramic body may include a dielectric material, and the dielectric material may include barium titanate or strontium titanate.

上記内部電極の積層数は、250以上であることができる。   The number of stacked internal electrodes may be 250 or more.

上記内部電極は、ニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The internal electrode may include one or more selected from the group consisting of nickel, palladium, and alloys thereof.

上記外部電極は、ニッケル、ニッケル合金及びパラジウムからなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The external electrode may include one or more selected from the group consisting of nickel, a nickel alloy, and palladium.

本発明の他の実施形態による積層セラミック電子部品の製造方法は、第1のセラミック粉末及び上記第1のセラミック粉末の平均粒度の1.1〜4.4倍の平均粒度を有する第2のセラミック粉末を製造する段階と、上記第1及び第2のセラミック粉末を用いてそれぞれ第1及び第2のセラミックグリーンシートを製造する段階と、上記第2のセラミックグリーンシート上に内部電極を形成する段階と、上記第1のセラミックグリーンシートを積層して厚さが11〜28μmの上部カバー及び下部カバーを形成する段階と、内部電極が形成された第2のセラミックグリーンシートを所望の層数だけ積層して第2のセラミックグリーン積層体を形成する段階と、上記下部カバー、上記第2のセラミックグリーン積層体及び上記上部カバーを積層する段階と、を含むことができる。   A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to another embodiment of the present invention includes a first ceramic powder and a second ceramic having an average particle size 1.1 to 4.4 times the average particle size of the first ceramic powder. Producing a powder; producing first and second ceramic green sheets using the first and second ceramic powders; and forming an internal electrode on the second ceramic green sheet. And laminating the first ceramic green sheets to form an upper cover and a lower cover having a thickness of 11 to 28 μm, and laminating the second ceramic green sheets having the internal electrodes in a desired number of layers. Forming a second ceramic green laminate, and laminating the lower cover, the second ceramic green laminate, and the upper cover. And a stage that can include.

上記第1及び第2のセラミック粉末を製造する段階において、上記第1及び第2のセラミック粉末は、チタン酸バリウム粉末を含むことができる。   In the step of manufacturing the first and second ceramic powders, the first and second ceramic powders may include barium titanate powder.

上記内部電極を形成する段階において、上記内部電極は、導電性ペーストを印刷して形成されることができる。   In the step of forming the internal electrode, the internal electrode may be formed by printing a conductive paste.

上記導電性ペーストは導電性金属を含み、上記導電性金属はニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The conductive paste may include a conductive metal, and the conductive metal may include one or more selected from the group consisting of nickel, palladium, and alloys thereof.

本発明によると、耐湿特性に優れた積層セラミック電子部品及びその製造方法が得られる。   According to the present invention, a multilayer ceramic electronic component having excellent moisture resistance and a method for producing the same can be obtained.

本発明の一実施形態による積層セラミック電子部品の斜視図である。1 is a perspective view of a multilayer ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention. 図1のX−X'線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the XX 'line | wire of FIG. 図2のY部分の拡大図である。It is an enlarged view of the Y part of FIG.

以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

本発明の実施形態は多様な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲が後述する実施形態に限定されるものではない。   Embodiments of the present invention can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below.

また、本発明の実施形態は、当業界における平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。   Also, the embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those having average knowledge in the art.

図面における要素の形状及びサイズ等はより明確な説明のために誇張されることがあり、図面上の同一符号で表示される要素は同一の要素である。   The shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for a clearer description, and elements indicated by the same reference numerals in the drawings are the same elements.

図1は本発明の一実施形態による積層セラミック電子部品の斜視図であり、図2は図1のX−X'線に沿う断面図であり、図3は図2のY部分の拡大図である。   1 is a perspective view of a multilayer ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line XX ′ of FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of a Y portion of FIG. is there.

図1を参照すると、本発明の一実施形態による積層セラミック電子部品は、セラミック本体10と、セラミック本体の外部に形成された外部電極21、22と、セラミック本体の内部に積層配置された内部電極31、32と、を含むことができる。   Referring to FIG. 1, a multilayer ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention includes a ceramic body 10, external electrodes 21 and 22 formed outside the ceramic body, and internal electrodes stacked inside the ceramic body. 31 and 32 can be included.

セラミック本体10は直方体であり、L方向を「長さ方向」、W方向を「幅方向」、T方向を「厚さ方向」と定義することができる。内部電極31,32の積層方向は、厚さ方向である。セラミック本体10は、長さ方向の両断面S1、S4と、幅方向の両側面S2、S5と、厚さ方向の上下面S3、S6と、を有することができる。   The ceramic body 10 is a rectangular parallelepiped, and the L direction can be defined as the “length direction”, the W direction as the “width direction”, and the T direction as the “thickness direction”. The stacking direction of the internal electrodes 31 and 32 is the thickness direction. The ceramic body 10 can have both cross-sections S1 and S4 in the length direction, both side surfaces S2 and S5 in the width direction, and upper and lower surfaces S3 and S6 in the thickness direction.

セラミック本体10は、セラミックからなり、上記セラミックは、高誘電率を有する誘電材料であり、具体的には、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウムを含むことができる。   The ceramic body 10 is made of ceramic, and the ceramic is a dielectric material having a high dielectric constant. Specifically, the ceramic body 10 can contain barium titanate and strontium titanate.

外部電極21、22は、セラミック本体の外部S1、S4に対向して形成されることができる。外部電極は隣り合う他面S2、S3、S5、S6の一部に伸びて形成されることができ、セラミック本体に対する外部電極の固着力が向上することができる。   The external electrodes 21 and 22 can be formed to face the exteriors S1 and S4 of the ceramic body. The external electrode can be formed to extend on a part of the other surfaces S2, S3, S5, and S6 adjacent to each other, and the adhesion force of the external electrode to the ceramic body can be improved.

外部電極上には、実装の容易性のためにメッキ層が形成されることができる。外部電極21、22は、導電性金属で形成され、これに制限されず、銅、銅合金、ニッケル、ニッケル合金、銀、パラジウム等からなることができ、メッキ液の浸透等を防止するためにガラスを含むことができる。   A plating layer may be formed on the external electrode for ease of mounting. The external electrodes 21 and 22 are made of a conductive metal, and are not limited thereto, and can be made of copper, copper alloy, nickel, nickel alloy, silver, palladium, etc., in order to prevent penetration of the plating solution, etc. Glass can be included.

外部電極21、22は、セラミック本体の長さ方向の両側面S1、S4に形成されることができる。この際、上記外部電極21、22は、上記セラミック本体10の一面に露出されるように形成された内部電極31、32と電気的に接続されるように形成されることができる。   The external electrodes 21 and 22 can be formed on both side surfaces S1 and S4 in the length direction of the ceramic body. At this time, the external electrodes 21 and 22 may be formed so as to be electrically connected to the internal electrodes 31 and 32 formed to be exposed on one surface of the ceramic body 10.

内部電極31、32は、セラミック本体10の内部にセラミック層11を挟んで積層されて形成されることができる。内部電極31、32は、ニッケル等の導電性金属を含み、低温焼成を行うことができる。導電性金属は、金、銀、銅、ニッケル、白金、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The internal electrodes 31 and 32 can be formed by laminating the ceramic body 11 with the ceramic layer 11 interposed therebetween. The internal electrodes 31 and 32 include a conductive metal such as nickel and can be fired at a low temperature. The conductive metal can include one or more selected from the group consisting of gold, silver, copper, nickel, platinum, palladium, and alloys thereof.

また、内部電極にチタン酸バリウム等の焼結温度の高いセラミック共材を添加して焼結開始温度を高めることもできる。これは、内部電極の焼結温度がセラミックより低くて内部電極がセラミックより先に焼結され内部電極のカバレッジが減少して容量を具現することが困難な場合を抑制するためである。   Further, a ceramic co-material having a high sintering temperature such as barium titanate can be added to the internal electrode to increase the sintering start temperature. This is to suppress the case where the sintering temperature of the internal electrode is lower than that of the ceramic, the internal electrode is sintered before the ceramic, and the coverage of the internal electrode is reduced, making it difficult to realize the capacitance.

内部電極の積層数は、250以上であることができる。これは、電子部品の高容量化の傾向に伴い内部電極の積層数が増加しており内部電極の積層数が250未満の場合は高容量を具現することが困難なことがあるためである。なお、高容量化のために内部電極の厚さも薄くなる。   The number of internal electrodes stacked may be 250 or more. This is because the number of stacked internal electrodes is increasing with the trend of increasing the capacity of electronic components, and if the number of stacked internal electrodes is less than 250, it may be difficult to realize a high capacity. Note that the thickness of the internal electrode is also reduced for higher capacity.

図2を参照すると、セラミック本体10は、厚さ方向にアクティブ領域A及びカバー領域Cに区分されることができる。カバー領域Cは、アクティブ領域Aの上下に接して形成されることができる。すなわち、カバー領域Cは、内部電極の積層方向においてアクティブ領域Aよりもセラミック本体10の外部側に、アクティブ領域Aと接して形成されることができる。   Referring to FIG. 2, the ceramic body 10 may be divided into an active area A and a cover area C in the thickness direction. The cover region C can be formed in contact with the upper and lower sides of the active region A. That is, the cover region C can be formed in contact with the active region A on the outer side of the ceramic body 10 with respect to the active region A in the stacking direction of the internal electrodes.

アクティブ領域Aは、内部電極が積層された領域であって、最上内部電極31aから最下内部電極32aまでの領域を意味することができる。アクティブ領域は、静電容量の具現に寄与することができる。最上内部電極31aは、積層配置された複数の内部電極からなる内部電極群の、内部電極の積層方向における一方の端部に配された内部電極であり、最下内部電極32aは、上記内部電極群の、上記積層方向における他方の端部に配された内部電極である。   The active area A is an area where internal electrodes are stacked, and can mean an area from the uppermost internal electrode 31a to the lowermost internal electrode 32a. The active region can contribute to the realization of the capacitance. The uppermost internal electrode 31a is an internal electrode arranged at one end in the stacking direction of the internal electrodes of the internal electrode group composed of a plurality of stacked internal electrodes, and the lowermost internal electrode 32a is the internal electrode It is an internal electrode arranged at the other end of the group in the stacking direction.

カバー領域Cは、最上内部電極31aからセラミック本体の上面S3までの領域を意味することができる。カバー領域は、容量の具現に寄与しない。   The cover region C can mean a region from the uppermost internal electrode 31a to the upper surface S3 of the ceramic body. The cover area does not contribute to the realization of the capacity.

カバー領域Cはアクティブ領域Aの上下に形成されることができ、これをそれぞれ上部カバー領域及び下部カバー領域という。上部及び下部領域は対称であることができる。高容量化の傾向に伴い、カバー領域の厚さTは減少する傾向にある。 The cover area C can be formed above and below the active area A, which are referred to as an upper cover area and a lower cover area, respectively. The upper and lower regions can be symmetric. As the capacity increases, the thickness Tc of the cover region tends to decrease.

本実施形態において、カバー領域の厚さTは、焼成後9〜25μmであることができる。 In this embodiment, the thickness Tc of the cover region can be 9-25 μm after firing.

高容量化の傾向に伴いカバー領域の厚さTが次第に減少することがある。本発明は、カバー領域の厚さTが25μm以下の場合、カバー領域C及びアクティブ領域Aのグレインのサイズを調節して耐湿特性の低下を防止し信頼性を確保するためのものである。 As the capacity increases, the thickness Tc of the cover region may gradually decrease. In the present invention, when the thickness Tc of the cover region is 25 μm or less, the grain size of the cover region C and the active region A is adjusted to prevent deterioration of the moisture resistance and to ensure reliability.

しかしながら、カバー領域の厚さTが9μmより小さい場合はカバー領域の厚さTが薄すぎるため、カバー領域C及びアクティブ領域Aのグレインのサイズに関係なく耐湿特性が低下する可能性がある。 However, since the thickness T c of the thickness T c is 9μm smaller when the cover region of the cover region is too thin, moisture resistance regardless grain size of the coverage area C and the active region A may be reduced .

本実施形態において、カバー領域C内のセラミックグレインの平均直径Dは、アクティブ領域A内のセラミックグレインの平均直径Dより小さいことができる。 In the present embodiment, the average diameter D c of the ceramic grains in the cover region C can be smaller than the average diameter D a of the ceramic grains in the active region A.

カバー領域のグレインの直径Dをアクティブ領域のグレインの直径Dより小さくした理由は次の通りである。 Why the grain diameter D c of the cover region is smaller than the diameter D a of the active region of the grain it is as follows.

セラミック粉末は、表面積が大きいほど、より低い温度で焼結が起こる。これは、セラミック粉末の表面積が大きいほど表面エネルギーが高くて全体的に見たときエネルギー的に不安定な状態にあり、表面エネルギーを低くすることにより、より安定的な状態で移動し、このような点が焼結の駆動力(driving force)として作用するためである。   The ceramic powder sinters at lower temperatures as the surface area increases. This is because the larger the surface area of the ceramic powder, the higher the surface energy, and the overall state is energetically unstable. By lowering the surface energy, the ceramic powder moves in a more stable state. This is because this point acts as a driving force for sintering.

アクティブ領域Aのセラミック粉末とカバー領域Cのセラミック粉末のサイズが同一の場合、アクティブ領域Aの内部電極31、32、アクティブ領域Aのセラミック層11及びマージン部12、カバー領域Cの順に焼結が起こることができる。上記焼結進行順序は絶対的なものではなく概念的に区分したものに過ぎず、実際には焼結が同時に起こることもできる。   When the ceramic powder in the active region A and the ceramic powder in the cover region C have the same size, sintering is performed in the order of the internal electrodes 31 and 32 in the active region A, the ceramic layer 11 and the margin 12 in the active region A, and the cover region C. Can happen. The order of the above-mentioned sintering is not absolute but conceptually divided, and in fact, sintering can occur simultaneously.

内部電極がまず最初に焼結される理由は、内部電極に用いられた導電性金属の焼結温度がセラミック粉末に比べて低いためである。   The reason why the internal electrode is sintered first is that the sintering temperature of the conductive metal used for the internal electrode is lower than that of the ceramic powder.

次に、アクティブ領域のセラミック層11及びマージン部が焼結される。これは、内部電極の焼結過程で内部電極の収縮によって内部電極の間のセラミック層に圧縮応力が作用し、これが焼結の駆動力として作用するためである。   Next, the ceramic layer 11 and the margin part in the active region are sintered. This is because compressive stress acts on the ceramic layer between the internal electrodes due to contraction of the internal electrodes during the sintering process of the internal electrodes, and this acts as a driving force for sintering.

最後に、カバー領域Cが焼結される。   Finally, the cover area C is sintered.

上記のように位置によって焼結温度が異なるため、セラミック本体の内部には応力が不均一に分布し、これにより、デラミネーション及びクラック等の欠陥が直接に誘発される可能性がある。   Since the sintering temperature varies depending on the position as described above, the stress is unevenly distributed inside the ceramic body, which may directly induce defects such as delamination and cracks.

また、以後の工程を経ながら外部的衝撃(熱衝撃)等によって欠陥を発生させる潜在的な危険因子として作用する可能性がある。超高容量製品の場合、内部電極の体積率に対するカバー領域の厚さの比が減少するため、上記問題はさらに深化する可能性がある。   In addition, it may act as a potential risk factor for generating a defect due to external impact (thermal shock) or the like through subsequent steps. In the case of an ultra-high-capacity product, the ratio of the thickness of the cover region to the volume ratio of the internal electrode is reduced, so the above problem may be further deepened.

カバー領域Cのセラミック粉末の粒子のサイズを小さくしてカバー領域の焼結温度を低くすることによりアクティブ領域の焼結温度の差異を減少させることができ、これにより、セラミック本体内の不均一な応力分布を緩和させることができる。   By reducing the size of the ceramic powder particles in the cover region C and lowering the sintering temperature of the cover region, the difference in the sintering temperature of the active region can be reduced, thereby reducing the unevenness in the ceramic body. The stress distribution can be relaxed.

結局、カバー領域のグレインのサイズをアクティブ領域のグレインのサイズより小さくすることによりデラミネーション及びクラックの発生を抑制することができ、以後に熱衝撃を受けても欠陥を発生させる潜在的な危険因子を緩和させることにより耐湿特性を向上させることができる。   Eventually, by making the grain size of the cover area smaller than the grain size of the active area, it is possible to suppress the occurrence of delamination and cracks, and a potential risk factor that causes defects even after subsequent thermal shock Moisture resistance can be improved by relaxing.

具体的には、カバー領域のグレインの直径Dに対するアクティブ領域のグレインの直径Dの比(D/D)は1.1〜4.4であることができる。 Specifically, the ratio (D a / D c ) of the grain diameter D a of the active area to the diameter D c of the grain of the cover area may be 1.1 to 4.4.

/Dが1.1より小さいと、アクティブ領域及びカバー領域に用いられたセラミック粉末の粒子のサイズが類似するため、アクティブ領域とカバー領域間の応力分布の不均一性が存在し続けてデラミネーション及びクラックが発生する可能性があり、耐湿特性向上の効果が低い。 When D a / D c is smaller than 1.1, the size of the ceramic powder particles used in the active region and the cover region are similar, and thus there is a non-uniformity of stress distribution between the active region and the cover region. Delamination and cracks may occur, and the effect of improving moisture resistance is low.

/Dが4.4より大きいと、アクティブ領域に用いられたセラミック粉末の粒子のサイズがカバー領域に用いられたセラミック粉末の粒子のサイズより大きすぎるため、却ってカバー領域とアクティブ領域間の応力の不均衡が深化する可能性がある。これは、アクティブ領域よりカバー領域が速く焼結されるためである。 If D a / D c is greater than 4.4, the size of the ceramic powder particles used in the active region is too large than the size of the ceramic powder particles used in the cover region. There is a possibility that the stress imbalance will deepen. This is because the cover area is sintered faster than the active area.

セラミックグレインの平均直径D、Dは、走査電子顕微鏡(SEM)で抽出されたカバー領域C又はアクティブ領域Aの断面写真を分析して測定することができる。例えば、ASTM(American Society for Testing and Materials)E112で規定するグレインの平均サイズ標準測定方法を支援するグレインサイズ測定ソフトウエアを用いてセラミックグレインの平均直径D、Dを測定することができる。 The average diameters D c and D a of the ceramic grains can be measured by analyzing a cross-sectional photograph of the cover region C or the active region A extracted by a scanning electron microscope (SEM). For example, the average diameters D c and D a of the ceramic grains can be measured using grain size measurement software that supports the average size standard measurement method defined by ASTM (American Society for Testing and Materials) E112.

カバー領域及びアクティブ領域の中でグレインを30個以上含む領域をサンプリングし、上記方法を用いてグレインの平均直径を測定することができる。具体的には、セラミック本体10の幅方向(W方向)を3等分したときの中央部における長さ及び厚さ方向断面(L−T断面)を走査電子顕微鏡(SEM、Scanning Electron Microscope)でスキャンしたイメージから上記サンプリングを行うことができる。   An area containing 30 or more grains in the cover area and the active area is sampled, and the average diameter of the grains can be measured using the above method. Specifically, the length and thickness direction cross section (L-T cross section) at the center when the width direction (W direction) of the ceramic body 10 is equally divided into three by a scanning electron microscope (SEM, Scanning Electron Microscope). The sampling can be performed from the scanned image.

カバー領域のグレインの厚さ方向の平均直径Dに対するカバー領域の厚さTの比は55以上であることができる(T/D≧55)。即ち、カバー領域において厚さ方向に配列されたグレインの数は55個以上であることができる。 The ratio of the thickness T c of the cover region to the average diameter D c in the thickness direction of the grains of the cover region can be 55 or more (T c / D c ≧ 55). That is, the number of grains arranged in the thickness direction in the cover region can be 55 or more.

カバー領域のグレインの厚さ方向の平均直径Dは、カバー領域においてグレインの厚さ方向の直径を測定して合わせた値をグレインの数で割った値で定義することができる。具体的には、セラミック本体10の幅方向(W方向)を3等分したときの中央部における長さ及び厚さ方向断面(L−T断面)を走査電子顕微鏡(SEM、Scanning Electron Microscope)でスキャンしたイメージにおいて、長さ方向を3等分したときの中央部を等間隔に10等分した各地点で測定することができる。 The average diameter D c in the thickness direction of the grain of the cover region can be defined as a value obtained by dividing the value of the combined measuring the thickness direction of the diameter of the grain in the coverage area by the number of grains. Specifically, the length and thickness direction cross section (L-T cross section) at the center when the width direction (W direction) of the ceramic body 10 is equally divided into three by a scanning electron microscope (SEM, Scanning Electron Microscope). In the scanned image, it can be measured at each point where the central portion when the length direction is equally divided into three is equally divided into ten.

カバー領域の厚さTは平均値であることができる。具体的には、セラミック本体10の幅方向(W方向)を3等分したときの中央部における長さ及び厚さ方向断面(L−T断面)を走査電子顕微鏡(SEM、Scanning Electron Microscope)でスキャンしたイメージにおいて、長さ方向を3等分したときの中央部を等間隔に10等分した各地点で測定したカバー領域の厚さの平均値をカバー領域の厚さTとすることができる。 The thickness T c of the cover region can be an average value. Specifically, the length and thickness direction cross section (L-T cross section) at the center when the width direction (W direction) of the ceramic body 10 is equally divided into three by a scanning electron microscope (SEM, Scanning Electron Microscope). In the scanned image, the average value of the thickness of the cover region measured at each point obtained by equally dividing the central portion into three equal parts in the length direction may be defined as the thickness T c of the cover region. it can.

上記カバー領域の厚さTをグレインの厚さ方向の直径Dで割った値(T/D)をカバー領域の厚さ方向のグレインの数と定義することができる。 Can be defined as the number of the thickness direction of the grain of the cover region thickness T c was divided in the thickness direction of the diameter D c of the grain value (T c / D c) of the cover region.

カバー領域に厚さ方向のグレインの数が多いほど、優れた耐湿特性を有することができる。外部からセラミック本体の内部への水分浸透は、グレインの内部よりは粒界(grain boundary)を介してなされる。これは、グレインの数が多いほど、浸透経路が長くなるためである。   The greater the number of grains in the thickness direction in the cover region, the better the moisture resistance. Moisture permeation from the outside to the inside of the ceramic body is performed through grain boundaries rather than inside the grains. This is because the greater the number of grains, the longer the permeation path.

本実施形態の他の側面による積層セラミック電子部品は、複数の内部電極が積層された内部電極積層部Aを含むセラミック本体10と、上記セラミック本体10の外部に形成された外部電極21、22と、を含み、上記セラミック本体10において上記内部電極積層部Aの外部領域Cの厚さTは9〜25μmであり、上記内部電極積層部Aの外部領域Cのセラミックグレインの平均直径Dは上記内部電極積層部Aの内部領域のセラミックグレインの平均直径Dより小さく、T/D≧55であることができる。 The multilayer ceramic electronic component according to another aspect of the present embodiment includes a ceramic main body 10 including an internal electrode laminated portion A in which a plurality of internal electrodes are laminated, and external electrodes 21 and 22 formed outside the ceramic main body 10. In the ceramic body 10, the thickness T c of the external region C of the internal electrode laminate A is 9 to 25 μm, and the average diameter D c of the ceramic grains in the external region C of the internal electrode laminate A is smaller than the average diameter D a of the ceramic grains in the internal region of the internal electrode laminate unit a, it can be a T c / D c ≧ 55.

セラミック本体10は、内部電極積層部Aとセラミック本体10の厚さ方向の上下に形成された外部領域Cとに区分されることができる。内部電極積層部Aは、セラミック本体10の中で内部電極31、32が積層された領域を意味することができる。内部電極積層部A内の隣り合う内部電極31、32は互いに反対方向に引き出され、互いに反対極性の電気が印加されることができる。   The ceramic body 10 can be divided into an internal electrode laminated portion A and an external region C formed above and below in the thickness direction of the ceramic body 10. The internal electrode laminate portion A may mean a region where the internal electrodes 31 and 32 are laminated in the ceramic body 10. Adjacent internal electrodes 31 and 32 in the internal electrode laminated portion A are drawn out in directions opposite to each other, and electricity having opposite polarities can be applied.

内部電極積層部Aの上下に外部領域Cが形成されることができる。即ち、外部領域Cは、内部電極積層部Aの内部電極の積層方向におけるセラミック本体10の外部側に配置されることができる。   External regions C can be formed above and below the internal electrode laminate A. That is, the external region C can be disposed on the outer side of the ceramic body 10 in the stacking direction of the internal electrodes of the internal electrode stacking portion A.

上記外部領域のセラミックグレインの平均直径Dは、積層方向の平均直径であることができる。 The average diameter D c of the ceramic grains of the external region can be a mean diameter in the stacking direction.

1.1≦D/D≦4.4であることができる。 1.1 ≦ D a / D c ≦ 4.4.

上記セラミック本体は、誘電材料を含むことができる。   The ceramic body can include a dielectric material.

上記誘電材料は、チタン酸バリウム又はチタン酸ストロンチウムを含むことができる。   The dielectric material can include barium titanate or strontium titanate.

上記内部電極の積層数は、250以上であることができる。   The number of stacked internal electrodes may be 250 or more.

上記内部電極は、ニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The internal electrode may include one or more selected from the group consisting of nickel, palladium, and alloys thereof.

上記外部電極は、ニッケル、ニッケル合金及びパラジウムからなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The external electrode may include one or more selected from the group consisting of nickel, a nickel alloy, and palladium.

その他のセラミック本体、内部電極、外部電極等に関する事項は前述したのと同様である。   Other matters relating to the ceramic body, internal electrodes, external electrodes, etc. are the same as described above.

本発明の他の実施形態による積層セラミック電子部品の製造方法は、第1のセラミック粉末及び上記第1のセラミック粉末の平均粒度の1.1〜4.4倍の平均粒度を有する第2のセラミック粉末を製造する段階と、上記第1及び第2のセラミック粉末を用いてそれぞれ第1及び第2のセラミックグリーンシートを製造する段階と、上記第2のセラミックグリーンシート上に内部電極を形成する段階と、上記第1のセラミックグリーンシートを積層して厚さが11〜28μmの上部カバー及び下部カバーを形成する段階と、内部電極が形成された第2のセラミックグリーンシートを所望の層数だけ積層して第2のセラミックグリーン積層体を形成する段階と、上記下部カバー、上記第2のセラミックグリーン積層体及び上記上部カバーを積層する段階と、を含むことができる。   A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to another embodiment of the present invention includes a first ceramic powder and a second ceramic having an average particle size 1.1 to 4.4 times the average particle size of the first ceramic powder. Producing a powder; producing first and second ceramic green sheets using the first and second ceramic powders; and forming an internal electrode on the second ceramic green sheet. And laminating the first ceramic green sheets to form an upper cover and a lower cover having a thickness of 11 to 28 μm, and laminating the second ceramic green sheets having the internal electrodes in a desired number of layers. Forming a second ceramic green laminate, and laminating the lower cover, the second ceramic green laminate, and the upper cover. And a stage that can include.

第1のセラミック粉末粒子は、第2のセラミック粉末粒子よりサイズが小さいことができる。具体的には、第2のセラミック粉末粒子の平均粒径は、第1のセラミック粉末粒子の平均粒径の1.1〜4.4倍であることが好ましい。   The first ceramic powder particles can be smaller in size than the second ceramic powder particles. Specifically, the average particle size of the second ceramic powder particles is preferably 1.1 to 4.4 times the average particle size of the first ceramic powder particles.

焼結後のカバー領域のグレインの直径に対するアクティブ領域のグレインの直径の比も1.1〜4.4の範囲に調節することができる。焼結を経た第1及び第2のセラミックグレインの直径はそれぞれ焼結前の第1及び第2のセラミック粉末粒子より大きくなることもあるが、第1及び第2のセラミック粉末粒子が一緒に焼結されるため、その比は大きく変わらない。   The ratio of the grain diameter in the active area to the grain diameter in the cover area after sintering can also be adjusted to a range of 1.1 to 4.4. The diameters of the sintered first and second ceramic grains may be larger than the first and second ceramic powder particles before sintering, respectively, but the first and second ceramic powder particles are sintered together. As a result, the ratio does not change significantly.

第1のセラミック粉末はカバー領域用セラミックシートを製造するのに用いられ、第2のセラミック粉末はアクティブ領域用セラミックシートを製造するのに用いられることができる。   The first ceramic powder can be used to produce a ceramic sheet for the cover area, and the second ceramic powder can be used to produce a ceramic sheet for the active area.

第1のセラミック粉末に有機溶媒、バインダー等を混合した後、これをボールミリングしてセラミックスラリーを製造し、ドクターブレード等の方法を用いて第1のセラミックグリーンシートを製造することができる。   After mixing an organic solvent, a binder, etc. with the 1st ceramic powder, this is ball-milled and a ceramic slurry is manufactured, A 1st ceramic green sheet can be manufactured using methods, such as a doctor blade.

上記と同様の方法を用いて第2のセラミック粉末で第2のセラミックグリーンシートを製造することができる。   A second ceramic green sheet can be produced from the second ceramic powder using the same method as described above.

第1及び第2のセラミック粉末は、チタン酸バリウム粉末を含むことができる。チタン酸バリウムは、高い誘電率を有し、電荷を蓄積するように誘導して高容量のキャパシタを具現することができる。   The first and second ceramic powders can include barium titanate powder. Barium titanate has a high dielectric constant and can be induced to store electric charge to realize a high-capacitance capacitor.

第2のセラミックグリーンシート上には導電性ペーストを印刷して内部電極を形成することができる。これに対し、第1のセラミックグリーンシート上には内部電極を形成しなくても良い。   An internal electrode can be formed by printing a conductive paste on the second ceramic green sheet. On the other hand, the internal electrode need not be formed on the first ceramic green sheet.

導電性ペーストは導電性金属を含み、具体的には、導電性金属はニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができる。   The conductive paste includes a conductive metal, and specifically, the conductive metal may include one or more selected from the group consisting of nickel, palladium, and alloys thereof.

金、銀、白金、パラジウム等は、高コストであるが、安定的であるため、大気中で焼結が可能である。これに対し、ニッケル、銅等は、低コストであるが、焼結時に酸化される可能性があるため、還元雰囲気における焼結を必要とすることもある。   Gold, silver, platinum, palladium, and the like are expensive, but are stable and can be sintered in the atmosphere. On the other hand, nickel, copper, and the like are low in cost, but may be oxidized at the time of sintering, and may require sintering in a reducing atmosphere.

導電性金属は、内部電極に導電性を与えることができるものであれば良く、上記の例に限定されるものではない。   The conductive metal is not limited to the above example as long as it can provide conductivity to the internal electrode.

第1のセラミックグリーンシートを積層して上部カバー及び下部カバーを形成することができる。焼結収縮を考慮すると、上部カバー及び下部カバーの厚さは11〜28μmであることが好ましい。これにより、焼結後にカバー領域の厚さは9〜25μmとなることができる。   An upper cover and a lower cover can be formed by laminating the first ceramic green sheets. Considering the sintering shrinkage, the thickness of the upper cover and the lower cover is preferably 11 to 28 μm. Thereby, the thickness of the cover region can be 9-25 μm after sintering.

内部電極が形成された第2のセラミックグリーンシートを積層して第2のセラミックグリーン積層体を形成することができる。内部電極の積層数を250以上とすることにより高容量を具現することができる。第2のセラミックグリーン積層体は、以後にアクティブ領域を形成することができる。   A second ceramic green laminate can be formed by laminating the second ceramic green sheets on which the internal electrodes are formed. By setting the number of stacked internal electrodes to 250 or more, a high capacity can be realized. The second ceramic green laminate can subsequently form an active region.

下部カバー、第2のセラミックグリーン積層体及び上部カバーを積層して最終のグリーン積層体を形成することができる。   The bottom cover, the second ceramic green laminate, and the top cover can be laminated to form the final green laminate.

上記グリーン積層体を切断、か焼、焼結する工程を経て焼結チップを製造し、上記焼結チップの外部に導電性ペーストでディッピング方式により外部電極を形成し、これをベーキングすることにより、積層セラミック電子部品を製造することができる。   By cutting, calcining, and sintering the green laminate, a sintered chip is manufactured, an external electrode is formed by a dipping method with a conductive paste outside the sintered chip, and this is baked, Multilayer ceramic electronic components can be manufactured.

以下、実施例及び比較例を参照して本発明について詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples.

実施例による積層セラミックキャパシタは、次のように製造した。   The multilayer ceramic capacitor according to the example was manufactured as follows.

まず、アクティブ領域のグレインのサイズを多様にするために、チタン酸バリウム粉末としては平均粒度0.05〜3μmの範囲内で適切なものを選択して用いた。   First, in order to diversify the grain size in the active region, an appropriate barium titanate powder was selected and used within an average particle size range of 0.05 to 3 μm.

上記チタン酸バリウム粉末に、有機溶媒としてエタノール、バインダーとしてポリビニルブチラールを混合した後、これをボールミリングしてセラミックスラリーを製造し、これを用いてアクティブ領域用セラミックグリーンシートを製造した。   The barium titanate powder was mixed with ethanol as an organic solvent and polyvinyl butyral as a binder, and then ball-milled to produce a ceramic slurry, which was used to produce a ceramic green sheet for an active region.

また、カバー領域のグレインのサイズを多様にするために、チタン酸バリウム粉末として平均粒度0.05〜3μmの範囲内で適切なものを選択してカバー領域用セラミックグリーンシートを製造した。   Further, in order to diversify the grain sizes in the cover region, a suitable ceramic green sheet for the cover region was manufactured by selecting an appropriate barium titanate powder within an average particle size range of 0.05 to 3 μm.

次に、アクティブ領域用セラミックシートには、ニッケル金属を含む導電性ペーストを用いて内部電極を印刷した。   Next, internal electrodes were printed on the active region ceramic sheet using a conductive paste containing nickel metal.

次いで、上部カバー領域用セラミックシートを3〜8枚、アクティブ領域用セラミックシートを250枚、下部カバー領域用セラミックシートを3〜8枚順次積層して形成されたグリーン積層体を85℃で1000kgf/cmの圧力で等圧圧縮成形(isostatic pressing)した。 Next, 3-8 sheets of ceramic sheets for the upper cover area, 250 sheets of ceramic sheets for the active area, and 3-8 sheets of ceramic sheets for the lower cover area were sequentially laminated at 1000 ° C. at 85 ° C. Isostatic pressing at a pressure of cm 2 was performed.

圧着されたセラミック積層体を個別チップの形態に切断し、切断されたチップを大気雰囲気で230℃、60時間維持して脱バインダーを行った。以後、950〜1200℃で内部電極が酸化されないようにNi/NiO平衡酸素分圧より低い10−11〜10−10atmの酸素分圧下で焼成した。 The bonded ceramic laminate was cut into individual chips, and the cut chips were maintained in an air atmosphere at 230 ° C. for 60 hours for binder removal. Thereafter, firing was performed at 950 to 1200 ° C. under an oxygen partial pressure of 10 −11 to 10 −10 atm lower than the Ni / NiO equilibrium oxygen partial pressure so that the internal electrode was not oxidized.

焼成チップの外部面を研磨した後、焼成チップを外部電極用導電性ペーストにディッピングしベーキングして外部電極を形成した。外部電極用導電性ペーストは、銅粉末にガラス及びバインダー等を添加して製造した。外部電極の表面には、電気メッキによって錫メッキ層を形成した。   After polishing the outer surface of the fired chip, the fired chip was dipped in an external electrode conductive paste and baked to form an external electrode. The conductive paste for external electrodes was produced by adding glass, binder, etc. to copper powder. A tin plating layer was formed on the surface of the external electrode by electroplating.

比較例の積層セラミック電子部品は、実施例の場合と同一の方法により製造し、但し、カバー領域の厚さT、カバー領域及びアクティブ領域に用いられたチタン酸バリウム粉末の平均粒度を異ならせた。 The multilayer ceramic electronic component of the comparative example is manufactured by the same method as in the embodiment, except that the thickness T c of the cover region and the average particle size of the barium titanate powder used in the cover region and the active region are different. It was.

上記の方法で製造されたセラミックキャパシタに対して耐湿負荷試験を行い、耐湿負荷試験の前後に絶縁抵抗(IR)を測定して信頼性を評価した。   The ceramic capacitor manufactured by the above method was subjected to a moisture resistance load test, and the insulation resistance (IR) was measured before and after the moisture resistance load test to evaluate the reliability.

耐湿負荷試験では、温度40±2℃、湿度90〜95%RHの状態で定格電圧1.5Vrを500(+12/−0)hr印加し、充/放電電流は50mA以下とした。   In the moisture resistance load test, a rated voltage of 1.5 Vr was applied for 500 (+ 12 / −0) hr in a temperature of 40 ± 2 ° C. and a humidity of 90 to 95% RH, and the charge / discharge current was 50 mA or less.

絶縁抵抗(IR、Insulation Resistance)は、耐湿負荷試験の前後に150℃(+0/−10)℃で1時間熱処理し24(±2)時間常温で放置した後に測定した。   Insulation resistance (IR) was measured after heat treatment at 150 ° C. (+ 0 / −10) ° C. for 1 hour and standing at room temperature for 24 (± 2) hours before and after the moisture resistance load test.

製品の規格を考慮して、耐湿負荷試験前の絶縁抵抗が50MΩ以上、耐湿負荷試験後の絶縁抵抗が3.5MΩ以上のものを良好と判定した。   Considering product standards, those having an insulation resistance of 50 MΩ or more before the moisture resistance load test and having an insulation resistance of 3.5 MΩ or more after the moisture resistance load test were determined to be good.

耐湿負荷試験を済ませた試料をモールディングした後、これをポリッシングした断面に対してSEM写真を撮影し、これを基にカバー領域の厚さT、カバー領域及びアクティブ領域のセラミックグレインの直径D、Dを測定した。 After molding the sample subjected to the moisture resistance load test, an SEM photograph was taken on the polished cross section, and based on this, the thickness T c of the cover region, and the diameter D c of the ceramic grains in the cover region and the active region were taken. , Da was measured.

表1〜5には、カバー領域の厚さTがそれぞれ6μm、9μm、15μm、25μm、35μmの場合を示した。 Tables 1 to 5 show cases where the thickness Tc of the cover region is 6 μm, 9 μm, 15 μm, 25 μm, and 35 μm, respectively.

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表1は、カバー領域の厚さTが6μmの積層セラミックキャパシタに対する信頼性評価結果を示すものである。 Table 1 shows the reliability evaluation results for the multilayer ceramic capacitor having a cover region thickness Tc of 6 μm.

表1を参照すると、比較例1〜3はいずれもT/D、D/Dの値に関係なく絶縁抵抗値が規格値に達しておらず、不良であることを示している。これは、カバー領域の厚さが薄すぎるためである。 Referring to Table 1, all of Comparative Examples 1 to 3 indicate that the insulation resistance value does not reach the standard value regardless of the values of T c / D c and D a / D c , indicating that they are defective. . This is because the cover region is too thin.

表2は、カバー領域の厚さTが9μmの積層セラミックキャパシタに対する信頼性評価結果を示すものである。 Table 2 shows the reliability evaluation results for the multilayer ceramic capacitor having a cover region thickness Tc of 9 μm.

表2を参照すると、実施例1〜3は、Tが9μm、T/Dが100、D/Dが1.1、2.0、4.4の場合であり、信頼性が良好な結果を示している。結論として、D/Dが1.1〜4.4の場合に耐湿特性が良好である。 Referring to Table 2, Examples 1 to 3 are cases where T c is 9 μm, T c / D c is 100, and D a / D c is 1.1, 2.0, and 4.4. Shows good results. In conclusion, the moisture resistance is good when D a / D c is 1.1 to 4.4.

実施例4〜6の場合も、実施例1〜3と類似する結果を示している。   In the case of Examples 4-6, the result similar to Examples 1-3 is shown.

比較例4は、Tが9μm、T/Dが100、D/Dが1.0の場合であり、信頼性不良を示している。これは、カバー領域のグレインのサイズDとアクティブ領域のグレインのサイズDが類似することから、カバー領域とアクティブ領域との焼結温度の差異による不均一な応力分布を緩和する効果が低いためである。 Comparative Example 4 is a case where T c is 9 μm, T c / D c is 100, and D a / D c is 1.0, indicating a poor reliability. This is because the size D a of the grains of grain size D c and the active region of the cover region are similar, less effective to alleviate the uneven stress distribution due to the difference in sintering temperature of the cover region and the active region Because.

比較例6は、Tが9μm、T/Dが164、D/Dが1.0の場合であり、比較例4の場合と同様である。 Comparative Example 6 is a case where T c is 9 μm, T c / D c is 164, and D a / D c is 1.0, which is the same as the case of Comparative Example 4.

比較例5は、Tが9μm、T/Dが100、D/Dが4.6の場合であり、信頼性不良を示している。これは、カバー領域のグレインのサイズがアクティブ領域のグレインのサイズより小さすぎることから、却ってカバー領域がより速く焼結され、これにより、内部応力分布が不均一になるためである。 Comparative Example 5 is a case where T c is 9 μm, T c / D c is 100, and D a / D c is 4.6, indicating a poor reliability. This is because the size of the grain in the cover area is too small than the grain size in the active area, so that the cover area is sintered faster and this causes the internal stress distribution to be non-uniform.

比較例7は、Tが9μm、T/Dが164、D/Dが4.6の場合であり、比較例5の場合と同様である。 Comparative Example 7 is a case where T c is 9 μm, T c / D c is 164, and D a / D c is 4.6, which is the same as the case of Comparative Example 5.

比較例8〜12は、Tが9μm、T/Dが50、D/Dが0.9〜4.6の場合であり、いずれも信頼性不良を示している。これは、D/D値に関係なくT/Dが50と小さいためである。即ち、T/Dはカバー領域に存在する厚さ方向のグレインの平均個数を意味し、グレインの数が55個より少なくなって水分浸透の経路が短くなるためである。 Comparative Examples 8 to 12 are cases where T c is 9 μm, T c / D c is 50, and D a / D c is 0.9 to 4.6, and all show poor reliability. This is because T c / D c is as small as 50 regardless of the D a / D c value. That is, T c / D c means the average number of grains in the thickness direction existing in the cover region, because the number of grains is less than 55 and the moisture permeation path is shortened.

表3及び4は、それぞれカバー領域の厚さTが15μm及び25μmの積層セラミックキャパシタに対する信頼性評価結果を示すものである。表3及び4によると、表2の場合と類似する結果を示すことを確認することができる。 Tables 3 and 4 show the reliability evaluation results for multilayer ceramic capacitors having cover region thicknesses Tc of 15 μm and 25 μm, respectively. According to Tables 3 and 4, it can be confirmed that the results are similar to those in Table 2.

表5は、カバー領域の厚さTが35μmの積層セラミックキャパシタに対する信頼性評価結果を示すものである。 Table 5 shows the reliability evaluation results for the multilayer ceramic capacitor having a cover region thickness Tc of 35 μm.

表5を参照すると、比較例31〜40は、T/D、D/Dの値に関係なくいずれも耐湿特性結果が良好であることを示している。これは、カバー領域の厚さTが十分に厚いためである。 Referring to Table 5, Comparative Examples 31 to 40 are, T c / D c, both regardless of the value of D a / D c humidity resistance results are indicated better. This is because the thickness Tc of the cover region is sufficiently thick.

上記の実験結果から下記のような結論が得られる。   The following conclusions can be obtained from the above experimental results.

第一、カバー領域の厚さが25μmより厚いと、耐湿特性に優れる。   First, when the thickness of the cover region is greater than 25 μm, the moisture resistance is excellent.

第二、カバー領域の厚さが25μm以下となると、カバー領域とアクティブ領域との焼結温度の差異による応力分布の不均一性によって耐湿特性が低下する問題が発生する可能性がある。   Second, when the thickness of the cover region is 25 μm or less, there is a possibility that the moisture resistance characteristic may be deteriorated due to non-uniform stress distribution due to a difference in sintering temperature between the cover region and the active region.

しかしながら、カバー領域のグレインのサイズをアクティブ領域のグレインのサイズより小さくし(1.1≦D/D≦4.4)、カバー領域の厚さ方向のグレインの数を調節(T/D≧55)することにより、耐湿特性を向上させることができる。 However, the grain size of the cover area is made smaller than the grain size of the active area (1.1 ≦ D a / D c ≦ 4.4), and the number of grains in the thickness direction of the cover area is adjusted (T c / By making D c ≧ 55, the moisture resistance can be improved.

第三、カバー領域の厚さが9μmより薄くなると、D/D、T/Dの値を調節しても耐湿特性を向上させることができない。 Third, when the thickness of the cover region is less than 9 μm, the moisture resistance cannot be improved even if the values of D a / D c and T c / D c are adjusted.

本発明で用いた用語は特定の実施例を説明するためのもので、本発明を限定しようとするものではない。単数の表現は、文脈上明白でない限り、複数の意味を含む。   The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments and is not intended to be limiting. The singular form includes the plural meanings unless the context clearly indicates otherwise.

「含む」又は「有する」等の用語は、明細書に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素又はこれらを組み合わせたものが存在するということを意味するものであり、これを排除しようとするものではない。   Terms such as “including” or “having” are meant to exclude the presence of features, numbers, steps, operations, components or combinations thereof described in the specification. It is not something to do.

本発明は、上述した実施形態及び添付の図面によって限定されることなく、添付の特許請求の範囲によって限定される。   The present invention is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, but is limited by the appended claims.

したがって、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で当技術分野における通常の知識を有する者によって多様な形態の置換、変形及び変更が可能であり、これもまた本発明の範囲に属する。   Therefore, various forms of substitution, modification, and alteration can be made by those having ordinary knowledge in the art without departing from the technical idea of the present invention described in the claims. It belongs to the scope of the present invention.

10 セラミック本体
11 セラミック層
21、22 外部電極
31、32 内部電極
31a 最上内部電極
32a 最下内部電極
カバー領域の厚さ
カバー領域のグレインの平均直径
アクティブ領域のグレインの平均直径
10 ceramic body 11 ceramic layers 21 and 22 the mean diameter of the external electrodes 31 and 32 internal electrodes 31a uppermost internal electrode 32a grain lowermost internal electrode T c average thickness D c coverage area of the grain diameter D a active region of the cover region

Claims (11)

セラミック本体と、
前記セラミック本体の外部面に形成された外部電極と、
前記セラミック本体内にセラミック層を挟んで積層配置された内部電極と
を含み、
前記セラミック本体は、最上内部電極から最下内部電極までのアクティブ領域と前記アクティブ領域の上部又は下部に形成された、前記最上内部電極又は前記最下内部電極に接するカバー領域とを含み、
前記カバー領域内のセラミックグレインの平均直径Dは、前記アクティブ領域内のセラミックグレインの平均直径Dより小さく、1.1≦D/D≦4.4であり、
前記カバー領域の前記内部電極の積層方向の厚さをTとするとき、9μm≦T≦25μmであり、T/D≧55である、積層セラミック電子部品。
A ceramic body;
An external electrode formed on the external surface of the ceramic body;
An internal electrode laminated in a ceramic body with a ceramic layer in between, and
Wherein the ceramic body includes an active region from the uppermost internal electrode to the lowermost internal electrode, formed in said top or bottom of the active region, and a cover area in contact with the uppermost inner electrode and the lowermost internal electrode,
The average diameter D c of the ceramic grains in the cover region is smaller than the average diameter D a of the ceramic grains in the active region, and 1.1 ≦ D a / D c ≦ 4.4,
A multilayer ceramic electronic component in which 9 μm ≦ T c ≦ 25 μm and T c / D c ≧ 55, where T c is a thickness of the cover region in the stacking direction of the internal electrodes.
前記カバー領域内のセラミックグレインの平均直径Dは、前記積層方向の平均直径である、請求項1に記載の積層セラミック電子部品。 2. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein an average diameter D c of the ceramic grains in the cover region is an average diameter in the stacking direction. 複数の内部電極が積層された内部電極積層部を含むセラミック本体と、
前記セラミック本体の外部に形成された外部電極と
を含み、
前記セラミック本体において前記内部電極積層部よりも前記セラミック本体の外部側における、前記内部電極積層部の最上内部電極又は最下内部電極に接する外部領域の、前記内部電極の積層方向の厚さTは9〜25μmであり、前記外部領域のセラミックグレインの平均直径Dは前記内部電極積層部の内部領域のセラミックグレインの平均直径Dより小さく、1.1≦D/D≦4.4であり、T/D≧55である、積層セラミック電子部品。
A ceramic body including an internal electrode laminated portion in which a plurality of internal electrodes are laminated;
An external electrode formed outside the ceramic body,
In the ceramic body, a thickness T c in the stacking direction of the internal electrodes in an external region in contact with the uppermost internal electrode or the lowermost internal electrode of the internal electrode stacked section on the outer side of the ceramic main body with respect to the internal electrode stacked section. Is 9 to 25 μm, and the average diameter D c of the ceramic grains in the outer region is smaller than the average diameter D a of the ceramic grains in the inner region of the internal electrode laminate, and 1.1 ≦ D a / D c ≦ 4. 4 and T c / D c ≧ 55.
前記内部電極積層部は、隣り合う内部電極が互いに反対方向に引き出される、請求項3に記載の積層セラミック電子部品。   4. The multilayer ceramic electronic component according to claim 3, wherein the internal electrode stacked portion is configured such that adjacent internal electrodes are drawn in opposite directions. 前記外部領域は、前記内部電極積層部の前記積層方向における前記セラミック本体の外部側に配置される、請求項3または4に記載の積層セラミック電子部品。   5. The multilayer ceramic electronic component according to claim 3, wherein the external region is disposed on an external side of the ceramic body in the stacking direction of the internal electrode stack portion. 前記外部領域のセラミックグレインの平均直径Dは、前記積層方向の平均直径である、請求項3から5の何れか1項に記載の積層セラミック電子部品。 6. The multilayer ceramic electronic component according to claim 3, wherein an average diameter D c of the ceramic grains in the outer region is an average diameter in the stacking direction. 前記セラミック本体は、誘電材料を含む、請求項1から6の何れか1項に記載の積層セラミック電子部品。   The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the ceramic body includes a dielectric material. 前記誘電材料は、チタン酸バリウム又はチタン酸ストロンチウムを含む、請求項7に記載の積層セラミック電子部品。   The multilayer ceramic electronic component according to claim 7, wherein the dielectric material includes barium titanate or strontium titanate. 前記内部電極の積層数は、250以上である、請求項1から8の何れか1項に記載の積層セラミック電子部品。   The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the number of stacked internal electrodes is 250 or more. 前記内部電極は、ニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含む、請求項1から9の何れか1項に記載の積層セラミック電子部品。   10. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the internal electrode includes one or more selected from the group consisting of nickel, palladium, and alloys thereof. 前記外部電極は、ニッケル、ニッケル合金及びパラジウムからなる群から選択された一つ以上を含む、請求項1から10の何れか1項に記載の積層セラミック電子部品。   11. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the external electrode includes one or more selected from the group consisting of nickel, a nickel alloy, and palladium.
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