JP5772258B2 - ガス増幅を用いた放射線検出器、及びガス増幅を用いた放射線の検出方法 - Google Patents
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第1の絶縁部材の、第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第1の電極パターン、及び前記第1の絶縁部材の、前記第1の面と相対向する第2の面上に形成されるとともに、前記第1の絶縁部材を貫通し、前記第1の電極パターンの前記複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第2の電極パターンを含み、前記第1の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれに露出した複数の端面及び前記第2の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれに露出した前記複数の突状部によって電子雪崩を生ぜしめる複数の第1のピクセル電極が形成されてなる第1の検出電極と、
前記第1の絶縁部材と絶縁中間部材を介して配置された第2の絶縁部材の、前記絶縁中間部材と相対する側に位置する第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第3の電極パターン、及び前記第2の絶縁部材の、前記第1の面と相対向し、前記絶縁中間部材の側に位置する第2の面上に形成されるとともに、前記第2の絶縁部材を貫通し、前記第3の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第4の電極パターンを含み、前記第3の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれに露出した複数の端面及び前記第4の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれに露出した前記複数の突状部によって電子雪崩を生ぜしめる複数の第2のピクセル電極が形成されてなる第2の検出電極と、
を具えることを特徴とする、ガス増幅を用いた放射線検出器に関する。
第1の絶縁部材の、第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第1の電極パターン、及び前記第1の絶縁部材の、前記第1の面と相対向する第2の面上に形成されるとともに、前記第1の絶縁部材を貫通し、前記第1の電極パターンの前記複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第2の電極パターンを含む第1の検出電極の、前記第1の電極パターンにおける前記複数の開口部それぞれに露出した複数の端面及び前記第2の電極パターンにおける前記複数の開口部それぞれに露出した前記複数の突状部によって形成されてなる複数の第1のピクセル電極の少なくとも1つにおいて電子雪崩を生ぜしめて放射線を検出ステップと、
前記第1の絶縁部材と絶縁中間部材を介して配置された第2の絶縁部材の、前記絶縁中間部材と相対する側に位置する第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第3の電極パターン、及び前記第2の絶縁部材の、前記第1の面と相対向し、前記絶縁中間部材の側に位置する第2の面上に形成されるとともに、前記第2の絶縁部材を貫通し、前記第3の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第4の電極パターンを含む第2の検出電極の、前記第3の電極パターンにおける前記複数の開口部それぞれに露出した複数の端面及び前記第4の電極パターンにおける前記複数の開口部それぞれに露出した前記複数の突状部によって形成される複数の第2のピクセル電極の少なくとも1つにおいて電子雪崩を生ぜしめて前記放射線を検出するステップと、
前記放射線を検出した前記少なくとも1つの第1のピクセル電極及び前記少なくとも1つの第2のピクセル電極間を結ぶ線分の角度を計測することにより、前記放射線の入射方向を同定するステップと、
を具えることを特徴とする、ガス増幅を用いた放射線の検出方法である。
図1は、本発明のガス増幅を用いた放射線検出器の一例における概略構成を示す上平面図であり、図2は、図1に示す放射線検出器のI−I線に沿って場合の断面図である。なお、上記放射線検出器を下方から見た場合の図は、図1に示す上平面図と同じであるので、ここでは省略する。
図4は、本発明のガス増幅を用いた放射線検出器の他の例における概略構成を示す上平面図である。
11 第1の検出電極
111 第1の絶縁部材
112 第1のストリップ状電極
112A 第1のストリップ状電極に形成された開口部
112B 第1のストリップ状電極の開口部に露出した端面
113 第2のストリップ状電極
113A 第2のストリップ状電極の凸状部
115 第1のピクセル電極
12 第2の検出電極
121 第2の絶縁部材
122 第3のストリップ状電極
122A 第1のストリップ状電極に形成された開口部
122B 第1のストリップ状電極の開口部に露出した端面
123 第4のストリップ状電極
123A 第4のストリップ状電極の凸状部
125 第2のピクセル電極
E 電界
R 放射線
Claims (8)
- 第1の絶縁部材の、第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第1の電極パターン、及び前記第1の絶縁部材の、前記第1の面と相対向する第2の面上に形成されるとともに、前記第1の絶縁部材を貫通し、前記第1の電極パターンの前記複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第2の電極パターンを含み、前記第1の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれに露出した複数の端面及び前記第2の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれに露出した前記複数の突状部によって電子雪崩を生ぜしめる複数の第1のピクセル電極が形成されてなる第1の検出電極と、
前記第1の絶縁部材と絶縁中間部材を介して配置された第2の絶縁部材の、前記絶縁中間部材と相対する側に位置する第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第3の電極パターン、及び前記第2の絶縁部材の、前記第1の面と相対向し、前記絶縁中間部材の側に位置する第2の面上に形成されるとともに、前記第2の絶縁部材を貫通し、前記第3の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第4の電極パターンを含み、前記第3の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれに露出した複数の端面及び前記第4の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれに露出した前記複数の突状部によって電子雪崩を生ぜしめる複数の第2のピクセル電極が形成されてなる第2の検出電極と、
を具えることを特徴とする、ガス増幅を用いた放射線検出器。 - 前記第2の検出電極における各第2のピクセル電極の少なくとも一部は、前記第1の検出電極の、互いに並列に配列されるとともに最も近接した4つの第1のピクセル電極の中心間を結ぶ線分によって画定される領域内に位置することを特徴とする、請求項1に記載のガス増幅を用いた放射線検出器。
- 前記第2の検出電極における各第2のピクセル電極は、前記領域内の中央に位置することを特徴とする、請求項2に記載のガス増幅を用いた放射線検出器。
- 前記第2の検出電極における各第2のピクセル電極の外縁が、前記領域内において、前記最も近接した4つの第1のピクセル電極の外縁と重複するようにして位置することを特徴とする、請求項3に記載のガス増幅を用いた放射線検出器。
- 第1の絶縁部材の、第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第1の電極パターン、及び前記第1の絶縁部材の、前記第1の面と相対向する第2の面上に形成されるとともに、前記第1の絶縁部材を貫通し、前記第1の電極パターンの前記複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第2の電極パターンを含む第1の検出電極の、前記第1の電極パターンにおける前記複数の開口部それぞれに露出した複数の端面及び前記第2の電極パターンにおける前記複数の開口部それぞれに露出した前記複数の突状部によって形成されてなる複数の第1のピクセル電極の少なくとも1つにおいて電子雪崩を生ぜしめて放射線を検出ステップと、
前記第1の絶縁部材と絶縁中間部材を介して配置された第2の絶縁部材の、前記絶縁中間部材と相対する側に位置する第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第3の電極パターン、及び前記第2の絶縁部材の、前記第1の面と相対向し、前記絶縁中間部材の側に位置する第2の面上に形成されるとともに、前記第2の絶縁部材を貫通し、前記第3の電極パターンの、前記複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第4の電極パターンを含む第2の検出電極の、前記第3の電極パターンにおける前記複数の開口部それぞれに露出した複数の端面及び前記第4の電極パターンにおける前記複数の開口部それぞれに露出した前記複数の突状部によって形成される複数の第2のピクセル電極の少なくとも1つにおいて電子雪崩を生ぜしめて前記放射線を検出するステップと、
前記放射線を検出した前記少なくとも1つの第1のピクセル電極及び前記少なくとも1つの第2のピクセル電極間を結ぶ線分の角度を計測することにより、前記放射線の入射方向を同定するステップと、
を具えることを特徴とする、ガス増幅を用いた放射線の検出方法。 - 前記第2の検出電極における各第2のピクセル電極の少なくとも一部は、前記第1の検出電極の、互いに並列に配列されるとともに最も近接した4つの第1のピクセル電極の中心間を結ぶ線分によって画定される領域内に位置させることを特徴とする、請求項5に記載のガス増幅を用いた放射線の検出方法。
- 前記第2の検出電極における各第2のピクセル電極は、前記領域内の中央に位置させることを特徴とする、請求項6に記載のガス増幅を用いた放射線の検出方法。
- 前記第2の検出電極における各第2のピクセル電極の外縁が、前記領域内において、前記最も近接した4つの第1のピクセル電極の外縁と重複するようにして位置させることを特徴とする、請求項7に記載のガス増幅を用いた放射線の検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011128435A JP5772258B2 (ja) | 2011-06-08 | 2011-06-08 | ガス増幅を用いた放射線検出器、及びガス増幅を用いた放射線の検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011128435A JP5772258B2 (ja) | 2011-06-08 | 2011-06-08 | ガス増幅を用いた放射線検出器、及びガス増幅を用いた放射線の検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012255698A JP2012255698A (ja) | 2012-12-27 |
JP5772258B2 true JP5772258B2 (ja) | 2015-09-02 |
Family
ID=47527394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011128435A Active JP5772258B2 (ja) | 2011-06-08 | 2011-06-08 | ガス増幅を用いた放射線検出器、及びガス増幅を用いた放射線の検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5772258B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017057674A1 (ja) | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 大日本印刷株式会社 | 放射線画像形成装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH079460B2 (ja) * | 1987-10-12 | 1995-02-01 | 三菱電機株式会社 | 粒子線測定用モニタ装置 |
JP3513884B2 (ja) * | 1993-09-20 | 2004-03-31 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線検出器 |
SE515884C2 (sv) * | 1999-12-29 | 2001-10-22 | Xcounter Ab | Förfarande och anordning för radiografi samt strålningsdetektor |
US7157718B2 (en) * | 2004-04-30 | 2007-01-02 | The Regents Of The University Of Michigan | Microfabricated radiation detector assemblies methods of making and using same and interface circuit for use therewith |
JP2007136050A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | National Univ Corp Shizuoka Univ | X線検出器アレイ |
JP5082096B2 (ja) * | 2007-01-25 | 2012-11-28 | 国立大学法人神戸大学 | ピクセル型電極構造のガス放射線検出器 |
JP2008232971A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Hitachi Medical Corp | 核医学診断装置、及び光子測定装置 |
-
2011
- 2011-06-08 JP JP2011128435A patent/JP5772258B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012255698A (ja) | 2012-12-27 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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