JPH079460B2 - 粒子線測定用モニタ装置 - Google Patents
粒子線測定用モニタ装置Info
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- JPH079460B2 JPH079460B2 JP25697587A JP25697587A JPH079460B2 JP H079460 B2 JPH079460 B2 JP H079460B2 JP 25697587 A JP25697587 A JP 25697587A JP 25697587 A JP25697587 A JP 25697587A JP H079460 B2 JPH079460 B2 JP H079460B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、粒子加速器よりの加速粒子線を利用した粒
子線測定用モニタ装置に関するものである。
子線測定用モニタ装置に関するものである。
［従来の技術］ 第４図（ａ）は従来の粒子線測定用モニタ装置の一例を
示す構成図であり、図において、１はモニタ装置、２は
モニタ装置１内を通過する粒子線によりガス体３が電離
して発生する電子やイオンを集極するコレクタ電極、４
は電離電子やイオンを付勢する高圧を印加する高圧電
極、５は粒子線を通過させ、モニタ装置１内部のガス体
３と、外部のガス体を隔離する窓、６はモニタ装置１の
筐体、７は上記コレクタ電極２と高圧電極４とを絶縁さ
せる絶縁板、８は絶縁板７の表面を流れる漏洩電流がコ
レクタ電極２に流れ込まないようにしたガード電極であ
る。
示す構成図であり、図において、１はモニタ装置、２は
モニタ装置１内を通過する粒子線によりガス体３が電離
して発生する電子やイオンを集極するコレクタ電極、４
は電離電子やイオンを付勢する高圧を印加する高圧電
極、５は粒子線を通過させ、モニタ装置１内部のガス体
３と、外部のガス体を隔離する窓、６はモニタ装置１の
筐体、７は上記コレクタ電極２と高圧電極４とを絶縁さ
せる絶縁板、８は絶縁板７の表面を流れる漏洩電流がコ
レクタ電極２に流れ込まないようにしたガード電極であ
る。
しかして、コレクタ電極２には測定する目的により、コ
レクタ電極２の全面で粒子線量を測定するようにした線
量測定電極（図示せず）や、第４図（ｂ）に示すように
等間隔の小型集電極による所定の広がりにおける粒子線
の分布濃度を測定する平坦度測定電極９や第４図（ｃ）
に示すように粒子線のプロフィルをワイヤ状電極により
測定するプロフィル電極10がある。
レクタ電極２の全面で粒子線量を測定するようにした線
量測定電極（図示せず）や、第４図（ｂ）に示すように
等間隔の小型集電極による所定の広がりにおける粒子線
の分布濃度を測定する平坦度測定電極９や第４図（ｃ）
に示すように粒子線のプロフィルをワイヤ状電極により
測定するプロフィル電極10がある。
また、第５図は従来の粒子線測定用モニタ装置の他の例
を示すもので、線量測定電極を一方のコレクタ電極２
に、平坦度測定電極９を他方のコレクタ電極２に設けた
ものである。
を示すもので、線量測定電極を一方のコレクタ電極２
に、平坦度測定電極９を他方のコレクタ電極２に設けた
ものである。
次に動作について説明する。
第４図に模式的に示したように、ガス体３を充填したモ
ニタ装置１内を粒子線12が通過する時、粒子線12と、ガ
ス体３の分子が衝突し、ガス分子が電離される。高圧電
極４とコレクタ電極２との間に高圧電源11を用いて電界
を印加すると、電離した電子e-がコレクタ電極２に、イ
オンi+が高圧電極24に集極される。電離する電子e-、イ
オンi+の数は通過する粒子線12の強度に比例する。電子
の移動の方がイオンの移動と比べて早いので、電子の集
極で通過する粒子線12をモニタするのが普通である。ガ
ード電極８は絶縁板７の表面を流れる漏洩電流が、コレ
クタ電極２に流れ込んで、測定の邪魔をするのを防ぐた
めにコレクタ電極２と同電位となっている。さて従来の
これらのモニタ装置１はコレクタ電極２が例えば0.2mm
程度の厚さをもつ例えばアルミニュウムなどの金属板で
構成されている。そして、コレクタ電極２に集極された
電子e-は、図示されていないリード線、増幅器を通し
て、測定・計測される。
ニタ装置１内を粒子線12が通過する時、粒子線12と、ガ
ス体３の分子が衝突し、ガス分子が電離される。高圧電
極４とコレクタ電極２との間に高圧電源11を用いて電界
を印加すると、電離した電子e-がコレクタ電極２に、イ
オンi+が高圧電極24に集極される。電離する電子e-、イ
オンi+の数は通過する粒子線12の強度に比例する。電子
の移動の方がイオンの移動と比べて早いので、電子の集
極で通過する粒子線12をモニタするのが普通である。ガ
ード電極８は絶縁板７の表面を流れる漏洩電流が、コレ
クタ電極２に流れ込んで、測定の邪魔をするのを防ぐた
めにコレクタ電極２と同電位となっている。さて従来の
これらのモニタ装置１はコレクタ電極２が例えば0.2mm
程度の厚さをもつ例えばアルミニュウムなどの金属板で
構成されている。そして、コレクタ電極２に集極された
電子e-は、図示されていないリード線、増幅器を通し
て、測定・計測される。
［発明が解決しようとする問題点］ 従来の粒子線測定用モニタ装置は以上のように構成され
ているので、Ｘ線や電子線の測定に用いてもコレクタ電
極２が0.2mm程度の厚さの金属板であったため入射粒子
線と金属板の原子との干渉によるエネルギ損失は大きく
ならなかった。しかし、重いイオン粒子線の場合にはエ
ネルギ損失が無視できず、精密な測定に適していないと
いう問題点があった。また、いままでの平坦度測定電極
９はその構造上、同一面での測定が行えず、粒子線２軸
方向に対して異なる面での測定となるために、精度よく
測定が行えないという問題点があった。
ているので、Ｘ線や電子線の測定に用いてもコレクタ電
極２が0.2mm程度の厚さの金属板であったため入射粒子
線と金属板の原子との干渉によるエネルギ損失は大きく
ならなかった。しかし、重いイオン粒子線の場合にはエ
ネルギ損失が無視できず、精密な測定に適していないと
いう問題点があった。また、いままでの平坦度測定電極
９はその構造上、同一面での測定が行えず、粒子線２軸
方向に対して異なる面での測定となるために、精度よく
測定が行えないという問題点があった。
さらに、静電力に対して補正電極を用いないため電極面
積の大きいモニタ装置の場合、静電力によるコレクタ電
極２の歪みは、その厚さを厚くするしかなく、このため
エネルギ損失が増大するという問題点があった。
積の大きいモニタ装置の場合、静電力によるコレクタ電
極２の歪みは、その厚さを厚くするしかなく、このため
エネルギ損失が増大するという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、粒子線のエネルギ損失を小さく精密な測定が
行えるようにした粒子線測定用モニタ装置を得ることを
目的とする。
たもので、粒子線のエネルギ損失を小さく精密な測定が
行えるようにした粒子線測定用モニタ装置を得ることを
目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 第１の発明に係る粒子線測定用モニタ装置は高圧電極と
樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着させて形
成したコレクタ電極とを絶縁板を介在させて対向配置さ
せたものである。
樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着させて形
成したコレクタ電極とを絶縁板を介在させて対向配置さ
せたものである。
第２の発明に係る粒子線測定用モニタ装置は高圧電極と
樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着させて形
成したコレクタ電極とを２組設け、２つのコレクタ電極
の裏面を対向並設したものである。
樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着させて形
成したコレクタ電極とを２組設け、２つのコレクタ電極
の裏面を対向並設したものである。
［作用］ 第１の発明における粒子線測定用モニタ装置は高圧電極
と樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着して形
成したコレクタ電極との間に電界を印加し、ガス体と粒
子線とを衝突させることによってガス分子が電離し、電
子をコレクタ電極に、イオンを高圧電極に集極させてエ
ネルギ損失を少なく粒子線を測定するようにした。
と樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着して形
成したコレクタ電極との間に電界を印加し、ガス体と粒
子線とを衝突させることによってガス分子が電離し、電
子をコレクタ電極に、イオンを高圧電極に集極させてエ
ネルギ損失を少なく粒子線を測定するようにした。
また、第２の発明における粒子線測定用モニタ装置は、
樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着させて形
成した２つのコレクタ電極をその裏面同志を並設するこ
とによって粒子線の線量、平坦度あるいはプロフィルの
うちの少なくとも一種類を測定できるようにしたもので
ある。
樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着させて形
成した２つのコレクタ電極をその裏面同志を並設するこ
とによって粒子線の線量、平坦度あるいはプロフィルの
うちの少なくとも一種類を測定できるようにしたもので
ある。
［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す断面図であって、第１図
において第４図と同一または均等な構成部分には同一符
号を付してその説明を省略する。第１図において、20は
コレクタ電極で、このコレクタ電極20は第２図（ａ）に
示すように比重の小さい樹脂板に蒸着またはめっきによ
って金属を接着させて形成されたものである。21はガイ
ド電極で、上記樹脂板の外周に沿って、リング状に形成
されている。22は高圧電極４への静電力を相殺するため
の補助電極で、コレクタ電極20に絶縁板７を介在させて
対向している高圧電極４の裏面に絶縁板７を介在させて
対向配置されている。
図はこの発明の一実施例を示す断面図であって、第１図
において第４図と同一または均等な構成部分には同一符
号を付してその説明を省略する。第１図において、20は
コレクタ電極で、このコレクタ電極20は第２図（ａ）に
示すように比重の小さい樹脂板に蒸着またはめっきによ
って金属を接着させて形成されたものである。21はガイ
ド電極で、上記樹脂板の外周に沿って、リング状に形成
されている。22は高圧電極４への静電力を相殺するため
の補助電極で、コレクタ電極20に絶縁板７を介在させて
対向している高圧電極４の裏面に絶縁板７を介在させて
対向配置されている。
しかして、第１図に示す上記コレクタ電極20は第２図
（ａ）に示すように２枚の例えばポリイミド樹脂などの
樹脂板23a,23bの裏面同志を並設させ、表面に金属24,25
を接着させたものである。すなわち、一方の樹脂板23a
の表面には蒸着またはめっきによって円板状にあるいは
多数の線体を円形状に配列した金属24を接着して線量測
定電極26を形成し、他方の樹脂板23bの表面には蒸着ま
たはめっきによって多数の小片を十字状に配列した金属
25を接着して平坦度測定電極27（第２図（ｂ）参照）を
形成したもので、この平坦度測定電極27は同一面での平
坦度の測定が可能となるように構成されている。また、
線量測定電極26のリード線28aおよび平坦度測定電極27
のリード線28bはそれぞれの樹脂板23a,23bの裏面に互い
に接触しないように導出されている。
（ａ）に示すように２枚の例えばポリイミド樹脂などの
樹脂板23a,23bの裏面同志を並設させ、表面に金属24,25
を接着させたものである。すなわち、一方の樹脂板23a
の表面には蒸着またはめっきによって円板状にあるいは
多数の線体を円形状に配列した金属24を接着して線量測
定電極26を形成し、他方の樹脂板23bの表面には蒸着ま
たはめっきによって多数の小片を十字状に配列した金属
25を接着して平坦度測定電極27（第２図（ｂ）参照）を
形成したもので、この平坦度測定電極27は同一面での平
坦度の測定が可能となるように構成されている。また、
線量測定電極26のリード線28aおよび平坦度測定電極27
のリード線28bはそれぞれの樹脂板23a,23bの裏面に互い
に接触しないように導出されている。
次に、動作について説明する。
ガス体３を充填した筐体６内を粒子線12が通過する時、
粒子線12とガス体３の分子が衝突し、ガス分子が電離さ
れる。また、高圧電極４とコレクタ電極20との間に高圧
電源７を用いて電界を印加すると、電離した電子e-がコ
レクタ電極20に、イオンi+が高圧電極４に集極される。
電離する電子e-、イオンi+の数は通過する粒子線12の強
度に比例し、また電子e-の移動速度がイオンi+の移動速
度より早いので、電子e-をコレクタ電極20に集極し、こ
れを測定回路（図示せず）により測定することになる。
すなわち、線量測定電極26により粒子線の照射量を測定
し、平坦度測定電極27により粒子線が広がって分布する
場合の粒子線の濃淡を測定する。
粒子線12とガス体３の分子が衝突し、ガス分子が電離さ
れる。また、高圧電極４とコレクタ電極20との間に高圧
電源７を用いて電界を印加すると、電離した電子e-がコ
レクタ電極20に、イオンi+が高圧電極４に集極される。
電離する電子e-、イオンi+の数は通過する粒子線12の強
度に比例し、また電子e-の移動速度がイオンi+の移動速
度より早いので、電子e-をコレクタ電極20に集極し、こ
れを測定回路（図示せず）により測定することになる。
すなわち、線量測定電極26により粒子線の照射量を測定
し、平坦度測定電極27により粒子線が広がって分布する
場合の粒子線の濃淡を測定する。
なお、上記実施例ではコレクタ電極が線量測定電極およ
び平坦度測定電極である場合について説明したが、第３
図に示すようにコレクタ電極をプロフィル測定電極とし
て形成してもよい。すなわち、プロフィル測定電極30は
例えばポリイミド樹脂などの一方の樹脂板23cに、水平
方向に多数の線状の金属31を蒸着またはめっきなどによ
り接着すると共に、上記一方の樹脂板23cに裏面同志が
近接して並設される他方の樹脂板に垂直方向に多数の線
状の金属を蒸着またはめっきなどにより接着し、粒子線
のプロフィルを測定するものである。
び平坦度測定電極である場合について説明したが、第３
図に示すようにコレクタ電極をプロフィル測定電極とし
て形成してもよい。すなわち、プロフィル測定電極30は
例えばポリイミド樹脂などの一方の樹脂板23cに、水平
方向に多数の線状の金属31を蒸着またはめっきなどによ
り接着すると共に、上記一方の樹脂板23cに裏面同志が
近接して並設される他方の樹脂板に垂直方向に多数の線
状の金属を蒸着またはめっきなどにより接着し、粒子線
のプロフィルを測定するものである。
また、上記実施例では線量測定電極、平坦度測定電極お
よびプロフィル測定電極のそれぞれの金属配列を説明し
たが、上記実施例で説明した線量測定電極としての金属
配列や平坦度測定電極としての金属配列やプロフィル測
定電極としての金属配列に限定されるものでなく、それ
ぞれの測定が可能であればどのような金属配列であって
もよいものである。
よびプロフィル測定電極のそれぞれの金属配列を説明し
たが、上記実施例で説明した線量測定電極としての金属
配列や平坦度測定電極としての金属配列やプロフィル測
定電極としての金属配列に限定されるものでなく、それ
ぞれの測定が可能であればどのような金属配列であって
もよいものである。
［発明の効果］ 以上のように、第１の発明によれば、粒子線測定用モニ
タ装置におけるコレクタ電極を樹脂板に金属を蒸着また
はめっきを施して接着するように構成したので、粒子線
のエネルギ損失を小さくして精密な測定が行えるものが
得られる効果があり、また第２の発明によれば２個のコ
レクタ電極の裏面同志を近接して並設すると共に、コレ
クタ電極は樹脂板に金属を蒸着またはめっきにより接着
させた構成であるので、測定用電極としてのコレクタ電
極に静電力が掛ることがなく、また電極は位置や大きさ
を正確に限定でき、よって測定精度が向上し、さらに装
置の小型化が可能となるという効果がある。
タ装置におけるコレクタ電極を樹脂板に金属を蒸着また
はめっきを施して接着するように構成したので、粒子線
のエネルギ損失を小さくして精密な測定が行えるものが
得られる効果があり、また第２の発明によれば２個のコ
レクタ電極の裏面同志を近接して並設すると共に、コレ
クタ電極は樹脂板に金属を蒸着またはめっきにより接着
させた構成であるので、測定用電極としてのコレクタ電
極に静電力が掛ることがなく、また電極は位置や大きさ
を正確に限定でき、よって測定精度が向上し、さらに装
置の小型化が可能となるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による粒子線測定用モニタ
装置を示す構成図、第２図（ａ）は第１図のコレクタ電
極を抽出して示す拡大構成図、第２図（ｂ）は同図
（ａ）の底面図、第３図はこの発明の他の実施例を示す
コレクタ電極の平面図、第４図（ａ）は従来の粒子線測
定用モニタ装置の一例を示す構成図、第４図（ｂ）は従
来のコレクタ電極のうちの平坦度測定電極を示す構成
図、第４図（ｃ）は従来のプロフィル測定電極を示す構
成図、第５図は従来の粒子線測定用モニタ装置の他の例
を示す構成図、第６図は粒子線測定用モニタ装置の原理
説明図である。 ３はガス体、４は高圧電極、７は絶縁板、20はコレクタ
電極、23a,23b,23cは樹脂板、24,25,31は金属、26は線
量測定電極、27は平坦度測定電極、30はプロフィル測定
電極。 図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
装置を示す構成図、第２図（ａ）は第１図のコレクタ電
極を抽出して示す拡大構成図、第２図（ｂ）は同図
（ａ）の底面図、第３図はこの発明の他の実施例を示す
コレクタ電極の平面図、第４図（ａ）は従来の粒子線測
定用モニタ装置の一例を示す構成図、第４図（ｂ）は従
来のコレクタ電極のうちの平坦度測定電極を示す構成
図、第４図（ｃ）は従来のプロフィル測定電極を示す構
成図、第５図は従来の粒子線測定用モニタ装置の他の例
を示す構成図、第６図は粒子線測定用モニタ装置の原理
説明図である。 ３はガス体、４は高圧電極、７は絶縁板、20はコレクタ
電極、23a,23b,23cは樹脂板、24,25,31は金属、26は線
量測定電極、27は平坦度測定電極、30はプロフィル測定
電極。 図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (6)
- 【請求項１】ガス体が充填された筐体中に高圧電極に絶
縁板を介在させてコレクタ電極を対向配置した粒子線測
定用モニタ装置において、上記コレクタ電極は樹脂板に
蒸着またはめっきによって金属を接着させて形成されて
いることを特徴とする粒子線測定用モニタ装置。 - 【請求項２】上記コレクタ電極は樹脂板に円板状に金属
を蒸着またはめっきさせて形成し、線量測定電極とした
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の粒子線測
定用モニタ装置。 - 【請求項３】コレクタ電極は樹脂板に蒸着またはめっき
により金属を放射状に点在させて形成し、平坦度測定電
極としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
粒子線測定用モニタ装置。 - 【請求項４】コレクタ電極は樹脂板に蒸着またはめっき
により線状の金属を複数平行に形成し、プロフィル測定
電極としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の粒子線測定用モニタ装置。 - 【請求項５】ガス体が充填された筐体中に高圧電極に絶
縁板を介在させてコレクタ電極を対向配置させた粒子線
測定用モニタ装置において、上記高圧電極に絶縁板を介
して対向配置された上記コレクタ電極を樹脂板に蒸着ま
たはめっきによって金属を接着させて形成し、上記コレ
クタ電極の裏面に樹脂板に蒸着またはめっきによって金
属を接着した他のコレクタ電極を絶縁状態で並設し、こ
の他のコレクタ電極に絶縁板を介して他の高圧電極を対
向配置させたことを特徴とする粒子線測定用モニタ装
置。 - 【請求項６】上記コレクタ電極および他のコレクタ電極
は線量測定電極、平坦度測定電極あるいはプロフィル測
定電極のうちのいずれか２つによって形成したことを特
徴とする特許請求の範囲第５項記載の粒子線測定用モニ
タ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25697587A JPH079460B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 粒子線測定用モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25697587A JPH079460B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 粒子線測定用モニタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0198985A JPH0198985A (ja) | 1989-04-17 |
| JPH079460B2 true JPH079460B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=17299976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25697587A Expired - Lifetime JPH079460B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 粒子線測定用モニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079460B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5490310B2 (ja) | 2011-03-10 | 2014-05-14 | 三菱電機株式会社 | 線量監視装置の感度補正方法及び粒子線治療装置 |
| JP5772258B2 (ja) * | 2011-06-08 | 2015-09-02 | 大日本印刷株式会社 | ガス増幅を用いた放射線検出器、及びガス増幅を用いた放射線の検出方法 |
| JP5924981B2 (ja) * | 2012-03-02 | 2016-05-25 | 三菱電機株式会社 | 放射線ビームモニタ装置 |
| US9213109B2 (en) | 2012-05-24 | 2015-12-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Radiation measurement device |
| WO2017057674A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 大日本印刷株式会社 | 放射線画像形成装置 |
| CN112987076B (zh) * | 2021-02-07 | 2022-08-16 | 中国科学院近代物理研究所 | 一种用于微弱束流的流强探测系统 |
-
1987
- 1987-10-12 JP JP25697587A patent/JPH079460B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0198985A (ja) | 1989-04-17 |
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