JPH0198985A - 粒子線測定用モニタ装置 - Google Patents
粒子線測定用モニタ装置Info
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- JPH0198985A JPH0198985A JP25697587A JP25697587A JPH0198985A JP H0198985 A JPH0198985 A JP H0198985A JP 25697587 A JP25697587 A JP 25697587A JP 25697587 A JP25697587 A JP 25697587A JP H0198985 A JPH0198985 A JP H0198985A
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 23
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- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、粒子加速器よりの加速粒子線を利用した粒
子線測定用モニタ装置に関するものである。
子線測定用モニタ装置に関するものである。
［従来の技術］
第４図（ａ）は従来の粒子線測定用モニタ装置の一例を
示す構成図であり、図において、１はモニタ装置、２は
モニタ装Ｗｌ内を通過する粒子線によりガス体３が電離
して発生する電子を集積するコレクタ電極、４は電離電
子を付勢する高圧を印加する高圧電極、５は粒子線を通
過させ、モニタ装置１内部のガス体３と、外部のガス体
を隔離する窓、６はモニタ装置１の筐体、７は上記コレ
クタ電極２と高圧電極４とを絶縁させる絶縁板、８は絶
縁板７の表面を流れる漏洩電流がコレクタ電極２に流れ
込まないようにしたガード電極である。
示す構成図であり、図において、１はモニタ装置、２は
モニタ装Ｗｌ内を通過する粒子線によりガス体３が電離
して発生する電子を集積するコレクタ電極、４は電離電
子を付勢する高圧を印加する高圧電極、５は粒子線を通
過させ、モニタ装置１内部のガス体３と、外部のガス体
を隔離する窓、６はモニタ装置１の筐体、７は上記コレ
クタ電極２と高圧電極４とを絶縁させる絶縁板、８は絶
縁板７の表面を流れる漏洩電流がコレクタ電極２に流れ
込まないようにしたガード電極である。
しかして、コレクタ電極２には測定する目的により、コ
レクタ電極２の全面で粒子線量を測定するようにした線
量測定電極（図示せず）や、第４図（ｂ）に示すように
等間隔の小型集電極による所定の広がりにおける粒子線
の分布濃度を測定する平坦度測定電極９や第４図（Ｃ）
に示すように粒子線のプロフィルをワイヤ状電極により
測定するプロフィル電極１０がある。
レクタ電極２の全面で粒子線量を測定するようにした線
量測定電極（図示せず）や、第４図（ｂ）に示すように
等間隔の小型集電極による所定の広がりにおける粒子線
の分布濃度を測定する平坦度測定電極９や第４図（Ｃ）
に示すように粒子線のプロフィルをワイヤ状電極により
測定するプロフィル電極１０がある。
また、第５図は従来の粒子線測定用モニタ装置の他の例
を示すもので、重量測定電極を一方のコレクタ電極２に
、平坦度測定電極９を他方のコレクタ電極２に設けたも
のである。
を示すもので、重量測定電極を一方のコレクタ電極２に
、平坦度測定電極９を他方のコレクタ電極２に設けたも
のである。
次に動作について説明する。
第４図に模式的に示したように、ガス体３を充填したモ
ニタ装Ｗｌ内を粒子線１２が通過する時、粒子線１２と
、ガス体３の分子が衝突し、ガス分子が電離される。高
圧電極４とコレクタ電極２との間に高圧電源１１を用い
て電界を印加すると、電離した電子ｅ−がコレクタ電極
２に、イオン１＋が高圧電極２４に集積される。電離す
る電子ｅ−、イオンＩ＋の数は通過する粒子線１２の強
度に比例する。電子力の移動がイオンと比べて早いので
、電子の集積で通過する粒子線１２をモニタするのが普
通である。カード電極８は絶縁板７の表面を流れる漏洩
電流が、コレクタ電極２に流れ込んで、測定の邪魔をす
るのを防ぐためにコレクタ電極２と同電位となっている
。さて従来のこれらのモニタ装Ｗ１はコレクタ電極２が
例えば０．２ ｍ＋ｎ程度の厚さをもつ例えばアルミニ
ュウムなどの金属板で構成されている。そして、コレク
タ電極２に集積された電子ｅ−は、図示されていないリ
ード線、増幅器を通して、測定・計測される。
ニタ装Ｗｌ内を粒子線１２が通過する時、粒子線１２と
、ガス体３の分子が衝突し、ガス分子が電離される。高
圧電極４とコレクタ電極２との間に高圧電源１１を用い
て電界を印加すると、電離した電子ｅ−がコレクタ電極
２に、イオン１＋が高圧電極２４に集積される。電離す
る電子ｅ−、イオンＩ＋の数は通過する粒子線１２の強
度に比例する。電子力の移動がイオンと比べて早いので
、電子の集積で通過する粒子線１２をモニタするのが普
通である。カード電極８は絶縁板７の表面を流れる漏洩
電流が、コレクタ電極２に流れ込んで、測定の邪魔をす
るのを防ぐためにコレクタ電極２と同電位となっている
。さて従来のこれらのモニタ装Ｗ１はコレクタ電極２が
例えば０．２ ｍ＋ｎ程度の厚さをもつ例えばアルミニ
ュウムなどの金属板で構成されている。そして、コレク
タ電極２に集積された電子ｅ−は、図示されていないリ
ード線、増幅器を通して、測定・計測される。
［発明が解決しようとする問題点コ
従来の粒子線測定用モニタ装置は以上のように構成され
ているので、Ｘ線や電子線の測定に用いてもコレクタ電
極２が０．２Ｂ程度の厚さの金属板であったなめ入射粒
子線と金属板の原子との干渉によるエネルギ損失は大き
くならなかった。しかし、重いイオン粒子線の場合には
エネルギ損失が無視できず、精密な測定に適していない
という問題点があった。また、いままでの平坦度測定電
極９はその構造上、同一面での測定が行えず、粒子線の
２軸方向に対して異なる面での測定となるなめに、精度
よく測定が行えないという問題点があった。
ているので、Ｘ線や電子線の測定に用いてもコレクタ電
極２が０．２Ｂ程度の厚さの金属板であったなめ入射粒
子線と金属板の原子との干渉によるエネルギ損失は大き
くならなかった。しかし、重いイオン粒子線の場合には
エネルギ損失が無視できず、精密な測定に適していない
という問題点があった。また、いままでの平坦度測定電
極９はその構造上、同一面での測定が行えず、粒子線の
２軸方向に対して異なる面での測定となるなめに、精度
よく測定が行えないという問題点があった。
さらに、静電力に対して補正電極を用いないため電極面
積の大きいモニタ装置の場合、静電力によるコレクタ電
ｔ＆２の歪みは、その厚さを厚くするしかなく、このた
めエネルギ損失が増大するという問題点があった。
積の大きいモニタ装置の場合、静電力によるコレクタ電
ｔ＆２の歪みは、その厚さを厚くするしかなく、このた
めエネルギ損失が増大するという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、粒子線のエネルギ損失を小さくして精密な測
定が行えるようにした粒子線測定用モニタ装置を得るこ
とを目的とする。
たもので、粒子線のエネルギ損失を小さくして精密な測
定が行えるようにした粒子線測定用モニタ装置を得るこ
とを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
第１の発明に係る粒子線測定用モニタ装置は高圧電極と
樹脂板に蒸着またはめつきによって金属を接着させて形
成したコレクタ電極とを絶縁板を介在させて対向配置さ
せたものである。
樹脂板に蒸着またはめつきによって金属を接着させて形
成したコレクタ電極とを絶縁板を介在させて対向配置さ
せたものである。
第２の発明に係る粒子線測定用モニタ装置は高圧電極と
樹脂板に蒸着またはめつきによって金属を接着させて形
成したコレクタ電極とを２組設け、２つのコレクタ電極
の裏面を対向並設したものである。
樹脂板に蒸着またはめつきによって金属を接着させて形
成したコレクタ電極とを２組設け、２つのコレクタ電極
の裏面を対向並設したものである。
［作用］
第１の発明における粒子線測定用モニタ装置は高圧電極
と樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着して形
成したコレクタ電極との間に電界を印加し、ガス体と粒
子線とを衝突させることによってガス分子が電離し、電
子をコレクタ電極に、イオンを高圧電極に集積させてエ
ネルギ損失を少なく粒子線を測定するようにした。
と樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着して形
成したコレクタ電極との間に電界を印加し、ガス体と粒
子線とを衝突させることによってガス分子が電離し、電
子をコレクタ電極に、イオンを高圧電極に集積させてエ
ネルギ損失を少なく粒子線を測定するようにした。
また、第２の発明における粒子線測定用モニタ装置は、
樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着させて形
成した２つのコレクタ電極をその裏面同志を並設するこ
とによって粒子線の線量、平坦度あるいはプロフィルの
うちの少なくとも一種類を測定できるようにしたもので
ある。
樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接着させて形
成した２つのコレクタ電極をその裏面同志を並設するこ
とによって粒子線の線量、平坦度あるいはプロフィルの
うちの少なくとも一種類を測定できるようにしたもので
ある。
［実施例］
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す断面図であって、第１図
において第４図と同一または均等な構成部分には同一符
号を付してその説明を省略する。第１図において、２０
はコレクタ電極で、このコレクタ電極２０は第２図（ａ
）に示すように比重の小さい樹脂板に蒸着またはめっき
によって金属を接着させて形成されたものである。２１
はガイド電極で、上記樹脂板の外周に沿って、リング状
に形成されている。２２は高圧電極４への静電力を相殺
するための補助電極で、コレクタ電極２０に絶縁板７を
介在させて対向している高圧電極４の裏面に絶縁板７を
介在させて対向配置されている。
図はこの発明の一実施例を示す断面図であって、第１図
において第４図と同一または均等な構成部分には同一符
号を付してその説明を省略する。第１図において、２０
はコレクタ電極で、このコレクタ電極２０は第２図（ａ
）に示すように比重の小さい樹脂板に蒸着またはめっき
によって金属を接着させて形成されたものである。２１
はガイド電極で、上記樹脂板の外周に沿って、リング状
に形成されている。２２は高圧電極４への静電力を相殺
するための補助電極で、コレクタ電極２０に絶縁板７を
介在させて対向している高圧電極４の裏面に絶縁板７を
介在させて対向配置されている。
しかして、第１図に示す上記コレクタ電極２０は第２図
（ａ）に示すように２枚の例えばポリイミド樹脂などの
樹脂板２３ａ、２３ｂの裏面同志を並設させ、表面に金
属２４．２５を接着させたものである。すなわち、一方
の樹脂板２３ａの表面には蒸着またはめっきによって円
板状にあるいは多数の線棒を円形状に配列した金属２４
を接着して線量測定電極２６を形成し、他方の樹脂板２
３ｂの表面には蒸着またはめっきによって多数の小片を
十字状に配列した金属２５を接着して平坦度測定電極２
７（第２図（ｂ）参照）を形成したもので、この平坦度
測定電極２７は同一面での平坦度の測定が可能となるよ
うに構成されている。
（ａ）に示すように２枚の例えばポリイミド樹脂などの
樹脂板２３ａ、２３ｂの裏面同志を並設させ、表面に金
属２４．２５を接着させたものである。すなわち、一方
の樹脂板２３ａの表面には蒸着またはめっきによって円
板状にあるいは多数の線棒を円形状に配列した金属２４
を接着して線量測定電極２６を形成し、他方の樹脂板２
３ｂの表面には蒸着またはめっきによって多数の小片を
十字状に配列した金属２５を接着して平坦度測定電極２
７（第２図（ｂ）参照）を形成したもので、この平坦度
測定電極２７は同一面での平坦度の測定が可能となるよ
うに構成されている。
また、線量測定電極２６のリード線２８ａおよび平坦度
側定電′！ｆ！２７のリード線２８ｂはそれぞれの樹脂
板２３ａ、２３ｂの裏面に互いに接触しないように導出
されている。
側定電′！ｆ！２７のリード線２８ｂはそれぞれの樹脂
板２３ａ、２３ｂの裏面に互いに接触しないように導出
されている。
次に、動作について説明する。
ガス体３を充填した筐体６内を粒子線１２が通過する時
、粒子線１２とガス体３の分子が衝突し、ガス分子が電
離される。また、高圧電極４とコレクタ電極２０との間
に高圧電源７を用いて電界を印加すると、電離した電子
ｅ−がコレクタ電極２０に、イオン：“が高圧電極４に
集積される。電離する電子ｇ、イオン１の数は通過する
粒子線１２の強度に比例し、また電子ｄの移動速度がイ
オンｉ＋の移動速度より早いので、電子ｄをコレクタ電
極２０に集積し、これを測定回路（図示せず）により測
定する粉とになる。すなわち、線量測定電極２６により
粒子線の照射量を測定し、平坦度測定電極２７により粒
子線が広がって分布する場合の粒子線の濃淡を測定する
。
、粒子線１２とガス体３の分子が衝突し、ガス分子が電
離される。また、高圧電極４とコレクタ電極２０との間
に高圧電源７を用いて電界を印加すると、電離した電子
ｅ−がコレクタ電極２０に、イオン：“が高圧電極４に
集積される。電離する電子ｇ、イオン１の数は通過する
粒子線１２の強度に比例し、また電子ｄの移動速度がイ
オンｉ＋の移動速度より早いので、電子ｄをコレクタ電
極２０に集積し、これを測定回路（図示せず）により測
定する粉とになる。すなわち、線量測定電極２６により
粒子線の照射量を測定し、平坦度測定電極２７により粒
子線が広がって分布する場合の粒子線の濃淡を測定する
。
なお、上記実施例ではコレクタ電極が線量測定電極およ
び平坦度測定電極である場合について説明したが、第３
図に示すようにコレクタ電極をプロフィル測定電極とし
て形成してもよい。すなわち、プロフィル測定電極３０
は例えばポリイミド樹脂などの一方の樹脂板２３ｃに、
水平方向に多数の線状の金Ｒ３１を蒸着またはめっきな
どにより接着すると共に、上記一方の樹脂板２３ｃに裏
面同志が近接して並設される他方の樹脂板に垂直方向に
多数の線状の金属を蒸着またはめっきなどにより接着し
、粒子線のプロフィルを測定するものである。
び平坦度測定電極である場合について説明したが、第３
図に示すようにコレクタ電極をプロフィル測定電極とし
て形成してもよい。すなわち、プロフィル測定電極３０
は例えばポリイミド樹脂などの一方の樹脂板２３ｃに、
水平方向に多数の線状の金Ｒ３１を蒸着またはめっきな
どにより接着すると共に、上記一方の樹脂板２３ｃに裏
面同志が近接して並設される他方の樹脂板に垂直方向に
多数の線状の金属を蒸着またはめっきなどにより接着し
、粒子線のプロフィルを測定するものである。
また、上記実施例では線量測定電極、平坦度測定電極お
よびプロフィル測定電極のそれぞれの金属配列を説明し
たが、上記実施例で説明した線量測定電極としての金属
配列や平坦度測定電極としての金属配列やプロフィル測
定電極としての金属配列に限定されるものでなく、それ
ぞれの測定が可能であればどのような金属配列であって
もよいものである。
よびプロフィル測定電極のそれぞれの金属配列を説明し
たが、上記実施例で説明した線量測定電極としての金属
配列や平坦度測定電極としての金属配列やプロフィル測
定電極としての金属配列に限定されるものでなく、それ
ぞれの測定が可能であればどのような金属配列であって
もよいものである。
［発明の効果コ
以上のように、第１の発明によれば、粒子線測定用モニ
タ装置におけるコレクタ電極を樹脂板に金属を蒸着また
はめっきを施して接着するように構成したので、粒子線
のエネルギ損失を小さくして精密な測定が行えるものが
得られる効果があり、また第２の発明によれば２個のコ
レクタ電極の裏面同志を近接して並設すると共に、コレ
クタ電極は樹脂板に金属を蒸着またはめっきにより接着
させた構成であるので、測定用電極としてのコレクタ電
極に静電力が掛ることがなく、また電極は位置や大きさ
を正確に限定でき、よって測定精度が向上し、さらに装
置の小型化が可能となるという効果がある。
タ装置におけるコレクタ電極を樹脂板に金属を蒸着また
はめっきを施して接着するように構成したので、粒子線
のエネルギ損失を小さくして精密な測定が行えるものが
得られる効果があり、また第２の発明によれば２個のコ
レクタ電極の裏面同志を近接して並設すると共に、コレ
クタ電極は樹脂板に金属を蒸着またはめっきにより接着
させた構成であるので、測定用電極としてのコレクタ電
極に静電力が掛ることがなく、また電極は位置や大きさ
を正確に限定でき、よって測定精度が向上し、さらに装
置の小型化が可能となるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による粒子線測定用モニタ
装置を示す構成図、第２図（ａ）は第１図のコレクタ電
極を抽出して示す拡大構成図、第２図（ｂ）は同図（ａ
）の底面図、第３図はこの発明の他の実施例を示すコレ
クタ電極の平面図、第４図（ａ）は従来の粒子線測定用
モニタ装置の一例を示す構成図、第４図（ｂ）は従来の
コレクタ電極のうちの平坦度測定電極を示す構成図、第
４図（Ｃ）は従来のプロフィル測定電極を示す構成図、
第５図は従来の粒子線測定用モニタ装置の他の例を示す
構成図、第６図は粒子線測定用モニタ装置の原理説明図
である。 ３はガス体、４は高圧電極、７は絶縁板、２０はコレク
タ電極、２３ ａ 、 ２３ ｂ、２３ ｃは樹脂板、
２４．２５．３１は金属、２６は線量測定電極、２７は
平坦度測定電極、３０はプロフィル測定電極。 図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 第１図 ■ − 手続補正書（自発） Ｂや□６侮１２．１壷 。
装置を示す構成図、第２図（ａ）は第１図のコレクタ電
極を抽出して示す拡大構成図、第２図（ｂ）は同図（ａ
）の底面図、第３図はこの発明の他の実施例を示すコレ
クタ電極の平面図、第４図（ａ）は従来の粒子線測定用
モニタ装置の一例を示す構成図、第４図（ｂ）は従来の
コレクタ電極のうちの平坦度測定電極を示す構成図、第
４図（Ｃ）は従来のプロフィル測定電極を示す構成図、
第５図は従来の粒子線測定用モニタ装置の他の例を示す
構成図、第６図は粒子線測定用モニタ装置の原理説明図
である。 ３はガス体、４は高圧電極、７は絶縁板、２０はコレク
タ電極、２３ ａ 、 ２３ ｂ、２３ ｃは樹脂板、
２４．２５．３１は金属、２６は線量測定電極、２７は
平坦度測定電極、３０はプロフィル測定電極。 図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 第１図 ■ − 手続補正書（自発） Ｂや□６侮１２．１壷 。
Claims (6)
- （１）ガス体が充填された筐体中に高圧電極に絶縁板を
介在させてコレクタ電極を対向配置した粒子線測定用モ
ニタ装置において、上記コレクタ電極は樹脂板に蒸着ま
たはめっきによって金属を接着させて形成されているこ
とを特徴とする粒子線測定用モニタ装置。 - （２）上記コレクタ電極は樹脂板に円板状に金属を蒸着
またはめっきさせて形成し、線量測定電極としたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の粒子線測定用モ
ニタ装置。 - （３）コレクタ電極は樹脂板に蒸着またはめっきにより
金属を十字状に点在させて形成し、平坦度測定電極とし
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の粒子線
測定用モニタ装置。 - （４）コレクタ電極は樹脂板に蒸着またはめつきにより
線状の金属を複数平行に形成し、プロフィル測定電極と
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の粒子
線測定用モニタ装置。 - （５）ガス体が充填された筐体中に高圧電極に絶縁板を
介在させてコレクタ電極を対向配置させた粒子線測定用
モニタ装置において、上記高圧電極に絶縁板を介して対
向配置された上記コレクタ電極を樹脂板に蒸着またはめ
っきによって金属を接着させて形成し、上記コレクタ電
極の裏面に樹脂板に蒸着またはめっきによって金属を接
着した他のコレクタ電極を絶縁状態で並設し、この他の
コレクタ電極に絶縁板を介して他の高圧電極を対向配置
させたことを特徴とする粒子線測定用モニタ装置。 - （６）上記コレクタ電極および他のコレクタ電極は線量
測定電極、平坦度測定電極あるいはプロフィル測定電極
のうちのいずれか２つによって形成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第５項記載の粒子線測定用モニタ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25697587A JPH079460B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 粒子線測定用モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25697587A JPH079460B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 粒子線測定用モニタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0198985A true JPH0198985A (ja) | 1989-04-17 |
| JPH079460B2 JPH079460B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=17299976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25697587A Expired - Lifetime JPH079460B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 粒子線測定用モニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079460B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012255698A (ja) * | 2011-06-08 | 2012-12-27 | Dainippon Printing Co Ltd | ガス増幅を用いた放射線検出器、及びガス増幅を用いた放射線の検出方法 |
| JP2013181849A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Mitsubishi Electric Corp | 放射線ビームモニタ装置 |
| WO2013175602A1 (ja) * | 2012-05-24 | 2013-11-28 | 三菱電機株式会社 | 放射線計測装置 |
| US8854048B2 (en) | 2011-03-10 | 2014-10-07 | Mitsubishi Electric Corporation | Sensitivity correction method for dose monitoring device and particle beam therapy system |
| JPWO2017057674A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2018-07-19 | 大日本印刷株式会社 | 放射線画像形成装置 |
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-
1987
- 1987-10-12 JP JP25697587A patent/JPH079460B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| JPH079460B2 (ja) | 1995-02-01 |
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