JP5769244B2 - 工業用x線管 - Google Patents
工業用x線管 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5769244B2 JP5769244B2 JP2011167452A JP2011167452A JP5769244B2 JP 5769244 B2 JP5769244 B2 JP 5769244B2 JP 2011167452 A JP2011167452 A JP 2011167452A JP 2011167452 A JP2011167452 A JP 2011167452A JP 5769244 B2 JP5769244 B2 JP 5769244B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- electron
- ray tube
- industrial
- electrons
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/06—Cathodes
- H01J35/065—Field emission, photo emission or secondary emission cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/06—Cathode assembly
- H01J2235/062—Cold cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/16—Vessels
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Description
図1は、本発明に係る工業用X線管の一実施形態の断面図を示している。本実施形態のX線管1はセラミック(例えばアルミナ(Al2O3))製又はガラス製の封入容器2を有している。封入容器2は円筒形状であり、その内部は真空に維持されている。封入容器2は、固体モールド、絶縁油含侵、高圧絶縁ガス封入、等の方法により電気絶縁を行った上で、可搬型の容器(図示せず)に収納される。封入容器2は、測定対象物3、例えば建築構造物のフレーム等、の所まで測定者によって持ち運ばれる。
図7は、本発明に係る工業用X線管の他の実施形態の断面図を示している。図7において、図1に示した構成要素と同じ構成要素は同じ符号を付して示すものとして、その説明は省略する。
図9は本発明に係る工業用X線管のさらに他の実施形態を示している。この実施形態に係るX線管は図1に示したX線管1である。もちろん、このX線管1を図7に示したX線管21又はその他近似の構成を有したX線管とすることもできる。
図10は本発明に係る工業用X線管のさらに他の実施形態を示している。この実施形態は、陰極及び陽極以外の部分が接地され、陰極及び陽極の両極に電圧が印加される方式、いわゆるバイポーラ方式のX線管に本発明を適用した場合の実施形態である。
陰極ユニット42は、金属製、例えばステンレス製で中心線X0を中心とした円筒形状のケーシング49と、ケーシング49に支持されてその内部に延出している支持体50と、支持体50の先端に設けられており中心線X0を中心とした円板状又は円筒状(以下、円板状を含めて円筒状という)の陰極4Eと、陰極4Eの周囲に設けられており中心線X0を中心とした円筒形状の電子進行調整部材51とを有している。電子進行調整部材51は導電性の金属物質によって形成されている。陰極4Eの中央部分には貫通孔5が設けられている。貫通孔5に代えて有底孔を設けても良い。電子放出面4aにおける貫通孔5の開口面は、電子を放出しない面として機能する。
マグネティックレンズユニット43は、図11(a)に示すように、2個の円板フレーム54a及び54bによって磁石体56を挟持した構造となっている。円板フレーム54a,54bの中心部には、図10の電子導管53が貫通する孔55が設けられている。磁石体56は、外側リング部材57と、可動板58とを有している。可動板58は、磁性体によって形成された内側リング部材59と、内側リング部材59に接着された磁石60とを有している。内側リング部材59は電子導管53が貫通できる孔59aを有している。
図10において、中央管44の管壁は導電性且つ非磁性体の金属、例えばSUS304等のステンレス鋼によって形成されている。この管壁の適所には気体搬送管63が連結されている。この気体搬送管63を通して排気を行うことにより、陰極ユニット42、マグネティックレンズユニット43、中央管44、及び陽極ユニット45の各部の内部を真空又は真空に近い排気状態に設定できる。本実施形態では中央管44は電気的に接地されている。
陽極ユニット45は、中心線X0を中心として円筒形状のケーシング64を有している。ケーシング64は円柱形状の陽極66を支持している。陽極66は希望する波長のX線を出射できる金属材料によって形成されている。陽極66はケーシング64によって支持された状態で中央管44の内部まで延出している。
以上から明らかな通り、本実施形態の工業用X線管41においては、陰極ユニット42のケーシング49、マグネティックレンズユニット43の管壁、中央管44の管壁、及び陽極ユニット45のケーシング64の各部材により、内部に空間を有した容器が形成されており、その容器の内部に陰極4E及び陽極66が収納されている。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、以上の実施形態では、グラファイトによって陰極を形成したが、陰極はグラファイト以外の炭素又は炭素化合物、例えばグラッシーカーボン、カーボンファイバ、カーボンナノ構造体によって形成することもできる。なお、カーボンナノ構造体は、例えばカーボンナノチューブ(CNT)、カーボンナノウォール(CNW)である。
Claims (10)
- 内部が真空である容器のその内部に陰極及び陽極を収納して成り、陰極で発生した電子を陽極に当てて当該陽極からX線を発生する工業用X線管において、
前記陰極の電子放出面の周囲に設けられており電子の進行方向を調整する電子進行調整部材と、
前記陰極と前記陽極との間に設けられており電子を集束させるマグネティックレンズとを有しており、
前記陰極は炭素又は炭素化合物によって形成されており、
前記陰極の電子放出面は平らな面であり、
前記電子放出面の中央部分は電子を放出しない面になっている
ことを特徴とする工業用X線管。 - 前記電子放出面の中央部分には孔が設けられており、前記電子放出面の中央部分の電子を放出しない面は前記孔の開口であることを特徴とする請求項1記載の工業用X線管。
- 前記電子進行調整部材は、前記陰極の平らな電子放出面から放出される電子の進行方向が当該電子放出面に対する直角方向に近づくように電子の進行方向を調整し、
前記マグネティックレンズは、前記電子進行調整部材によって進行方向が調整された電子を集束させる
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の工業用X線管。 - 前記炭素又は炭素化合物は、カーボンナノ構造体、グラファイト、グラッシーカーボン、及びカーボンファイバーから選択される任意の一つであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の工業用X線管。
- 前記電子進行調整部材は導電性物質によって形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の工業用X線管。
- 前記陰極の電子放出面と前記電子進行調整部材の表面は互いに隙間無く且つ互いに段差を生じること無く連続していることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1つに記載の工業用X線管。
- 前記電子進行調整部材は前記陰極の電子放出面の前方へ突出する突出面を有することを特徴とする請求項5又は請求項6記載の工業用X線管。
- 前記突出面は滑らかな湾曲面であることを特徴とする請求項7記載の工業用X線管。
- 前記突出面は異なった曲率の複数の湾曲面が連続している面であることを特徴とする請求項7又は請求項8記載の工業用X線管。
- 前記陰極を1000℃以上に加熱するヒータを有することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1つに記載の工業用X線管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011167452A JP5769244B2 (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | 工業用x線管 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010172709 | 2010-07-30 | ||
JP2010172709 | 2010-07-30 | ||
JP2011167452A JP5769244B2 (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | 工業用x線管 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012049122A JP2012049122A (ja) | 2012-03-08 |
JP5769244B2 true JP5769244B2 (ja) | 2015-08-26 |
Family
ID=45526723
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011167282A Expired - Fee Related JP5769243B2 (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | 工業用x線管 |
JP2011166917A Expired - Fee Related JP5769242B2 (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | 工業用x線管 |
JP2011167452A Expired - Fee Related JP5769244B2 (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | 工業用x線管 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011167282A Expired - Fee Related JP5769243B2 (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | 工業用x線管 |
JP2011166917A Expired - Fee Related JP5769242B2 (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | 工業用x線管 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8873715B2 (ja) |
JP (3) | JP5769243B2 (ja) |
CN (1) | CN102347186B (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103260325A (zh) * | 2012-02-15 | 2013-08-21 | 南京普爱射线影像设备有限公司 | 一种用于牙科机栅控冷阴极x射线管的电源装置 |
CN103260327B (zh) * | 2012-02-15 | 2015-05-20 | 南京普爱射线影像设备有限公司 | 用于栅控冷阴极x射线球管的管电流稳流装置 |
CN102610474B (zh) * | 2012-03-23 | 2015-02-25 | 邓敏 | 用于x射线管的聚焦型阴极及其x射线源和制备方法 |
CN203165848U (zh) * | 2012-12-29 | 2013-08-28 | 清华大学 | X光管 |
US9620324B2 (en) * | 2013-02-14 | 2017-04-11 | Golden Engineering, Inc. | X-ray tube |
JP6218403B2 (ja) * | 2013-03-15 | 2017-10-25 | 株式会社マーストーケンソリューション | 電界放射型電子銃を備えたx線管及びそれを用いたx線検査装置 |
US9984847B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-05-29 | Mars Tohken Solution Co., Ltd. | Open-type X-ray tube comprising field emission type electron gun and X-ray inspection apparatus using the same |
CN103219212B (zh) * | 2013-05-08 | 2015-06-10 | 重庆启越涌阳微电子科技发展有限公司 | 石墨烯作为x射线管阴极及其x射线管 |
KR101547516B1 (ko) * | 2014-01-13 | 2015-08-26 | (주) 브이에스아이 | 원통형 3극 전계 방출 x-선관 |
US20160254116A1 (en) * | 2014-01-29 | 2016-09-01 | Shimadzu Corporation | Metal electrode, and electron gun, electron tube, and x-ray tube using metal electrode |
EP2991094A1 (en) * | 2014-09-01 | 2016-03-02 | LightLab Sweden AB | X-ray source and system comprising an x-ray source |
KR101864214B1 (ko) * | 2014-11-21 | 2018-06-05 | 한국전자통신연구원 | 초소형 엑스선 튜브 |
US9786466B2 (en) * | 2014-11-21 | 2017-10-10 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Micro X-ray tube |
US10068741B2 (en) | 2014-12-25 | 2018-09-04 | Meidensha Corporation | Field emission device and reforming treatment method |
CN107924797B (zh) * | 2015-06-30 | 2020-06-30 | 韩国威泰有限公司 | 具有电场发射x射线源的便携式x射线生成装置 |
JP6206541B1 (ja) | 2016-06-13 | 2017-10-04 | 株式会社明電舎 | 電界放射装置および改質処理方法 |
JP6226033B1 (ja) | 2016-06-24 | 2017-11-08 | 株式会社明電舎 | 電界放射装置および電界放射方法 |
JP2018000539A (ja) * | 2016-07-01 | 2018-01-11 | 富士フイルム株式会社 | 放射線照射装置 |
KR101857796B1 (ko) * | 2016-08-03 | 2018-06-20 | 삼성전자주식회사 | 모바일 엑스선 장치 |
US10559446B2 (en) | 2017-02-28 | 2020-02-11 | Electronics And Telecommunication Research Institute | Vacuum closed tube and X-ray source including the same |
KR102042119B1 (ko) * | 2017-02-28 | 2019-11-07 | 한국전자통신연구원 | 진공 밀봉 튜브 및 이를 포함하는 엑스선 소스 |
EP3658030A4 (en) * | 2017-07-26 | 2021-06-30 | Shenzhen Xpectvision Technology Co., Ltd. | INTEGRATED X-RAY SOURCE |
US10566170B2 (en) | 2017-09-08 | 2020-02-18 | Electronics And Telecommunications Research Institute | X-ray imaging device and driving method thereof |
WO2019069686A1 (ja) * | 2017-10-05 | 2019-04-11 | 東レ株式会社 | 構造物の検査装置 |
JP6638757B2 (ja) * | 2018-04-25 | 2020-01-29 | 株式会社Ihi | 可飽和吸収素子、及びレーザ装置 |
US11751317B2 (en) * | 2019-03-01 | 2023-09-05 | Shimadzu Corporation | X-ray generating device, and diagnostic device and diagnostic method therefor |
JP6578529B1 (ja) * | 2019-06-10 | 2019-09-25 | 株式会社Photo electron Soul | 電子銃、電子線適用装置、および、電子銃の制御方法 |
KR102640904B1 (ko) * | 2021-11-04 | 2024-02-27 | 주식회사바텍 | 엑스레이 소스 |
JP7384989B1 (ja) | 2022-11-22 | 2023-11-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線発生装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2561698B2 (ja) | 1988-04-21 | 1996-12-11 | 日本電子株式会社 | フィールドエミッション電子銃のフラッシング方式 |
JP3655447B2 (ja) | 1997-10-29 | 2005-06-02 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 蛍光表示装置およびその製造方法 |
JP3534236B2 (ja) | 1998-06-18 | 2004-06-07 | 松下電器産業株式会社 | 電子放出素子及び電子放出源とそれらの製造方法並びにそれらを使用した画像表示装置及びその製造方法 |
JP2000156148A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-06-06 | Agency Of Ind Science & Technol | エミッタ及びその作製方法 |
JP3748741B2 (ja) * | 1999-09-13 | 2006-02-22 | 株式会社リガク | X線管の熱陰極 |
JP2001266780A (ja) | 2000-03-24 | 2001-09-28 | Rigaku Corp | X線発生装置 |
US6456691B2 (en) | 2000-03-06 | 2002-09-24 | Rigaku Corporation | X-ray generator |
JP2001250496A (ja) | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Rigaku Corp | X線発生装置 |
JP2002208368A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Jeol Ltd | 電子放射型電子銃 |
GB0106358D0 (en) * | 2001-03-13 | 2001-05-02 | Printable Field Emitters Ltd | Field emission materials and devices |
CN101101848B (zh) * | 2007-08-10 | 2011-04-27 | 东南大学 | 场致发射阴极x射线管 |
JP5114168B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2013-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電界放出型電子源およびそれを用いた電子線応用装置 |
-
2011
- 2011-07-29 CN CN201110215614.8A patent/CN102347186B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-29 US US13/194,355 patent/US8873715B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-29 JP JP2011167282A patent/JP5769243B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-29 JP JP2011166917A patent/JP5769242B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-29 JP JP2011167452A patent/JP5769244B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012049122A (ja) | 2012-03-08 |
US8873715B2 (en) | 2014-10-28 |
JP2012049119A (ja) | 2012-03-08 |
US20120027177A1 (en) | 2012-02-02 |
CN102347186B (zh) | 2015-11-18 |
JP5769243B2 (ja) | 2015-08-26 |
CN102347186A (zh) | 2012-02-08 |
JP5769242B2 (ja) | 2015-08-26 |
JP2012049121A (ja) | 2012-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5769244B2 (ja) | 工業用x線管 | |
US8488737B2 (en) | Medical X-ray imaging system | |
US7388944B2 (en) | Device for generation of x-ray radiation with a cold electron source | |
KR100867172B1 (ko) | 탄소나노튜브 기반의 x-선관 구조 | |
US9748070B1 (en) | X-ray tube anode | |
WO2007100105A1 (ja) | マルチx線発生装置およびマルチx線撮影装置 | |
TW200302503A (en) | Large-area individually addressable multi-beam X-ray system and method of forming same | |
JP6316019B2 (ja) | X線発生管、該x線発生管を備えたx線発生装置及びx線撮影システム | |
JP2010186694A (ja) | X線源、x線発生方法およびx線源製造方法。 | |
EP2763156A1 (en) | X-ray source with improved target lifetime | |
US20140376698A1 (en) | Stereo x-ray generating device | |
CN104246964A (zh) | X射线管 | |
CN203377194U (zh) | 阴控多阴极分布式x射线装置及具有该装置的ct设备 | |
JP6024500B2 (ja) | アレイ型粒子線照射装置及びその制御方法 | |
KR101245524B1 (ko) | 멀티―빔 x―선관 | |
KR20110045937A (ko) | 탄소나노튜브 실을 이용한 엑스레이 발생 장치 | |
TWI609405B (zh) | 一種電子束加工系統 | |
Yabushita et al. | Development of high spatial resolution x-ray radiography system equipped with multiwalled carbon nanotube field emission cathode | |
KR102324260B1 (ko) | 선으로 정렬된 탄소나노튜브 및 게이트를 갖는 x선 소스 | |
US10453644B2 (en) | Field-emission X-ray source | |
TW201310494A (zh) | 帶電粒子束形成孔口及帶電粒子束曝光裝置 | |
JP2012142129A (ja) | 軟x線源 | |
JP2016062751A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
JP2002324507A (ja) | X線発生装置およびそれを用いたx線装置 | |
CN104616952A (zh) | 阴控多阴极分布式x射线装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140414 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150617 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5769244 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |