JP5765762B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
2 装置架台
10 吐出部
11 口金
12 吐出部架台
13 塗布液タンク
14 ポンプ
15 配管
16 塗布膜
20 吐出部高さ調節部
30 基板表面計測部
31 高さ測定器
32 解析装置
40 吐出量調節部
41 吐出量調整ユニット
42 吐出量制御装置
50 搬送部
51 ローラユニット
52 軸部材
53 ローラ
61 基板表面プロファイル
62 基板高さプロファイル
63 基板高さデータ
64 距離データ
65 吐出量調整データ
66 吐出量調整データ
W 基板
Claims (2)
- 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
基板上の塗布領域へ塗布液を吐出する口金を有する吐出部と、
前記吐出部の高さを調節する吐出部高さ調節部と、
前記塗布領域内の計測設定位置の高さを計測する基板表面計測部と、
前記吐出部から吐出される塗布液の吐出量を調節する吐出量調節部と、
を備え、
前記基板表面計測部は、塗布動作を行う前に、前記塗布領域内の各計測設定位置の高さを計測することにより、各計測設定位置の高さ情報をあらかじめ取得し、
前記吐出部高さ調節部は、前記各計測設定位置の高さ情報に基づいて、基板の最も高い点よりも所定距離分上方に前記口金が位置するよう、塗布動作前に前記口金の高さを調節し、
前記吐出部は、基板に対し水平方向に相対的に移動しながら塗布動作を行い、
前記吐出量調節部は、前記吐出部と基板との距離に応じて定められる吐出量である基準吐出量の情報をあらかじめ備えており、前記吐出部と基板との距離が最大となる位置における吐出量を最大吐出量としてその距離における前記基準吐出量から求め、次に、前記吐出部と基板との距離が最小となる位置における吐出量である最小吐出量を、前記吐出量調節部にあらかじめ設定された膜厚のばらつきの許容値から求まる許容吐出量変化量を前記最大吐出量から差し引いたものとし、前記吐出部から前記塗布領域内の各位置へ吐出すべき塗布液の吐出量を前記各計測設定位置の高さ情報の情報に基づいて、前記最大吐出量と前記最小吐出量の間の範囲内で塗布動作中に調節しながら、塗布を行うことを特徴とする、塗布装置。 - 前記基板表面計測部は、前記各計測設定位置の高さ情報に基づき、それと隣り合う計測設定位置の高さ情報との差異を計算することにより、各位置の傾斜情報をさらに算出し、
前記吐出量調節部は、前記基準吐出量に加えて、前記各位置の傾斜情報に基づいて、前記塗布領域内の各計測設定位置へ吐出すべき塗布液の吐出量の調整を行い、基板に対する前記吐出部の進行方向に対し、前記吐出部と基板とが近づく傾斜である場合は、前記基準吐出量に対して吐出量を少なく、遠のく傾斜である場合は、前記基準吐出量に対して吐出量を多く補正して調整することを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。
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