JP5764948B2 - グレースケールマスク - Google Patents
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Description
また、本発明は、各々が所定の光透過率を有する複数の単位領域(10)を含むグレースケールマスクであって、前記単位領域(10)は、光透過領域(a)と光遮蔽領域(b)の少なくとも一方を有するとともに対称軸(L)を挟んで互いに隣接し前記対称軸(L)に対して対称な外形形状を有する複数の部分領域(11,12,13,14)からなり、前記単位領域(10)が配列される方向に、前記単位領域(10)における前記光透過領域(a)の面積または前記光遮蔽領域(b)の面積が段階的に増加するよう配列された領域において、前記単位領域(10)における前記光透過領域(a)の形状または前記光遮蔽領域(b)の形状が、前記部分領域(11,12,13,14)の中心を基準として相似形状に増加するとともに、前記光透過領域(a)が占める面積比率がTである前記単位領域(10)における前記光透過領域(a)の形状と、前記面積比率が1−Tである前記単位領域(10)における前記光透過領域(a)の形状とが、前記対称軸(L)に関して反転関係にあるグレースケールマスクとしたことを特徴とする。
また、本発明によれば、複数の単位領域がそれぞれ、光透過領域と光遮蔽領域の少なくとも一方を有するとともに対称軸を挟んで互いに隣接し対称軸に対して対称な外形形状を有する複数の部分領域からなり、単位領域が配列される方向に、単位領域における光透過領域の面積または光遮蔽領域の面積が段階的に増加するよう配列された領域において、単位領域における光透過領域の形状または光遮蔽領域の形状が、部分領域の中心を基準として相似形状に増加するとともに、光透過領域が占める面積比率がTである単位領域における光透過領域の形状と、面積比率が1−Tである単位領域における光透過領域の形状とが、対称軸に関して反転関係にあることで、光透過率の連続性を保った上で、高い光透過率を再現することができる。
[発明の実施の形態1]
[発明の実施の形態2〜7]
10,110,210,310,410,510,610 単位領域
11,12,13,14 正方形状部(部分領域)
a 第1領域(光透過領域)
b 第2領域(光遮蔽領域)
L,L1,L2,L3,L4,L5,L6 境界線(対称軸)
Claims (2)
- 各々が所定の光透過率を有する複数の単位領域を含むグレースケールマスクであって、
前記単位領域は、光透過領域と光遮蔽領域の少なくとも一方を有するとともに対称軸を挟んで互いに隣接し前記対称軸に対して対称な外形形状を有する複数の部分領域からなり、
前記光透過領域が占める面積比率がTである前記単位領域における前記光透過領域の形状と、前記面積比率が1−Tである前記単位領域における前記光透過領域の形状とが、前記対称軸に関して反転関係にあるとともに、
前記光透過領域の面積比率がT/2である場合を除き、前記光透過領域と前記光遮蔽領域との境界線で囲まれる領域は前記対称軸に対して対称でないことを特徴とするグレースケールマスク。 - 各々が所定の光透過率を有する複数の単位領域を含むグレースケールマスクであって、
前記単位領域は、光透過領域と光遮蔽領域の少なくとも一方を有するとともに対称軸を挟んで互いに隣接し前記対称軸に対して対称な外形形状を有する複数の部分領域からなり、
前記単位領域が配列される方向に、前記単位領域における前記光透過領域の面積または前記光遮蔽領域の面積が段階的に増加するよう配列された領域において、前記単位領域における前記光透過領域の形状または前記光遮蔽領域の形状が、前記部分領域の中心を基準として相似形状に増加するとともに、
前記光透過領域が占める面積比率がTである前記単位領域における前記光透過領域の形状と、前記面積比率が1−Tである前記単位領域における前記光透過領域の形状とが、前記対称軸に関して反転関係にあることを特徴とするグレースケールマスク。
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