JP5755528B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
研磨試験に使用した各研磨パッドは、直径22.5インチのニッタハース社製の発泡ポリウレタンパッド(IC1000)に、矩形断面の上記各溝9,10,11をそれぞれ形成したものである。また、同心円状の溝10の溝ピッチは、3.0mm、溝幅は0.25mm、溝深さは0.38mmとし、格子状の溝の溝ピッチは、100mm、溝幅は1.0mm、溝深さは0.8mmとした。
研磨装置:荏原製作所製 EPO222D
ウェハ: 200mm W(タングステン)ウェハ
スラリー: キャボット社製SSW2000 2倍希釈(H2O2 2%添加)
プラテン/ヘッド 回転速度:100/103rpm
研磨圧力:35kPa
裏面圧力(Back Side Pressure):10kPa
研磨時間:60秒
スラリー流量:125ml/分
上記研磨条件で研磨試験を行なって測定した研磨レート(RR)と面内非均一性(NU)の結果を、図4に示す。
9 組合せ溝
10 同心円状の溝
11 格子状の溝
Claims (2)
- 被研磨物を研磨する研磨面に溝が形成された研磨パッドであって、
前記研磨面には、同心円状の溝と格子状の溝とが形成されると共に、前記格子状の溝の溝ピッチが、前記同心円状の溝の溝ピッチに対して特定の関係を有し、
前記特定の関係が、前記格子状の溝の溝ピッチが、前記同心円状の溝の溝ピッチの14倍〜130倍であり、
前記同心円状の溝の溝ピッチが、1mm〜5mmである、
ことを特徴とする研磨パッド。 - 前記格子状の溝の溝ピッチが、70mm〜130mmである、
請求項1に記載の研磨パッド。
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