JP5747564B2 - 電流センサ - Google Patents
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〔1〕 測定対象(測定対象A)に接続される電気配線と、前記電気配線の近傍に配置され該電気配線に流れる電流により発生する磁界の強度に応じて抵抗値が変化する磁気抵抗素子(磁気抵抗素子11)を用いる電流センサにおいて、抵抗値が一定比率で増加する増加部分と抵抗値が飽和する飽和部分とからなる磁気抵抗特性(図4,図5)を有し、それぞれが前記電気配線(電気配線wa,wb1,wc1、wa,wb,wc、wra,wrb,wrc)から異なる距離(距離d1,d2,d3)で離間して配置される複数の磁気抵抗素子(磁気抵抗素子11a,11b,11c)と、前記複数の磁気抵抗素子それぞれにセンス電流を流すセンス電流部(センス電流部12)と、前記磁気抵抗素子におけるセンス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記増加部分から飽和部分へ移行する抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、前記電気配線に流れる電流がある規定値に到達したとして出力する検知手段(検知手段13)と、を備え、前記検知手段は、前記電気配線に流れる電流について前記複数の磁気抵抗素子ごとに異なる規定値への到達を検知し、前記電気配線は、前記複数の磁気抵抗素子ごとに、前記磁気抵抗素子の近傍に配置される検知用電気配線(電気配線wa,wb1,wc1、wra,wrb,wrc)と、検知対象とならないように前記磁気抵抗素子から離れて配置されるパス用電気配線(電気配線ws,wb2,wc2)と、前記検知用電気配線、パス用電気配線のいずれかに切替えて接続可能な切り替え手段(切替スイッチ部14a,14b,14c)と、からなることを特徴とする電流センサ(電流センサ10,20,30、図2,図6〜図9)。
〔2〕 測定対象(測定対象A)に接続される電気配線と、前記電気配線の近傍に配置され該電気配線に流れる電流により発生する磁界の強度に応じて抵抗値が変化する磁気抵抗素子(磁気抵抗素子11)を用いる電流センサにおいて、抵抗値が一定比率で増加する増加部分と抵抗値が飽和する飽和部分とからなる磁気抵抗特性(図4,図5)を有し、それぞれが前記電気配線(電気配線wa,wb1,wc1、wa,wb,wc、wra,wrb,wrc)から異なる距離(距離d1,d2,d3)で離間して配置される複数の磁気抵抗素子(磁気抵抗素子11a,11b,11c)と、前記複数の磁気抵抗素子それぞれにセンス電流を流すセンス電流部(センス電流部12)と、前記磁気抵抗素子におけるセンス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記増加部分から飽和部分へ移行する抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、前記電気配線に流れる電流がある規定値に到達したとして出力する検知手段(検知手段13)と、を備え、前記検知手段は、前記電気配線に流れる電流について前記複数の磁気抵抗素子ごとに異なる規定値への到達を検知し、前記複数の磁気抵抗素子は、前記測定対象に対して並列に結線された複数の前記電気配線(電気配線wa,wb,wc)に1対1に対応して配置されていることを特徴とする電流センサ(電流センサ10,20,30、図2,図6〜図9)。
〔3〕 前記複数の磁気抵抗素子は、1本の前記電気配線に沿って配置されていることを特徴とする前記〔1〕に記載の電気センサ(図2,図7)。
〔4〕 前記検知手段は、前記電気配線に流れる電流について前記複数の磁気抵抗素子ごとに異なる電流レンジの規定値への到達を検知することを特徴とする前記〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の電流センサ。
〔5〕 前記磁気抵抗特性として、前記増加部分と飽和部分との間に該増加部分とは抵抗値が増加する比率の異なる第2の増加部分がある場合には、前記増加部分から前記第2の増加部分に移行する点を前記抵抗値の飽和点とすることを特徴とする前記〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の電流センサ(図5)。
〔6〕 前記磁気抵抗素子は、巨大磁気抵抗素子(GMR素子)、トンネル磁気抵抗素子(TMR素子)または異方性磁気抵抗素子(AMR素子)であることを特徴とする前記〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の電流センサ(図3)。
〔7〕 前記磁気抵抗素子は、平面上にループ状に形成された前記電気配線(電気配線wra,wrb,wrc)の近傍に配置されることを特徴とする前記〔1〕に記載の電流センサ(図7)。
〔8〕 前記電気配線は、前記磁気抵抗素子を挟むように配置した2つのループ(電気配線wr1,wr2)からなるヘルムホルツコイル構造を有していることを特徴とする前記〔1〕に記載の電流センサ(図9)。
(第1実施形態)
図2は、本発明に係る電流センサの第1の実施形態における構成を示す概略図である。
図2に示すように、電流センサ10は、測定対象Aに接続される電気配線wa、wb1,wb2,wc1,wc2と、前記電気配線wa,wb1,wc1の近傍に配置され該電気配線wa,wb1,wc1に流れる電流により発生する磁界の強度に応じて抵抗値が変化する磁気抵抗素子11a,11b,11cと、前記複数の磁気抵抗素子11a,11b,11cそれぞれにセンス電流を流すセンス電流部12と、前記複数の磁気抵抗素子11a,11b,11cそれぞれと接続しその検知結果を出力する検知手段13と、電気配線wa、wb1,wb2,wc1,wc2の接続を切替える切替スイッチ部14a,14b,14cと、検知手段13の出力を受けて切替スイッチ部14a,14b,14cを制御する検知制御部15と、を備える。なお、図2では、センス電流部12と磁気抵抗素子11b,11cとの接続、検知手段13と磁気抵抗素子11b,11cとの接続は省略している。
図3に示す磁気抵抗素子11は、基板1、シード層2、磁化固定層3、トンネル障壁層4、フリー層5、キャップ層6からなるTMR層構成を有している。
さらに、本発明における磁気抵抗素子11は、図3に示すTMR層構成に限られるものではなく、GMR層構成でもよい。すなわち、図3において、トンネル障壁層4に代えて、非磁性金属層とし、それ以外の層構成は同様のものとする。このとき、非磁性金属層は、例えばCu,Agなどが適する。また、図3において、磁化固定層3の上部にシンセティックフェリ層を設ける構成とすることも好ましい。
(S11) 検知制御部15の制御により、切替スイッチ部14aは電気配線waに接続し、切替スイッチ部14b,14cはそれぞれ電気配線wb2,wc2に接続する。また、センス電流部12から磁気抵抗素子11a,11b,11cそれぞれに一定のセンス電流が流される。
(S12) 検知手段13は、磁気抵抗素子11aにおいて、センス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、対応する電流配線waに流れる電流が第1規定値(例えば10mA)に到達したとして検知制御部15に出力する。
(S13) 検知制御部15は、電気配線に流れる電流が第1規定値に到達したことを報知し(しなくてもよい)、切替スイッチ部14bが電気配線wb1に接続するように制御する。
(S14) 検知手段13は、磁気抵抗素子11bにおいて、センス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、対応する電流配線wb1に流れる電流が第2規定値(例えば100mA)に到達したとして検知制御部15に出力する。
(S15) 検知制御部15は、電気配線に流れる電流が第2規定値に到達したことを報知し(しなくてもよい)、切替スイッチ部14cが電気配線wc1に接続するように制御する。
(S16) 検知手段13は、磁気抵抗素子11cにおいて、センス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、対応する電流配線wc1に流れる電流が第3規定値(例えば1000mA)に到達したとして検知制御部15に出力する。
(S17) 検知制御部15は、電気配線に流れる電流が第3規定値に到達したことを報知する。
なお、本発明では、電気配線に流される電流は直流(DC)に限らず、交流(AC)であっても測定可能である。
図6は、本発明に係る電流センサの第2の実施形態における構成を示す概略図である。
本発明の電流センサ20は、第1の実施形態と比べて、電気配線及び切替スイッチ部の構成が異なる。すなわち、電気配線は、測定対象Aに対して並列に結線された複数(ここでは3本)の電気配線wa,wb,wcからなり、測定対象Aからの電流は電気配線wa,wb,wcに均等に分配される。また、電気配線wa,wb,wcが測定対象Aに対して接続可能な切替スイッチ部24と、検知手段13の出力を受けて切替スイッチ部24を制御する検知制御部25が設けられている。
なお、電流センサ20のそれ以外の構成は第1の実施形態と同じであり、図6において第1の実施形態と同じものは同じ符号を付している。
(S21) 検知制御部25の制御により、切替スイッチ部24は測定対象Aに対して電気配線wa,wb,wcに接続する。また、センス電流部12から磁気抵抗素子11a,11b,11cそれぞれに一定のセンス電流が流される。
(S22) 検知手段13は、磁気抵抗素子11aにおいて、センス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、対応する電流配線waに流れる電流が第1規定値(例えば10mA)に到達したとして検知制御部25に出力する。
(S23) 検知制御部25は、電気配線に流れる電流が所定の規定値(第1規定値×3)に到達したことを報知する(しなくてもよい)。
(S24) 検知手段13は、磁気抵抗素子11bにおいて、センス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、対応する電流配線wbに流れる電流が第2規定値(例えば100mA)に到達したとして検知制御部25に出力する。
(S25) 検知制御部25は、電気配線に流れる電流が所定の規定値(第2規定値×3)に到達したことを報知する(しなくてもよい)。
(S26) 検知手段13は、磁気抵抗素子11cにおいて、センス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、対応する電流配線wcに流れる電流が第3規定値(例えば1000mA)に到達したとして検知制御部25に出力する。
(S27) 検知制御部25は、電気配線に流れる電流が警報値(第3規定値×3)に到達したことを報知する。
なお、電気配線wa,wb,wcへの電流の分流のさせ方は前述のように均等でもよいし、配線部材の設計により比率が既知であるような所定の比率での分流でもよい。最終的に各電流値を総計することで全電流値レベルが検知可能となる。
図7は、本発明に係る電流センサの第3の実施形態における構成を示す概略図である。
本発明の電流センサ30は、第1の実施形態と比べて、電気配線の構成が異なる。すなわち、磁気抵抗素子11a,11b,11cそれぞれに対応して、磁気抵抗素子11から所定の距離だけ離間した状態で該磁気抵抗素子11の周りを周回するように一平面上をループ状の配線される電気配線wra,wrb,wrcが設けられている。詳しくは、磁気抵抗素子11aから所定の距離d1だけ離間した状態で該磁気抵抗素子11aの周りを周回するように一平面上をループ状の配線される電気配線wraが設けられ、磁気抵抗素子11bから所定の距離d2だけ離間した状態で該磁気抵抗素子11bの周りを周回するように一平面上をループ状の配線される電気配線wrbが設けられ、磁気抵抗素子11cから所定の距離d3だけ離間した状態で該磁気抵抗素子11cの周りを周回するように一平面上をループ状の配線される電気配線wrcが設けられている。これにより、磁気抵抗素子11a,11b,11cは、それぞれ電気配線wra,wrb,wrcで形成される平面ループ内に配置されるようになる。
図8は、本発明に係る電流センサの第4の実施形態における要部構成を示す概略図である。
本実施形態の電流センサの基本構成は、第1の実施形態と同じであるが、図8に示すように、磁気抵抗素子11は、基板1上に所定の薄膜(シード層2、磁化固定層3、トンネル障壁層4、フリー層5、キャップ層6)が積層されてなり、電気配線wrが前記薄膜の積層方向(図中上下方向)に沿ってループ状に配置されることを特徴とするものである。
図9は、本発明に係る電流センサの第5の実施形態における要部構成を示す概略図である。
本実施形態の電流センサの基本構成は、第1の実施形態と同じであるが、図9に示すように、電気配線wr1,wr2は、磁気抵抗素子11を挟むように配置した2つのループからなるヘルムホルツコイル構造を有していることを特徴とするものである。
例えば、前述した実施形態では、センス電流を一定電圧源より発生させて、センス電流値自身の変化をもって、出力としているが、一定電流源として磁気抵抗素子部の発生電圧をもって、出力とすることも可能である。
2 シード層
3 磁化固定層
4 トンネル障壁層
5 フリー層
6 キャップ層
10,20,30 電流センサ
11,11a,11b,11c 磁気抵抗素子
12 センス電流部
13 検知手段
14a,14b,14c,24 切替スイッチ部
15,25 検知制御部
A 測定対象
wa,wb,wb1,wb2,wc,wc1,wc2,wr,wr1,wr2,wra,wrb,wrc,ws 電気配線
Claims (8)
- 測定対象に接続される電気配線と、前記電気配線の近傍に配置され該電気配線に流れる電流により発生する磁界の強度に応じて抵抗値が変化する磁気抵抗素子を用いる電流センサにおいて、
抵抗値が一定比率で増加する増加部分と抵抗値が飽和する飽和部分とからなる磁気抵抗特性を有し、それぞれが前記電気配線から異なる距離で離間して配置される複数の磁気抵抗素子と、
前記複数の磁気抵抗素子それぞれにセンス電流を流すセンス電流部と、
前記磁気抵抗素子におけるセンス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記増加部分から飽和部分へ移行する抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、前記電気配線に流れる電流がある規定値に到達したとして出力する検知手段と、
を備え、
前記検知手段は、前記電気配線に流れる電流について前記複数の磁気抵抗素子ごとに異なる規定値への到達を検知し、
前記電気配線は、前記複数の磁気抵抗素子ごとに、前記磁気抵抗素子の近傍に配置される検知用電気配線と、検知対象とならないように前記磁気抵抗素子から離れて配置されるパス用電気配線と、前記検知用電気配線、パス用電気配線のいずれかに切替えて接続可能な切り替え手段と、からなることを特徴とする電流センサ。 - 測定対象に接続される電気配線と、前記電気配線の近傍に配置され該電気配線に流れる電流により発生する磁界の強度に応じて抵抗値が変化する磁気抵抗素子を用いる電流センサにおいて、
抵抗値が一定比率で増加する増加部分と抵抗値が飽和する飽和部分とからなる磁気抵抗特性を有し、それぞれが前記電気配線から異なる距離で離間して配置される複数の磁気抵抗素子と、
前記複数の磁気抵抗素子それぞれにセンス電流を流すセンス電流部と、
前記磁気抵抗素子におけるセンス電流値の変化から磁気抵抗特性の前記増加部分から飽和部分へ移行する抵抗値の飽和点に到達したことを検知し、前記電気配線に流れる電流がある規定値に到達したとして出力する検知手段と、
を備え、
前記検知手段は、前記電気配線に流れる電流について前記複数の磁気抵抗素子ごとに異なる規定値への到達を検知し、
前記複数の磁気抵抗素子は、前記測定対象に対して並列に結線された複数の前記電気配線に1対1に対応して配置されていることを特徴とする電流センサ。 - 前記複数の磁気抵抗素子は、1本の前記電気配線に沿って配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電気センサ。
- 前記検知手段は、前記電気配線に流れる電流について前記複数の磁気抵抗素子ごとに異なる電流レンジの規定値への到達を検知することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電流センサ。
- 前記磁気抵抗特性として、前記増加部分と飽和部分との間に該増加部分とは抵抗値が増加する比率の異なる第2の増加部分がある場合には、前記増加部分から前記第2の増加部分に移行する点を前記抵抗値の飽和点とすることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の電流センサ。
- 前記磁気抵抗素子は、巨大磁気抵抗素子、トンネル磁気抵抗素子または異方性磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の電流センサ。
- 前記磁気抵抗素子は、平面上にループ状に形成された前記電気配線の近傍に配置されることを特徴とする請求項1に記載の電流センサ。
- 前記電気配線は、前記磁気抵抗素子を挟むように配置した2つのループからなるヘルムホルツコイル構造を有していることを特徴とする請求項1に記載の電流センサ。
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