JP5738874B2 - イオン源および電子源のためのアセンブリ - Google Patents

Description

本出願は、米国仮出願第６１／２５０，６１９号（出願日：２００９年１０月１２日）の非仮出願であり、同出願への優先権を主張する。本明細書中、同出願の開示内容全体を全目的のために援用する。

本出願は、イオン源および電子源と、前記イオン源および電子源を用いる方法とに関する。詳細には、本明細書中に記載の特定の実施形態は、イオン源および／または電子源の組み立てに用いられる構成要素に関する。

多くのデバイスにおいて、イオンまたは粒子を得るためのイオン源または電子源が用いられている。前記源は利用時において試料によって汚染されたり、あるいは他の不要な種が源構成要素上に蓄積したり、その結果、性能低下または分析誤差に繋がったりする。

第１の局面において、源構成要素を受容するように構成されたハウジングを含む源アセンブリであって、前記ハウジングは第１の一体型整列フィーチャを含む、源アセンブリが提供される。特定の例において、前記源アセンブリは、ビームを提供するように構成された終端レンズも含み、前記終端レンズは、第２の一体型整列フィーチャを含み、第１の一体型整列フィーチャが前記第２の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングに接続されるように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する。

別の局面において、源構成要素を受容するように構成されたハウジングを含む源アセンブリが提供される。前記ハウジングは、第１の１組の一体型整列フィーチャを含む。特定の実施形態において、前記源アセンブリは、ビームを提供するように構築および配置された終端レンズを含み、前記終端レンズは、第２の１組の一体型整列フィーチャを含み、前記第１の１組の一体型整列フィーチャが前記第２の１組の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングに接続されるように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する。

さらなる局面において、質量分析計について記載する。前記質量分析計は、源を受容するように構成されたハウジングを含み、第１の一体型整列フィーチャを含む。特定の実施形態において、前記質量分析計は、前記ハウジングに接続された終端レンズであって、ビームを提供するように構築および配置された終端レンズを含むことができる。含むことができる。前記終端レンズは、第２の一体型整列フィーチャを含み、前記第１の一体型整列フィーチャが前記第２の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングに接続されるように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と共に整列させ、源構成要素を前記ハウジング内において保持して、源アセンブリを提供する。いくつかの実施形態において、前記質量分析計は、前記終端レンズに接続された質量分析器も含むことができる。

別の局面において、質量分析計が開示される。前記質量分析計は、源構成要素を受容するように構成されたハウジングを含む。前記ハウジングは、第１の１組の一体型整列フィーチャを含む。特定の例において、前記質量分析計は、前記ハウジングに接続された終端レンズであって、ビームを提供するように構築および配置された終端レンズを含み、前記終端レンズは、第２の１組の一体型整列フィーチャを含み、前記第１の１組の一体型整列フィーチャが前記第２の１組の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングへと接続されるように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持して、源アセンブリを提供する。いくつかの例において、前記質量分析計は、前記終端レンズに接続された質量分析器を含むことができる。

さらなる局面において、器具について記載する。前記器具は、流体クロマトグラフと、前記流体クロマトグラフからの被分析物を受容するように前記流体クロマトグラフに接続された質量分析計とを含む。特定の例において、前記質量分析計は、ハウジング内の源構成要素と、ビームを提供するように構成された終端レンズとを含み、前記ハウジングに接続される。前記ハウジングは第１の一体型整列フィーチャを含む、、前記終端レンズは、第２の一体型整列フィーチャを含み、前記第１の一体型整列フィーチャが前記第２の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングに接続されるように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、構成要素を前記ハウジング内に保持して、源アセンブリを提供する。

別の局面において、器具が提供される。前記器具は、流体クロマトグラフと、前記流体クロマトグラフからの被分析物を受容するように前記流体クロマトグラフに流体接続された質量分析計とを含む。前記質量分析計は、ハウジング内の源構成要素と、ビームを提供しかつ前記ハウジングに接続されるように構成された終端レンズとを含み、前記ハウジングは、第１の１組の一体型整列フィーチャと、前記終端レンズとを含み、第２の１組の一体型整列フィーチャを含む。前記第２の１組の一体型整列フィーチャは、前記第１の１組の一体型整列フィーチャが前記第２の１組の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングに接続されるように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持し、これにより、源アセンブリを提供する。

さらなる局面において、終端レンズが提供される。前記終端レンズは、イオンまたは電子を提供するように構成され、一体型整列フィーチャを含む。前記一体型整列フィーチャは、源アセンブリのハウジングの対応する整列フィーチャに接続されるように、構築および配置される。いくつかの例において、前記一体型整列フィーチャは、前記一体型整列フィーチャと、前記源アセンブリの前記ハウジングの対応する整列フィーチャとが接続された際、前記終端レンズと、前記源アセンブリの前記ハウジング内の源構成要素とを有効に整列させる。前記終端レンズは、前記整列フィーチャが接続された際、前記源アセンブリの前記ハウジング内の前記源構成要素を保持するようにさらに構成される。

別の局面において、終端レンズが開示される。前記終端レンズは、イオンまたは電子を提供するように構成され、１組の一体型整列フィーチャを含む。前記１組の一体型整列フィーチャは、源アセンブリのハウジングの対応する整列フィーチャに接続されるように構築および配置される。前記一体型整列フィーチャは、前記一体型整列フィーチャと、前記源アセンブリの前記ハウジングの対応する整列フィーチャとが接続された際、前記終端レンズを前記源アセンブリの前記ハウジング内の源構成要素と有効に整列させる。前記終端レンズは、前記１組の整列フィーチャが接続された際、前記源構成要素を前記源アセンブリの前記ハウジング内に保持するようにさらに構成される。

さらなる局面において、源ハウジング上の第１の一体型整列フィーチャと、ビームを提供するように動作可能な終端レンズ上の第２の一体型整列フィーチャとを接続する方法が提供される。前記整列フィーチャが接続された結果、前記源ハウジング内に源構成要素が保持され、前記源ハウジング内の前記源構成要素が前記終端レンズと整列される。

別の局面において、源ハウジング上の第１の１組の一体型整列フィーチャと、ビームを有効に提供する終端レンズ上の第２の１組の一体型整列フィーチャとを接続する方法が記載される。前記整列フィーチャが接続された結果、前記源ハウジング内に源構成要素が保持される。

さらなる局面において、源構成要素を受容するように構築および配置されたハウジングを含むキットが開示される。前記ハウジングは、第１の一体型整列フィーチャを含む。特定の例において、前記キットは、ビームを提供するように構築および配置された終端レンズも含むことができる。前記終端レンズは、第２の一体型整列フィーチャを含む。前記第２の一体型整列フィーチャは、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持しかつ前記終端レンズを前記源構成要素と整列させるように、前記ハウジングの前記第１の整列フィーチャに接続されるように構成される。

別の局面において、源構成要素を受容するように構築および配置されたハウジングを含むキットが提供される。前記ハウジングは、第１の１組の一体型整列フィーチャを含む。特定の例において、前記キットは、ビームを提供するように構築および配置された終端レンズも含むことができる。前記終端レンズは、第２の１組の一体型整列フィーチャを含む。前記第２の１組の一体型整列フィーチャは、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持しかつ前記終端レンズを前記源構成要素と整列させるように、前記第１の１組の一体型整列フィーチャに接続されるように構成される。

さらなる局面において、イオン源の組み立てを容易化する方法が記載される。前記方法は、ビームを提供するように構成された終端レンズを提供するステップを含み、前記終端レンズは、一体型整列フィーチャを含む。前記一体型整列フィーチャは、前記終端レンズを前記ハウジング内のイオン源構成要素と整列させかつ前記ハウジング内のイオン源構成要素を保持して前記イオン源を提供するように、前記イオン源のハウジング上の一体型整列フィーチャに接続されるように構成される。

別の局面において、電子源の組み立てを容易化する方法が提供される。前記方法は、ビームを提供するように構成された終端レンズを提供するステップを含む。前記終端レンズは、一体型整列フィーチャを含む。前記一体型整列フィーチャは、前記終端レンズを前記ハウジング内の電子源構成要素と整列させかつ前記電子源構成要素を前記ハウジング内に保持して前記電子源を提供するように、前記電子源のハウジング上の一体型整列フィーチャに接続されるように構成される。

さらなる局面において、イオン源の組み立てを容易化する方法が開示される。前記方法は、ビームを提供するように構成された終端レンズを提供するステップを含み、前記終端レンズは、１組の一体型整列フィーチャを含む。前記１組の一体型整列フィーチャは、前記終端レンズを前記ハウジング内のイオン源構成要素と整列させかつ前記ハウジング内のイオン源構成要素を保持して前記イオン源を提供するように、前記イオン源のハウジング上の１組の一体型整列フィーチャに接続されるように構成される。

別の局面において、電子源の組み立てを容易化する方法が記載される。前記方法は、ビームを提供するように構成された終端レンズを提供するステップを含む。前記終端レンズは、１組の一体型整列フィーチャを含む。前記１組の一体型整列フィーチャは、前記終端レンズを前記ハウジング内の電子源構成要素と整列させかつ前記ハウジング内の電子源構成要素を保持して前記電子源を提供するように、前記電子源のハウジング上の１組の一体型整列フィーチャに接続されるように構成される。

さらなる局面において、源アセンブリ内において源構成要素を組み立てるための、工具を必要としない組み立て方法が提供される。前記方法は、前記源構成要素をハウジングに付加するステップと、前記ハウジング上の第１の一体型整列フィーチャと、前記源アセンブリの終端レンズ上の第２の一体型整列フィーチャとを接続して、組み立てられた源アセンブリをいかなる器具を用いることなく提供するステップとを含む。

別の局面において、源アセンブリ内において源構成要素を組み立てるための、工具を必要としないアセンブリ方法が記載される。前記方法は、前記源構成要素をハウジングに付加するステップと、前記ハウジング上の第１の１組の一体型整列フィーチャと、前記源アセンブリの終端レンズ上の第２の１組の一体型整列フィーチャとを接続して、組み立てられた源アセンブリをいかなる器具を用いることなく提供するステップとを含む。

さらなる特徴、局面、例および実施形態について、以下により詳細に記載する。

特定の実施形態について、図面を参照しながら説明する。

図１は、特定の例による源を示す。 図２Ａ−Ｄは、特定の例による異なる整列フィーチャを示す。 図３は、特定の例による第１の整列フィーチャおよび第２の整列フィーチャを示す。 図４は、特定の例による質量分析計の模式図である。 図５は、特定の例による器具の模式図である。 図６は、特定の例による例示的源の分解図である。 図７は、特定の例による別の源を示す。 図８Ａ−Ｂは、特定の例による、組み合わせられたイオンボリューム／レンズ上に設けられた整列ピンを示す。 図９は、特定の例による、前記組み合わせられたイオンボリューム／レンズを示す。

当業者であれば、本開示の恩恵を鑑みれば、図面中の特定の寸法または特徴の拡大、変形または図示を非従来または非比例的に行うことで、よりユーザーフレンドリーな図面を得ることが可能であることを認識できるだろう。下記の記載において寸法または値が記載される場合、当該寸法または値はひとえに例示目的のために記載されたものである。

以下、本明細書中に記載の技術をユーザーフレンドリーにするために、特定の実施形態を単数形および複数形で記載する。これらの用語はひとえに便宜目的のために用いられるものであり、本明細書中に記載の特定の実施形態中に記載されているかのように記述されていない限り、当該源アセンブリを特定のフィーチャを包含するかまたは排除するものとして制限することを意図していない。

本明細書中に記載の技術の例示的形態は、ビーム（例えば、流体ストリーム中の荷電粒子を提供する、イオン源、電子源、粒子源または他の源からのビーム）を提供することができる終端レンズを含むことができる。「提供する」という用語は、広範な意味で用いられ、例えば、流体ストリームの集束、方向または選択、あるいは前記流体からの特定の粒子または霧状種の選択または方向が含まれる。前記流体は典型的には、荷電粒子、荷電原子および／または荷電分子またはそのフラグメントを含む。前記ビームは一般的には、前記終端レンズから発生するのではなく、前記終端レンズから出力され、別のデバイスまたは構成要素へと送られる。例えば、レンズの詳細な動作は異なり得るものの、レンズは典型的には、前記ビームを電界、磁界または双方に露出させて、所望の種を前記レンズを通じて前記システムの別の構成要素（例えば、質量分析器）上に選択するかまたは方向付けるように、動作可能である。出力されるビームは、本明細書中に記載される源アセンブリを用いて、集束されるか、平行にされるかまたは他の場合に所望の様態で出力される。典型的な構成において、前記システムの多様なレンズは典型的には、前記ビーム中のイオンまたは電子がレンズフィールドを横断して前記ビームを集束させる間、特定の電圧において保持される。前記終端レンズは、１つ以上のさらなるレンズおよび源アセンブリの他の構成要素と共に動作して、前記源アセンブリから所望の出力を提供することができる。「終端」という用語は、ビームが晒される最終レンズを指し、前記システム内の他のレンズを挙げると、フィーチャ（例えば、前記終端レンズのフィーチャに類似する整列フィーチャ）がある。以下の実施形態において、例示的構成要素および構成を例示目的のために記載する。

以下、多様な構成要素を別の構成要素に「接続されている」ものとして記載する。このような接続は、構成要素間の直接的な物理的接触である場合もあるし、あるいは、流体または種が１つの構成要素から別の構成要素へと移動することを可能にする経路（例えば、イオンが終端レンズから質量分析器へと移動することを可能にする経路）の形態をとる場合もある。接続は多くの異なる様態で達成可能であり、所望であれば、内部締め具または外部締め具を用いて達成可能である。本明細書中に記載の源アセンブリは、接続具（例えば、同一譲受人に譲渡された米国出願第１２／９００，５７２号（出願日：２０１０年１０月９日）に記載のもの）を用いて器具ハウジングに接続することも可能である。本明細書中、同文献の開示内容全体を参考のためおよび全ての目的のために援用する。

特定の実施形態において、前記構成要素の組み立ておよび分解の容易化と、前記源および前記終端レンズまたは集束デバイスの整列とが得られるように、整列フィーチャが前記構成要素上に含まれるかまたは前記構成要素内に含まれる。前記整列フィーチャにより、前記構成要素の組み立てが容易化され、前記源と、前記レンズおよび望ましくは前記源アセンブリの前記ハウジング内の他の構成要素との整列が得られる。加えて、前記整列フィーチャにより、前記構成要素の分解（例えば、洗浄または修理のためのもの）と、その後の前記レンズおよび前記源を整列させるための再組み立てとが容易化される。例えば、前記源アセンブリが質量分析計内に存在する場合、前記源アセンブリは、挿入／取り外し用器具の利用を必要とすることなく取り外しが可能であり、前記終端レンズと前記源アセンブリの前記ハウジングとの接続を解除することにより分解が可能であり、また、前記源アセンブリの所望の構成要素を取り外しおよび洗浄することが可能である。

いくつかの例において、前記整列フィーチャは、前記構成要素の一部を形成している点において「一体型」であり、一般的には構成要素または整列フィーチャへの損傷無く取り外すことはできない。例えば、これらの構成要素の製造時において、前記整列フィーチャを終端レンズおよび／またはハウジングに機械加工することができる。他の実施形態において、前記整列フィーチャは、製造後に溶接、はんだ付けなどにより追加することが可能である。いくつかの実施形態において、前記終端レンズおよび／またはハウジングは、成形過程時において整列フィーチャが形成されるように、モールドまたは成形過程を用いて製造することが可能である。特定の例において、前記整列フィーチャが前記構成要素の外面上に配置されるように、前記整列フィーチャのうち１つ以上を外部に配置し、一方、他の例において、前記整列フィーチャが前記構成要素の内面に配置されるように、１つ以上の整列フィーチャを内部に配置してもよい。前記整列フィーチャは多くの異なる構成において配置可能であるが、前記源アセンブリの組み立ての容易化と、前記組み立てられた源アセンブリを含むデバイスの適切な動作の可能化とが得られるように、望ましくは前記整列フィーチャを相互接続するとよい。一体型整列フィーチャを用いてレンズおよびハウジングを整列させることが可能であるが、所望であれば、前記源アセンブリの組み立てにおいて、ネジ、締め具または他の非一体型構成要素を用いてもよい。加えて、前記源アセンブリをデバイスまたは器具に挿入できる状態にできた後は、固定手段（例えば、締め具、ネジ、バネ、リテーナなど）を用いて、前記源アセンブリをデバイス全体のシャーシまたはハウジングに固定することができる。

特定の実施形態において、本明細書中に記載の終端レンズと共に用いられる源は重要ではなく、イオン源（例えば、質量分析計内に存在するもの、イオン注入機内に存在するもの、または、一般的にイオン源を用いる他のシステムおよびデバイス内のもの）、または、化学分析において一般的に用いられる電子源または他の源、および、イオンまたは電子ビーム（例えば、作製プロセスにおいて用いられるもの）の提供のために一般的に用いられる源を含むことができる。典型的なイオン源（図１を参照）は、多数の構成要素（例えば、ハウジング１００内のリペラー１１０、フィラメント１２０、ならびに複数のレンズ１３０、１４０および１５０）を含むことができる。フィラメント１２０が加熱されると、フィラメント１２０から電子が出射される。これらの電子は、アノード１２５とフィラメント１２０との間の電位差を用いてアノード１２５へ向かって加速することができる。前記電子の加速方向に対して実質的に垂直な方向において、試料を含むガスストリーム１０５を設けることができる。これらの加速された電子は試料と衝突し、前記試料のイオン化（例えば、一価の陽イオンの生成）が発生する。レンズ１３０とリペラー１１０との間の電位差に起因して、正荷電イオンがレンズ１３０によって引き寄せられる。レンズ１３０は、レンズ１４０および１５０と共に、イオンビームが所望のデバイスへと送られるように、イオンビームを集束または操作することができる。図１に示すイオン源はひとえに例示的なものであり、異なるイオン源を挙げると、図１に示す物以外の異なる構成要素または他の構成要素がある。

特定の例において、前記源アセンブリは、ハウジングおよび終端レンズを含むことができる。いくつかの実施形態において、前記ハウジングは、源アセンブリの構成要素（例えば、リペラー、フィラメント、イオンボリューム、レンズ、絶縁体など）を含むように、設計される。これらの構成要素は、前記ハウジング内に含まれる構成要素に正確に応じて、協働してイオン源または電子源として機能する。前記終端レンズは、前記源アセンブリのその他の構成要素から受信されたビームを集束させるレンズとして機能しかつ前記ハウジング内の構成要素を保持するように、前記ハウジングに接続することができる。

特定の実施形態において、前記ハウジングおよび前記終端レンズの接続を容易化するために、前記ハウジングは第１の一体型整列フィーチャを含み、含み、前記終端レンズは第２の一体型整列フィーチャを含むことができる。いかなる特定の構成によっても拘束されることなく、前記源ハウジングおよび前記終端レンズ上の各整列フィーチャが接続されることにより、源アセンブリ全体が適切に機能するように、前記ハウジング内の前記源構成要素が保持され、前記多様な源構成要素が前記終端レンズと共に整列される。前記整列フィーチャの構成を選択する際には望ましくは、前記整列フィーチャの適切な係合により前記終端レンズが前記ハウジングへと保持され、これにより、前記ハウジング内の前記源構成要素が所望の位置および方向において保持されるように、選択を行う。いくつかの例において、図２Ａを参照して、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうちの１つはピン２１０を含み、その他の一体型整列フィーチャはスロット２２０を含む。ピン２１０がスロット２２０に挿入されると、挿入に起因してピン２１０がスロット２２０内に保持され、構成要素が源アセンブリ内に保持される。前記スロットの正確な構成とは異なり、例示的スロットを図２Ｂ〜図２Ｄに示す。例示的スロットは、Ｌ字型スロット２２０（図２Ｂ）を含む。Ｌ字型スロット２２０は、長手方向軸に対して平行な第１のチャンネル２２２と、第１のアーム２２２に対して垂直な第２のチャンネル２２４とを含む。第２のチャンネル２２４は戻り止めを含み、含み、これにより、ピン２１０を第２のチャンネル２２４の所定位置に保持することが可能になる。図２Ｃを参照して、前記スロットは、Ｊ字型スロット２３０として構成することが可能である。Ｊ字型スロット２３０に含まれる部位２３２は、ピン２１０を保持しかつ終端レンズをハウジングへと接続するように、構成可能である。図２Ｄを参照して、前記スロットは一般的には、Ｕ字型スロット２４０として構成することが可能である。ピン２１０は、Ｕ字型スロット２４０内の開口部２４２に挿入可能であり、Ｕ字型スロット２４０の反対側２４４上に配置されるまで、下方に押し下げて前記チャンネル周囲に配置することができる。いくつかの例において、これらの整列フィーチャのうちの１つはピンであり、その他の整列フィーチャは穴であり、これにより、前記ピンの前記穴への挿入に起因して、前記ハウジング内の前記源構成要素が保持される。前記ピンはバネであり、前記ピンの押圧の後に前記終端レンズの前記ハウジング内への挿入が行われると、前記終端レンズは前記ハウジングへと保持され、前記ピンは前記穴と係合し、非押圧状態へと戻る。さらに他の構成において、前記整列フィーチャのうちの１つはピンであり、その他の整列フィーチャはフックである。前記フックは、前記ピン周囲を取り巻いて、前記終端レンズを前記ハウジングへと保持するように機能する。

特定の例において、前記整列フィーチャは、前記終端レンズまたは前記ハウジングの内部に構成可能であり、これにより、所望のデバイスまたは器具内への源アセンブリの挿入と干渉しない。いくつかの実施形態において、前記整列フィーチャのうちの１つは内部に設けられ（例えば、一般的には外面からは視認不可能であり）、その他の整列フィーチャは外部または内部にある。他の実施形態において、前記整列フィーチャはどちらとも外部に設けられ、これにより、前記整列フィーチャの接続後も、前記ハウジングまたは前記終端レンズの外面から視認可能となる。

対応する整列フィーチャが存在する特定の実施形態において、前記整列フィーチャはそれぞれ、単一の様態のみで接続可能なように、構成可能である。例えば、前記整列フィーチャは、単一の方向のみにおいて接続されるように選択および／または配置することができ、これにより、サブアセンブリの組み立てが不正確になることを回避する。いくつかの実施形態において、前記終端レンズ上の前記整列フィーチャは、前記ハウジング上の前記整列フィーチャに接続された際、摩擦嵌合が得られるように適切に配置することができる。他の実施形態において、さらなる締め具、接続具などを前記整列フィーチャと共に用いて、前記終端レンズを前記ハウジングに保持することができる。

いくつかの実施形態において、本明細書中に記載される源アセンブリは、挿入／取り外し器具を用いずに質量分析計から取り外すことが可能である。多くの既存の構成において、挿入／取り外し器具を用いて、前記源アセンブリをデバイスから取り外す。例えば、ＵＳ７，７０９，７９０において、挿入／取り外し器具を用いた質量分析計筺体からのサブアセンブリの取り外しについての記載がある。本明細書中に記載される源アセンブリの実施形態においては、前記源アセンブリのデバイス内への配置時またはデバイスからの前記源アセンブリの取り外し時において、挿入／取り外し器具の利用は不要である。

特定の実施形態において、本明細書中に記載される源アセンブリは、さらなる源構成要素を含むことができる。前記さらなる源構成要素は、協働してイオン源、電子源または他の種類の源として機能することができる。例えば、前記源アセンブリは、前記ハウジング内のフィラメントを含むことができる。フィラメントの正確な性質および種類は異なり、例示的な種類のフィラメントを非限定的に挙げると、タングステン、レニウム、表面被覆金属、平角線、巻き針金、ヘアピン構成および源において一般的に用いられる他のフィラメントがある。前記源アセンブリはまた、２つ以上のレンズも含むことができる。これら２つ以上のレンズは、相互に独立して機能することもできるし、あるいは、前記システムの１つ以上の他のレンズと協働するように機能することもできる。いくつかの例において、前記源アセンブリは、前記フィラメントと前記終端レンズとの間に２つ以上のレンズを含み、これにより、前記源アセンブリの出力としてビームが提供される。

特定の実施形態において、前記源アセンブリは、さらなる構成要素（例えば、多様な異なる構成要素からのアーク放電または短絡を回避するための絶縁体）も含むことができる。例えば、前記源アセンブリの多くの構成要素は、荷電してもよいし、あるいは、一定の電圧を持ってもよい。異なる構成要素を電気的に分離するために、多様な構成要素が適切に動作するように、１つ以上の絶縁体を前記構成要素間に配置することができる。前記絶縁体において用いられる材料の詳細は重要ではなく、前記絶縁体は望ましくは、前記多様な構成要素を相互に電気的に絶縁するような厚さおよび所望の形状を有する。

特定の実施形態において、終端レンズを整列フィーチャと共に含む源アセンブリは、リペラー絶縁体に接続された源ブロックを含むことができる。いくつかの例において、前記源アセンブリは、前記リペラー絶縁体に接続されたリペラーも含むことができる。他の例において、前記源アセンブリは、前記リペラーに接続されたイオンボリューム絶縁体も含むことができる。特定の例において、前記源アセンブリは、前記リペラーに接続されたトラップ絶縁体を含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記トラップ絶縁体に接続されたトラップを含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記フィラメントおよび第１のレンズを含むイオンボリュームを含み、ここで、前記イオンボリュームは前記トラップに接続される。他の例において、前記源アセンブリは、前記イオンボリュームに接続された第２のレンズを含み、任意選択的に前記イオンボリュームに接続された第３のレンズを含むことができる。特定の実施形態において、前記終端レンズは、前記第２のレンズまたは前記第３のレンズに接続可能である（ただし、当該レンズが存在する場合）。

特定の例において、前記源アセンブリの構成要素は、実質的に不活性である材料であり、これにより、前記構成要素の表面上に不要な化学反応が発生しないようにする。前記構成要素は、不活性コーティングを含み、実質的に不活性な材料（例えば、チタン、インコネル（登録商標）合金、金属合金、炭素コーティング（例えば、ダイヤモンドコーティング、あるいは、前記試料中の分子、原子または粒子全てと実質的に反応しないかまたは前記試料と前記フィラメントからのイオンまたは電子との相互作用によって発生した分子、原子または粒子と実質的に反応しない他の材料）から生成可能である。いくつかの例において、試料および／またはイオンに露出された構成要素は全て、前記実質的に不活性な材料から生成可能であり、他の実施形態において、前記実質的に不活性な材料から１つ以上の構成要素のみが生成可能である。例えば、ハウジング、終端レンズ、他のレンズ、リペラー、アノード、フィラメントなどのうち任意の１つ以上を、実質的に不活性な金属材料と共にまたは実質的に不活性な金属材料を用いて生成することができる。

特定の実施形態において、前記源アセンブリは、多様な構成要素を適切な様態で保持するための１つ以上の付勢手段を含むことができる。いくつかの例において、前記付勢手段は、前記終端レンズを前記ハウジングから遠位方向に押圧しかつ第１の整列フィーチャおよび第２の整列フィーチャの接続保持を支援するように、前記終端レンズに隣接して配置される。前記付勢手段は、異なる形態（例えば、バネ、エラストマースペーサ、コイルなど）をとることができる。

特定の例において、前記終端レンズは、レンズとしての機能および源構成要素をハウジング内に保持する機能を有効に併せ持つユニタリーレンズとして、構成することができる。「ユニタリー」という用語は、終端レンズが単一の構成要素であることを意味し、また、当該終端レンズがハウジングの整列フィーチャに接続された際に、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持するためのさらなる締め具または他のデバイスを用いることなく前記ハウジング内の前記源構成要素を保持するように構成されていることを意味する。

他の実施形態において、前記第１の整列フィーチャおよび第２の整列フィーチャの接続によって得られる源アセンブリは、前記源アセンブリをデバイス内に固定するための手段を含むことができる。このような固定手段は、タブ、穴、または前記源アセンブリをデバイスに固定するように前記デバイスと噛み合うかまたは接続可能な他のフィーチャの形態をとることができる。特定の例において、前記固定手段は、前記源アセンブリと前記デバイスとの間の摩擦嵌合を通じて前記デバイス内において配置および保持可能であり、他の例において、外部締め具（例えば、ネジ、ボルト、ナットなど）により、前記源アセンブリを前記デバイスに固定することができる。

特定の実施形態において、源アセンブリは、源構成要素を受容するように構成されたハウジングを含むことができる。前記ハウジングは、第１の１組の一体型整列フィーチャを含む。以下にさらに記載するように、前記第１の１組の一体型整列フィーチャは、ビームを集束させるように構築および配置された終端レンズ上の第２の１組の一体型整列フィーチャに接続される。前記１組の整列フィーチャを接続することで、前記終端レンズを前記ハウジング内の源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持することが可能になる。

特定の例において、前記１組の各整列フィーチャは、同じであってもよいし、異なってもよい。例えば、前記ハウジングまたは前記終端レンズはそれぞれ、２つの異なる整列フィーチャを含むことができる。前記ハウジングおよび前記終端レンズそれぞれの上に異なる整列フィーチャを設けることで、前記終端レンズおよびハウジングを単一方向において接続することが可能になる。いくつかの実施形態において、各整列フィーチャの組は３つ以上の整列フィーチャを含み、そのうち２つは同じである。複数組の整列フィーチャが存在する場合、これらの整列フィーチャは多くの異なる構成をとることができる（例を非限定的に挙げると、ピン、フック、スロット、バヨネットおよび本明細書中に記載の他の例示的構成がある）。

特定の実施形態において、前記組の全ての整列フィーチャは、実質的に同一である。例えば、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１組をピンとして構成し、その他の組の一体型整列フィーチャをスロットとして構成することができる。別の例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１組をピンとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャを穴として構成することができる。さらなる例において、１組の第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャをフックとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができる。別の例において、１組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャをＬ字型スロットとして構成することができる。他の整列フィーチャ構成も可能であり、当業者であれば、当業者が本開示の恩恵を鑑みれば、他の整列フィーチャ構成を認識できるだろう。いくつかの例において、前記１組の第１の一体型整列フィーチャは、単一方向のみにおいて第２の１組の一体型整列フィーチャと接続するように構成可能であり、これにより、前記終端レンズを前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する。

さらなる例において、前記第１の１組の一体型整列フィーチャは、第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットを含むことができる。これらの第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットは、前記ハウジング上において実質的に等しい円周方向間隔で配置され、前記第２の１組の一体型整列フィーチャは、第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットを含む。これらの第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットはそれぞれ、前記ハウジングの第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットのうち対応する１つを受容するように構成される。前記バヨネット／スロット対のうちの１つを図３中に例示する。ハウジング３１０は、バヨネット３１５を含む。バヨネット３１５は、終端レンズ３２０上のＬ字型スロット３２５へと接続する。終端レンズ３２０をハウジング３１０へと接続するには、終端レンズ３２０をハウジング３１０の前面に向かって押すことにより、バヨネット３１５を軸方向においてスロット３２５へと挿入する。バヨネット３１５がＬ字型スロット３２５の第１のチャンネルの下部と係合すると、終端レンズ３１０およびハウジング３２０のいずれかまたは双方が回転または旋回して、バヨネット３１５がＬ字型スロット３２５の第２のチャンネルへと移動する。付勢手段（図示せず）（例えば、バネ、エラストマーなど）を設けて、終端レンズ３２０をハウジング３１０から遠位方向に押圧して、バヨネット３１５とＬ字型スロット３２５との間に力を維持することができる。所望であれば、Ｌ字型スロット３２５は、戻り止めを含むことができる。前記戻り止めは、Ｌ字型スロット３２５内におけるバヨネット３１５の保持を支援することができる。終端レンズ３２０をハウジング３１０から取り外すには、第１のチャンネルおよび第２のチャンネルが出会う反対方向において、終端レンズ３２０を回転させればよい。その後、終端レンズ３２０を軸方向においてハウジング３１０から遠位方向に移動させることにより、終端レンズ３２０をハウジング３１０から分離することができる。

特定の実施形態において、１組の整列フィーチャを含む終端レンズは、イオンを有効に集束させることができる。他の実施形態において、１組の整列フィーチャを含む終端レンズは、電子を有効に集束させることができる。複数組の整列フィーチャが存在する実施形態において、本明細書中他の実施形態について記載したように、挿入／取り外し器具を用いずに源アセンブリを質量分析計から取り外すことが可能なように構成可能である。同様に、１組の整列フィーチャを有する終端レンズを他の源構成要素（例を非限定的に挙げると、フィラメント、リペラー、レンズ、絶縁体など）と共に利用することが可能である。例えば、終端レンズを１組の整列フィーチャと共に含む源アセンブリは、リペラー絶縁体に接続された源ブロックを含むことができる。いくつかの例において、前記源アセンブリは、前記リペラー絶縁体に接続されたリペラーも含むことができる。他の例において、前記源アセンブリは、前記リペラーに接続されたイオンボリューム絶縁体も含むことができる。特定の例において、前記源アセンブリは、前記リペラーに接続されたトラップ絶縁体を含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記トラップ絶縁体に接続されたトラップを含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記フィラメントおよび第１のレンズを含むイオンボリュームを含み、ここで、前記イオンボリュームは前記トラップに接続される。他の例において、前記源アセンブリは、前記イオンボリュームに接続された第２のレンズを含み、前記イオンボリュームに接続された第３のレンズを任意選択的に含むことができる。特定の実施形態において、前記終端レンズは、前記第２のレンズまたは前記第３のレンズに接続可能である（ただし、当該レンズが存在する場合）。

特定の例において、前記ハウジングと前記終端レンズとの間に他の構成要素（例えば、付勢手段など）が設けられ、これにより、前記ハウジング内の前記源構成要素の保持と、前記ハウジングおよび前記終端レンズの接続とが容易化される。同様に、１組の整列フィーチャを含む終端レンズをユニタリーレンズとして構成することができる。前記ユニタリーレンズは、レンズとして有効に機能し、かつ、前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように有効に機能する。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記源アセンブリをデバイス内に固定するための手段（例えば、挿入／取り外し器具を用いずに源アセンブリを取り外すことを可能にするように構成された固定手段）を含むことができる。他の構成要素を、前記源アセンブリ内に設けるかまたは前記源アセンブリの前記ハウジング上に設けることが可能である。

特定の例において、終端レンズおよび整列フィーチャをイオン源の一部として質量分析計において用いることが可能である。質量分析計内にイオン源が存在する場合、このイオン源を用いて、被分析物をイオン化することができる。質量分析計において用いられるイオン源は異なる構成要素を持ち、容易な例示を非限定的に提供するために、質量分析計の特定の構成要素について以下に説明する。図４を参照して、質量分析計４００は一般的には、入口システム４１０を含む。入口システム４１０は、イオン源４２０へと流体接続される。イオン源４２０は、質量分析器４３０へと接続される。質量分析器４３０は、検出器４４０へと接続される。質量分析計の作動圧力は、真空系を用いることにより、大気圧よりも低い（典型的には１０^−５〜１０^−８Ｔｏｒｒ）。

特定の例において、質量分析計４００の入口システム４１０は、一般的に用いられる入口システム（例を非限定的に挙げると、バッチ入口システム、直接プローブ入口、クロマトグラフ入口システム、またはＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ Ｈｅａｌｔｈ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｉｎｃ．（Ｗａｌｔｈａｍ，ＭＡ）から入手可能な他の一般的入口システム）のうち任意のものでよい。選択された特定の入口システムと関係無く、当該入口システムは、イオン源４２０内への試料導入を真空損失を最小にした様態で可能にするように機能する。

いくつかの例において、質量分析計４００の質量分析器４３０は、任意の一般的に用いられる質量分析器でよい（例を非限定的に挙げると、磁気セクター分析器、飛行時間分析器、四重極マスフィルター、イオントラップ分析器（例えば、四重極リニアイオントラップ、三次元四重極イオントラップ、オービトラップ、トロイダルイオントラップ、サイクロトロン共鳴、またはＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ Ｈｅａｌｔｈ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｉｎｃ．から入手可能な他の質量分析器））。選択された質量分析器の種類と関係なく、質量分析器４３０は、イオン化試料をイオン源４２０から受容し、異なる質量対電荷比でイオンを有効に分離する。

特定の実施形態において、質量分析計４３０の検出器４４０は、質量分析において一般的に用いられる検出器のうち任意の１つ以上でよい（例を非限定的に挙げると、電子乗算器、ファラデーカップ、写真乾板、シンチレーション検出器、ミクロチャンネルプレート検出器および他の検出器がある）。検出器４４０は、質量分析器４３０に流体接続しており、これにより、分離イオンを検出対象として前記質量分析器から受容することができる。

特定の例において、イオン源は、気相源および脱着源およびその組み合わせから選択することができる。例えば、イオン源は、電子イオン化源、化学イオン化源、フィールドイオン化源、フィールド脱着源、高速原子衝撃源、二次イオン質量分析、レーザー脱着源、プラズマ脱着源、熱脱離、エレクトロスプレイイオン化源、サーモスプレーイオン化源、またはイオン化剤ビームを試料へと提供するように単独または組み合わせて用いることが可能な他の源であり得る。いくつかの場合において、１つより多くの源を質量分析計内に設けることができ、ユーザは、所望の源を選択することができる。適切な市販の源アセンブリがＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ Ｈｅａｌｔｈ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｉｎｃ．から入手可能であり、このような源アセンブリを本細書中に記載の技術と共に用いることで、終端レンズと源構成要素との整列と、源アセンブリのハウジング内における源構成要素の保持とが容易化される。

特定の実施形態において、質量分析計の源アセンブリは、源を受容するように構成されたハウジングを含むことができる。前記ハウジングは、第１の一体型整列フィーチャを含む。いくつかの実施形態において、前記第１の整列フィーチャは、ビームを集束するように構築および配置された終端上の第２の整列フィーチャに接続することができる。いくつかの例において、前記終端レンズは、前記第１の一体型整列フィーチャが前記第２の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングへと接続するように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内に源構成要素を保持して、源アセンブリを提供する。前記終端レンズは、質量分析器にイオン化試料を提供するように、前記質量分析器に接続される。

質量分析計が第２の整列フィーチャを備えた終端レンズと、第１の整列フィーチャを備えたハウジングとを含む例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つをピンとして構成することができ、その他の一体型整列フィーチャをスロットとして構成することができる。他の例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つをピンとして構成することができ、その他の一体型整列フィーチャを穴として構成することができる。いくつかの例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはフックとして構成することができ、その他の一体型整列フィーチャはピンとして構成することができる。さらなる例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはピンとして構成することができ、その他の一体型整列フィーチャはＬ字型スロットとして構成することができる。いくつかの実施形態において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つは内部であり、他の実施形態において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つは外部である。

いくつかの例において、前記質量分析計は源ハウジングを含み、ここで、第１の一体型整列フィーチャは１つの方向のみにおいて第２の一体型整列フィーチャに接続するように構成され、これにより、終端レンズを源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する。このような構成により、取り外しおよび／または洗浄後にユーザーが不正確に再組み立てを行う可能性が低減する。特定の例において、前記第１の一体型整列フィーチャは、第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットを含む。前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットは、前記ハウジング上において実質的に等しい円周方向間隔で配置される。前記第２の一体型整列フィーチャは、第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットを含む。前記第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットはそれぞれ、前記ハウジングの前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットのうち対応する１つを受容するように構成される。他の例において、前記質量分析計の前記源アセンブリは、挿入／取り外し器具を用いずに前記質量分析計から取り外し可能なように、構成することが可能である。

特定の例において、前記質量分析計の前記源アセンブリは、終端レンズおよび整列フィーチャを含み、かつ、ハウジング内のフィラメントをさらに含む。他の例において、前記源アセンブリは、前記フィラメントと前記終端レンズとの間のさらなるレンズ（単数または複数）を含む。他の構成要素は、前記質量分析計の前記源アセンブリ内にも存在する。例えば、終端レンズを整列フィーチャと共に含む源アセンブリは、リペラー絶縁体に接続された源ブロックを含むことができる。いくつかの例において、前記源アセンブリは、前記リペラー絶縁体に接続されたリペラーも含むことができる。他の例において、前記源アセンブリは、前記リペラーに接続されたイオンボリューム絶縁体も含むことができる。特定の例において、前記源アセンブリは、前記リペラーに接続されたトラップ絶縁体を含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記トラップ絶縁体に接続されたトラップを含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記フィラメントおよび第１のレンズを含むイオンボリュームを含み、ここで、前記イオンボリュームは前記トラップに接続される。他の例において、前記源アセンブリは、前記イオンボリュームに接続された第２のレンズを含み、前記イオンボリュームに接続された第３のレンズを任意選択的に含むことができる。特定の実施形態において、前記終端レンズは、前記第２のレンズまたは前記第３のレンズに接続される（ただし、当該レンズが存在する場合）。さらなる構成要素を前記源アセンブリ内および前記質量分析計内に設けてもよい。例えば、前記源アセンブリは、前記第３のレンズと前記終端レンズとの間の付勢手段を含むことができる。いくつかの例において、前記質量分析計の前記源アセンブリの前記終端レンズは、ユニタリーレンズとして構成することができる。前記ユニタリーレンズは、レンズとして有効に機能し、かつ、前記ハウジング内に源構成要素を保持するように有効に機能する。前記源アセンブリは、前記源アセンブリをデバイス内に固定するための手段（例えば、挿入／取り外し器具を用いることなく前記源アセンブリを取り外すことを可能にするように構成された固定手段）も含むことができる。

特定の実施形態において、前記質量分析計は、源アセンブリを含むことができる。前記源アセンブリは、終端レンズを１組の一体型整列フィーチャと共に有する。例えば、前記質量分析計は、源構成要素を受容するように構成されたハウジングを含むことができる。前記ハウジングは、第１の１組の一体型整列フィーチャと、前記ハウジングに接続されかつビームを集束するように構築および配置された終端レンズとを含む。いくつかの例において、前記終端レンズは、第２の１組の一体型整列フィーチャを含み、これにより、前記終端レンズは、前記第１の１組の一体型整列フィーチャが前記第２の１組の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングへと接続するように構築および配置される。いくつかの実施形態において、前記整列フィーチャが接続されることにより、前記終端レンズが前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素が保持され、源アセンブリが提供される。

終端レンズと、１組の一体型整列フィーチャをそれぞれ含むハウジングとを質量分析計源アセンブリが含む特定の実施形態において、１組の前記一体型整列フィーチャをピンとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャをスロットとして構成することができる。他の例において、１組の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャを穴として構成することができる。さらなる例において、１組の一体型整列フィーチャをフックとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができる。他の実施形態において、１組の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャをＬ字型スロットとして構成することができる。複数組の整列フィーチャが存在する場合、特定の１組の第１の一体型整列フィーチャが異なる整列フィーチャを含んでもよいし、あるいは、同一整列フィーチャを含んでもよい。いくつかの実施形態において、１組の第１の一体型整列フィーチャを１つの方向のみにおいて１組の第２の一体型整列フィーチャへと接続することが可能なように整列フィーチャを選択することができ、これにより、終端レンズを源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する。特定の実施形態において、前記第１の１組の一体型整列フィーチャは、第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットである。前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットは、前記ハウジング上において実質的に等しい円周方向間隔で配置される。前記第２の１組の一体型整列フィーチャは、第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットである。前記第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットはそれぞれ、前記ハウジングの前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットのうち対応する１つを受容するように構成される。いくつかの例において、前記源アセンブリは、挿入／取り外し器具を用いずに質量分析計から取り外すことができるように、構成される。

特定の例において、１組の整列フィーチャを備えた終端レンズを含む質量分析計源アセンブリは、アセンブリを例えばイオン源または電子源として動作可能にするための他の源構成要素も含むことができる。いくつかの実施形態において、前記ハウジング内にフィラメントが存在する。他の実施形態において、さらなるレンズを前記フィラメントと前記終端レンズとの間に設けることができる。さらなる実施形態において、前記源アセンブリは、リペラー絶縁体に接続された源ブロックを含むことができる。いくつかの例において、前記源アセンブリは、前記リペラー絶縁体に接続されたリペラーも含むことができる。他の例において、前記源アセンブリは、前記リペラーに接続されたイオンボリューム絶縁体も含むことができる。特定の例において、前記源アセンブリは、前記リペラーに接続されたトラップ絶縁体を含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記トラップ絶縁体に接続されたトラップを含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリは、前記フィラメントおよび第１のレンズを含むイオンボリュームを含み、ここで、前記イオンボリュームは前記トラップに接続される。他の例において、前記源アセンブリは、前記イオンボリュームに接続された第２のレンズを含み、任意選択的に前記イオンボリュームに接続された第３のレンズを含むことができる。特定の実施形態において、前記終端レンズは、前記第２のレンズまたは前記第３のレンズに接続可能である（ただし、当該レンズが存在する場合）。特定の例において、前記源アセンブリは、前記第３のレンズと前記終端レンズとの間に付勢手段も含むことができる。いくつかの例において、前記終端レンズは、ユニタリーレンズとして構成可能である。前記ユニタリーレンズは、レンズとしての機能と、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する機能とを併せ持つ。他の例において、前記源アセンブリは、前記源アセンブリをデバイス内に固定するための手段（例えば、挿入／取り外し器具を用いずに源アセンブリを取り外すことを可能にするように構成された手段）を含むことができる。

特定の実施形態において、本明細書中に開示の源アセンブリのうち１つ以上（例えば、整列フィーチャまたは１組の整列フィーチャと、任意選択的に他のフィーチャとを備えた源アセンブリ）を含むデバイスが提供される。例えば、本明細書中に記載される源アセンブリは、粒子加速器、イオン注入機、イオンエンジンおよび処理または分析の際にイオン、電子または粒子を用いる他のデバイスにおいて用いることができる。デバイスが源アセンブリの一部として終端レンズを含む場合、前記終端レンズは、整列フィーチャまたは１組の整列フィーチャを含むことができる。前記源アセンブリのハウジングは、対応する整列フィーチャまたは１組の整列フィーチャを含み、これにより、前記源構成要素を前記源アセンブリ内に保持するように、前記終端レンズおよび前記ハウジングを接続および機能させることが可能になる。前記源アセンブリは、他の構成要素（例えば、本明細書中に記載の他の実施形態において記載するフィラメント、リペラー、レンズなど）を含むことができる。

特定の実施形態において、本明細書中に記載の質量分析計は、別の質量分析計または他の器具と共にタンデムで用いることができる。タンデムＭＳ／ＭＳを用いる場合、ＭＳデバイスのうち少なくとも１つを本明細書中に記載のように構成することができる（例えば、整列フィーチャまたは１組の整列フィーチャを備えた終端レンズを含む構成）。タンデム質量分析計の１つの用途として、質量分光分析による分子イオンおよびそのフラグメント（それぞれ、ＭＳおよびＭＳ／ＭＳ）の特定がある。タンデム質量分析計は、第１の段階において対象前駆イオンを質量選別し、第２の段階において前記イオンをフラグメント化し、第３の段階において前記フラグメントを質量分析することにより、分子イオン特定を行う。タンデムＭＳ／ＭＳ器具は、例えば、空間的に連続する（例えば、衝突セルによって分離された２つの四重極マスフィルターからなる）かまたは時間的に連続する（例えば、単一の三次元イオントラップ）。

特定の例において、流体クロマトグラフおよび質量分析計を含む器具が提供される。「流体クロマトグラフ」という用語は、流体（例えば、ガス、液体、超臨界流体など）を用いる多くの異なる種類のクロマトグラフデバイスを包含することを意図する（例を非限定的に挙げると、ガスクロマトグラフ、液体クロマトグラフ、高性能液体クロマトグラフ、キャピラリー電気泳動法、および被分析物の移動相と固定相との間の差分パーティショニングを用いるかまたは移動速度差を用いた流体中の種分離が可能な他のクロマトグラフがある）。例示的器具を図５に示す。器具５００は、流体クロマトグラフ５１０を含む。流体クロマトグラフ５１０は、質量分析計５２０へとハイフネートされる。流体クロマトグラフ５１０は、流体クロマトグラフ５１０から質量分析計５２０へと流体が流れるように、適切な入口を介してハイフネートすることができる。質量分析計５２０は典型的には、流体クロマトグラフ５１０において用いられる圧力よりも低い圧力において作動する。

特定の実施形態において、前記器具の質量分析計は、源アセンブリと共に構成することができる。前記源アセンブリは、ハウジング内の源構成要素と、ビームを集束させかつ前記ハウジングに接続するように構成された終端レンズとを含む。前記ハウジングは、第１の一体型整列フィーチャを含む。前記終端レンズは、第２の一体型整列フィーチャを含み、前記第１の一体型整列フィーチャが前記第２の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングに接続するように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の構成要素を保持して、源アセンブリを提供する。いくつかの例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはピンとして構成可能であり、その他の一体型整列フィーチャはスロットとして構成可能である。他の例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはピンとして構成可能であり、その他の一体型整列フィーチャは穴として構成可能である。さらなる例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャはフックとして構成可能であり、その他の一体型整列フィーチャはピンとして構成可能である。さらなる例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはピンとして構成可能であり、その他の一体型整列フィーチャはＬ字型スロットとして構成可能である。いくつかの例において、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つは内部であり、他の例において前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つは外部である。特定の例において、前記源は、イオン源または電子源として構成可能である。他の例において、前記質量分析計は、前記終端レンズに接続された質量分析器を含むことができる。いくつかの例において、前記第１の一体型整列フィーチャは、１つの方向のみにおいて前記第２の一体型整列フィーチャへと接続するように構成され、これにより、前記終端レンズを前記源構成要素と共に整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する。

特定の実施形態において、前記器具はハウジングおよび終端レンズを含み、前記ハウジングにおいて、前記第１の一体型整列フィーチャは、第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットを含む。前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットは、前記ハウジング上において実質的に等しい円周方向間隔と共に配置され、終端レンズにおいて、前記第２の一体型整列フィーチャは、第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットを含む。前記第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットはそれぞれ、前記ハウジングの第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットのうち対応する１つを受容するように構成される。いくつかの実施形態において、前記源アセンブリは、挿入／取り外し器具を用いずに前記質量分析計から取り外し可能なように、構成される。特定の例において、前記器具の源アセンブリは、前記ハウジング内のフィラメントをさらに含む。いくつかの例において、前記器具の前記源アセンブリは、前記フィラメントと前記終端レンズとの間のさらなるレンズを含む。さらなる例において、前記器具の前記源アセンブリは、前記フィラメントと前記終端レンズとの間の３つのレンズを含むことができる。いくつかの例において、前記器具の前記源アセンブリは、リペラー絶縁体に接続された源ブロック、前記リペラー絶縁体に接続されたリペラー、前記リペラーに接続されたイオンボリューム絶縁体、前記リペラーに接続されたトラップ絶縁体、前記トラップ絶縁体に接続されたトラップ、前記イオンボリュームが前記トラップに接続される、前記フィラメントおよび第１のレンズを含むイオンボリューム、前記イオンボリュームへと接続された第２のレンズおよび第３のレンズ、前記第２のレンズおよび第３のレンズへと接続された終端レンズを含むことができる。いくつかの例において、前記器具源アセンブリは、前記第３のレンズと前記終端レンズとの間の付勢手段も含むことができる。特定の例において、前記器具源アセンブリは、レンズとしての機能および前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する機能を有効に併せ持つユニタリー終端レンズを含むことができる。さらなる例において、前記器具源アセンブリは、前記源アセンブリをデバイス内に固定するための手段を含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリを固定する手段は、挿入／取り外し器具を用いずに前記源アセンブリを取り外すことが可能なように、構成される。

特定の実施形態において、前記器具は、流体クロマトグラフを含むことができる。前記流体クロマトグラフは、質量分析計へと流体接続される。前記質量分析計は、ハウジング内の源構成要素と、終端レンズとを含む。前記終端レンズは、ビームを集束させかつ前記ハウジングへと接続されるように、構成される。前記ハウジングは、第１の１組の一体型整列フィーチャと、前記終端レンズとを含み、第２の１組の一体型整列フィーチャを含む。前記第２の１組の一体型整列フィーチャは、前記第１の１組の一体型整列フィーチャが前記第２の１組の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングへと接続するように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持して、源アセンブリを提供する。いくつかの実施形態において、１組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャをスロットとして構成することができる。さらなる実施形態において、１組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャを穴として構成することができる。他の実施形態において、１組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャをフックとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができる。特定の例において、１組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャをピンとして構成することができ、その他の組の一体型整列フィーチャをＬ字型スロットとして構成することができる。いくつかの例において、前記１組の第１の一体型整列フィーチャは、異なる整列フィーチャを含む。他の例において、前記１組の第２の一体型整列フィーチャは、異なる整列フィーチャを含む。特定の実施形態において、前記器具の源は、イオン源または電子源であり得る。いくつかの実施形態において、前記１組の第１の一体型整列フィーチャは、１つの方向のみにおいて前記第２の１組の一体型整列フィーチャと接続するように構成可能であり、これにより、前記終端レンズを前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する。

特定の例において、前記第１の１組の一体型整列フィーチャは、第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットを含む。前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットは、前記ハウジング上において実質的に等しい円周方向間隔で配置される。前記第２の１組の一体型整列フィーチャは、第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットを含む。前記第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットはそれぞれ、前記ハウジングの第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットのうち対応する１つを受容するように構成される。いくつかの例において、前記器具源アセンブリは、挿入／取り外し器具を用いずに前記質量分析計から取り外すことが可能なように構成される。他の例において、前記器具源アセンブリは、前記ハウジング内のフィラメントをさらに含む。さらなる例において、前記器具源アセンブリは、前記フィラメントと前記終端レンズとの間のさらなるレンズを含む。さらなる例において、前記器具源アセンブリは、前記フィラメントと前記終端レンズとの間の３つのレンズを含む。いくつかの例において、前記器具源アセンブリは、リペラー絶縁体に接続された源ブロック、前記リペラー絶縁体に接続されたリペラー、前記リペラーに接続されたイオンボリューム絶縁体、前記リペラーに接続されたトラップ絶縁体、前記トラップ絶縁体に接続されたトラップ、前記イオンボリュームが前記トラップに接続される、前記フィラメントおよび第１のレンズを含むイオンボリューム、前記イオンボリュームに接続された第２のレンズおよび第３のレンズ、ならびに前記第２のおよび第３のレンズに接続された終端レンズを含む。他の例において、前記器具源アセンブリは、前記第３のレンズと前記終端レンズとの間の付勢手段を含むことができる。さらなる例において、前記器具源アセンブリの前記終端レンズは、ユニタリーレンズとして構成することが可能である。前記ユニタリーレンズは、レンズとしての機能と、前記源構成要素を前記終端レンズと整列させかつ前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する機能とを有効に併せ持つ。いくつかの例において、前記器具源アセンブリは、前記源アセンブリをデバイス内に固定するための手段を含むことができる。さらなる例において、前記源アセンブリを固定する手段は、挿入／取り外し器具を用いずに前記源アセンブリを取り外すことが可能なように、構成される。

特定の実施形態において、終端レンズを備えた既存の源アセンブリを本明細書中に記載のように改造することが望ましい場合がある。例えば、源構成要素を既存の源アセンブリから取り外すことができ、終端レンズへと接続するように設計されたハウジング内に前記源構成要素を配置することができる。あるいは、本明細書中に記載のように終端レンズへと接続するように設計されたインサートと共に利用可能なように既存のハウジングを改造してもよい。このような実施形態において、前記終端レンズは、源アセンブリのハウジングの対応する整列フィーチャに接続するように構築および配置された一体型整列フィーチャを含むことができる。前記一体型整列フィーチャは、前記一体型整列フィーチャおよび前記源アセンブリの前記ハウジングの対応する整列フィーチャが接続された際、前記終端レンズを前記源アセンブリの前記ハウジング内の源構成要素と有効に整列させる。前記終端レンズは、前記整列フィーチャの接続に起因して前記源アセンブリの前記ハウジング内の前記源構成要素を保持するように、さらに構成される。

特定の例において、前記一体型整列フィーチャは所望であれば、ピン、穴、フック、バヨネット、Ｌ字型スロットまたはその組み合わせとして構成することが可能である。いくつかの例において、前記終端レンズの前記一体型整列フィーチャは内部であり、他の例において、前記終端レンズの前記一体型整列フィーチャは外部である。他の例において、前記終端レンズは、イオンを含むビームを集束させるように構成される。さらなる例において、前記終端レンズは、電子を含むビームを集束させるように構成される。

他の実施形態において、終端レンズを用いることが望ましい場合がある。前記終端レンズは、イオンまたは電子を集束させるように構成され、源アセンブリのハウジングの対応する整列フィーチャに接続するように構築および配置された１組の一体型整列フィーチャを含む。前記一体型整列フィーチャは、前記一体型整列フィーチャおよび前記源アセンブリの前記ハウジングの対応する整列フィーチャが接続された際、前記終端レンズを前記源アセンブリの前記ハウジング内の源構成要素と有効に整列させる。前記終端レンズは、前記１組の整列フィーチャが接続された際、前記源構成要素を前記源アセンブリの前記ハウジング内に保持するようにさらに構成される。１組の整列フィーチャを含む終端レンズが例えば器具、イオン注入機または他のデバイス内において用いられる場合、前記１組の一体型整列フィーチャは、所望であれば、ピン、穴、フック、バヨネット、Ｌ字型スロット、またはその組み合わせとして構成することが可能である。いくつかの例において、前記終端レンズの前記１組の一体型整列フィーチャは内部または外部であり、あるいは、いくつかの整列フィーチャが内部であり、他の整列フィーチャが外部である。特定の例において、前記終端レンズは、イオンを含むビームを集束させるように構成される。さらなる例において、前記終端レンズは、電子を含むビームを集束させるように構成される。

特定の実施形態において、源ハウジング上の第１の一体型整列フィーチャをビームを集束させるように動作可能な終端レンズ上の第２の一体型整列フィーチャへと接続させるステップを含む方法が実行可能である。前記整列フィーチャが接続された結果、源構成要素が前記源ハウジング内において保持され、前記源ハウジング内の前記源構成要素が前記終端レンズと整列される。いくつかの例において、前記方法は、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記源ハウジング上のピンを前記終端レンズ上のスロットに接続させるステップを含むことができる。さらなる例において、前記方法は、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記源ハウジング上のピンを前記終端レンズ上の穴へと接続させるステップを含むことができる。さらなる例において、前記方法は、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと接続させるように、前記源ハウジング上のフックを前記終端レンズ上のピンと接続するステップを含むことができる。他の例において、前記方法は、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記源ハウジング上のピンを前記終端レンズ上のＬ字型スロットと接続するステップを含むことができる。特定の例において、前記方法は、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つが内部となるように構成するステップと、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記整列フィーチャを接続するステップとを含むことができる。さらなる例において、前記方法は、前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つを外部となるように構成するステップと、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記整列フィーチャを接続するステップとを含むことができる。いくつかの例において、前記方法は、前記源をイオン源として構成するステップを含むことができる。さらなる例において、前記方法は、前記源を電子源として構成するステップを含むことができる。さらなる例において、前記方法は、前記第２の一体型整列フィーチャを１つの方向のみにおいて接続するように前記第１の一体型整列フィーチャを構成して、前記終端レンズを前記源ハウジング内の前記源構成要素と整列させるステップを含むことができる。

他の実施形態において、源ハウジング上の第１の１組の一体型整列フィーチャをビームを有効に集束させる終端レンズ上の第２の１組の一体型整列フィーチャへと接続するステップを含む方法が利用可能である。前記整列フィーチャの接続の結果、源構成要素が前記源ハウジング内において保持される。特定の実施形態において、前記方法は、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記源ハウジング上のピンを前記終端レンズ上のスロットと接続するステップを含むことができる。さらなる実施形態において、前記方法は、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記源ハウジング上のピンを前記終端レンズ上の穴に接続するステップを含むことができる。他の実施形態において、前記方法は、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記源ハウジング上のフックを前記終端レンズ上のピンへと接続するステップを含むことができる。さらなる実施形態において、前記方法は、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記源ハウジング上のピンを前記終端レンズ上のＬ字型スロットへと接続するステップを含むことができる。いくつかの実施形態において、前記方法は、前記第１の組の一体型整列フィーチャおよび第２の組の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つを内部となるように構成するステップと、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記１組の整列フィーチャを接続するステップを含むことができる。特定の実施形態において、前記方法は、前記第１の組の一体型整列フィーチャおよび第２の組の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つを外部となるように構成するステップと、前記源ハウジング内の前記源構成要素を前記終端レンズと整列させるように、前記整列フィーチャを接続するステップとを含むことができる。他の実施形態において、前記方法は、前記源をイオン源または電子源として構成するステップを含むことができる。さらなる実施形態において、前記方法は、１つの方向のみにおいて前記第２の一体型整列フィーチャに接続するように前記第１の一体型整列フィーチャを構成して、前記終端レンズを前記源構成要素と整列させ、前記源ハウジング内の前記源構成要素を保持するステップを含むことができる。

特定の実施形態において、本明細書中に記載のデバイス、器具、方法およびシステムにおいて、源構成要素を受容するように構築および配置されたハウジングを含むキットを用いることができる。前記ハウジングは第１の一体型整列フィーチャと、ビームを集束させるように構築および配置された終端レンズとを含む。前記終端レンズは、第２の一体型整列フィーチャを含む。前記第２の一体型整列フィーチャは、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持しかつ前記終端レンズを前記源構成要素と整列させるように、前記ハウジングの前記第１の整列フィーチャに接続するように構成される。いくつかの例において、前記終端レンズおよびハウジングは、前記終端レンズの前記整列フィーチャおよびハウジングが接続された際、前記ハウジング内の前記源構成要素を整列させるように構成することができる。他の例において、前記キットは、フィラメント源を含むことができる。さらなる例において、前記キットは、さらなるレンズを含むことができる。特定の実施形態において、前記キットは、リペラーを含むことができる。

特定の例において、本明細書中に記載のデバイス、器具、方法およびシステムにおいて、源構成要素を受容するように構築および配置されたハウジングを含むキットを用いることが可能である。前記ハウジングは、第１の１組の一体型整列フィーチャと、ビームを集束させるように構築および配置された終端レンズとを含む。前記終端レンズは、第２の１組の一体型整列フィーチャを含む。前記第２の１組の一体型整列フィーチャは、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持しかつ前記終端レンズを前記源構成要素と整列させるように、前記第１の１組の一体型整列フィーチャに接続されるように構成される。いくつかの例において、前記終端レンズおよびハウジングは、前記１組の整列フィーチャおよびハウジングが接続された際、前記ハウジング内の前記源構成要素と整列するように構成される。特定の実施形態において、前記キットは、フィラメント源を含むことができる。他の実施形態において、前記キットは、さらなるレンズを含むことができる。さらなる実施形態において、前記キットは、リペラーを含むことができる。

特定の実施形態において、イオン源の組み立てを容易化する方法が利用可能である。前記方法は、ビームを集束させるように構成された終端レンズを提供するステップを含む。前記終端レンズは、一体型整列フィーチャを含む。前記一体型整列フィーチャは、前記イオン源のハウジング上の一体型整列フィーチャに接続するように構成され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内のイオン源構成要素と整列させかつ前記ハウジング内のイオン源構成要素を保持して前記イオン源を提供する。

他の実施形態において、電子源の組み立てを容易化する方法が実行可能である。前記方法は、ビームを集束させるように構成された終端レンズを提供するステップを含む。前記終端レンズは、一体型整列フィーチャを含む。前記一体型整列フィーチャは、前記電子源のハウジング上の一体型整列フィーチャに接続するように構成され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の電子源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の電子源構成要素を保持して、前記電子源を提供する。

さらなる実施形態において、イオン源の組み立てを容易化する方法が利用可能である。前記方法は、ビームを集束させるように構成された終端レンズを提供するステップを含む。前記終端レンズは、１組の一体型整列フィーチャを含む。前記１組の一体型整列フィーチャは、前記イオン源のハウジング上の１組の一体型整列フィーチャに接続するように構成され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内のイオン源構成要素と整列させ、前記ハウジング内のイオン源構成要素を保持して、前記イオン源を提供する。

特定の例において、電子源の組み立てを容易化する方法が実行可能である。前記方法は、ビームを集束させるように構成された終端レンズを提供するステップを含む。前記終端レンズは、１組の一体型整列フィーチャを含む。前記１組の一体型整列フィーチャは、前記電子源のハウジング上の１組の一体型整列フィーチャに接続するように構成され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の電子源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の電子源構成要素を保持して、前記電子源を提供する。

特定の実施形態において、源アセンブリ内において源構成要素を組み立てるための、工具を必要としない組み立て方法が提供される。前記方法は、前記源構成要素をハウジングに付加するステップと、前記ハウジング上の第１の一体型整列フィーチャを前記源アセンブリの終端レンズ上の第２の一体型整列フィーチャへと接続して、組み立てられた源アセンブリをいかなる器具を用いずに提供するステップとを含む。

他の実施形態において、源アセンブリ内において源構成要素を組み立てるための、工具を必要としない組み立て方法が利用可能である。前記方法は、前記源構成要素をハウジングに付加するステップと、前記ハウジング上の第１の１組の一体型整列フィーチャを前記源アセンブリの終端レンズ上の第２の１組の一体型整列フィーチャへと接続して、組み立てられた源アセンブリをいかなる器具を用いずに提供するステップとを含む。

以下、本明細書中に記載の技術のさらなるいくつかの局面および特徴を例示するために、特定の構成について記載する。

実施例１
以下、イオン源または電子源の例示的構成について、図６に示す分解図を参照して説明する。源６００は、イオンボリューム６０３を含む。イオンボリューム６０３において、分析対象試料のイオン化をフィラメント６１２を用いるかまたは穴（図示せず）を通じて注入された化学物質を用いて行う。このイオン化試料は、磁界およびリペラー６０２からの磁力および／または電気力によってデバイスを通じて加速される。リペラー６０２は典型的にはイオン化試料と反対方向の電位を搬送し、これにより、任意の試料を含むイオンビームが下流方向においてレンズ６０７、６０８ｂおよび６０８ｃならびに終端レンズ６１０へと送られる。リペラー絶縁体６０２ａは典型的には、リペラー６０２に隣接する。レンズ６０７、６０８ｂ、６０８ｃおよび６１０は、イオンビームがこれらのレンズ内部を通過する際に前記イオンビームを方向付けおよび集束するように動作可能である。電気絶縁体６０１、６０５および６０８ａは、前記多様な源構成要素を相互に電気絶縁しかつ源ハウジング６０６内の源ブロック６０４から電気絶縁するために、設けられる。源ハウジング６０６は、源６００の多様な構成要素を受容するように構成される。ハウジング６０６は典型的には、電気的に接地される。バネ６０９は、前記源構成要素を共に圧縮し、前記源構成要素に力を付加して正確な軸位置へと配置し、前記構成要素をハウジング６０６と共に正確な位置に維持することを支援する。図６に示す図示において、ハウジング６０６は、３つのバヨネットピンを含むことができる。これらの３つのバヨネットピンは、ハウジング６０６の外面からラジアル方向に突出する。終端レンズ６１０は、３つの対応するスロットを含むことができる。これらの３つの対応するスロットは、ハウジング６０６の３つのピンを受容するように構成され、これにより、前記スロット内のピンが係合すると、前記ハウジング６０６内の前記源構成要素が適切に整列され、ハウジング６０６および終端レンズ６１０の接続が保持される。所望であれば、前記ピンおよびスロットはそれぞれ、（例えば、対応する角度が単一方向のみにおいて整列するように、前記ピンおよびスロットをラジアル方向に配置することにより）終端レンズ６１０を１つの方向のみにおいてハウジング６０６へと接続させるように、構成することが可能である。前記源は、所望の電圧または電流の前記源構成要素上への配置を容易化するための電気接続（図示せず）を含むことができる。

図６に示す構成要素を組み立てるには、ハウジング６０６のピンが前記終端レンズのスロットのチャンネルに接続するまで、終端レンズ６１０をハウジング６０６へと移動させる。その後、（終端レンズ６１０が視認者に最も近接した状態で源６００を横向きに見た場合において）終端レンズ６１０を時計回りに回転させて、終端レンズをハウジングと接続し、前記源構成要素の中心線を整列させる。洗浄のために源６００を分解するには、例えば、終端レンズ６１０を反時計回りに回転させ、終端レンズ６１０をハウジング６０６から遠位方向に移動させる。所望であれば、前記ピンおよびスロットを反対方向に構成してもよく、その場合、反時計回りに回転させることにより、ハウジング６０６および終端レンズ６１０が接続され、時計回りに回転させることにより、ハウジング６０６が終端レンズ６１０から解放される。

実施例２
図６に示す源を含むガスクロマトグラフ質量分析計（ＧＣ−ＭＳ）の動作時において、以下のパラメータが利用可能である：１００マイクロアンペアのフィラメント放出（トラップ）電流、２００マイクロアンペアのフィラメント源（ボディ）電流、１．５アンペアのフィラメント電流、１．０ボルトのリペラー電圧、レンズ１用の４ボルトの電圧、レンズ２用の１００ボルトの電圧、１ボルトのイオンエネルギー、および１ボルトのイオンエネルギー傾斜。

実施例３
以下、別の構成のイオン源または電子源について、図７〜図９を参照して説明する。源７００は、ハウジング７０５を含む。ハウジング７０５は、組み合わせられたイオンボリューム／レンズ７１０を含むように、構築および配置される。源７００はまた、レンズ７１５および７２０ならびに終端レンズ７２５も含む。終端レンズ７２５は、ハウジング７０５上のフィーチャを整列させるように接続するように構成された１つ以上の整列フィーチャ（例えば、バヨネット）を含むことができる。前記源はまた、リペラー７３０、リペラー絶縁体７３２、フィラメント７３５およびヒーター７４０も含むことができる。

組み合わせられたイオンボリューム／レンズ７１０の拡大図を図８Ａおよび図８Ｂに示す。イオンボリューム／レンズ７１０は、整列ピン８０４を含む。整列ピン８０４は、ハウジング７０５内のスロット８０２と係合する。整列ピン８０４は、フィラメントおよび／またはトラップと共に、イオンボリュームアパチャを回転可能に整列させるように作動可能である。図８Ｂは、前記ハウジングが取り外された様子を示す。整列ピン８０４をイオンボリューム７１０内に押圧する際、整列ピン８０４がイオンボリューム７１０へと一体的に取り付けられかつ概してイオンボリューム７１０の損傷無く取り外し不可能となるようにする。しかし、所望であれば、イオンボリューム７１０は、雌ねじを含むことができる。前記雌ねじは、外部整列ピンと噛み合うように構成される。前記外部整列ピンは、源７００の組み立て前には、イオンボリューム７１０へと接続されている。

イオンボリューム／レンズ構成要素７１０のより詳細な図を図９に示す。イオンボリューム／レンズ７１０は、フィラメント用のアパチャ９０５と、トラップ用のアパチャ９１０（ただし、利用する場合）と、レンズ９１５とを含む。レンズ９１５は前記フィラメントに最も近接しているため、「レンズ０」とみなすことができる。

本明細書中に開示される実施例の要素を記載する際、冠詞「ａ」、「ａｎ」、「ｔｈｅ」および「ｓａｉｄ」は、当該要素が１つ以上存在することを意味する。「含む」、「備える」および「有する」という用語は、オープンエンドを意味しており、記載の要素以外にさらなる要素があることを意味する。当業者であれば、本開示の恩恵を鑑みれば、前記実施例の多様な構成要素は相互置換が可能であり、また、他の例における多様な構成要素と置換可能であることを認識できるだろう。

上記において、特定の局面、実施例および実施形態について述べてきたが、当業者であれば、本開示の恩恵を鑑みれば、開示の例示的局面、実施例および実施形態の付加、置換、改変および修正が可能であることを認識できるだろう。

Claims (40)

1. 源アセンブリであって、
   源構成要素を受容するように構成されたハウジングであって、前記ハウジングは第１の一体型整列フィーチャを含む、ハウジングと、
   ビームを提供するように構成された終端レンズであって、前記終端レンズは第２の一体型整列フィーチャを含み、前記終端レンズは、前記第１の一体型整列フィーチャが前記第２の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングへと接続するように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する、終端レンズと、を含む、源アセンブリ。
2. 前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはピンを含み、その他の一体型整列フィーチャはスロットを含む、請求項１に記載の源アセンブリ。
3. 前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはピンを含み、その他の一体型整列フィーチャは穴を含む、請求項１に記載の源アセンブリ。
4. 前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはフックを含み、その他の一体型整列フィーチャはピンを含む、請求項１に記載の源アセンブリ。
5. 前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち１つはピンを含み、その他の一体型整列フィーチャはＬ字型スロットを含む、請求項１に記載の源アセンブリ。
6. 前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つは前記ハウジングまたは前記終端レンズの内部にある、請求項１に記載の源アセンブリ。
7. 前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャのうち少なくとも１つは前記ハウジングまたは前記終端レンズの外部にある、請求項１に記載の源アセンブリ。
8. 前記終端レンズは、イオンを含むビームを提供するように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
9. 前記終端レンズは、電子を含むビームを提供するように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
10. 前記第１の一体型整列フィーチャは、１つの方向のみにおいて前記第２の一体型整列フィーチャに接続するように構成され、これにより、前記終端レンズを前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する、請求項１に記載の源アセンブリ。
11. 前記第１の一体型整列フィーチャは、第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットを含み、前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットは、実質的に等しい円周方向間隔を以て前記ハウジング上に配置され、前記第２の一体型整列フィーチャは、第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットを含み、前記第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットはそれぞれ、前記ハウジングの前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットのうち対応する１つを受容するように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
12. 前記源アセンブリは、挿入／取り外し器具を用いずに質量分析計から取り外し可能なように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
13. 前記源アセンブリは、前記ハウジング内のフィラメントをさらに含む、請求項１に記載の源アセンブリ。
14. 前記源アセンブリは、前記フィラメントと前記終端レンズとの間にさらなるレンズを含む、請求項１３に記載の源アセンブリ。
15. 前記フィラメントと前記終端レンズとの間の３つのレンズをさらに含む、請求項１４に記載の源アセンブリ。
16. 前記源アセンブリは、
    リペラー絶縁体に接続された源ブロック、
    前記リペラー絶縁体に接続されたリペラー、
    前記リペラーに接続されたイオンボリューム絶縁体、
    前記リペラーに接続されたイオントラップ絶縁体、
    前記イオントラップ絶縁体に接続されたイオントラップ、
    前記フィラメントおよび第１のレンズを含むイオンボリュームであって、前記イオンボリュームは前記イオントラップに接続される、イオンボリューム、ならびに
    前記イオンボリュームに接続された第２および第３のレンズ、を含み、
    前記終端レンズは、前記第２および第３のレンズに接続される、請求項１５に記載の源アセンブリ。
17. 前記第３のレンズと前記終端レンズとの間の付勢手段をさらに含む、請求項１６に記載の源アセンブリ。
18. 前記終端レンズをユニタリーレンズとして構成することをさらに含み、前記ユニタリーレンズは、レンズとしての機能および前記ハウジング内の源構成要素を保持する機能を併せ持つ、請求項１に記載の源アセンブリ。
19. 前記源アセンブリをデバイス内に取り付けるための手段をさらに含む、請求項１に記載の源アセンブリ。
20. 前記源アセンブリを取り付ける手段は、前記源アセンブリの取り外しを挿入／取り外し器具を用いずに可能にするように構成される、請求項１９に記載の源アセンブリ。
21. 源アセンブリであって、
    源構成要素を受容するように構成されたハウジングであって、第１の１組の一体型整列フィーチャを含む、ハウジングと、
    ビームを提供するように構築および配置された終端レンズであって、前記終端レンズは第２の１組の一体型整列フィーチャを含み、前記終端レンズは、前記第１の１組の一体型整列フィーチャが前記第２の１組の一体型整列フィーチャに接続された際、前記ハウジングに接続するように構築および配置され、これにより、前記終端レンズを前記ハウジング内の前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する、終端レンズと、を含む、源アセンブリ。
22. １組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャはピンを含み、その他の組の一体型整列フィーチャはスロットを含む、請求項２１に記載の源アセンブリ。
23. １組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャはピンを含み、その他の組の一体型整列フィーチャは穴を含む、請求項２１に記載の源アセンブリ。
24. １組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャはフックを含み、その他の組の一体型整列フィーチャはピンを含む、請求項２１に記載の源アセンブリ。
25. １組の前記第１の一体型整列フィーチャおよび第２の一体型整列フィーチャはピンを含み、その他の組の一体型整列フィーチャはＬ字型スロットを含む、請求項２１に記載の源アセンブリ。
26. 前記１組の第１の一体型整列フィーチャは異なる整列フィーチャを含む、請求項２１に記載の源アセンブリ。
27. 前記１組の第２の一体型整列フィーチャは異なる整列フィーチャを含む、請求項２１に記載の源アセンブリ。
28. 前記終端レンズはイオンを提供するように構成する、請求項２１に記載の源アセンブリ。
29. 前記終端レンズは電子を提供するように構成する、請求項２１に記載の源アセンブリ。
30. 前記１組の第１の一体型整列フィーチャは、１つの方向のみにおいて前記第２の１組の一体型整列フィーチャへと接続するように構成され、これにより、前記終端レンズを前記源構成要素と整列させ、前記ハウジング内の前記源構成要素を保持する、請求項２１に記載の源アセンブリ。
31. 前記第１の１組の一体型整列フィーチャは、第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットを含み、前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットは、実質的に等しい円周方向間隔を以て前記ハウジング上に配置され、前記第２の１組の一体型整列フィーチャは、第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットを含み、前記第１のＬ字型スロット、第２のＬ字型スロットおよび第３のＬ字型スロットはそれぞれ、前記ハウジングの前記第１のバヨネット、第２のバヨネットおよび第３のバヨネットのうち対応する１つを受容するように構成される、請求項２１に記載の源アセンブリ。
32. 前記源アセンブリは、挿入／取り外し器具を用いずに質量分析計から取り外し可能なように構成される、請求項２１に記載の源アセンブリ。
33. 前記源アセンブリは、前記ハウジング内のフィラメントをさらに含む、請求項２１に記載の源アセンブリ。
34. 前記源アセンブリは、前記フィラメントと前記終端レンズとの間のさらなるレンズを含む、請求項３３に記載の源アセンブリ。
35. 前記フィラメントと前記終端レンズとの間の３つのレンズをさらに含む、請求項３４に記載の源アセンブリ。
36. 前記源アセンブリは、
    リペラー絶縁体に接続された源ブロック、
    前記リペラー絶縁体に接続されたリペラー、
    前記リペラーに接続されたイオンボリューム絶縁体、
    前記リペラーに接続されたイオントラップ絶縁体、
    前記イオントラップ絶縁体に接続されたイオントラップ、
    前記フィラメントおよび第１のレンズを含むイオンボリュームであって、前記イオンボリュームは前記イオントラップへと接続される、イオンボリューム、ならびに
    前記イオンボリュームに接続された第２および第３のレンズ、を含み、
    前記終端レンズは、前記第２および第３のレンズに接続される、請求項３５に記載の源アセンブリ。
37. 前記第３のレンズと前記終端レンズとの間の付勢手段をさらに含む、請求項３６に記載の源アセンブリ。
38. 前記終端レンズをユニタリーレンズとして構成することをさらに含み、前記ユニタリーレンズは、レンズとしての機能および前記源構成要素を前記終端レンズと整列させる機能を有効に併せ持つ、請求項２１に記載の源アセンブリ。
39. 前記源アセンブリをデバイス内に取り付けるための手段をさらに含む、請求項２１に記載の源アセンブリ。
40. 前記源アセンブリを取り付ける手段は、前記源アセンブリの取り外しを挿入／取り外し器具を用いずに可能にするように構成される、請求項３９に記載の源アセンブリ。