JP3836773B2 - 質量分析装置用イオン源 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、質量分析装置用イオン源に関し、より詳しくは、真空容器内に配置され、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとから成り、ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源する。
【0002】
【従来の技術】
従来、質量分析装置内部の真空を破ることなく、フィラメントやイオン化室を大気側に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源が提案されている(例えば、特許文献1〜6参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開昭52−84793号公報
【特許文献2】
特開昭54−109895号公報
【特許文献3】
特開昭57−202054号公報
【特許文献4】
特開昭61−82647号公報
【特許文献5】
実開平1−86058号公報
【特許文献6】
特開平6−68842号公報
図1は、質量分析装置内部の真空を破ることなく、フィラメントやイオン化室を大気側に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源の一例を示したものである。真空容器1内のイオン源は、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとの、2つのアセンブリーに分離されている。尚、図中、ハッチングを施した部品は、いずれも電気絶縁物によるインシュレーターである。
【0004】
ベースチャンバーa側には、それぞれインシュレーターを介して、コンタクトc、コンタクトd、コンタクトe、およびこれらのコンタクトを保持するための保持プレートfが設けられている。ベースチャンバーaには、イオン源ブロック全体を加熱するためのヒーターgが複数個埋設され、前面にはインナーチャンバーbが挿入される開口部、背面にはイオンビームの出口となる開口部を有し、この2つの開口部を結ぶ軸線と直交する壁面には、サンプル導入口iが設けられている。
【0005】
インナーチャンバーb側には、イオン化用の熱電子を放出するフィラメントj、フィラメントjと対向する面に熱電子捕集用の電子トラップk、フィラメントjと電子トラップkを結ぶ軸線と直交する面にイオン化室lからイオンを押し出すイオンリペラーm、およびこれらを具備したインナーチャンバーbをベースチャンバーaから取り外す際に用いる引き掛け金具nが、それぞれインシュレーターを介して設けられている。
【0006】
また、インナーチャンバーbには、ベースチャンバーaに設けられたサンプル導入口iと当接する壁面に、サンプル導入口oを有し、これに直交する壁面には、熱電子線通過用穴が貫通し、イオンリペラーmと対向する面には、イオンビームの出口となる出射スリットqが設けられている。
【0007】
まず、インナーチャンバーbを真空容器1から取り出す場合は、イオン源を設置した真空容器1と、それに連通する、予め真空引きされた予備排気室(図示せず)との接続部に設けられたアイソレーションバルブ(図示せず)を開き、予備排気室側から着脱用ロッド2をインナーチャンバーbに設けられた引き掛け金具nの引き掛け溝rに挿入し、インナーチャンバーbを手前に引っ張ることにより、ベースチャンバーaからインナーチャンバーbを取り外し、インナーチャンバーbを予備排気室内に移動させる。更に、移動後、予備排気室と真空容器1との接続部に設けられたアイソレーションバルブを閉じ、予備排気室内のみを大気圧に戻した上で、インナーチャンバーbを予備排気室内から大気側に取り出す。
【0008】
逆に、真空容器1内のベースチャンバーaへのインナーチャンバーbの装着は、インナーチャンバーbの引き掛け金具nの引き掛け溝rに着脱用ロッド2を挿入し、大気圧状態の予備排気室にインナーチャンバーbを配置した後、予備排気室を真空引きすることにより行なう。予備排気室内が所定の真空度に到達したら、予備排気室と真空容器1との接続部に設けられたアイソレーションバルブを開き、インナーチャンバーbを真空容器1内のベースチャンバーaに押し込み、装着させる。装着後、インナーチャンバーbの引き掛け金具nの引き掛け溝rから着脱用ロッド2を取り外し、真空容器1内から予備排気室側へ抜き取る。抜き取り後、予備排気室と真空容器1との接続部に設けられたアイソレーションバルブを閉じることにより、質量分析装置の真空を破ることなく、インナーチャンバーbを真空容器1内に入れることができる。
【0009】
装着時には、インナーチャンバーb側の複数個のガイドピンsが、ベースチャンバーa側の複数個のガイドピン穴hに嵌合されることで、インナーチャンバーbはベースチャンバーaに保持され、同時に、フィラメントjの通電板t、電子トラップkの通電板u、イオンリペラーmの通電板vが、フィラメントjのコンタクトc、電子トラップkのコンタクトd、イオンリペラーmのコンタクトeにそれぞれ接触し、通電される。
【0010】
質量分析測定時には、ベースチャンバーaに埋設されたヒーターgと、フィラメントjからの放熱により、ベースチャンバーa、インナーチャンバーbの両アセンブリーは、数百℃に加熱され、また、10kV前後の高電圧が印加される。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の質量分析装置用イオン源では、インナーチャンバーbは、複数個のガイドピンがベースチャンバーaのガイドピン穴に挿入されることで、ペースチャンバーa側に保持されているが、ガイドピンとガイドピン穴の着脱を容易にするために、両者の間には一定のクリアランスが必要となる。また、インナーチャンバーb側に付属するフィラメントj、電子トラップk、イオンリペラーmへの通電は、ベースチャンバーa側の3つのコンタクトc、d、eからなされているが、これらのコンタクトは、概ね板バネであるために、インナーチャンバーbがバネの力で押されて、ベースチャンバーaの中心から外れた状態になりやすい。
【0012】
このため、インナーチャンバーbは、ガイドピンとガイドピン穴だけでは確実に保持できず、質量分析測定の開始・終了に付随するイオン源ブロック全体の加熱・冷却の繰り返しによっても、インナーチャンバーbの固定がゆるみ、位置等が変動するため、イオン化電流、エミッション電流、およびイオン化効率が不安定になることが避けられない。
【0013】
ところが、質量分析装置等で高精度の測定を求められる場合には、エミッション電流やイオン化効率が変動してはならず、その安定性、再現性は極めて重要であり、インナーチャンバーbの着脱の際、あるいは連続測定の最中にこれらが変動することは、装置の欠陥となる。
【0014】
また、フィラメントj、電子トラップk、イオンリペラーmへ通電するためのコンタクト類がナイフエッジを有する板バネであることは、高電圧が供給されているイオン源ブロックにおいては、放電を誘発する要因となる。もし、連続測定中に放電が発生すると、測定の安定性を損ねる結果となりかねない。
【0015】
また、フィラメントjとイオン化室lに設けられた電子線通過口qとの位置関係は、イオン源のイオン化効率に影響を与えることが分かっているが、従来のイオン源では、フィラメントjに対向する位置に電子トラップkが存在しているため、これが障害となって、直接、目視により、フィラメントjと電子線通過口pとの位置関係を確認することができなかった。更に、イオン化室の分解クリーニング時には、出射スリットqを取り外さなければならないことから、イオンピーム軌道軸に対する出射スリットの位置決めの再現性が確保できなかった。
【0016】
本発明の目的は、上述した点に鑑み、ベースチャンバーaとインナーチャンバーbとの着脱が容易で、しかも、イオン化電流、エミッション電流、イオン化効率等の安定性、再現性に優れた質量分析装置用イオン源を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明にかかる質量分析装置用イオン源は、
真空容器内に配置され、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとから成り、ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、インナーチャンバーを質量分析装置のイオンビーム軸に沿って真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源において、
イオン化室と熱電子線を発生するフィラメントとイオンを出射する出射スリットをインナーチャンバー側に配置すると共に、前記熱電子線を受け止める電子トラップをベースチャンバー側に配置し、
前記ベースチャンバーとインナーチャンバーとの間の電気的接続、ならびに前記ベースチャンバーに対するインナーチャンバーの機械的固定・保持は、質量分析装置のイオンビーム軸方向に延びる通電ピンと円筒状バネの嵌合によって行なうようにしたことを特徴としている。
【0018】
また、前記ベースチャンバーとインナーチャンバーとの間の電気的接続は、通電ピンと円筒状バネの嵌合によって行なうことを特徴としている。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。図2は、本発明にかかる質量分析装置用イオン源の一実施例を示したものである。
【0020】
真空容器1内に置かれたイオン源が、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとの、2つのアセンブリーに分離されている構成は、従来のイオン源と基本的に同じである。また、図中、ハッチングを施した部品は、いずれも電気絶縁物によるインシュレーターである。
【0021】
ベースチャンバーAには、保持用インシュレーターが重ね合わせ固定されている。この保持用インシュレーターには、2つのフィラメント用コンタクトCと、1つのイオンリペラ用コンタクトEが埋設され、更に、保持用インシュレーターの一端には、電子トラップKと電子トラップ用端子K’が取り付けられている。フィラメント用コンタクトCとイオンリペラ用コンタクトEは、ともに鼓形の円筒状バネから成り、それぞれが通電ブロックDによって、フィラメント端子C’もしくはイオンリペラ端子E’と一体化されている。
【0022】
ベースチャンバーAには、イオン源ブロック全体の均等加熱を考慮した位置に、複数個のヒーターGが埋設され、中央部には、インナーチャンバー収納穴Hが貫通している。このインナーチャンバー収納穴Hの電子トラップ側壁面には、電子線通過孔Pが設けられ、また、インナーチャンバー収納穴Hの電子線通過孔Pが設けられた壁面に対向する側の壁面には、フィラメントJを収納できるように切り欠かれた開口部が設けられ、更に、インナーチャンバー収納穴Hの軸線に直交する方向に、サンプル導入口Iが設けられている。
【0023】
インナーチャンバーBは、円筒部とフランジ部、および円筒部先端の壁から成り、円筒部先端の壁には、イオンビームの出口となる出射スリットQが設けられている。インナーチャンバーBのフランジ部の一端には、サンプルをイオン化するための熱電子線を放出するフィラメントJがインシュレーターを介して取り付けられ、円筒部の周状壁面には、ベースチャンバーAの電子線通過孔Pと当接する位置に電子線通過孔P’、また、ベースチャンバーAのサンプル導入口Iと当接する位置にサンプル導入口Oが設けられている。
【0024】
出射スリットQに対向するインナーチャンバーBの円筒開口側には、インナーチャンバーB(アセンブリー)の着脱に用いる引き掛け溝Rを有する引き掛け金具Nが嵌め合わせで固定され、この引き掛け金具Nの中央先端部に、イオン化室Lからイオンを押し出すイオンリペラMがインシュレーターを介して取り付けられている。
【0025】
インナーチャンバーBのフランジ部には、2つのフィラメント用通電ピンSと1つのイオンリペラ用通電ピンUが、保持用インシュレーターFに埋設された2つのフィラメント用コンタクトCと1つのイオンリペラ用コンタクトEに当接する位置に、それぞれインシュレータを介して取り付けられ、フィラメント用通電ピンSからフィラメントJへは、可撓性のあるフィラメント用リード線Tにより、また、イオンリペラ用通電ピンUからイオンリペラMへは、イオンリペラ用通電板Vにより、それぞれ通電されている。
【0026】
このような構成において、本発明の質量分析装置用イオン源は、次のように動作する。
【0027】
まず、インナーチャンバーBを真空容器1から取り出す場合は、イオン源を設置した真空容器1と、それに連通する、予め真空引きされた予備排気室(図示せず)との接続部に設けられたアイソレーションバルブ(図示せず)を開き、予備排気室側から着脱用ロッド2をインナーチャンバーBに設けられた引き掛け金具Nの引き掛け溝Rに挿入し、インナーチャンバーBを手前に引っ張ることにより、ベースチャンバーAからインナーチャンバーBを取り外し、インナーチャンバーBを予備排気室内に移動させる。更に、移動後、予備排気室と真空容器1との接続部に設けられたアイソレーションバルブを閉じ、予備排気室内のみを大気圧に戻した上で、インナーチャンバーBを予備排気室内から大気側に取り出す。
【0028】
逆に、真空容器1内のベースチャンバーAへのインナーチャンバーBの装着は、インナーチャンバーBの引き掛け金具Nの引き掛け溝Rに着脱用ロッド2を挿入し、大気圧状態の予備排気室にインナーチャンバーBを配置した後、予備排気室を真空引きすることにより行なう。予備排気室内が所定の真空度に到達したら、予備排気室と真空容器1との接続部に設けられたアイソレーションバルブを開き、インナーチャンバーBを真空容器1内のベースチャンバーAに押し込み、装着させる。装着後、インナーチャンバーBの引き掛け金具Nの引き掛け溝Rから着脱用ロッド2を取り外し、真空容器1内から予備排気室側へ抜き取る。抜き取り後、予備排気室と真空容器1との接続部に設けられたアイソレーションバルブを閉じることにより、質量分析装置の真空を破ることなく、インナーチャンバーBを真空容器1内に入れることができる。
【0029】
このとき、図3に示すように、インナーチャンバーBの円筒部とフィラメントJは、ベースチャンバーAのインナーチャンバー収納穴Hとフィラメント収納用開口部にそれぞれ収まるとともに、2つのフィラメント用通電ピンSと1つのイオンリペラ用通電ピンUは、保持用インシュレーターFに埋設された2つのフィラメント用コンタクトCと1つのイオンリペラ用コンタクトEに嵌め込まれ、インナーチャンバーBはベースチャンバーAに結合される。
【0030】
このとき、2つのフィラメント用コンタクトCと1つのイオンリペラ用コンタクトEは、それぞれ鼓形の円筒状バネであるために、2つのフィラメント用通電ピンSと1つのイオンリペラ用通電ピンUの外周は、それぞれ円筒状バネの収縮力によって掴まれるため、インナーチャンバーB(アセンブリー)全体がベースチャンバーA(アセンブリー)に確実に保持・固定され、また、フィラメントJ、イオンリペラMへの通電も接触不良等を起こさず、確実となる。
【0031】
本発明では、このように、円筒状バネの収縮力で各通電ピンを保持するので、板バネを用いた従来の方法とは異なり、インナーチャンバーB(アセンブリー)に対して、イオンビーム軌道の中心軸をラジアル方向にずらす力は働かない。また、インナーチャンバー収納穴H、インナーチャンバーB、イオンリペラーM、引き掛け金具N、および着脱用ロッド2は、いずれも円筒形状を持ち、イオンビーム中心軌道と同一軸線上に配置されているため、インナーチャンバーBの着脱操作を繰り返しても、取り付け位置の再現性が保たれる。
【0032】
また、フィラメントJの消耗に対する保守の際には、着脱用ロッド2により、インナーチャンバーBを真空容器1外へ取り出すが、このフィラメントJの交換に際しては、図3の正面図および図4に示すように、2本のネジの着脱で、フィラメントJを簡単に交換することができる。また、インナーチャンバーBの円筒部を挟んでフィラメントJに対向する側には、電子トラップKが存在しない(電子トラップKは、ベースチャンバーA側に設けられている)ため、図5に示すように、フィラメントJの中心を、インナーチャンバーBの円筒部を貫通する2つの電子線通過穴P’の中心に一致させることが、目視で容易に行なえ、イオン源のイオン化効率の再現性を簡単に維持することができる。
【0033】
また、イオン化室LやイオンリペラMの汚れに対する保守の際にも、着脱用ロッド2により、インナーチャンバーBを真空容器1外へ取り出すが、この際には、インナーチャンバーBと、イオンリペラMが取り付けられた引き掛け金具Nとの分離が容易であり、しかも、イオン化室Lが円筒状で、出射スリットQと一体の部品であるため、図4のように、内面のクリーニングも一度に行なえ、出射スリットQの取り外し作業や取り付け作業も不要である。
【0034】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明の質量分析装置用イオン源によれば、真空容器内に配置され、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとから成り、ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、インナーチャンバーを質量分析装置のイオンビーム軸に沿って真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源において、イオン化室と熱電子線を発生するフィラメントとイオンを出射する出射スリットをインナーチャンバー側に配置すると共に、前記熱電子線を受け止める電子トラップをベースチャンバー側に配置し、前記ベースチャンバーとインナーチャンバーとの間の電気的接続、ならびに前記ベースチャンバーに対するインナーチャンバーの機械的固定・保持は、質量分析装置のイオンビーム軸方向に延びる通電ピンと円筒状バネの嵌合によって行なうようにしたので、ベースチャンバーとインナーチャンバーの着脱が容易で、しかも、イオン化電流、エミッション電流、イオン化効率等の安定性、再現性に優れた質量分析装置用イオン源を提供することが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の質量分析装置用イオン源を示す図である。
【図2】 本発明にかかる質量分析装置用イオン源の一実施例を示す図である。
【図3】 本発明にかかる質量分析装置用イオン源の一実施例を示す図である。
【図4】 本発明にかかる質量分析装置用イオン源の一実施例を示す図である。
【図5】 本発明にかかる質量分析装置用イオン源の一実施例を示す図である。
【符号の説明】
1・・・真空容器、2・・・着脱用ロッド、a・・・ベースチャンバー、b・・・インナーチャンバー、c・・・フィラメント用コンタクト、d・・・電子トラップ用コンタクト、e・・・イオンリペラ用コンタクト、f・・・保持用プレート、g・・・ヒーター、h・・・ガイドピン用穴、i・・・サンプル導入口、j・・・フィラメント、k・・・電子トラップ、l・・・イオン化室、m・・・イオンリペラ、n・・・引き掛け金具、o・・・サンプル導入口、p・・・電子線通過穴、q・・・出射スリット、r・・・引き掛け溝、s・・・ガイドピン、t・・・フィラメント用通電板、u・・・電子トラップ用通電板、v・・・イオンリペラ用通電板、A・・・ベースチャンバー、B・・・インナーチャンバー、C・・・フィラメント用コンタクト、C’・・・フィラメント用端子、D・・・通電ブロック、E・・・イオンリペラ用コンタクト、E’・・・イオンリペラ用端子、F・・・保持用インシュレーター、G・・・ヒーター、H・・・インナーチャンバー収納穴、I・・・サンプル導入口、J・・・フィラメント、K・・・電子トラップ、L・・・イオン化室、M・・・イオンリペラ、N・・・引き掛け金具、O・・・サンプル導入口、P・・・電子線通過穴、Q・・・出射スリット、R・・・引き掛け溝、S・・・フィラメント用通電ピン、T・・・フィラメント用リード線、U・・・イオンリペラ用通電ピン、V・・・イオンリペラ用通電板。
Claims (1)
- 真空容器内に配置され、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとから成り、ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、インナーチャンバーを質量分析装置のイオンビーム軸に沿って真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源において、
イオン化室と熱電子線を発生するフィラメントとイオンを出射する出射スリットをインナーチャンバー側に配置すると共に、前記熱電子線を受け止める電子トラップをベースチャンバー側に配置し、
前記ベースチャンバーとインナーチャンバーとの間の電気的接続、ならびに前記ベースチャンバーに対するインナーチャンバーの機械的固定・保持は、質量分析装置のイオンビーム軸方向に延びる通電ピンと円筒状バネの嵌合によって行なうようにしたことを特徴とする質量分析装置用イオン源。
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