JPH06111743A - 電子銃 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】フィラメント交換等を行う時に、フィラメント
とウェーネルト電極との着脱を容易に行うことができ、
しかも装着後の芯出しも容易な電子線装置の電子銃を提
供することを目的とする。 【構成】フィラメントと、ウェーネルト電極と、該ウェ
ーネルト電極から射出された電子線を加速する複数段の
加速電極とを有し、外部を外筒及び真空容器により覆わ
れた構成を有する電子線装置の電子銃において、前記フ
ィラメントと前記ウェーネルト電極と、前記複数段の加
速電極のうち上部に位置する複数段の加速電極とを一体
とし、前記外筒及び真空容器から脱着可能とするように
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、電子線装置の電子銃
のフィラメント等の部品を交換する場合に、フィラメン
トと、ウェーネルト電極と、加速電極の一部とを一体と
して、真空容器から脱着可能とした電子線装置の電子銃
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の電子線装置の電子銃１としては、
例えば図３に示すようなものがある。電子線を放出する
フィラメント２、電子線の量と形を形成するウェーネル
ト電極３、ウェーネルト電極３から射出された電子線を
加速する加速電極４があり、それらの外部は真空容器６
により覆われて、真空容器６とその外側の外筒５との間
に気密構造を形成して絶縁ガス７を介在させ、また加速
電極４やフィラメント２及びウェーネルト電極３に電力
を供給するためのケーブル８、ブッシング９が設けられ
ている。

【０００３】そして最近の電子線装置の電子銃１にあっ
ては、透過能と分解能を向上させるために、加速電圧を
増大させる高加速電圧化が進んできた。そして電子銃１
内の電界強度を増大させず、電圧の印加を容易にして、
加速電圧を増大させるためには、加速電極４の数を多く
する多段加速方式が採用される。

【０００４】しかしながら、多段加速方式とすると、加
速電極４の数を多くしなければならないため、加速電極
４が一つしかない一段加速方式に比べて、フィラメント
２を交換するなどの場合に、フィラメント２やウェーネ
ルト電極３の部分を取出す方法が複雑になるが、それは
従来、図３から図５のような方法によって行われてい
た。

【０００５】図３に示すものは、フィラメント２とウェ
ーネルト電極３とが一体化されているが、その一体化し
た電子線発生ブロックＢの最大径ｄは、多数の加速電極
４のそれぞれの内径Ｄより小さくしてあるから、下部か
ら治具Ｊを挿入して、電子線発生ブロックＢを着脱する
ようにしている。

【０００６】図４に示すものは、一体のフィラメント２
とウェーネルト電極３とに加えて、ケーブル８とブッシ
ング９の電子銃１の上部とを一体のブロックとし、これ
と、加速電極４が取付けられている真空容器６のブロッ
クとを分離して、フィラメント２とウェーネルト電極３
とを着脱可能としたものである。

【０００７】図５に示すものは、フィラメント２とウェ
ーネルト電極３とを一体化した電子線発生ブロック１０
と、多数の加速電極４全部を電極支持筒１１に取付けた
電子線加速ブロック１２とを、例えば連結部材１３によ
り一体化する。そして上方の電子線発生ブロック１０は
端子部材１４により、電子銃１のケーブル８とブッシン
グ９に接続され、一方電子線加速ブロック１２は、饋電
線１５を介して、真空容器６の内部に取付けるようにす
る。そして電子線発生ブロック１０と電子線加速ブロッ
ク１２とを一体化したものを、そっくり着脱可能にし
て、フィラメント取替えなどの場合には、上方ではブッ
シング９と端子部材１４のところで、側方では饋電線１
５と電極支持筒１１のところで、取外すようにするので
ある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような従
来の、フィラメント２とウェーネルト電極３との取外し
方法にあっては、図３に示すものでは、フィラメント２
とウェーネルト電極３とを組み立てた物の芯が、加速電
極４の芯に対して傾いていないかどうかを確認する方法
がなく、電子銃１から、正確な電子線を発生することが
できなくなるという問題がある。

【０００９】図４に示すものでは、ブッシング９の表面
に放電防止用のグリスを塗る必要があるが、そのグリス
が、フィラメント交換時にフィラメント２とウェーネル
ト電極３のブロック部に付着し、放電を誘発することが
あるという問題がある。

【００１０】図５に示すものでは、フィラメント２及び
ウェーネルト電極３の芯と、加速電極４の芯との相対位
置は変わらないが、その他の問題が発生する。即ち加速
電極の数が少ない場合はそれほどでもないが、加速電圧
が高くなり、３００ｋＶ以上になると、電子線発生ブロ
ック１０と電子線加速ブロック１２とを一体化したもの
の長さが長くなり、着脱の際に饋電電極１５と加速電極
４の饋電電極１５への接続部分とが、不要に接触して、
着脱が困難になるのである。

【００１１】この発明はこのような従来の課題に着目し
てなされたもので、フィラメント交換等を行う時に、フ
ィラメントとウェーネルト電極とを取り外すのに、その
着脱を容易に行うことができ、しかも装着後の芯出しも
容易で、その他の不都合を生じることのない電子線装置
の電子銃を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するための手段として、その構成を、電子線を放出す
るフィラメントと、該電子線の量と形を形成するウェー
ネルト電極と、該ウェーネルト電極から射出された電子
線を加速する複数段の加速電極とを有し、外部を外筒及
び真空容器により覆われた構成を有する電子線装置の電
子銃において、前記フィラメントと前記ウェーネルト電
極と、前記複数段の加速電極のうち上部に位置する複数
段の加速電極とを一体とし、前記外筒及び真空容器から
脱着可能とすることとした。

【００１３】

【作用】次に本発明の作用を説明する。フィラメントと
ウェーネルト電極とはもともと一体であるが、複数段の
加速電極のうち、上部に位置する複数段の加速電極のみ
をフィラメント及びウェーネルト電極と一体として、外
筒及び真空容器から脱着可能としたので、フィラメント
とウェーネルト電極と共に脱着するのは、多数の加速電
極のうち、上部に位置する少数の複数段の加速電極のみ
となる。

【００１４】よって着脱が簡単になり、着脱の際に饋電
電極と加速電極の饋電電極の接続部分とが不要に接触す
ることもなくなる。しかも加速電極のうち上部に位置す
る電極は、フィラメントとウェーネルト電極と一体とな
っているため、フィラメントとウェーネルト電極と加速
電極との芯が傾くということもなく、容易に正しい位置
に装着することができる。

【００１５】

【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の構成を示す図で、電子銃２１は、フィラ
メント２２とウェーネルト電極２３とを一体化した電子
線発生ブロック３０が形成されており、またその下方に
は電子線加速ブロック３２が形成されている。そしてそ
れらの外部は真空容器２６により覆われて、真空容器２
６とその外側の外筒２５とは気密構造を形成して、その
間に絶縁ガス２７が介在しているが、こゝまでは従来の
ものと同様である。

【００１６】そして電子線発生ブロック３０は、フィラ
メント２２とウェーネルト電極２３とが一体化してお
り、フィラメント２２に電力を供給するために、端子部
材３４により、ケーブル２８、ブッシング２９に接続さ
れているが、これは図５に示す従来例の場合とほぼ同様
である。

【００１７】しかし電子線加速ブロック３２は図５に示
すものとは異なり、多数の加速電極２４のうち、そのフ
ィラメント２２に近い上方の一部の電極４４を、電極支
持筒３１に取付け、連結部材３３により電子線発生ブロ
ック３０と一体化する。そして電極支持筒３１に装着し
た一部の電極４４を、饋電線３５を介して、真空容器２
６の内部に取付けるようにする。

【００１８】一方電極支持筒３１に装着されなかった電
極２４は、図３に示す従来例の場合と同様に、直接真空
容器２６に取付けられ、その電極間の間隔の直径Ａは、
電極支持筒３１の外径Ｂよりも大きく設定される。そし
て電極支持筒３１が嵌め込まれた状態では、直接真空容
器２６に取付けられた電極２４は、電極支持筒３１に装
着された電極４４と協動して、電子線を加速する役目を
果たすようになっている。

【００１９】こうして、フィラメント２２とウェーネル
ト電極２３とを一体とした電子線発生ブロック３０と、
多数の加速電極２４のうちのフィラメント２２に近い上
方の一部の電極４４を電極支持筒３１に取付けたものと
を一体化し、一方電気的にはフィラメント２２は端子部
材３４により、ケーブル２８、ブッシング２９に接続さ
れ、加速電極４４は饋電線３５により、外部の端子に接
続されているので、電子銃２１の外筒２５及び真空容器
２６から脱着可能とした。よってフィラメント交換など
の場合に、一体化した部分を容易に取外すことができる
ようになる。

【００２０】そしてフィラメント２２及びウェーネルト
電極２３と、フィラメント２２に近い上方の一部の加速
電極４４とは一体であるから、取り外しても芯が傾くこ
とはなく、常に一定の形状を保持する。ただしその他の
加速電極２４とフィラメント２２との相対位置は、取り
外しにより多少ずれることはあるが、その他の加速電極
２４はフィラメント２２及びウェーネルト電極２３から
やゝ遠い位置にあるので、その位置のずれは電子線の方
向を決めるのにあまり影響はなく、電子銃２１からは、
常にほぼ正確な電子線を発生させることができる。

【００２１】よって電子銃２１のフィラメント２２など
を取り外す場合には、フィラメント２２及びウェーネル
ト電極２３と一体になっている、電子線加速ブロック３
２の上半部の電極支持筒３１が短いので、その一体にな
っているものの着脱を容易に行うことができる。しかも
電子線発生ブロック３０と電子線加速ブロック３２の一
部とが一体であるから、装着後の芯の位置が正確でなか
ったり、その他の不都合を生じることはない。

【００２２】電子線発生ブロック３０と電子線加速ブロ
ック３２の上半部とが一体となっているものを取り外す
には、図２に示すように、治具４０を下から挿入して、
一体となっている２つのブロックを取り出す。そのとき
下方の加速電極２４は、その内面の直径Ａが２つのブロ
ックの外径である、電極支持筒３１の外径Ｂより大きく
なっているので、容易に取り外すことができる。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電子線装置の電子銃のフィラメント及びウェーネル
ト電極と、複数段の加速電極のうち上部に位置する複数
段の加速電極とを一体として外筒及び真空容器から脱着
可能としたので、フィラメント及びウェーネルト電極
と、加速電極とを予め一体として組み込むため、芯出し
が容易にできて、しかも着脱の際も芯がずれることはな
い。しかも電子線発生ブロックと一体になっている電子
線加速ブロックの上半部が短いので、一体になっている
ブロックの着脱を容易に行うことができるし、また加速
電極の数は十分な数とすることができるので、加速電極
の数を多くして加速電圧を高くすることができる等、相
矛盾する要件の全部を解決した電子線装置の電子銃を得
ることができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成を示す電子線装置の電子銃の断面
図である。

【図２】本発明の電子銃の一体になったブロックを取り
外している状態を示す断面図である。

【図３】従来の一般的な電子銃を示す断面図である。

【図４】従来の電子銃で、フィラメント及びウェーネル
ト電極と、電子銃の上部のケーブル及びブッシングを一
体のブロックとしたものの断面図である。

【図５】従来の電子銃で、電子線発生ブロックと電子線
加速ブロックとを一体化したものの断面図である。

【符号の説明】

２１ 電子銃 ２２ フィラメント ２３ ウェーネルト電極 ２４ 加速電極 ２５ 外筒 ２６ 真空容器 ４４ 加速電極（上部に位置するもの）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線を放出するフィラメントと、該電
   子線の量と形を形成するウェーネルト電極と、該ウェー
   ネルト電極から射出された電子線を加速する複数段の加
   速電極とを有し、外部を外筒及び真空容器により覆われ
   た構成を有する電子線装置の電子銃において、前記フィ
   ラメントと前記ウェーネルト電極と、前記複数段の加速
   電極のうち上部に位置する複数段の加速電極とを一体と
   し、前記外筒及び真空容器から脱着可能としたことを特
   徴とする電子銃。