JP5729551B2 - 慣性センサー - Google Patents

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巨樹 井伊
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2958393B2 (ja) 1993-10-06 1999-10-06 富士ゼロックス株式会社 高分子導電・抵抗体およびその製造方法
US10760908B2 (en) 2017-03-23 2020-09-01 Seiko Epson Corporation Vibration device, angular velocity sensor, electronic device, and vehicle

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7013991B2 (ja) * 2018-03-26 2022-02-01 セイコーエプソン株式会社 センサーユニット、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、移動体および表示装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0824218B2 (ja) * 1990-03-05 1996-03-06 株式会社ユニシアジェックス 配線基板
JPH07162123A (ja) * 1993-12-03 1995-06-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 回路モジュール
JPH11325908A (ja) * 1998-05-13 1999-11-26 Toyota Motor Corp 圧電式角速度センサ
JP4484548B2 (ja) * 2004-03-08 2010-06-16 株式会社リコー 半導体装置
JP2006078249A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Denso Corp 容量型半導体センサ
JP2008014633A (ja) * 2006-06-07 2008-01-24 Sony Corp 振動型ジャイロセンサ
JP2008008733A (ja) * 2006-06-29 2008-01-17 Epson Toyocom Corp 角速度センサ
JP5186774B2 (ja) * 2007-02-15 2013-04-24 セイコーエプソン株式会社 電荷検出型センサおよびそれに用いるパッケージ容器
JP2008218744A (ja) * 2007-03-05 2008-09-18 Denso Corp 半導体装置の製造方法
JP2011017580A (ja) * 2009-07-08 2011-01-27 Seiko Epson Corp 物理量検出装置
JP5682361B2 (ja) * 2011-02-17 2015-03-11 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、振動デバイスの製造方法、モーションセンサー、および電子機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2958393B2 (ja) 1993-10-06 1999-10-06 富士ゼロックス株式会社 高分子導電・抵抗体およびその製造方法
US10760908B2 (en) 2017-03-23 2020-09-01 Seiko Epson Corporation Vibration device, angular velocity sensor, electronic device, and vehicle

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