JP5729551B2 - 慣性センサー - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態のジャイロセンサーの機能ブロック図である。本実施形態のジャイロセンサー1は、信号処理IC(集積回路装置)10とセンサー素子20を含んで構成されている。
第2実施形態のジャイロセンサーの機能ブロック図及び信号処理IC10のレイアウト図は、それぞれ図1及び図2と同じであるので、その図示及び説明を省略する。
第3実施形態のジャイロセンサーの機能ブロック図、再配置配線のパターンの平面図及び再配置配線層の上面にセンサー素子20を配置したジャイロセンサー1の平面図は、それぞれ図1、図3及び図4と同じであるので、その図示及び説明を省略する。
Claims (7)
- 第1の面に集積回路が設けられた半導体基板と、
振動部を有し、前記半導体基板の前記第1の面に直交する方向から視た平面視において、前記集積回路の一部と重なるように配置されたセンサー素子と、を含み、
前記集積回路は、
前記センサー素子の検出信号が入力されるチャージアンプを有し、
前記チャージアンプは、
前記半導体基板の前記第1の面に直交する方向から視た平面視において、前記センサー素子の前記振動部と重ならないように配置されている、慣性センサー。 - 請求項1において、
前記半導体基板と前記センサー素子との間に設けられた1又は複数の再配置配線を、含み、
前記再配置配線の少なくとも1つは、
前記半導体基板の前記第1の面に設けられた電極と、前記センサー素子の前記半導体基板の前記第1の面と対向する面に設けられた電極と、を電気的に接続している慣性センサー。 - 請求項2において、
前記チャージアンプは、
前記半導体基板の前記第1の面に直交する方向から視た平面視において、電位が変化する前記再配置配線と重ならないように配置されている、慣性センサー。 - 請求項2又は3において、
前記再配置配線の少なくとも1つは、固定電位が供給され、
前記チャージアンプは、
前記半導体基板の前記第1の面に直交する方向から視た平面視において、前記固定電位が供給される前記再配置配線と重なるように配置されている、慣性センサー。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記半導体基板と前記センサー素子との間に設けられ、固定電位が供給されるシールド配線を、含み、
前記シールド配線が、前記第1の面に直交する方向から視た平面視において前記チャージアンプと重なるように配置されている、慣性センサー。 - 請求項2乃至5のいずれかにおいて、
前記センサー素子は、
前記振動部に質量を調整可能な質量調整部が形成されており、
前記再配置配線の少なくとも1つは、
前記半導体基板の前記第1の面に直交する方向から視た平面視において、前記センサー素子の前記質量調整部と重なるように配置されている、慣性センサー。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記半導体基板と前記センサー素子との間に設けられた絶縁層を、含む、慣性センサー。
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