JP5725687B2 - マイクロメカニカル回転速度センサ - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 238000011067 equilibration Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000010420 art technique Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000000414 obstructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
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- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
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Description
FC=2mv×Ω
が発生する。ここでvは駆動振動であるから第1の方向xにあり、回転速度のベクトルまたは回転速度Ωは第1の方向xを含む平面に垂直な第3の方向zにある。コリオリ力FCは震動質量体100の第2の方向yへの測定偏向に作用する。さらにマイクロメカニカルセンサ素子の不完全性のために、距離に比例する障害偏向、いわゆる2乗信号も駆動振動の共振周波数で生じる。震動質量体100の障害偏向は力FQから発生し、速度に比例するコリオリ力から生じる測定偏向に対して90゜位相ずれしている。第2の方向yへの全偏向は測定偏向と障害偏向とを重畳した量である。これが第2の測定手段120で測定され、偏向信号125へ変換される。第2の測定手段120も容量的に構成されているので、やはり図ではコンデンサとしてシンボリックに表されている。2乗信号または障害偏向は種々の方向を有する。重要なのは、検出手段によって正確に偏向を評価し、どの成分が第2の方向yにあるかを求めることである。障害偏向を抑圧するために、独国公開第10237411号明細書では、震動質量体100を把持する補償手段130が設けられている。補償手段130も容量的に構成されているので、図ではコンデンサとしてシンボリックに表されている。
FC=2mv×Ω
から得られる測定偏向は駆動振動の周波数を有する信号であり、震動質量体100の第1の方向x(駆動方向)への運動速度に比例する。測定偏向は駆動振動の偏向に対して90゜位相がずれている。マイクロメカニカルセンサ素子の不完全性のためにさらに駆動信号の周波数を有する障害信号、すなわち2乗信号が発生する。2乗信号に由来する障害偏向は駆動偏向、すなわち震動質量体100が振動中心位置から第1の方向xにおいて戻った距離に比例する。したがって障害偏向は測定偏向に対して90゜位相ずれしており、駆動振動に対して180゜位相ずれしている。
Claims (3)
- 震動質量体(100)と、該震動質量体(100)を第1の方向(x)で振動させる駆動手段(110)と、前記震動質量体(100)の第2の方向(y)への偏向、すなわち、コリオリ力に基づく測定偏向および該測定偏向に対してほぼ90°位相のずれた障害偏向から成る偏向を測定して偏向信号(125)を形成する測定手段(120)と、前記震動質量体(100)を把持しており前記障害偏向を低減する補償手段(130)とを有する、
マイクロメカニカル回転速度センサにおいて、
該回転速度センサは、
メモリ(300)に記憶されている平衡値(302)から第1の補償信号(135B)を形成する開制御部と、
入力信号として供給される前記偏向信号(125)から障害偏向信号(401)を復調し、該障害偏向信号に基づいて制御信号(402)を形成し、該制御信号から第2の補償信号(135A)を形成する閉ループ制御部と、
前記第1の補償信号(135B)と前記第2の補償信号(135A)とを前記補償手段(130)へ供給する手段と、
を有しており、
前記閉ループ制御部は、前記制御信号をディジタルアナログ変換するディジタルアナログ変換器(410)を有しており、該ディジタルアナログ変換器の捕捉範囲は、前記ディジタルアナログ変換器の捕捉範囲を動作点ごとに適合させるための適合化量と結合された前記平衡値(302)に依存して調整され、
前記補償手段(130)は、前記第1の補償信号(135B)による補償と、前記第2の補償信号(135A)による補償とを、前記偏向信号(125)に対してそれぞれ行う、
ことを特徴とするマイクロメカニカル回転速度センサ。 - 前記制御信号(402)は、前記障害偏向をゼロへ向かって制御するための信号である、請求項1記載のセンサ。
- 前記閉ループ制御部は前記障害偏向信号に基づいて前記制御信号を形成する閉ループ制御回路(400)を有しており、該閉ループ制御回路は積分素子を含む、請求項1または2記載のセンサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004061804.6A DE102004061804B4 (de) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | Mikromechanischer Drehratensensor mit Fehlerunterdrückung |
DE102004061804.6 | 2004-12-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006177963A JP2006177963A (ja) | 2006-07-06 |
JP5725687B2 true JP5725687B2 (ja) | 2015-05-27 |
Family
ID=36585727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005370212A Active JP5725687B2 (ja) | 2004-12-22 | 2005-12-22 | マイクロメカニカル回転速度センサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7523663B2 (ja) |
JP (1) | JP5725687B2 (ja) |
DE (1) | DE102004061804B4 (ja) |
FR (1) | FR2879749B1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009000475B4 (de) * | 2009-01-29 | 2023-07-27 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Quadraturkompensation |
DE102009000743B4 (de) * | 2009-02-10 | 2024-01-18 | Robert Bosch Gmbh | Vibrationskompensation für Drehratensensoren |
WO2010112051A1 (de) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Schwingfähiges mikromechanisches system mit einem balkenförmigen element |
DE102009003217A1 (de) | 2009-05-19 | 2010-11-25 | Robert Bosch Gmbh | Selbsttest für Drehratensensoren |
DE102009026508A1 (de) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | Robert Bosch Gmbh | Sensor und Verfahren zum Betreiben eines Sensors |
US9021880B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Micromachined piezoelectric three-axis gyroscope and stacked lateral overlap transducer (slot) based three-axis accelerometer |
EP2527788A1 (en) | 2011-05-26 | 2012-11-28 | Maxim Integrated Products, Inc. | Quadrature error compensation |
DE102013225359A1 (de) * | 2013-12-10 | 2015-06-11 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors |
DE102014202819A1 (de) * | 2014-02-17 | 2015-08-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Struktur für einen Beschleunigungssensor |
DE102014010056B4 (de) * | 2014-07-07 | 2016-02-25 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Steuervorrichtung und Verfahren zur Minimierung von Skalenfaktorfehlern eines Drehratensensors |
CN111469130A (zh) * | 2020-04-26 | 2020-07-31 | 珠海格力智能装备有限公司 | 机器人的控制方法及装置、存储介质和处理器 |
CN112224164B (zh) * | 2020-08-24 | 2022-02-22 | 盐城工业职业技术学院 | 汽车防碰撞方位传感器、电路与工作方法 |
CN112987103A (zh) * | 2021-02-08 | 2021-06-18 | 中海石油(中国)有限公司 | 震源装置、海洋勘探系统及可控震源的控制方法 |
US11668585B2 (en) | 2021-08-27 | 2023-06-06 | Stmicroelectronics S.R.L. | Method for correcting gyroscope demodulation phase drift |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5481914A (en) * | 1994-03-28 | 1996-01-09 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Electronics for coriolis force and other sensors |
US5992233A (en) * | 1996-05-31 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of California | Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope |
JP3603501B2 (ja) * | 1996-09-25 | 2004-12-22 | 株式会社村田製作所 | 角速度検出装置 |
DE19653020A1 (de) * | 1996-12-19 | 1998-06-25 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate |
DE19726006A1 (de) * | 1997-06-19 | 1998-09-10 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor und Verfahren zur Auswertung eines Drehratensensors |
JP3783893B2 (ja) * | 1997-06-27 | 2006-06-07 | 株式会社ニコン | 圧電振動角速度計 |
US5983718A (en) * | 1997-07-14 | 1999-11-16 | Litton Systems, Inc. | Signal processing system for inertial sensor |
JP3489487B2 (ja) * | 1998-10-23 | 2004-01-19 | トヨタ自動車株式会社 | 角速度検出装置 |
DE10237411A1 (de) * | 2002-01-12 | 2003-07-24 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
JP4555571B2 (ja) * | 2002-01-12 | 2010-10-06 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 回転速度センサ |
US7047808B2 (en) * | 2003-02-28 | 2006-05-23 | Bae Systems Plc | Accelerometer |
JP3812543B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2006-08-23 | 株式会社デンソー | 角速度センサ装置及びその調整方法 |
DE10317159B4 (de) * | 2003-04-14 | 2007-10-11 | Litef Gmbh | Verfahren zur Kompensation eines Nullpunktfehlers in einem Corioliskreisel |
DE10320675B4 (de) * | 2003-05-08 | 2006-03-16 | Litef Gmbh | Betriebsverfahren für einen Corioliskreisel und dafür geeignete Auswerte-/Regelelektronik |
-
2004
- 2004-12-22 DE DE102004061804.6A patent/DE102004061804B4/de active Active
-
2005
- 2005-12-21 FR FR0513026A patent/FR2879749B1/fr active Active
- 2005-12-22 JP JP2005370212A patent/JP5725687B2/ja active Active
- 2005-12-22 US US11/317,819 patent/US7523663B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102004061804B4 (de) | 2015-05-21 |
FR2879749A1 (fr) | 2006-06-23 |
US7523663B2 (en) | 2009-04-28 |
US20060191338A1 (en) | 2006-08-31 |
JP2006177963A (ja) | 2006-07-06 |
FR2879749B1 (fr) | 2016-11-11 |
DE102004061804A1 (de) | 2006-07-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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|
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|
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|
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|
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|
RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
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|
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|
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|
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