JP5722125B2 - 質量分析装置 - Google Patents
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Description
試料導入抑制室、差動排気室の少なくとも一方で放電を生成する放電生成手段を有することを特徴とする。
2…試料導入部電極(カウンタプレート、またはカーテンプレート:電極)
3…第一細孔用部材(AP1:電極)
4…第二細孔用部材(AP2:電極)
5…サーマライズ部(Q0:サーマライザー/電極ポール)
6…第三細孔用部材(AP3:電極)
7…四重極質量分析装置分析部
8…検出部
9…分析試料吐出部
10…検出器
11…分析試料供給部(LC)
12…高周波電源部
13…高電圧電源部
14…検出器電源部
15…信号アンプ
16…電源制御部
17…制御演算装置
18…分析結果表示装置
19…高真空ポンプ(ターボポンプなど)
20…粗引きポンプ(ロータリポンプなど)
21…圧力計
22…セルフクリーニング装置用高周波配線
23…セルフクリーニング装置用真空容器
24…セルフクリーニング装置用補助ガス、薬液導入部
25…セルフクリーニング装置用終点検出器(分光器、プラズマモニター)
26…イオン群(ビーム)
27…セルフクリーニング装置用終点検出器(分光器、プラズマモニター)用アンプ電源
部
Claims (6)
- 試料供給源と、前記試料供給源から供給される試料をイオン化する試料イオン化部と、イオン化された試料イオンが導入される試料導入抑制室と、前記試料導入抑制室の下流になる差動排気室と、前記差動排気室の下流側になる分析部を有する質量分析装置において、
前記試料導入抑制室、前記差動排気室の少なくとも一方の内部に、放電を生成する放電生成手段と、薬液導入部と、を有し、
前記放電生成手段は、前記試料導入抑制室で対向するように設けられた試料導入部電極と、第一細孔部用部材(電極)、ないし前記差動排気室で対向するように設けられた第一細孔部用部材(電極)と、第二細孔部用部材(電極)と、を有し、
前記薬液導入部から薬液を導入しながら前記放電生成手段で放電を生成して前記放電生成手段に堆積した堆積物を分解除去することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1記載の質量分析装置において、
前記試料導入部電極、前記試料イオン化部、前記試料供給源を覆う大気圧容器を有することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1記載の質量分析装置において、
前記試料導入部電極、前記第一細孔部用部材(電極)、前記第二細孔部用部材(電極)及び前記差動排気室を覆う真空圧容器を有することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1から3項のいずれか1項に記載された質量分析装置において、
前記放電によるクリーニングの終点を検知する手段を備えたことを特徴とする質量分析装置。 - 請求項4項の質量分析装置において、
前記クリーニングの終点を検知する手段は、分光器、プラズマモニターなどの光学装置を含むことを特徴とするセルフクリーニング装置を備えた質量分析装置。 - 請求項4項の質量分析装置において、
前記クリーニングの終点を検知する手段は、圧力計を含むことを特徴とするセルフクリーニング装置を備えた質量分析装置。
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