JP5704286B2 - 高周波信号線路 - Google Patents

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Description

本発明は、高周波信号線路に関し、より特定的には、高周波信号の伝送に用いられる高周波信号線路に関する。
従来の高周波信号線路に関する発明としては、例えば、特許文献1に記載の信号線路が知られている。該信号線路は、積層体、信号線及び2つのグランド導体を備えている。積層体は、複数の絶縁シートが積層されて構成されている。信号線は、積層体内に設けられている。2つのグランド導体は、積層体内において積層方向から信号線を挟んでいる。これにより、信号線と2つのグランド導体とは、トリプレート型のストリップライン構造をなしている。
更に、グランド導体には、積層方向から平面視したときに、信号線と重なる複数の開口が設けられている。これにより、開口が設けられている位置において信号線とグランド導体との間に容量が形成されにくくなる。よって、信号線の特性インピーダンスを小さくし過ぎることなく、信号線とグランド導体との積層方向における距離を小さくすることが可能となる。その結果、高周波信号線路の薄型化を図ることが可能となる。以上のような高周波信号線路は、2つの回路基板の接続等に用いられる。
ところで、特許文献1に記載の信号線路では、挿入損失を低減しようとすると、製造時に絶縁シートが損傷するおそれがある。より詳細には、信号線路において挿入損失を低減するためには、信号線の厚みを大きくして、信号線の断面積を大きくすればよい。
しかしながら、信号線の厚みが大きくなれば、導体層を信号線に加工するためのエッチング工程に必要な時間も長くなる。エッチング工程は、導体層が全面に形成された絶縁シートがローラから送り出されて、エッチング液が導体層に吹き付けられることによって行われる。そして、エッチング工程の後には、絶縁シートの搬送が行われながら、絶縁シートの圧着工程が行われる。そのため、エッチング工程の処理速度が低下すると、エッチング工程後の圧着工程の処理速度もエッチング工程の処理速度に合わせて低下させなくてはならない。すなわち、信号線路の製造に要する時間が長くなってしまう。
そこで、エッチング工程の処理速度を向上させるために、より強い酸性を有するエッチング液を使用することが考えられる。ところが、より強い酸性を有するエッチング液では、絶縁シートが損傷してしまうおそれがある。
国際公開第2011/007660号パンフレット
そこで、本発明の目的は、挿入損失を低減しつつ、誘電体層の損傷を抑制できる高周波信号線路を提供することである。
本発明の一形態に係る高周波信号線路は、第1の誘電体層を含む複数の誘電体層が積層されてなる誘電体素体と、前記第1の誘電体層における積層方向の一方側の主面に形成されている線状の第1の信号線路と、前記第1の誘電体層における積層方向の他方側の主面に形成されている線状の第2の信号線路であって、該第1の誘電体層を介して前記第1の信号線路と対向し、かつ、該第1の信号線路と電気的に接続されている第2の信号線路と、前記第1の信号線路よりも積層方向の一方側に設けられている第1のグランド導体と、前記第2の信号線路よりも積層方向の他方側に設けられている第2のグランド導体と、を備えており、前記第1の信号線路の線幅は、前記第2の信号線路の線幅よりも大きく、前記第2の信号線路は、積層方向から平面視したときに、前記第1の信号線路内に収まっており、前記第1の信号線路は、積層方向の一方側に突出するように湾曲していること、を特徴とする。
本発明によれば、挿入損失を低減しつつ、誘電体層の損傷を抑制できる。
本発明の第1の実施形態に係る高周波信号線路の外観斜視図である。 図1の高周波信号線路の誘電体素体の分解図である。 高周波信号線路の線路部の分解斜視図である。 図3のA−Aにおける断面構造図である。 図3のB−Bにおける断面構造図である。 高周波信号線路のコネクタの外観斜視図である。 高周波信号線路のコネクタの断面構造図である。 高周波信号線路が用いられた電子機器をy軸方向から平面視した図である。 高周波信号線路が用いられた電子機器をz軸方向から平面視した図である。 第1の変形例に係る高周波信号線路の誘電体素体の分解図である。 第2の変形例に係る高周波信号線路の誘電体素体の分解図である。 高周波信号線路の線路部の分解斜視図である。 高周波信号線路のA−Aにおける断面構造図である。 高周波信号線路のB−Bにおける断面構造図である。 湾曲していない信号線路の断面構造図及び平面図、並びに、電流分布を示した図である。 湾曲した信号線路の断面構造図及び平面図、並びに、電流分布を示した図である。 第3の変形例に係る高周波信号線路の開口における断面構造図である。 第4の変形例に係る高周波信号線路の誘電体素体の断面構造図である。
以下に、本発明の実施形態に係る高周波信号線路について図面を参照しながら説明する。
(第1の実施形態)
(高周波信号線路の構成)
以下に、本発明の第1の実施形態に係る高周波信号線路の構成について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る高周波信号線路10の外観斜視図である。図2は、図1の高周波信号線路10の誘電体素体12の分解図である。図3は、高周波信号線路10の線路部12aの分解斜視図である。図4は、図3のA−Aにおける断面構造図である。図5は、図3のB−Bにおける断面構造図である。以下では、高周波信号線路10の積層方向をz軸方向と定義する。また、高周波信号線路10の長手方向をx軸方向と定義し、x軸方向及びz軸方向に直交する方向をy軸方向と定義する。
高周波信号線路10は、例えば、携帯電話等の電子機器内において、2つの高周波回路を接続するために用いられる。高周波信号線路10は、図1ないし図3に示すように、誘電体素体12、外部端子16a,16b、信号線20,21、基準グランド導体22、補助グランド導体24、ビアホール導体b1〜b4,B1〜B6及びコネクタ100a,100bを備えている。
誘電体素体12は、図1に示すように、z軸方向から平面視したときに、x軸方向に延在する可撓性を有する板状部材であり、線路部12a、接続部12b,12cを含んでいる。誘電体素体12は、図2に示すように、保護層14、誘電体シート18a〜18c及び保護層15がz軸方向の正方向側から負方向側へとこの順に積層されて構成されている積層体である。以下では、誘電体素体12のz軸方向の正方向側の主面を表面と称し、誘電体素体12のz軸方向の負方向側の主面を裏面と称す。
線路部12aは、図1に示すように、x軸方向に延在している。接続部12b,12cはそれぞれ、線路部12aのx軸方向の負方向側の端部及びx軸方向の正方向側の端部に接続されており、矩形状をなしている。接続部12b,12cのy軸方向の幅は、線路部12aのy軸方向の幅よりも大きい。
誘電体シート18a〜18cは、図2に示すように、z軸方向から平面視したときに、x軸方向に延在しており、誘電体素体12と同じ形状をなしている。誘電体シート18a〜18cは、ポリイミドや液晶ポリマ等の可撓性を有する熱可塑性樹脂により構成されている。以下では、誘電体シート18a〜18cのz軸方向の正方向側の主面を表面と称し、誘電体シート18a〜18cのz軸方向の負方向側の主面を裏面と称す。
誘電体シート18aの厚さD1は、図4及び図5に示すように、誘電体シート18cの厚さD2よりも大きい。誘電体シート18a〜18cの積層後において、厚さD1は、例えば、50μm〜300μmである。本実施形態では、厚さD1は150μmである。また、厚さD2は、例えば、10μm〜100μmである。本実施形態では、厚さD2は50μmである。また、誘電体シート18bの厚さD3は、例えば、3μm〜50μmである。本実施形態では、厚さD3は12.5μmである。
また、誘電体シート18aは、図2に示すように、線路部18a−a及び接続部18a−b,18a−cにより構成されている。誘電体シート18bは、線路部18b−a及び接続部18b−b,18b−cにより構成されている。誘電体シート18cは、線路部18c−a及び接続部18c−b,18c−cにより構成されている。線路部18a−a,18b−a,18c−aは、線路部12aを構成している。接続部18a−b,18b−b,18c−bは、接続部12bを構成している。接続部18a−c,18b−c,18c−cは、接続部12cを構成している。
信号線20は、図2及び図3に示すように、高周波信号が伝送され、誘電体素体12に設けられている導体である。本実施形態では、信号線20は、誘電体シート18bの表面上に形成されており、x軸方向に延在する直線状の導体である。信号線20のx軸方向の負方向側の端部は、図2に示すように、接続部18b−bの中央に位置している。信号線20のx軸方向の正方向側の端部は、図2に示すように、接続部18b−cの中央に位置している。信号線20は、銀や銅を主成分とする比抵抗の小さな金属材料により作製されている。ここで、信号線20が誘電体シート18bの表面に形成されているとは、誘電体シート18bの表面にめっきにより形成された金属箔がパターニングされて信号線20が形成されていることや、誘電体シート18bの表面に張り付けられた金属箔がパターニングされて信号線20が形成されていることを指す。また、信号線20の表面には平滑化が施されるので、信号線20において誘電体シート18bに接している面の表面粗さは、信号線20において誘電体シート18bに接していない面の表面粗さよりも大きくなる。なお、表面粗さとは、JIS B 0601−2001(ISO4287−1997に準拠)で定められている算術平均粗さRaを指し、以下同様とする。
信号線21は、図2及び図3に示すように、高周波信号が伝送され、誘電体素体12に設けられている導体である。本実施形態では、信号線21は、誘電体シート18bの裏面上に形成されており、x軸方向に延在する直線状の導体である。信号線21のx軸方向の負方向側の端部は、図2に示すように、接続部18b−bの中央に位置している。信号線21のx軸方向の正方向側の端部は、図2に示すように、接続部18b−cの中央に位置している。信号線21は、銀や銅を主成分とする比抵抗の小さな金属材料により作製されている。ここで、信号線21が誘電体シート18bの裏面に形成されているとは、誘電体シート18bの裏面にめっきにより形成された金属箔がパターニングされて信号線21が形成されていることや、誘電体シート18bの裏面に張り付けられた金属箔がパターニングされて信号線21が形成されていることを指す。また、信号線21の裏面には平滑化が施されるので、信号線21において誘電体シート18bに接している面の表面粗さは、信号線21において誘電体シート18bに接していない面の表面粗さよりも大きくなる。
ここで、信号線20と信号線21とは、図2ないし図5に示すように、誘電体シート18bを介して互いに対向している。本実施形態では、信号線20と信号線21とは、同じ形状を有しているので、z軸方向から平面視したときに、一致した状態で重なっている。なお、z軸方向から平面視したときに、信号線20と信号線21とは、必ずしも完全に一致した状態となっていなくてもよいが、実質的に一つの信号線として機能させるためには実質的に一致した状態で重なっていることが好ましい。
基準グランド導体22は、図2に示すように、信号線20よりもz軸方向の正方向側に設けられているベタ状の導体層である。より詳細には、基準グランド導体22は、誘電体シート18aの表面に形成され、誘電体シート18aを介して信号線20と対向している。基準グランド導体22には、信号線20と重なる位置には開口が設けられていない。基準グランド導体22は、銀や銅を主成分とする比抵抗の小さな金属材料により作製されている。ここで、基準グランド導体22が誘電体シート18aの表面に形成されているとは、誘電体シート18aの表面にめっきにより形成された金属箔がパターニングされて基準グランド導体22が形成されていることや、誘電体シート18aの表面に張り付けられた金属箔がパターニングされて基準グランド導体22が形成されていることを指す。また、基準グランド導体22の表面には平滑化が施されるので、図4及び図5に示すように、基準グランド導体22において誘電体シート18aに接している面の表面粗さは、基準グランド導体22において誘電体シート18aに接していない面の表面粗さよりも大きくなる。
また、基準グランド導体22は、図2に示すように、線路部22a及び端子部22b,22cにより構成されている。線路部22aは、線路部18a−aの表面に設けられ、x軸方向に沿って延在している。端子部22bは、線路部18a−bの表面に設けられ、矩形状の環をなしている。端子部22bは、線路部22aのx軸方向の負方向側の端部に接続されている。端子部22cは、接続部18a−cの表面に設けられ、矩形状の環をなしている。端子部22cは、線路部22aのx軸方向の正方向側の端部に接続されている。
補助グランド導体24は、図2に示すように、信号線21よりもz軸方向の負方向側に設けられている導体層である。より詳細には、補助グランド導体24は、誘電体シート18cの裏面に形成され、誘電体シート18cを介して信号線21と対向している。補助グランド導体24は、銀や銅を主成分とする比抵抗の小さな金属材料により作製されている。ここで、補助グランド導体24が誘電体シート18cの裏面に形成されているとは、誘電体シート18cの裏面にめっきにより形成された金属箔がパターニングされて補助グランド導体24が形成されていることや、誘電体シート18cの裏面に張り付けられた金属箔がパターニングされて補助グランド導体24が形成されていることを指す。また、補助グランド導体24の表面には平滑化が施されるので、図4及び図5に示すように、補助グランド導体24において誘電体シート18cに接している面の表面粗さは、補助グランド導体24において誘電体シート18cに接していない面の表面粗さよりも大きくなる。
また、補助グランド導体24は、図2に示すように、線路部24a及び端子部24b,24cにより構成されている。線路部24aは、線路部18c−aの裏面に設けられ、x軸方向に沿って延在している。端子部24bは、線路部18c−bの裏面に設けられ、矩形状の環をなしている。端子部24bは、線路部24aのx軸方向の負方向側の端部に接続されている。端子部24cは、接続部18c−cの裏面に設けられ、矩形状の環をなしている。端子部24cは、線路部24aのx軸方向の正方向側の端部に接続されている。
また、線路部24aには、図2及び図3に示すように、x軸方向に沿って並び、かつ、長方形状をなす複数の開口30が設けられている。これにより、線路部24aは、梯子状をなしている。また、補助グランド導体24において、隣り合う開口30に挟まれた部分をブリッジ部60と呼ぶ。ブリッジ部60は、y軸方向に延在している。複数の開口30及び複数のブリッジ部60とは、z軸方向から平面視したときに、信号線20に交互に重なっている。そして、本実施形態では、信号線20は、開口30及びブリッジ部60のy軸方向の中央をx軸方向に横切っている。
外部端子16aは、図2に示すように、接続部18a−bの表面上の中央に形成されている矩形状の導体である。よって、外部端子16aは、z軸方向から平面視したときに、信号線20,21のx軸方向の負方向側の端部と重なっている。外部端子16bは、図2に示すように、接続部18a−cの表面上の中央に形成されている矩形状の導体である。よって、外部端子16bは、z軸方向から平面視したときに、信号線20,21のx軸方向の正方向側の端部と重なっている。外部端子16a,16bは、銀や銅を主成分とする比抵抗の小さな金属材料により作製されている。また、外部端子16a,16bの表面には、Ni/Auめっきが施されている。ここで、外部端子16a,16bが誘電体シート18aの表面に形成されているとは、誘電体シート18aの表面にめっきにより形成された金属箔がパターニングされて外部端子16a,16bが形成されていることや、誘電体シート18aの表面に張り付けられた金属箔がパターニングされて外部端子16a,16bが形成されていることを指す。また、外部端子16a,16bの表面には平滑化が施されるので、外部端子16a,16bが誘電体シート18aに接している面の表面粗さは外部端子16a,16bが誘電体シート18aに接していない面の表面粗さよりも大きくなる。
外部端子16a,16b、信号線20,21、基準グランド導体22及び補助グランド導体24は、略等しい厚さを有している。外部端子16a,16b、信号線20,21、基準グランド導体22及び補助グランド導体24の厚さは、例えば、10μm〜20μmである。
以上のように、信号線20,21は、基準グランド導体22及び補助グランド導体24によってz軸方向の両側から挟まれている。すなわち、信号線20,21、基準グランド導体22及び補助グランド導体24は、トリプレート型のストリップライン構造をなしている。また、信号線20と基準グランド導体22との間隔(z軸方向における距離)は、図4及び図5に示すように誘電体シート18aの厚さD1と略等しく、例えば、50μm〜300μmである。本実施形態では、信号線20と基準グランド導体22との間隔は、150μmである。また、信号線21と補助グランド導体24との間隔(z軸方向における距離)は、図4及び図5に示すように誘電体シート18cの厚さD2と略等しく、例えば、10μm〜100μmである。本実施形態では、信号線21と補助グランド導体24との間隔は、50μmである。よって、信号線20と基準グランド導体22とのz軸方向の距離は、信号線21と補助グランド導体24とのz軸方向の距離よりも大きい。
複数のビアホール導体B1は、図2に示すように、信号線20,21よりもy軸方向の正方向側において誘電体シート18aをz軸方向に貫通しており、x軸方向に一列に等間隔に並んでいる。複数のビアホール導体B2は、図2に示すように、信号線20,21よりもy軸方向の正方向側において誘電体シート18bをz軸方向に貫通しており、x軸方向に一列に等間隔に並んでいる。複数のビアホール導体B3は、図2に示すように、信号線20,21よりもy軸方向の正方向側において誘電体シート18cをz軸方向に貫通しており、x軸方向に一列に等間隔に並んでいる。ビアホール導体B1〜B3は、互いに接続されることにより1本のビアホール導体を構成している。また、ビアホール導体B1のz軸方向の正方向側の端部は、基準グランド導体22に接続されている。ビアホール導体B3のz軸方向の負方向側の端部は、補助グランド導体24に接続されており、より詳細には、ブリッジ部60よりもy軸方向の正方向側において補助グランド導体24に接続されている。ビアホール導体B1〜B3は、誘電体シート18a〜18cに形成されたビアホールに対して銀、スズ、または銅等を主成分とする導電性ペーストが充填され、固化されることによって形成される。
複数のビアホール導体B4は、図2に示すように、信号線20,21よりもy軸方向の負方向側において誘電体シート18aをz軸方向に貫通しており、x軸方向に一列に等間隔に並んでいる。複数のビアホール導体B5は、図2に示すように、信号線20,21よりもy軸方向の負方向側において誘電体シート18bをz軸方向に貫通しており、x軸方向に一列に等間隔に並んでいる。複数のビアホール導体B6は、図2に示すように、信号線20,21よりもy軸方向の負方向側において誘電体シート18cをz軸方向に貫通しており、x軸方向に一列に等間隔に並んでいる。ビアホール導体B4〜B6は、互いに接続されることにより1本のビアホール導体を構成している。また、ビアホール導体B4のz軸方向の正方向側の端部は、基準グランド導体22に接続されている。ビアホール導体B6のz軸方向の負方向側の端部は、補助グランド導体24に接続されており、より詳細には、ブリッジ部60よりもy軸方向の負方向側において補助グランド導体24に接続されている。ビアホール導体B4〜B6は、誘電体シート18a〜18cに形成されたビアホールに対して銀、スズまたは銅等を主成分とする導電性ペーストが充填され、固化されることによって形成される。
ビアホール導体b1は、図2に示すように、誘電体シート18aをz軸方向に貫通しており、外部端子16aと信号線20のx軸方向の負方向側の端部とを接続している。ビアホール導体b3は、図2に示すように、誘電体シート18bをz軸方向に貫通しており、信号線20のx軸方向の負方向側の端部と信号線21のx軸方向の負方向側の端部とを接続している。ビアホール導体b2は、図2に示すように、誘電体シート18aをz軸方向に貫通しており、外部端子16bと信号線20のx軸方向の正方向側の端部とを接続している。ビアホール導体b4は、図2に示すように、誘電体シート18bをz軸方向に貫通しており、信号線20のx軸方向の正方向側の端部と信号線21のx軸方向の正方向側の端部とを接続している。これにより、信号線20,21は、外部端子16a,16b間に接続されている。また、信号線20と信号線21とが電気的に接続されている。ビアホール導体b1〜b4は、誘電体シート18a,18bに形成されたビアホールに対して銀、スズまたは銅等を主成分とする導電性ペーストが充填され、固化されることによって形成される。
保護層14は、誘電体シート18aの表面の略全面を覆っている絶縁膜である。これにより、保護層14は、基準グランド導体22を覆っている。保護層14は、例えば、レジスト材等の可撓性樹脂からなる。
また、保護層14は、図2に示すように、線路部14a及び接続部14b,14cにより構成されている。線路部14aは、線路部18a−aの表面の全面を覆うことにより、線路部22aを覆っている。
接続部14bは、線路部14aのx軸方向の負方向側の端部に接続されており、接続部18a−bの表面を覆っている。ただし、接続部14bには、開口Ha〜Hdが設けられている。開口Haは、接続部14bの中央に設けられている矩形状の開口である。外部端子16aは、開口Haを介して外部に露出している。また、開口Hbは、開口Haよりもy軸方向の正方向側に設けられている矩形状の開口である。開口Hcは、開口Haよりもx軸方向の負方向側に設けられている矩形状の開口である。開口Hdは、開口Haよりもy軸方向の負方向側に設けられている矩形状の開口である。端子部22bは、開口Hb〜Hdを介して外部に露出することにより、外部端子として機能する。
接続部14cは、線路部14aのx軸方向の正方向側の端部に接続されており、接続部18a−cの表面を覆っている。ただし、接続部14cには、開口He〜Hhが設けられている。開口Heは、接続部14cの中央に設けられている矩形状の開口である。外部端子16bは、開口Heを介して外部に露出している。また、開口Hfは、開口Heよりもy軸方向の正方向側に設けられている矩形状の開口である。開口Hgは、開口Heよりもx軸方向の正方向側に設けられている矩形状の開口である。開口Hhは、開口Heよりもy軸方向の負方向側に設けられている矩形状の開口である。端子部22cは、開口Hf〜Hhを介して外部に露出することにより、外部端子として機能する。
保護層15は、誘電体シート18cの裏面の略全面を覆っている絶縁膜である。これにより、保護層15は、補助グランド導体24を覆っている。保護層15は、例えば、レジスト材等の可撓性樹脂からなる。
以上のように構成された高周波信号線路10では、信号線20の特性インピーダンスは、インピーダンスZ1とインピーダンスZ2との間を周期的に変動する。より詳細には、信号線20,21において開口30と重なっている区間A1では、信号線20,21と補助グランド導体24との間に相対的に小さな容量が形成される。そのため、区間A1における信号線20,21の特性インピーダンスは、相対的に高いインピーダンスZ1となる。
一方、信号線20,21においてブリッジ部60と重なっている区間A2では、信号線20,21と補助グランド導体24との間に相対的に大きな容量が形成される。そのため、区間A2における信号線20,21の特性インピーダンスは、相対的に低いインピーダンスZ2となる。そして、区間A1と区間A2とは、x軸方向に交互に並んでいる。よって、信号線20,21の特性インピーダンスは、インピーダンスZ1とインピーダンスZ2との間を周期的に変動する。インピーダンスZ1は、例えば、55Ωであり、インピーダンスZ2は、例えば、45Ωである。そして、信号線20,21全体の平均の特性インピーダンスは、例えば、50Ωである。
コネクタ100a,100bはそれぞれ、図1に示すように、接続部12b,12cの表面上に実装される。コネクタ100a,100bの構成は同じであるので、以下にコネクタ100bの構成を例に挙げて説明する。図6は、高周波信号線路10のコネクタ100bの外観斜視図である。図7は、高周波信号線路10のコネクタ100bの断面構造図である。
コネクタ100bは、図1、図6及び図7に示すように、コネクタ本体102、外部端子104,106、中心導体108及び外部導体110により構成されている。コネクタ本体102は、矩形状の板部材に円筒部材が連結された形状をなしており、樹脂等の絶縁材料により作製されている。
外部端子104は、コネクタ本体102の板部材のz軸方向の負方向側の面において、外部端子16bと対向する位置に設けられている。外部端子106は、コネクタ本体102の板部材のz軸方向の負方向側の面において、開口Hf〜Hhを介して露出している端子部22cに対応する位置に設けられている。
中心導体108は、コネクタ本体102の円筒部材の中心に設けられており、外部端子104と接続されている。中心導体108は、高周波信号が入力又は出力する信号端子である。外部導体110は、コネクタ本体102の円筒部材の内周面に設けられており、外部端子106と接続されている。外部導体110は、接地電位に保たれるグランド端子である。
以上のように構成されたコネクタ100bは、図6及び図7に示すように、外部端子104が外部端子16bと接続され、外部端子106が端子部22cと接続されるように、接続部12cの表面上に実装される。これにより、信号線20は、中心導体108に電気的に接続されている。また、基準グランド導体22及び補助グランド導体24は、外部導体110に電気的に接続されている。
高周波信号線路10は、以下に説明するように用いられる。図8は、高周波信号線路10が用いられた電子機器200をy軸方向から平面視した図である。図9は、高周波信号線路10が用いられた電子機器200をz軸方向から平面視した図である。
電子機器200は、高周波信号線路10、回路基板202a,202b、レセプタクル204a,204b、バッテリーパック(金属体)206及び筐体210を備えている。
回路基板202aには、例えば、アンテナを含む送信回路又は受信回路が設けられている。回路基板202bには、例えば、給電回路が設けられている。バッテリーパック206は、例えば、リチウムイオン2次電池であり、その表面が金属カバーにより覆われた構造を有している。回路基板202a、バッテリーパック206及び回路基板202bは、x軸方向の負方向側から正方向側へとこの順に並んでいる。
レセプタクル204a,204bはそれぞれ、回路基板202a,202bのz軸方向の負方向側の主面上に設けられている。レセプタクル204a,204bにはそれぞれ、コネクタ100a,100bが接続される。これにより、コネクタ100a,100bの中心導体108には、回路基板202a,202b間を伝送される例えば2GHzの周波
数を有する高周波信号がレセプタクル204a,204bを介して印加される。また、コネクタ100a,100bの外部導体110には、回路基板202a,202b及びレセプタクル204a,204bを介して、グランド電位に保たれる。これにより、高周波信号線路10は、回路基板202a,202b間を接続している。
ここで、誘電体素体12の表面(より正確には、保護層14)は、バッテリーパック206に対して接触している。そして、誘電体素体12とバッテリーパック206とは、接着剤等により固定されている。
(高周波信号線路の製造方法)
以下に、高周波信号線路10の製造方法について図面を参照しながら説明する。以下では、一つの高周波信号線路10が作製される場合を例にとって説明するが、実際には、大判の誘電体シートが積層及びカットされることにより、同時に複数の高周波信号線路10が作製される。
まず、一方の主面の全面に銅箔(金属膜)が形成された熱可塑性樹脂からなる誘電体シート18a,18cを準備する。具体的には、誘電体シート18a,18cの一方の主面に銅箔を張り付ける。また、更に、誘電体シート18a,18cの銅箔の表面に、例えば、防錆のための亜鉛鍍金を施して、平滑化する。これにより、表面粗さが小さい非固着面(シャイニー面)と表面粗さが大きい固着面(マット面)とを有する銅張りの誘電体シート18a,18cが得られる。誘電体シート18a,18cは、液晶ポリマである。また、銅箔の厚さは、10μm〜20μmである。
また、両方の主面の全面に銅箔(金属膜)が形成された熱可塑性樹脂からなる誘電体シート18bを準備する。具体的には、誘電体シート18bの両方の主面に銅箔を張り付ける。更に、誘電体シート18bの銅箔の表面に、例えば、防錆のための亜鉛鍍金を施して、平滑化する。誘電体シート18bは、液晶ポリマである。また、銅箔の厚さは、10μm〜20μmである。
次に、誘電体シート18aの表面上に形成された銅箔をパターニングすることにより、図2に示すように、外部端子16a,16b及び基準グランド導体22を誘電体シート18aの表面上に形成する。具体的には、誘電体シート18aの表面の銅箔上に、図2に示す外部端子16a,16b及び基準グランド導体22と同じ形状のレジストを印刷する。そして、銅箔に対してエッチング処理を施すことにより、レジストにより覆われていない部分の銅箔を除去する。その後、レジスト液を吹き付けてレジストを除去する。これにより、図2に示すような、外部端子16a,16b及び基準グランド導体22が誘電体シート18aの表面上にフォトリソグラフィ工程により形成される。
次に、図2に示すように、信号線20を誘電体シート18bの表面上に形成し、信号線21を誘電体シート18bの裏面上に形成する。また、図2に示すように、補助グランド導体24を誘電体シート18cの裏面上に形成する。なお、信号線20,21及び補助グランド導体24の形成工程は、外部端子16a,16b、信号線20及び基準グランド導体22の形成工程と同じであるので説明を省略する。
次に、誘電体シート18a〜18cのビアホール導体b1〜b4,B1〜B6が形成される位置にレーザービームを照射することによって貫通孔を形成する。そして、貫通孔に導電性ペーストを充填し、ビアホール導体b1〜b4,B1〜B6を形成する。
次に、図2に示すように、誘電体シート18a〜18cをz軸方向の正方向側から負方向側へとこの順に積み重ねて誘電体素体12を形成する。この際、誘電体シート18a〜18cに対してz軸方向の正方向側及び負方向側から熱及び圧力を加えることにより、誘電体シート18a〜18cを圧着する。
次に、図2に示すように、樹脂(レジスト)ペーストをスクリーン印刷により塗布することにより、誘電体シート18aの表面上に基準グランド導体22を覆う保護層14を形成する。
次に、図2に示すように、樹脂(レジスト)ペーストをスクリーン印刷により塗布することにより、誘電体シート18cの裏面上に補助グランド導体24を覆う保護層15を形成する。
最後に、接続部12b,12c上の外部端子16a,16b及び端子部22b,22c上にはんだを用いてコネクタ100a,100bを実装する。これにより、図1に示す高周波信号線路10が得られる。
(効果)
以上のように構成された高周波信号線路10によれば、挿入損失を低減できる。より詳細には、高周波信号線路10では、信号線20は誘電体シート18bの表面に形成され、信号線21は誘電体シート18bの裏面に形成されている。そして、信号線20と信号線21とは、互いに対向し、かつ、電気的に接続されている。これにより、信号線20と信号線21とは、1本の信号線路を構成するようになる。よって、信号線20及び信号線21からなる信号線路の厚みは、信号線20の厚みと信号線21の厚みとの合計となる。したがって、信号線20及び信号線21からなる信号線路の断面積が大きくなり、高周波信号線路10の挿入損失が低減される。
また、高周波信号線路10によれば、以下の理由によっても、挿入損失を低減できる。より詳細には、信号線20に高周波信号が流れると、表皮効果により、信号線20の表面近傍に集中して電流が流れる。特に、信号線20では、基準グランド導体22と対向している面(すなわち、誘電体シート18bに接していない面)に集中して流れる。そこで、高周波信号線路10では、信号線20において誘電体シート18bに接していない面の表面粗さは、信号線20において誘電体シート18bに接している面の表面粗さよりも小さくなっている。これにより、信号線20において誘電体シート18bに接していない面から所定深さまでの領域(電流が集中する領域)における導体が占める割合は、信号線20において誘電体シート18bに接している面から所定深さまでの領域における導体が占める割合よりも高くなる。すなわち、信号線20において誘電体シート18bに接していない面近傍の方が、信号線20において誘電体シート18bに接している面近傍よりも電流が流れやすくなる。その結果、高周波信号線路10では、挿入損失が低減される。なお、同様の現象が信号線21にも生じている。
また、高周波信号線路10によれば、誘電体シート18a,18bの損傷を抑制できる。より詳細には、高周波信号線路10の信号線路は、信号線20,21により構成されている。そのため、信号線20の厚さを有する導体層をエッチングにて加工することにより、信号線20を形成することができる。同様に、信号線21の厚さを有する導体層をエッチングにて加工することにより、信号線21を形成することができる。そのため、信号線20,21からなる信号線路の形成のために、信号線20の厚さと信号線21の厚さの合計の厚さを有する導体層をエッチングする必要がない。その結果、より強い酸性を有するエッチング液を用いる必要がない。以上より、信号線20,21からなる信号線路の形成工程において、誘電体シート18a,18bに損傷が発生することが抑制される。
また、高周波信号線路10によれば、高周波信号線路10を容易に曲げることが可能となる。より詳細には、高周波信号線路10を曲げる際には、例えば、外周側に位置する信号線20が伸び、内周側に位置する信号線21が縮む。そのため、信号線20と信号線21とにずれが生じる。そこで、信号線20と信号線21との間には、可撓性を有する誘電体シート18bが設けられている。これにより、信号線20が伸び信号線21が縮んだ際に、誘電体シート18bが変形するようになる。その結果、高周波信号線路10が曲げられた際に、信号線20と信号線21との間で容易にずれが生じるようになる。以上より、高周波信号線路10を容易に曲げることが可能となる。
また、高周波信号線路10によれば、薄型化を図ることができる。より詳細には、高周波信号線路10では、区間A1において、信号線20,21は、z軸方向から平面視したときに、補助グランド導体24と重なっていない。そのため、信号線20,21と補助グランド導体24との間に容量が形成されにくい。したがって、信号線20,21と補助グランド導体24とのz軸方向における距離を小さくしても、信号線20,21と補助グランド導体24との間に形成される容量が大きくなり過ぎない。よって、信号線20,21の特性インピーダンスが所定の特性インピーダンス(例えば、50Ω)からずれにくい。その結果、高周波信号線路10によれば、信号線20,21の特性インピーダンスを所定の特性インピーダンスに維持しつつ、薄型化を図ることが可能である。
また、高周波信号線路10によれば、高周波信号線路10がバッテリーパック206のような金属体に貼り付けられた場合に、信号線20,21の特性インピーダンスが変動することが抑制される。より詳細には、高周波信号線路10は、信号線20,21とバッテリーパック206との間にベタ状の基準グランド導体22が位置するように、バッテリーパック206に貼り付けられる。これにより、信号線20,21とバッテリーパック206とが開口を介して対向しなくなり、信号線20,21とバッテリーパック206との間に容量が形成されることが抑制される。その結果、高周波信号線路10がバッテリーパック206に貼り付けられることによって、信号線20,21の特性インピーダンスが低下することが抑制される。
(第1の変形例)
以下に、第1の変形例に係る高周波信号線路の構成について図面を参照しながら説明する。図10は、第1の変形例に係る高周波信号線路10aの誘電体素体12の分解図である。高周波信号線路10aの外観斜視図については、図1を援用する。
高周波信号線路10aは、基準グランド導体22に開口34が設けられている点において高周波信号線路10と相違する。
より詳細には、基準グランド導体22の線路部22aには、図10に示すように、x軸方向に沿って並び、かつ、長方形状をなす複数の開口34が設けられている。これにより、線路部22aは、梯子状をなしている。また、基準グランド導体22において、隣り合う開口34に挟まれた部分をブリッジ部62と呼ぶ。ブリッジ部62は、y軸方向に延在している。複数の開口34及び複数のブリッジ部62とは、z軸方向から平面視したときに、信号線20に交互に重なっている。そして、本実施形態では、信号線20は、開口34及びブリッジ部62のy軸方向の中央をx軸方向に横切っている。
また、開口34のサイズは、開口30のサイズよりも小さい。より詳細には、開口34のx軸方向の長さは、開口30のx軸方向の長さよりも大きい。また、開口34のy軸方向の幅は、開口30のy軸方向の幅よりも小さい。そして、z軸方向から平面視したときに、開口30の外縁と開口34の外縁とは重なっていない。開口34は、z軸方向から平面視したときに、開口30内に収まっている。
以上のように構成された高周波信号線路10aによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、挿入損失を低減できる。
また、高周波信号線路10aによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、誘電体シート18a,18bの損傷を抑制できる。
また、高周波信号線路10aによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、高周波信号線路10aを容易に曲げることが可能となる。
また、高周波信号線路10aによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、薄型化を図ることができる。
また、高周波信号線路10aによれば、挿入損失の低減をさらに図ることができる。高周波信号線路10aでは、信号線20,21に電流i1が流れると基準グランド導体22に反電流i2が流れ、補助グランド導体24に反電流i3が流れる。反電流i2,i3は、表皮効果によって、開口30,34の外縁に沿って流れる。ただし、高周波信号線路10aでは、開口30の外縁と開口34の外縁とが重なっていない。これにより、反電流i2が流れる位置と反電流i3が流れる位置とが離れるようになる。その結果、反電流i2と反電流i3との結合を弱めることができ、電流i1が流れやすくなる。よって、高周波信号線路10aの挿入損失の低減が図られる。
(第2の変形例)
以下に、第2の変形例に係る高周波信号線路の構成について図面を参照しながら説明する。図11は、第2の変形例に係る高周波信号線路10bの誘電体素体12の分解図である。図12は、高周波信号線路10bの線路部12aの分解斜視図である。図13は、高周波信号線路10bのA−Aにおける断面構造図である。図14は、高周波信号線路10bのB−Bにおける断面構造図である。高周波信号線路10bの外観斜視図については、図1を援用する。
高周波信号線路10bは、信号線20の線幅と信号線21の線幅とが異なっている点、及び、スルーホール導体T1〜T4が用いられている点において、高周波信号線路10と相違する。より詳細には、図11及び図12に示すように、信号線20の線幅は、信号線21の線幅よりも大きい。また、z軸方向から平面視したときに、信号線21は、信号線20内に収まっている。なお、z軸方向から平面視したときに、信号線21は信号線20内に完全に収まっていなくてもよいが、実質的に一つの信号線として機能させるためには実質的に信号線21は、信号線20内に収まっていることが好ましい。
以上のような高周波信号線路10bでは、誘電体素体12の積層・圧着時に、信号線20が変形する。より詳細には、信号線20は、図13及び図14に示すように、z軸方向の正方向側に突出するように湾曲する。
複数のスルーホール導体T1は、図11に示すように、信号線20,21よりもy軸方向の正方向側において誘電体シート18a〜18cをz軸方向に貫通しており、x軸方向に一列に等間隔に並んでいる。スルーホール導体T1のz軸方向の正方向側の端部は、基準グランド導体22に接続されている。スルーホール導体T1のz軸方向の負方向側の端部は、補助グランド導体24に接続されている。これにより、スルーホール導体T1は、基準グランド導体22と補助グランド導体24とを接続している。スルーホール導体T1は、誘電体シート18a〜18cを貫通するスルーホールの内周面にめっきによりニッケルまたは金等を主成分とする金属膜が形成されることによって形成されている。
複数のスルーホール導体T2は、図11に示すように、信号線20,21よりもy軸方向の負方向側において誘電体シート18a〜18cをz軸方向に貫通しており、x軸方向に一列に等間隔に並んでいる。スルーホール導体T2のz軸方向の正方向側の端部は、基準グランド導体22に接続されている。スルーホール導体T2のz軸方向の負方向側の端部は、補助グランド導体24に接続されている。これにより、スルーホール導体T2は、基準グランド導体22と補助グランド導体24とを接続している。スルーホール導体T2は、誘電体シート18a〜18cを貫通するスルーホールの内周面にめっきによりニッケルまたは金等を主成分とする金属膜が形成されることによって形成されている。
スルーホール導体T3は、図11に示すように、誘電体シート18a〜18cをz軸方向に貫通しており、外部端子16aと信号線20のx軸方向の負方向側の端部と信号線21のx軸方向の負方向側の端部とを接続している。スルーホール導体T4は、図11に示すように、誘電体シート18a〜18cをz軸方向に貫通しており、外部端子16bと信号線20のx軸方向の正方向側の端部と信号線21のx軸方向の正方向側の端部とを接続している。これにより、信号線20,21は、外部端子16a,16b間に接続されている。また、信号線20と信号線21とが電気的に接続されている。スルーホール導体T3,T4は、誘電体シート18a〜18cを貫通するスルーホールの内周面にめっきによりニッケルまたは金等を主成分とする金属膜が形成されることによって形成されている。
また、保護層14には、スルーホールT1,T2と重なる位置に開口O1,O2が設けられている。また、保護層15には、スルーホールT1〜T4と重なる位置に開口O3〜O6が設けられている。
以上のように構成された高周波信号線路10bによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、挿入損失を低減できる。
また、高周波信号線路10bによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、誘電体シート18a,18bの損傷を抑制できる。
また、高周波信号線路10bによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、高周波信号線路10bを容易に曲げることが可能となる。
また、高周波信号線路10bによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、薄型化を図ることができる。
また、高周波信号線路10bによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、高周波信号線路10がバッテリーパック206のような金属体に貼り付けられた場合に、信号線20,21の特性インピーダンスが変動することが抑制される。
また、高周波信号線路10bでは、以下の理由によっても、挿入損失を低減できる。より詳細には、信号線20に電流が流れると、縁端効果により、信号線20のy軸方向の両端から基準グランド導体22へと集中して電気力線が発生する。このように、電気力線が信号線20のy軸方向の両端から集中して発生すると、信号線20のy軸方向の両端に電流が集中して流れるようになる。よって、信号線20において電流が流れる領域が狭くなり、信号線20に電流が流れにくくなる。
そこで、信号線20は、y軸方向の中央がz軸方向の正方向側に突出するように湾曲している。これにより、信号線20のy軸方向の両端は、信号線20のy軸方向の中央よりも基準グランド導体22から離れている。そのため、信号線20のy軸方向の両端から電気力線が集中して発生することが抑制される。その結果、信号線20の全体に電流が流れるようになり、信号線20に電流が流れやすくなる。以上より、高周波信号線路10bでは、挿入損失が低減される。
また、高周波信号線路10bでは、以下の理由によっても、挿入損失を低減できる。図15は、湾曲していない信号線20の断面構造図及び平面図、並びに、電流分布を示した図である。図16は、湾曲した信号線20の断面構造図及び平面図、並びに、電流分布を示した図である。
図15及び図16に示すように、信号線20に電流が流れると、電流の周囲を周回するように磁界が発生する。そして、電磁誘導によって、電流を妨げる反電流が発生する。ここで、図15及び図16に示すように、信号線20のy軸方向の中央部分を流れる電流のy軸方向の両側には、反電流が流れる。一方、信号線20のy軸方向の正方向側の端部を流れる電流には、y軸方向の負方向側にしか反電流が流れない。同様に、信号線20のy軸方向の負方向側の端部を流れる電流には、y軸方向の正方向側にしか反電流が流れない。よって、高周波信号線20では、信号線20のy軸方向の中央部分の電流値が、信号線20のy軸方向の両端の電流値よりも小さくなる。
ここで、図16に示す信号線20のy軸方向の幅は、図15に示す信号線20のy軸方向の幅よりも狭い。そのため、図15に示す信号線20に流れる電流の総和と図16に示す信号線20に流れる電流の総和とが等しい場合には、図16に示す信号線20のy軸方向の中央部分に流れる電流が、図15に示す信号線20のy軸方向の中央部分に流れる電流よりも大きくなる。これにより、信号線20の全体に電流が流れるようになり、信号線20に電流が流れやすくなる。以上より、高周波信号線路10bでは、挿入損失が低減される。すなわち、信号線20の端部に表皮効果が表れているので、幅の狭い湾曲した信号線20のほうが表皮効果が出にくく、挿入損失が小さくできる。
(第3の変形例)
以下に、第3の変形例に係る高周波信号線路の構成について図面を参照しながら説明する。図17は、第3の変形例に係る高周波信号線路10cの開口30における断面構造図である。高周波信号線路10cの外観斜視図については、図1を援用する。
高周波信号線路10cは、スルーホールT1〜T4の代わりにビアホール導体b1〜b4,B1〜B6が設けられている点において、高周波信号線路10bと相違する。
以上のように構成された高周波信号線路10cによれば、高周波信号線路10bと同様の理由により、挿入損失を低減できる。
また、高周波信号線路10cによれば、高周波信号線路10bと同様の理由により、誘電体シート18a,18bの損傷を抑制できる。
また、高周波信号線路10cによれば、高周波信号線路10bと同様の理由により、高周波信号線路10cを容易に曲げることが可能となる。
また、高周波信号線路10cによれば、高周波信号線路10bと同様の理由により、薄型化を図ることができる。
また、高周波信号線路10cによれば、高周波信号線路10bと同様の理由により、高周波信号線路10cがバッテリーパック206のような金属体に貼り付けられた場合に、信号線20,21の特性インピーダンスが変動することが抑制される。
(第4の変形例)
以下に、第4の変形例に係る高周波信号線路の構成について図面を参照しながら説明する。図18は、第4の変形例に係る高周波信号線路10dの断面構造図である。高周波信号線路10dの外観斜視図については、図1を援用する。
高周波信号線路10dは、基準グランド導体22及び補助グランド導体24が設けられている位置において高周波信号線路10と相違する。より詳細には、高周波信号線路10dでは、誘電体シート18aのz軸方向の正方向側に誘電体シート18dが積層され、誘電体シート18cのz軸方向の負方向側に誘電体シート18eが積層されている。
また、基準グランド導体22は、誘電体シート18dの裏面上に形成されている。基準グランド導体22において誘電体シート18dに接している面の表面粗さは、基準グランド導体22において誘電体シート18dに接していない面の表面粗さよりも大きい。
補助グランド導体24は、誘電体シート18eの表面上に形成されている。補助グランド導体24において誘電体シート18eに接している面の表面粗さは、補助グランド導体24において誘電体シート18eに接していない面の表面粗さよりも大きい。
以上のように構成された高周波信号線路10dによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、挿入損失を低減できる。
また、高周波信号線路10dによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、誘電体シート18a,18bの損傷を抑制できる。
また、高周波信号線路10dによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、高周波信号線路10dを容易に曲げることが可能となる。
また、高周波信号線路10dによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、薄型化を図ることができる。
また、高周波信号線路10dによれば、高周波信号線路10と同様の理由により、高周波信号線路10がバッテリーパック206のような金属体に貼り付けられた場合に、信号線20,21の特性インピーダンスが変動することが抑制される。
また、高周波信号線路10dによれば、以下の理由によって、挿入損失を低減できる。より詳細には、信号線20に高周波信号が流れると、表皮効果により、信号線20の表面近傍に集中して電流が流れる。特に、信号線20では、基準グランド導体22と対向している面(すなわち、誘電体シート18bに接していない面)に集中して流れる。そして、基準グランド導体22では、信号線20と対向している面(すなわち、誘電体シート18dに接していない面)に反電流が流れる。そこで、高周波信号線路10では、基準グランド導体22において誘電体シート18dに接していない面の表面粗さは、基準グランド導体22において誘電体シート18dに接している面の表面粗さよりも小さくなっている。これにより、基準グランド導体22において誘電体シート18dに接していない面から所定深さまでの領域における導体が占める割合は、基準グランド導体22において誘電体シート18dに接している面から所定深さまでの領域における導体が占める割合よりも高くなる。すなわち、基準グランド導体22において誘電体シート18dに接していない面近傍の方が、基準グランド導体22において誘電体シート18dに接している面近傍よりも電流が流れやすい。その結果、高周波信号線路10dでは、挿入損失が低減される。なお、同様の現象が補助グランド導体24にも生じている。
(その他の実施形態)
本発明に係る高周波信号線路は、高周波信号線路10,10a〜10dに限らず、その要旨の範囲内において変更可能である。
なお、高周波信号線路10,10a〜10dの構成を組み合わせてもよい。
保護層14,15は、スクリーン印刷によって形成されているが、フォトリソグラフィ工程によって形成されてもよい。
なお、高周波信号線路10,10a〜10dにおいて、コネクタ100a,100bが実装されていなくてもよい。この場合、高周波信号線路10,10a〜10dの端部と回路基板とがはんだによって接続される。なお、高周波信号線路10,10a〜10dの一方の端部のみにコネクタ100aが実装されてもよい。
また、コネクタ100a,100bは、高周波信号線路10の表面に実装されているが、高周波信号線路10の裏面に実装されていてもよい。また、コネクタ100aが高周波信号線路10の表面に実装され、コネクタ100bが高周波信号線路10の裏面に実装されてもよい。
また、高周波信号線路10,10a〜10dにおいて、基準グランド導体22及び補助グランド導体24の少なくともいずれか一方が設けられていなくてもよい。
また、補助グランド導体24には、開口が設けられていなくてもよい。
また、高周波信号線路10,10a〜10dは、アンテナフロントエンドモジュール等のRF回路における高周波信号線路として用いられてもよい。
以上のように、本発明は、高周波信号線路に有用であり、特に、挿入損失を低減しつつ、誘電体層の損傷を抑制できる点において優れている。
10,10a〜10d 高周波信号線路
12 誘電体素体
18a〜18e 誘電体シート
20,21 信号線
22 基準グランド導体
24 補助グランド導体
30,34 開口
60,62 ブリッジ部

Claims (4)

  1. 第1の誘電体層を含む複数の誘電体層が積層されてなる誘電体素体と、
    前記第1の誘電体層における積層方向の一方側の主面に形成されている線状の第1の信号線路と、
    前記第1の誘電体層における積層方向の他方側の主面に形成されている線状の第2の信号線路であって、該第1の誘電体層を介して前記第1の信号線路と対向し、かつ、該第1の信号線路と電気的に接続されている第2の信号線路と、
    前記第1の信号線路よりも積層方向の一方側に設けられている第1のグランド導体と、
    前記第2の信号線路よりも積層方向の他方側に設けられている第2のグランド導体と、
    を備えており、
    前記第1の信号線路の線幅は、前記第2の信号線路の線幅よりも大きく、
    前記第2の信号線路は、積層方向から平面視したときに、前記第1の信号線路内に収まっており、
    前記第1の信号線路は、積層方向の一方側に突出するように湾曲していること、
    を特徴とする高周波信号線路。
  2. 前記第1の信号線路において前記第1の誘電体層に接している面の表面粗さは、該第1の信号線路において該第1の誘電体層に接していない面の表面粗さよりも大きく、
    前記第2の信号線路において前記第1の誘電体層に接している面の表面粗さは、該第2の信号線路において該第1の誘電体層に接していない面の表面粗さよりも大きいこと、
    を特徴とする請求項1に記載の高周波信号線路。
  3. 前記第2のグランド導体には、前記第2の信号線路に沿って並ぶ複数の開口が設けられており、
    前記第1の信号線路と前記第1のグランド導体との積層方向における距離は、前記第2の信号線路と前記第2のグランド導体との積層方向における距離よりも大きいこと、
    を特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の高周波信号線路。
  4. 前記誘電体素体は可撓性を有していること、
    を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の高周波信号線路。
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