JP5704282B2

JP5704282B2 - Ｅｓｄ保護装置

Info

Publication number: JP5704282B2
Application number: JP2014521282A
Authority: JP
Inventors: 浩輔山田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2012-06-15
Filing date: 2013-06-05
Publication date: 2015-04-22
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Description

本発明は、ＥＳＤ保護装置に関する。

従来、静電気放電（ＥＳＤ：ｅｌｅｃｔｒｏ−ｓｔａｔｉｃｄｉｓｃｈａｒｇｅ）による電子機器の破壊を抑制するためのＥＳＤ保護装置が種々提案されている。例えば特許文献１では、放電部を構成する内部電極対が複数設けられたＥＳＤ保護装置が提案されている。

特開２００１−１４３８４６号公報

ところで、ＥＳＤ保護装置では、放電が生じると、放電部の温度が上昇する。このため、放電に伴って内部電極の対向部が溶解したり、放電補助電極の近辺にクラックが発生するなどして対向する内部電極や導電粒子間の距離が長くなる場合がある。対向する内部電極や導電粒子間の距離が長くなると、内部電極や導電粒子間で放電が好適に行われなくなる場合がある。例えば、複数の内部電極対の少なくとも一つで内部電極や導電粒子間の距離が長くなると、その内部電極対はＥＳＤ素子として機能しなくなる。

本発明の主な目的は、複数の放電部を有するＥＳＤ保護装置の信頼性を改善することにある。

本発明に係るＥＳＤ保護装置は、複数の入力電極と、複数の出力電極とを備える。複数の入力電極は、一の方向に沿って配されている。複数の出力電極は、一の方向に沿って配されている。複数の出力電極は、一の方向に対して傾斜した他の方向において入力電極と対向している。入力電極の他の方向における出力電極側の端部と、出力電極の他の方向における入力電極側の端部とにより主放電部が構成されている。複数の入力電極は、一の方向において隣り合っており、副放電部を構成している２つの入力電極を含む。

本発明に係るＥＳＤ保護装置のある特定の局面では、２つの入力電極の少なくとも一方の入力電極は、他方の入力電極に向かって突出しており、副放電部を構成している突出部を有する。

本発明に係るＥＳＤ保護装置の別の特定の局面では、ＥＳＤ保護装置は、放電補助電極をさらに備える。放電補助電極は、２つの入力電極間に配されている。放電補助電極は、２つの入力電極間の放電開始電圧を低下させる電極である。放電補助電極は、副放電部を構成している。

本発明に係るＥＳＤ保護装置の他の特定の局面では、副放電部における放電開始電圧が主放電部における放電開始電圧よりも高い。

本発明に係るＥＳＤ保護装置のさらに他の特定の局面では、複数の入力電極は、副放電部を構成している２つの入力電極を複数有する。複数の副放電部は、他の方向において異なる位置に配された副放電部を含む。

本発明に係るＥＳＤ保護装置のさらに別の特定の局面では、複数の主放電部は、他の方向において異なる位置に配された主放電部を含む。

本発明に係るＥＳＤ保護装置のまた他の特定の局面では、入力電極は、出力電極と対向している第１の電極層を含む複数の電極層を有する。副放電部は、第１の電極層以外の電極層により構成されている。

本発明に係るＥＳＤ保護装置のまた別の特定の局面では、複数の出力電極が電気的に接続されている。

本発明に係るＥＳＤ保護装置のさらにまた他の特定の局面では、装置本体をさらに備える。装置本体は、複数の入力電極及び複数の出力電極が内部に設けられている。装置本体は、絶縁材料からなる。

本発明に係るＥＳＤ保護装置のさらにまた別の特定の局面では、装置本体は、空洞を有する。主放電部と副放電部とのうちの少なくとも一方が空洞内に配されている。

本発明に係るＥＳＤ保護装置のまたさらに他の特定の局面では、ＥＳＤ保護装置は、外部電極をさらに備える。外部電極は、装置本体の上に配されている。外部電極は、入力電極または出力電極に接続されている。

本発明によれば、複数の放電部を有するＥＳＤ保護装置の信頼性を改善することができる。

図１は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的回路図である。図２は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的斜視図である。図３は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図４は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図５は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図６は、図３の線ＶＩ−ＶＩにおける略図的断面図である。図７は、図３の線ＶＩＩ−ＶＩＩにおける略図的断面図である。図８は、第２の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図９は、第３の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図１０は、第４の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図１１は、第５の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図１２は、第５の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図１３は、第６の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図１４は、第６の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。

また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的回路図である。図２は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的斜視図である。図３は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図４は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図５は、第１の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図６は、図３の線ＶＩ−ＶＩにおける略図的断面図である。図７は、図３の線ＶＩＩ−ＶＩＩにおける略図的断面図である。

図１〜図７に示されるＥＳＤ保護装置１は、複数のＥＳＤ素子が一体化された多端子品である。すなわち、ＥＳＤ保護装置１は、入力端子と出力端子との組を複数有する。

図２〜図７に示されるように、ＥＳＤ保護装置１は、装置本体１０を有する。本実施形態では、装置本体１０は、略直方体状である。装置本体１０は、絶縁材料からなる。装置本体１０は、例えば、適宜のセラミックスにより構成することができる。具体的には、装置本体１０は、例えば、Ｂａ、Ａｌ、Ｓｉを主成分として含む低温同時焼成セラミックス（ＬＴＣＣ：ＬｏｗＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＣｏ−ｆｉｒｅｄＣｅｒａｍｉｃｓ）により構成することができる。

装置本体１０の外表面上には、入力端子１１ａ〜１１ｄと、出力端子１２ａ〜１２ｄと、グラウンド端子１３ａ、１３ｂとが設けられている。また、図３〜図６に示されるように、装置本体１０の内部には、第１の電極層２１と、第２の電極層２２とが設けられている。

図１に示されるように、入力端子１１ａと出力端子１２ａとは、図４に示す第２の電極層２２に含まれる電極２２ａによって電気的に接続されている。入力端子１１ｂと出力端子１２ｂとは、第２の電極層２２に含まれる電極２２ｂによって電気的に接続されている。入力端子１１ｃと出力端子１２ｃとは、第２の電極層２２に含まれる電極２２ｃによって電気的に接続されている。入力端子１１ｄと出力端子１２ｄとは、第２の電極層２２に含まれる電極２２ｄによって電気的に接続されている。

図１に示されるように、入力端子１１ａには、図３に示される第１の電極層２１に含まれる入力電極２１ａに電気的に接続されている。入力端子１１ｂは、第１の電極層２１に含まれる入力電極２１ｂに電気的に接続されている。入力端子１１ｃは、第１の電極層２１に含まれる入力電極２１ｃに電気的に接続されている。入力端子１１ｄは、第１の電極層２１に含まれる入力電極２１ｄに電気的に接続されている。入力電極２１ａ〜２１ｄは、ｘ軸方向に沿って相互に間隔をおいて配されている。

第１の電極層２１は、入力電極２１ａ〜２１ｄのｙ軸方向におけるｙ２側においてｘ軸方向に沿って配された出力電極２１ｅ〜２１ｈをさらに有する。出力電極２１ｅは、ｘ軸方向に対して傾斜した（典型的には垂直な）ｙ軸方向において入力電極２１ａと対向している。入力電極２１ａのｙ軸方向におけるｙ２側の端部と、出力電極２１ｅのｙ軸方向におけるｙ１側の端部とによって、主放電部３１ａが構成されている。出力電極２１ｆは、ｘ軸方向に対して傾斜した（典型的には垂直な）ｙ軸方向において入力電極２１ｂと対向している。入力電極２１ｂのｙ軸方向におけるｙ２側の端部と、出力電極２１ｆのｙ軸方向におけるｙ１側の端部とによって、主放電部３１ｂが構成されている。入力電極２１ｃのｙ軸方向におけるｙ２側の端部と、出力電極２１ｇのｙ軸方向におけるｙ１側の端部とによって、主放電部３１ｃが構成されている。出力電極２１ｇは、ｘ軸方向に対して傾斜した（典型的には垂直な）ｙ軸方向において入力電極２１ｃと対向している。入力電極２１ｄのｙ軸方向におけるｙ２側の端部と、出力電極２１ｈのｙ軸方向におけるｙ１側の端部とによって、主放電部３１ｄが構成されている。出力電極２１ｈは、ｘ軸方向に対して傾斜した（典型的には垂直な）ｙ軸方向において入力電極２１ｄと対向している。出力電極２１ｅ〜２１ｈは、グラウンド端子１３ａ、１３ｂに電気的に接続された電極２１ｉに電気的に接続されている。従って、出力電極２１ｅ〜２１ｈは、互いに電気的に接続されている。

本実施形態において登場する電極は、それぞれ、ＣｕやＣｕ合金などの適宜の材料により構成することができる。

なお、主放電部３１ａ〜３１ｄは、実質的に同様の構成を有するため、主放電部３１ａ〜３１ｄの具体的構成について、主放電部３１ａが描画された図６を参照しながら説明する。

入力電極２１ａ〜２１ｄと出力電極２１ｅ〜２１ｈとの対向部は、装置本体１０の内部に設けられた空洞１０ａ内に配されている。すなわち、入力電極２１ａ〜２１ｄの出力電極２１ｅ〜２１ｈと対向している先端部と、出力電極２１ｅ〜２１ｈの入力電極２１ａ〜２１ｄと対向している先端部とが空洞１０ａ内に配されている。なお、空洞１０ａの平面視した際の形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、長円形等であってもよい。また、空洞１０ａの側面視した際の形状も、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、長円形等であってもよい。

入力電極２１ａ〜２１ｄの先端部と出力電極２１ｅ〜２１ｈの先端部との間には、放電補助電極４１が配されている。放電補助電極４１は、放電開始電圧を低下させる機能を有する。具体的には、放電補助電極４１を設けることにより、沿面放電と気中放電とに加えて、放電補助電極４１を経由した放電も生じる。通常、沿面放電と気中放電と放電補助電極４１を経由した放電とでは、放電補助電極４１を経由した放電の開始電圧が最も低い。従って、放電補助電極４１を設けることにより、主放電部における放電開始電圧を低下させることができる。従って、ＥＳＤ保護装置１の絶縁破壊を抑制することができる。また、放電補助電極４１を設けることによりＥＳＤ保護装置１の応答性を改善することができる。

放電補助電極４１は、例えば、導電性を有しない無機材料により表面がコーティングされた複数の金属粒子４１ａと、複数の半導体セラミック粒子４１ｂとが分散した粒子分散体によって構成することができる。この場合、放電補助電極４１は、例えば、導電性を有しない無機材料により表面がコーティングされた複数の金属粒子４１ａと、複数の半導体セラミック粒子４１ｂを含むペーストを塗布し、焼成することにより形成することができる。

金属粒子４１ａは、例えば、ＣｕやＮｉなどにより構成することができる。金属粒子４１ａの直径は、例えば２μｍ〜３μｍ程度とすることができる。金属粒子４１ａのコーティング膜は、例えば、酸化アルミニウム等により構成することができる。

半導体セラミック粒子４１ｂは、例えば、炭化ケイ素、炭化チタン、炭化ジルコニウム、炭化モリブデンもしくは炭化タングステン等の炭化物、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化クロム、窒化バナジウムもしくは窒化タンタル等の窒化物、ケイ化チタン、ケイ化ジルコニウム、ケイ化タングステン、ケイ化モリブデン、ケイ化クロム等のケイ化物、ホウ化チタン、ホウ化ジルコニウム、ホウ化クロム、ホウ化ランタン、ホウ化モリブデン、ホウ化タングステンなどのホウ化物、酸化亜鉛、チタン酸ストロンチウム等の酸化物などにより構成することができる。

放電補助電極４１は、金属粒子４１ａ及び半導体セラミック粒子４１ｂに加え、酸化アルミニウムなどからなる絶縁性粒子をさらに含んでいてもよい。

主放電部３１ａ〜３１ｄは、保護層４２により包囲されている。この保護層４２を設けることにより装置本体１０に含まれる成分が放電補助電極１４内に拡散達することを抑制することができる。よって、放電補助電極１４の劣化に起因する放電特性の低下を抑制することができる。

保護層４２は、装置本体１０を構成しているセラミックスよりも焼結温度が高いセラミックスにより構成されていることが好ましい。装置本体１０は、例えば、アルミナ、ムライト、ジルコニア、マグネシア及び石英からなる群から選ばれた少なくとも一種を含んでいることが好ましい。

図１及び図３に示されるように、複数の入力電極２１ａ〜２１ｄは、ｘ軸方向において隣り合っており、副放電部を含む入力電極２１ａ〜２１ｄを含む。具体的には、ｘ軸方向において隣り合う入力電極２１ａと入力電極２１ｂとの間に副放電部５１ａが設けられている。ｘ軸方向において隣り合う入力電極２１ｂと入力電極２１ｃとの間に副放電部５１ｂが設けられている。ｘ軸方向において隣り合う入力電極２１ｃと入力電極２１ｄとの間に副放電部５１ｃが設けられている。副放電部５１ａ〜５１ｃは、図７に示されるように、主放電部３１ａ〜３１ｄと実質的に同様の構成を有する。このため、主放電部３１ａ〜３１ｄに関する説明を副放電部５１ａ〜５１ｃに援用するものとする。

副放電部５１ａは、入力電極２１ａから入力電極２１ｂ側に向かって突出する突出部２１ａ１と、入力電極２１ｂから入力電極２１ａ側に向かって突出する突出部２１ｂ１とにより構成されている。突出部２１ａ１と突出部２１ｂ１との間には放電補助電極４１が設けられており、放電開始電圧が低められている。

副放電部５１ｂは、入力電極２１ｂから入力電極２１ｃ側に向かって突出する突出部２１ｂ２と、入力電極２１ｃから入力電極２１ｂ側に向かって突出する突出部２１ｃ１とにより構成されている。突出部２１ｂ２と突出部２１ｃ１との間には放電補助電極４１が設けられており、放電開始電圧が低められている。

副放電部５１ｃは、入力電極２１ｃから入力電極２１ｄ側に向かって突出する２１ｃ２と、入力電極２１ｄから入力電極２１ｃ側に向かって突出する突出部２１ｄ１とにより構成されている。突出部２１ｃ２と突出部２１ｄ１との間には放電補助電極４１が設けられており、放電開始電圧が低められている。

なお、放電部とは、高電圧が印加された際に、放電が優先的に生じる部分である。放電部のうち、主放電部は、副放電部よりも、高電圧が印加された際に優先的に放電が生じる部分である。

副放電部５１ａ〜５１ｃにおける放電開始電圧は、主放電部３１ａ〜３１ｄにおける放電開始電圧以上であることが好ましく、主放電部３１ａ〜３１ｄにおける放電開始電圧の１，１倍以上であることがより好ましく、１，２倍以上であることがさらに好ましい。

以上説明したように、ＥＳＤ保護装置１では、主放電部３１ａ〜３１ｄに加えて、副放電部５１ａ〜５１ｃが設けられている。このため、例えば、放電時における発熱により入力電極や出力電極の先端部が溶解したり、放電補助電極の近辺にクラックが発生するなどして、主放電部３１ａの放電開始電圧が高くなりすぎた場合においても、入力電極２１ａに高電圧が印加されると、副放電部５１ａ、入力電極２１ｂ、主放電部３１ｂ、出力電極２１ｆ、電極２１ｉ及びグラウンド端子１３ａ、１３ｂに放電が行われる。よって、主放電部３１ａ〜３１ｄの少なくともひとつの放電開始電圧が所定の放電開始電圧以下に保たれている限りにおいて、放電が好適に行われる。従って、ＥＳＤ保護装置１は、優れた信頼性を有する。

なお、本実施形態では、すべての隣り合う入力電極間に副放電部を設ける例について説明したが、一部の隣り合う入力電極間に副放電部が設けられていてもよい。

また、副放電部が放電補助電極を有する必要は必ずしもない。副放電部が、入力電極に設けられた突出部により構成されている必要は必ずしもない。例えば、入力電極には突出部が設けられておらず、隣り合う入力電極間に放電補助電極が設けられることにより副放電部が構成されていてもよい。

ＥＳＤ保護装置は、例えば、２端子品、３端子品であってもよいし、５端子以上の端子を有するものであってもよい。

以下、本発明の好ましい実施形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。

（第２の実施形態）
図８は、第２の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図８に示されるＥＳＤ保護装置では、主放電部３１ａ〜３１ｄと、副放電部５１ａ〜５１ｃとの間の距離が長い。よって、例えば、主放電部３１ａ〜３１ｄにおける発熱が副放電部５１ａ〜５１ｃに伝わり難い。よって、主放電部３１ａ〜３１ｄにおける放電による発熱により副放電部５１ａ〜５１ｃが劣化し難い。

（第３の実施形態）
図９は、第３の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図９に示されるＥＳＤ保護装置のように、複数の出力電極２１ｅ〜２１ｈは、電気的に接続されていなくてもよい。本実施形態では、出力電極２１ｅがグラウンド端子１３ａに接続されている。出力電極２１ｆがグラウンド端子１３ｂに接続されている。出力電極２１ｇがグラウンド端子１３ｃに接続されている。出力電極２１ｈがグラウンド端子１３ｄに接続されている。

（第４の実施形態）
図１０は、第４の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図１０に示されるように、本実施形態のＥＳＤ保護装置では、主放電部３１ａ〜３１ｄが、ｙ軸方向において異なる位置に配された主放電部を含む。具体的には、ｘ軸方向において隣り合う主放電部３１ａ〜３１ｄが、ｙ軸方向において異なる位置に配されている。よって、主放電部３１ａ〜３１ｄにおける放電による発熱が、当該主放電部に隣接する主放電部に伝わり難い。よって、主放電部３１ａ〜３１ｄの熱劣化を抑制することができる。従って、より優れた信頼性を実現することができる。なお、本実施形態では、副放電部５１ａ〜５１ｃは、ｘ軸方向に沿って直線状に配されているが、さらに優れた信頼性を実現する観点からは、ｘ軸方向において隣り合う副放電部５１ａ〜５１ｃが、ｙ軸方向において異なる位置に配されていることが好ましい。

（第５の実施形態）
図１１は、第５の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図１２は、第５の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。本実施形態に係るＥＳＤ保護装置では、主放電部３１ａ〜３１ｄと副放電部５１ａ〜５１ｃとが異なる電極層に設けられている。具体的には、主放電部３１ａ〜３１ｄが第１の電極層２１に設けられており、副放電部５１ａ〜５１ｃが第２の電極層２２に設けられている。このようにすることにより、主放電部３１ａ〜３１ｄにおいて放電が生じた際の発熱が副放電部５１ａ〜５１ｃに伝わり難くなる。従って、より優れた信頼性を実現することができる。さらに、主放電部３１ａ〜３１ｄは副放電部５１ａ〜５１ｃと電極層の高さ方向において重ならないように配置されているため、主放電部３１ａ〜３１ｄにおいて放電が生じた際の発熱が副放電部５１ａ〜５１ｃにより伝わり難くなる。

また、主放電部３１ａ〜３１ｄと副放電部５１ａ〜５１ｃとに空洞１０ａが設けられている場合には、空洞１０ａが異なる電極層に配置されることにより、空洞１０ａが同一電極層に配置される場合に比べて、電極層が形成される絶縁層の剥離を抑制することができる。さらに、主放電部３１ａ〜３１ｄに設けられる空洞１０ａが副放電部５１ａ〜５１ｃに設けられている空洞１０ａと電極層の高さ方向において重ならないように配置されていることにより、空洞１０ａがもたらす装置本体１０の変形を抑制することができる。

（第６の実施形態）
図１３は、第６の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。図１４は、第６の実施形態に係るＥＳＤ保護装置の略図的断面図である。本実施形態に係るＥＳＤ保護装置においても、主放電部３１ａ〜３１ｄと副放電部５１ａ〜５１ｃとが異なる電極層に設けられている。具体的には、主放電部３１ａ〜３１ｄが第１の電極層２１に設けられており、副放電部５１ａ〜５１ｃが第２の電極層２２に設けられている。さらに本実施形態では、ｘ軸方向において隣り合う主放電部３１ａ〜３１ｄがｙ軸方向において異なる位置に設けられている。また、ｘ軸方向において隣り合う副放電部５１ａ〜５１ｃがｙ軸方向において異なる位置に設けられている。このため、各放電部における放電による発熱が他の放電部により伝わり難い。従って、さらに優れた信頼性を実現することができる。

また、主放電部３１ａ〜３１ｄと副放電部５１ａ〜５１ｃとに空洞１０ａが設けられている場合には、ｘ軸方向において隣り合う主放電部３１ａ〜３１ｄに設けられる空洞１０ａがｙ軸方向において異なる位置に設けられる。また、ｘ軸方向において隣り合う副放電部５１ａ〜５１ｃに設けられる空洞１０ａがｙ軸方向において異なる位置に設けられることになる。このため、空洞１０ａがｙ軸方向において同じ位置に配置される場合に比べて、電極層が形成される絶縁層の剥離を抑制することができる。

１…ＥＳＤ保護装置
１０…装置本体
１０ａ…空洞
１１ａ〜１１ｄ…入力端子
１２ａ〜１２ｄ…出力端子
１３ａ〜１３ｄ…グラウンド端子
２１…第１の電極層
２１ａ〜２１ｄ…入力電極
２１ａ１，２１ｂ１，２１ｂ２，２１ｃ１，２１ｃ２，２１ｄ１…突出部
２１ｅ〜２１ｈ…出力電極
２１ｉ、２２ａ〜２２ｄ…電極
２２…第２の電極層
３１ａ〜３１ｄ…主放電部
４１…放電補助電極
４１ａ…金属粒子
４１ｂ…半導体セラミック粒子
４２…保護層
５１ａ〜５１ｃ…副放電部

Claims

一の方向に沿って配された複数の入力電極と、
前記一の方向に沿って配されており、前記一の方向に対して傾斜した他の方向において前記入力電極と対向する複数の出力電極と、
を備え、
前記入力電極の前記他の方向における前記出力電極側の端部と、前記出力電極の前記他の方向における前記入力電極側の端部とにより主放電部が構成されており、
前記複数の入力電極は、前記一の方向において隣り合っており、副放電部を構成している２つの入力電極を含む、ＥＳＤ保護装置。
前記２つの入力電極の少なくとも一方の入力電極は、他方の入力電極に向かって突出しており、前記副放電部を構成している突出部を有する、請求項１に記載のＥＳＤ保護装置。
前記２つの入力電極間に配されており、２つの入力電極間の放電開始電圧を低下させる電極であって、前記副放電部を構成している放電補助電極をさらに備える、請求項１または２に記載のＥＳＤ保護装置。
前記副放電部における放電開始電圧が前記主放電部における放電開始電圧よりも高い、請求項１〜３のいずれか一項に記載のＥＳＤ保護装置。
前記複数の入力電極は、前記副放電部を構成している２つの入力電極を複数有し、
前記複数の副放電部は、前記他の方向において異なる位置に配された副放電部を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載のＥＳＤ保護装置。
前記複数の主放電部は、前記他の方向において異なる位置に配された主放電部を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のＥＳＤ保護装置。
前記入力電極は、前記出力電極と対向している第１の電極層を含む複数の電極層を有し、
前記副放電部は、前記第１の電極層以外の電極層により構成されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載のＥＳＤ保護装置。
前記複数の出力電極が電気的に接続されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載のＥＳＤ保護装置。
前記複数の入力電極及び前記複数の出力電極が内部に設けられており、絶縁材料からなる装置本体をさらに備える、請求項１〜８のいずれか一項に記載のＥＳＤ保護装置。
前記装置本体は、空洞を有し、
前記主放電部と前記副放電部とのうちの少なくとも一方が前記空洞内に配されている、請求項９に記載のＥＳＤ保護装置。
前記装置本体の上に配されており、前記入力電極または前記出力電極に接続された外部電極をさらに備える、請求項９または１０に記載のＥＳＤ保護装置。